JP5750393B2 - Cu−Ga合金スパッタリングターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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Description
Cu−Gaターゲットの製造方法としては、溶解法と粉末法がある。一般的には、溶解法で製造されたCu−Gaターゲットは、不純物汚染が比較的少ないとされているが、欠点も多い。例えば、冷却速度を大きくできないので組成偏析が大きく、スパッタ法によって作製される膜の組成が、次第に変化してきてしまう。
溶解法によるCu−Gaターゲットに関する先行文献(特許文献1)には、組成偏析が観察されなかった旨の記載はあるが、分析結果等は一切示されていない。
また、実施例ではGa濃度30重量%の結果しかなく、これ以下のGa低濃度領域での組織や偏析などの特性に関する記述は全くない。
密度が低く、酸素濃度の高いターゲットは、当然ながら異常放電やパーティクル発生があり、スパッタ膜表面にパーティクル等の異形物があると、その後のCIGS膜特性にも悪影響を与え、最終的にはCIGS太陽電池の変換効率の大きな低下を招く虞が多分にある。
このような合金は添加元素の量が微量であるため、添加元素量の多い合金の製造に適用できるものではない。
1)Gaが15at%以上22at%以下、残部がCu及び不可避的不純物からなる溶解・鋳造した板状のCu−Ga合金スパッタリングターゲットであって、CuにGaが固溶したα相又はα相とζ相との混相からなる組織を有し、該α相又はα相とζ相との混相からなる組織にデンドライト組織が分散しており、該デンドライト組織(樹枝状晶)は、一次アームと該一次アームから側方に成長した二次アームからなり、二次アームの平均の長さが30〜60μm、二次アームの平均の幅が10〜30μm、該二次アーム間の平均の間隔が20〜80μmであることを特徴とするCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
3)デンドライト組織の二次アーム間に、デンドライト組織よりもGa濃度が濃い(Gaリッチ)相を有することを特徴とする上記1)又は2)記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
4)デンドライト組織よりもGa濃度が濃い相が、α相又はζ相であることを特徴とする上記3)記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
5)酸素含有量が20wtppm以下であることを特徴とする上記1)〜4)のいずれか一項に記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
9)横型連続鋳造法を用いて製造することを特徴とする上記6)又は7)記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。
このように酸素が少なく、偏析が分散した鋳造組織を持つCu−Ga合金ターゲットを用いてスパッタリングすることにより、パーティクルの発生が少なく、均質なCu−Ga系合金膜を得ることが可能であり、かつCu−Ga合金ターゲットの製造コストを大きく低減できる効果を有する。このようなスパッタ膜から光吸収層及びCIGS系太陽電池を製造することができるので、CIGS太陽電池の変換効率の低下が抑制されるとともに、低コストのCIGS系太陽電池を作製することができるという優れた効果を有する。
一般に、焼結品は相対密度を95%以上にすることが目標である。相対密度が低いと、スパッタ中の内部空孔の表出時に空孔周辺を起点とするスプラッシュや異常放電による膜へのパーティクル発生や表面凹凸化の進展が早期に進行して、表面突起(ノジュール)を起点とする異常放電等が起き易くなるからである。鋳造品は、ほぼ相対密度100%を達成することができ、この結果、スパッタリングの差異のパーティクルの発生を抑制できる効果を有する。これは鋳造品の大きな利点の一つと言える。
前記デンドライト組織よりもGa濃度が濃い相は、固溶体であるα相又はζ相であることを特徴とする。本願発明のCu−Ga合金スパッタリングターゲットは、総合的に酸素含有量が少なく、20wtppm以下のCu−Ga合金スパッタリングターゲットを提供することができる。
このようにして、前記鋳造体の融点から300°Cに至るまでの凝固速度を300〜1000°C/minに制御することにより、鋳造時に形成されるα相又はα相とζ相との混相の量及び濃度を、容易に調製することが可能となる。
これは、上記と同様に、CIGS系太陽電池の特性を向上させるための、好ましい要件である。また、これにより、スパッタリング時のパーティクルの発生を抑制することが可能であり、スパッタ膜中の酸素を低減でき、また内部酸化による酸化物又は亜酸化物の形成を抑制できる効果を有する。
まず、銅(Cu:純度4N)原料20kgをカーボン製坩堝に入れ、坩堝内を窒素ガス雰囲気にし、1250°Cまで加熱した。この高温の加熱は、ダミーバーとCu−Ga合金溶湯を溶着させるためである。
次に、添加元素であるGa(純度:4N)をGa濃度が15at%の組成比となるように調整して、加熱坩堝に導入した。坩堝の加熱には、抵抗加熱装置(グラファイトエレメント)を使用した。溶解坩堝の形状は、140mmφ×400mmφであり、鋳型の材質はグラファイト製で、鋳造塊の形状は、65mmw×12mmtの板とし、連続鋳造した。
引抜きパターンは、0.5秒駆動、2.5秒停止の繰り返しで行い、周波数を変化させ、引抜き速度を50mm/minとした。引抜き速度(mm/min)と冷却速度(°C/min)は比例関係にあり、引抜き速度(mm/min)を上げると冷却速度も上昇する。この結果、350°C/minの冷却速度となった。
なお、デンドライトの二次アームの間隔と寸法は、ランダムに選んだ5本のデンドライトから、それぞれ5点計測した平均値である。したがって、デンドライト本数5×計測に選択した二次アーム数=25個の平均値となる。以下、同様である。
二次デンドライトアーム間には、Ga濃度が高い相(偏析相、異相)が観察された。これは二次デンドライトアーム間に挟まれた構造となるため、デンドライト組織が微細となって形成されているため、この偏析相(異相)も均一に分散していた。
まず、銅(Cu:純度4N)原料20kgをカーボン製坩堝に入れ、坩堝内を窒素ガス雰囲気にし、1250°Cまで加熱した。この高温の加熱は、ダミーバーとCu−Ga合金溶湯を溶着させるためである。
次に、添加元素であるGa(純度:4N)をGa濃度が15at%の組成比となるように調整して、加熱坩堝に導入した。坩堝の加熱には、抵抗加熱装置(グラファイトエレメント)を使用した。溶解坩堝の形状は、140mmφ×400mmφであり、鋳型の材質はグラファイト製で、鋳造塊の形状は、65mmw×12mmtの板とし、連続鋳造した。
引抜きパターンは、0.5秒駆動、2.5秒停止の繰り返しで行い、周波数を変化させ、引抜き速度を90mm/minとした。引抜き速度(mm/min)と冷却速度(°C/min)は比例関係にあり、引抜き速度(mm/min)を上げると冷却速度も上昇する。この結果、650°C/minの冷却速度となった。
二次デンドライトアーム間には、Ga濃度が高い相(偏析相、異相)が観察された。これは二次デンドライトアーム間に挟まれた構造となるため、デンドライト組織が微細となって形成されているため、この偏析相(異相)も均一に分散していた。
このように酸素量が少なく、Ga相(偏析相)が均一に分散した鋳造組織を持つCu−Ga合金ターゲットを用いてスパッタリングすることにより、パーティクルの発生が少なく、均質なCu−Ga系合金膜を得ることができた。
まず、銅(Cu:純度4N)原料20kgをカーボン製坩堝に入れ、坩堝内を窒素ガス雰囲気にし、1250°Cまで加熱した。この高温の加熱は、ダミーバーとCu−Ga合金溶湯を溶着させるためである。
次に、添加元素であるGa(純度:4N)をGa濃度が20at%の組成比となるように調整して、加熱坩堝に導入した。坩堝の加熱には、抵抗加熱装置(グラファイトエレメント)を使用した。溶解坩堝の形状は、140mmφ×400mmφであり、鋳型の材質はグラファイト製で、鋳造塊の形状は、65mmw×12mmtの板とし、連続鋳造した。
引抜きパターンは、0.5秒駆動、2.5秒停止の繰り返しで行い、周波数を変化させ、引抜き速度を50mm/minとした。引抜き速度(mm/min)と冷却速度(°C/min)は比例関係にあり、引抜き速度(mm/min)を上げると冷却速度も上昇する。この結果、350°C/minの冷却速度となった。
二次デンドライトアーム間には、Ga濃度が高い相(偏析相、異相)が観察された。これは二次デンドライトアーム間に挟まれた構造となるため、デンドライト組織が微細となって形成されているため、この偏析相(異相)も均一に分散していた。
まず、銅(Cu:純度4N)原料20kgをカーボン製坩堝に入れ、坩堝内を窒素ガス雰囲気にし、1250°Cまで加熱した。この高温の加熱は、ダミーバーとCu−Ga合金溶湯を溶着させるためである。
次に、添加元素であるGa(純度:4N)をGa濃度が20at%の組成比となるように調整して、加熱坩堝に導入した。坩堝の加熱には、抵抗加熱装置(グラファイトエレメント)を使用した。溶解坩堝の形状は、140mmφ×400mmφであり、鋳型の材質はグラファイト製で、鋳造塊の形状は、65mmw×12mmtの板とし、連続鋳造した。
引抜きパターンは、0.5秒駆動、2.5秒停止の繰り返しで行い、周波数を変化させ、引抜き速度を90mm/minとした。引抜き速度(mm/min)と冷却速度(°C/min)は比例関係にあり、引抜き速度(mm/min)を上げると冷却速度も上昇する。この結果、650°C/minの冷却速度となった。
二次デンドライトアーム間には、Ga濃度が高い相(偏析相、異相)が観察された。これは二次デンドライトアーム間に挟まれた構造となるため、デンドライト組織が微細となって形成されているため、この偏析相(異相)も均一に分散していた。
このように酸素量が少なく、Ga相(偏析相)が均一に分散した鋳造組織を持つCu−Ga合金ターゲットを用いてスパッタリングすることにより、パーティクルの発生が少なく、均質なCu−Ga系合金膜を得ることができた。
まず、銅(Cu:純度4N)原料20kgをカーボン製坩堝に入れ、坩堝内を窒素ガス雰囲気にし、1250°Cまで加熱した。この高温の加熱は、ダミーバーとCu−Ga合金溶湯を溶着させるためである。
次に、添加元素であるGa(純度:4N)をGa濃度が15at%の組成比となるように調整して、加熱坩堝に導入した。坩堝の加熱には、抵抗加熱装置(グラファイトエレメント)を使用した。溶解坩堝の形状は、140mmφ×400mmφであり、鋳型の材質はグラファイト製で、鋳造塊の形状は、65mmw×12mmtの板とし、連続鋳造した。
引抜きパターンは、0.5秒駆動、2.5秒停止の繰り返しで行い、周波数を変化させ、引抜き速度を30mm/minとした。引抜き速度(mm/min)と冷却速度(°C/min)は比例関係にあり、引抜き速度(mm/min)を上げると冷却速度も上昇する。この結果、200°C/minの冷却速度となった。
まず、銅(Cu:純度4N)原料20kgをカーボン製坩堝に入れ、坩堝内を窒素ガス雰囲気にし、1250°Cまで加熱した。この高温の加熱は、ダミーバーとCu−Ga合金溶湯を溶着させるためである。
次に、添加元素であるGa(純度:4N)をGa濃度が20at%の組成比となるように調整して、加熱坩堝に導入した。坩堝の加熱には、抵抗加熱装置(グラファイトエレメント)を使用した。溶解坩堝の形状は、140mmφ×400mmφであり、鋳型の材質はグラファイト製で、鋳造塊の形状は、65mmw×12mmtの板とし、連続鋳造した。
引抜きパターンは、0.5秒駆動、2.5秒停止の繰り返しで行い、周波数を変化させ、引抜き速度を30mm/minとした。引抜き速度(mm/min)と冷却速度(°C/min)は比例関係にあり、引抜き速度(mm/min)を上げると冷却速度も上昇する。この結果、200°C/minの冷却速度となった。
二次デンドライトアーム間には、Ga濃度が高い相(偏析相、異相)が観察されたが、デンドライトが大きいため、偏析相(異相)も大きくなっていた。
このように酸素が少なく、多数の微細な樹枝状晶が分散した鋳造組織を持つCu−Ga合金ターゲットを用いてスパッタリングすることにより、パーティクルの発生が少なく、均質なCu−Ga系合金膜を得ることが可能であり、かつCu−Ga合金ターゲットの製造コストを大きく低減できる効果を有する。
このようなスパッタ膜から光吸収層及びCIGS系太陽電池を製造することができるので、CIGS太陽電池の変換効率の低下が抑制されるとともに、低コストのCIGS系太陽電池を作製することができるという優れた効果を有する。このようなスパッタ膜から光吸収層及びCIGS系太陽電池を製造することができるので、CIGS太陽電池の変換効率低下抑制のための太陽電池に有用である。
Claims (10)
- Gaが15at%以上22at%以下、残部がCu及び不可避的不純物からなる溶解・鋳造した板状のCu−Ga合金スパッタリングターゲットであって、CuにGaが固溶したα相又はα相とζ相との混相からなる組織を有し、該α相又はα相とζ相との混相からなる組織にデンドライト組織が分散しており、該デンドライト組織(樹枝状晶)は、一次アームと該一次アームから側方に成長した二次アームからなり、二次アームの平均の長さが30〜60μm、二次アームの平均の幅が10〜30μm、該二次アーム間の平均の間隔が20〜80μmであることを特徴とするCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
- 一次アームの最大径が5〜30μmであることを特徴とする請求項1記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
- デンドライト組織の二次アーム間に、デンドライト組織よりもGa濃度が濃い(Gaリッチ)相を有することを特徴とする請求項1又は2記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
- デンドライト組織よりもGa濃度が濃い相が、α相又はζ相であることを特徴とする請求項3記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
- 酸素含有量が20wtppm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲット。
- ターゲット原料をグラファイト製坩堝内で溶解し、この溶湯を、水冷プローブを備えた鋳型に注湯して連続的にGaが15at%以上22at%以下、残部がCu及び不可避的不純物からなるCu−Ga合金の板状の鋳造体を製造し、これをさらに機械加工して板状のCu−Ga合金ターゲットを製造する方法であって、前記鋳造体の融点から300°Cに至るまでの凝固速度を350〜650°C/minに制御することを特徴とするCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。
- ターゲット原料をグラファイト製坩堝内で溶解し、この溶湯を、水冷プローブを備えた鋳型に注湯して連続的にGaが15at%以上22at%以下、残部がCu及び不可避的不純物からなるCu−Ga合金の板状の鋳造体を製造し、これをさらに機械加工して板状のCu−Ga合金ターゲットを製造する方法であって、前記鋳造体の融点から300°Cに至るまでの凝固速度を350〜650°C/minに制御することにより、請求項1〜5のいずれか一項に記載するターゲットを製造することを特徴とするCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。
- 引抜き速度を50mm/min〜150mm/minとして製造することを特徴とする請求項6記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。
- 横型連続鋳造法を用いて製造することを特徴とする請求項6又は7記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記鋳造体の融点から300°Cに至るまでの凝固速度を350〜650°C/minに制御することにより、鋳造時に形成されるα相又はα相とζ相との混相の量及び濃度を調製することを特徴とする請求項6〜9のいずれか一項に記載のCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法。
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