JPH03160704A

JPH03160704A - 焼結板、その製造方法及び製造装置

Info

Publication number: JPH03160704A
Application number: JP1300539A
Authority: JP
Inventors: Hisashi Yanagibashi; 柳橋　久; Ryosuke Kudo; 工藤　良輔
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1989-11-18
Filing date: 1989-11-18
Publication date: 1991-07-10
Anticipated expiration: 2014-05-10
Also published as: JP2889293B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】く産業上の利用分野〉本発明は、チップ状の電子部品等を得るのに使用される
焼結板、その製造方法及び製造装置に関し、横溝及び縦
溝を格子状に配列して設けた焼結板を得る場合に、横溝
と縦溝の深さを互いに異ならせることにより、横溝及び
縦溝に確実に分割できる焼結板、その製造方法及び製造
装置を提供できるようにしたものである。

く従来の技術〉チップ状のコンデンサ、抵抗、サーミスタ、バリスタ、
インダクタンスまたは厚膜ＩＣ基板等のチップ状電子部
品は、小型大容量化が容易であること、平面の導電パタ
ーンに直接ボンディングが可能で高密度実装化の要請に
合うこと、高い周波数領域まで優れた周波数特性を示す
こと、更に外形が統一されていてプリント回路基板等に
実装する際、自動装着、組立が可能であること等々の優
れた特長を有しており、回路の厚膜ＩＣ化やモジュール
化の一端を担う重要部品として、コンピュータ、通信機
、テレビジョン受像機、電子時計、電卓などの各種の電
子機器に広く利用されている。

この種の電子部品は、微小部品であるから、製造の始め
から終りまで単品として取扱うには小さ過ぎる。そこで
、製造を容易にし、生産能率を高めるため、アルくナ磁
器、誘電体磁器、半導体磁器またはフエライト等で成る
グリーンシートの面上に、横溝及び縦溝を格子状に設け
た後、高温で焼戒焼結させて焼結板とし、この焼結板を
横溝及び縦溝に沿って細分割する。その先行技術として
は、特開昭５７−１８３０９２号、特開昭５６−４０２
２６号、実開昭５７−１８１６０号、実開昭５８−２１
１９５号、特開昭５６−４０２２６号、特開昭５８−３
０１１８号等が知られている。

〈発明が解決しようとする課題〉しかしながら、上述した先行技術では、横溝及び縦溝を
、実質的に同じ深さとなるように形成してあったため、
横溝及び縦溝における分割難易性がほぼ同レヘルになる
。このため、例えば横溝に沿って分割した後に、縦溝に
沿って分割する場合を想定すると、横溝に沿って分割す
る段階で、縦溝に沿って部分的に分割されてしまったり
、或いは、縦溝に沿ってクラックや破損が生じてしまい
、不良品が発生し、歩留が低下するという問題点があっ
た。

また、グリーンシート上に横溝及び縦溝を形成する場合
、従来は、横溝を形成する刃を有する型と、縦溝を形戒
する刃を有する型の２種類の型を使用し、横溝を形成し
た後に、縦溝を形成する工程をとっていた。このため、
溝形成工程が少なくとも２工程となり、工程数が増え、
生産能率が低下するという問題点や、横溝形成後の縦溝
形成工程において型の位置合せが必要で、工程が複雑に
なると共に、２つの型及びその駆動機構を必要とし、設
備コストが高くなるという問題点があった。

しかも、横溝に対する縦溝形成用型の位置合せ時に位置
ズレを生じ易く、最終製品として得られるチップ部品の
形状が規格外となつ，てしまうこともあった。かかる不
具合を回避するため、横溝形戒後のグリーンシートの位
置決め、縦溝形成用型及びその駆動機構を高精度化する
必要があり、溝形成工程の困難性及び設備費のコスト高
を招く原因となっていた。

そこで、本発明の課題は、従来技術の問題点を解決し、
横溝及び縦溝に確実に分割できる焼結板、この焼結板を
製造するのに好適な製造方法及び製造装置を提供するこ
とである。

く課題を解決するための手段〉上述した課題解決のため、本発明に係る焼結板は、厚み
方向の両主面の少なくとも一方に、横溝及び縦溝を格子
状に配列して設けた焼結板であつて、前記横溝と前記縦溝は、深さが互いに異なっていることを特徴とする。

上記焼結板を製造するため、本発明に係る製造方法は、
焼成前のグリーンシートに対し、その厚み方向の両主面
の少なくとも一方に、横溝及び縦溝を格子状に形成した
後、前記グリーンシートを焼結させる焼結板の製造方法
であって、横刃部と縦刃部とが格子状に配列されていて
前記横刃部の高さと前記縦刃部の高さが互いに異なって
いる型を使用し、前記型の前記横刃部及び縦刃部を前記
グリーンシートに押し当てて、前記横溝及び前記縦溝を
同時に形成することを特徴とする。

更に、本発明に係る製造装置は、平板状の未焼戒焼結板
の面上に溝を形成を形成するための型を含む装置であっ
て、前記型は、横刃部と縦刃部とが格子状に配列されていて
前記横刃部の高さと前記縦刃部の高さが互いに異なって
いることを特徴とする。

〈作用〉本発明に係る焼結板は、８ｉｌ溝と縦溝の深さが互いに
異なっているので、横溝及び縦溝の両者間に、分割難易
度差を生じる。例えば横溝の深さを縦溝よりも小さくし
たとすると、横溝に沿って分割するよりも、縦溝に沿っ
て分割する方が容易である。従って、縦溝に沿って分割
した後にＭＡ溝に沿って分割する順序を踏むことにより
．ｒｚ溝分割時に横溝に沿った分割、クラックまたは破
損等が生しにくくなる。

上述の焼結板の製造に当っては、横刃部と縦刃部とが格
子状に配列されていて横刃部の高さと縦刃部の高さが互
いに異なっている型を使用する。

そして、この型の横刃部及び縦刃部をグリーンシートに
押し当てて、横溝及び縦溝を同時に形成する。この製造
方法によれは、互いに深さの異なる横構及び縦溝を、同
一の型によって同時に形成できるので、この種の焼結板
を製造する場合に従来問題となっていた製造技術上の問
題が全て解決できる。

〈実施例〉第１図は本発明に係る焼結板の平面図、第２図は第１図
Ａ，−Ａ，線上における拡大断面図、第３図は第１図Ａ
２−Ａ，線上における拡大断面図である。１は焼結板、
２は横溝、３は縦溝である。焼結板１は、アルミナ磁器
、誘電体磁器またはフエライト等を用いて、板厚Ｔを有
する平板状に形成されている。

焼結板１の厚み方向における主面Ｐ，，Ｐ，のうち、少
なくとも一方の主面Ｐ１には、横溝２及び縦満３が、間
隔ｄ１及びｄ２を隔てて格子状に形成されている。横溝
２と縦溝３は、深さｈ，、ｈ２が互いに異なっている．
実施例において、横溝２の深さｈ１よりも縦溝３の深さ
ｈ２が大きくなっている。即ち、ｈ２　＞ｈｌである。従って、横溝２の下にある焼結板１の厚みｔ，
と、縦溝３の下にある焼結板１の厚みｔ２に関して、１，　　＞１２の関係が成立するから、横溝２に沿って分割するよりも
、縦満３に沿って分割する方が容易になる。このため、
第６図（ａ）に示す如く、縦溝３に沿って分割した後に
、第６図（ｂ）に示す如く、横溝２に沿って分割する順
序を踏むことにより、縦溝３の分割時に横溝２に沿って
クラックや破損等が生じるの防止することができる。

横溝２の深さｈ１と、縦溝３の深さｈ２は、焼結板１の
厚みＴに対して、ｈ，／Ｔ＝α１ｈ２／Ｔ＝β１としたとき、α１が０．２〜０．３の範囲となり、β１
が０．５程度となるように選定することが望ましい。横
溝２の開き角度θ１１及び縦溝３の開き角θ２１は３０
度程度が適当である。

第４図及び第５図は本発明に係る焼結板の更に別の実施
例における拡大断面図である。第４図は第２図に対応し
、第５図は第３図に対応している。この実施例は、主面
Ｐｌ％Ｐ２の両面に横溝及び縦溝を設けた例を示し、２
１は主面Ｐ，に設けられた横溝、２２は主面Ｐ２に設け
られた横溝、３１は主面Ｐ，に設けられた縦溝、３２は
主面Ｐ２に設けられた縦溝をそれぞれ示している。

横溝２１と横溝２２、及び、縦溝３１と縦溝３２は互い
に対向する位置に設ける。横溝２１、２２の深さをそれ
ぞれｈ．、ｈｌ２とし、縦溝３１、３２の深さをそれぞ
れｈ２１、ｈ２２とした場合、ｈ　２１＋　ｈ　ｚ２＞
　ｈ　＋＋＋　ｈ　１２　　・・・（１）となるように
設定する。これにより、横溝２１−２２間の焼結板１の
厚みｔ，と、縦溝３ｉ−３２間の焼結板１の厚みｔ２に
関して、ｔ＋＞ｔ２の関係が成立する。

通常は、実質的にｈｌｌ”ｈｌ２、ｈ　２１＝　ｈ　２
２とし、ｈ　２１＞　ｈ　＋＋、ｈ２ｚ＞ｈ＋ｚのよう
に選定することによって、上記（１）式を満たすが、主
面Ｐ１側においてｈ　ｒ　ｒ＞　ｈ　２１となる場合で
あっても、主面Ｐ２側において、縦溝３２の深さｈ２２
を増大さ？、横溝２２の深さｈｌ２との差を大きくする
ことによって、上記式（１）を満たすことができる。

このときは、ｈ．≠ｈｌ２、ｈ２＋≠ｈ２２となる。

横溝２１、２２の深さｈ．、ｈｌ２と、縦溝３１、３２
の深さｈ２＋、ｈ２■は、焼結板１の厚みＴに対して、（ｈ　＋＋　＋　ｈ　１２）　／　Ｔ　＝α２（ｈ２１
＋ｈ２２）／Ｔ＝β２としたとき、α２が０．２〜０．３の範囲となり、β２
が０．５程度となるように選定することが望ましい。ま
た横溝２１、２２の開き角θ．、θ１２及び縦溝３１、
３２の開き角度０２ｌ．θ２２は３０度程度が適当であ
る。

次に、製造方法及び製造装置について説明する。第７図
は第４図及び第５図に示した焼結板の製造方法を示して
いる。

まず、第７図（ａ）に示すように、所定の幅、厚みを有
するグリーンシート４を形成する。このグリーンシート
４は、アルミナ、ｕＮ体磁器等の６ｉＩ器粉末もしくは
フエライト粉末等の焼結性粉末と、適当なバインダと、
適量の溶媒とを混練して調整した焼結性ペーストを、ド
クターブレード法、ロールコータ法またはスクリーン印
刷法等の手段でシート化することにより得られる。グリ
ーンシート４は、その表面または内部に、最終製品たる
電子部品の構造に合わせて、電極を有することもある。

次に、第７図（ｂ）に示すように、このグリーンシート
４を焼成する以前に、その厚み方向の両主面ｐ＋　，Ｐ
２に、上型５及び下型６を使用して、分割用の横溝及び
縦溝を形戒する。

第８図は上型５及び下型６の要部における平面拡大図、
第９図は第８図Ａ，−Ａ３線上における断面図、第１０
図は第８図Ａ．−Ａ．線上における断面図である。上型
５及び下型６のそれぞれは、横刃部５１、６１と縦刃部
５２、６２とが格子状に配列されている。横刃部５１、
６１の高さＨ１と縦刃部５２、６２の高さＨ２は、互い
に異なっている。実施例に示す上型５及び下型６は、第
４図及び第５図に示した焼結板を製造するためのもので
あるので、横刃部５１、６１の高さＨ，と、縦刃部５２
、６２の高さＨ２との関係は、Ｈ２＞Ｈｌを満たしてい
る。横刃部５１、６１及び縦刃部５２、６２はクサビ型
となっていて、その開き角θ，１、θ６，、θ，２、θ
６２は約３０度程度に選定されている。

上述の上型５及び６を使用して、第１１図及び第１２図
に示すように、グリーンシート４の主面Ｐ　ｌ　、Ｐ　
２に、横溝２１、２２及び縦溝３１、３２が形成される
。横溝２１、２２の深さｈｌ　Ｉ　％ｈ１２″Ｂ；Ｌび
縦溝３１、３２の深さ１１２１ｘｌ’ｌ２２は、上記式
（１）式を満たすように定める。

次に、焼成することにより、第４図及び第５図に示した
焼結板が得られる。

上述のように、横刃部５１、６１と縦刃部５２、６２と
が格子状に配列されていて、横刃部５１、６１の高さＨ
ｌ　と、縦刃部５２、６２の高さＨ，が互いに異なって
いる型５、６を使用し、型５、６の横刃部５１、６１及
び縦刃部５２、６２をグリーンシート４に押し当てて、
横溝２１、２２及び縦溝３１、３２を同時に形成するの
で、溝形成工程が１工程となり、工程数が減少し、生産
能率が向上すると共に、設備費のコストダウンが達成さ
れる。

しかも、横溝５１、６１と縦溝５２、６２は、型５、６
によって定まる相対的位置関係に固定されていて、位置
ズレを生じる余地がない。このため、最終製品として得
られるチップ部品の歩留が著しく向上する。また、グリ
ーンシート４の位置決めや、型５、６の駆動機構に対す
る精度的要求が緩和され、溝形成工程が簡単化され、設
備費が安価になる。

第１３図及び第１４図は型５、６の別の実施例を示す図
である。この実施例では、横刃部５１、６１及び縦刃部
５２、６２は先端部のみをクサビ状とし、基部はストレ
ート状にしている。この実施例によれば、横溝及び縦溝
の幅を、クサビ状先端部の最大幅に近い値に制限できる
。図示は省略したが、第１図〜第３図に示した焼結板も
同様の製造方法及び製造装置によって製造できる。

〈発明の効果〉以上述べたように、本発明によれば、次のような効果が
得られる。

（ａ）本発明に係る焼結板は、横清と縦溝の深さが互い
に異なっているので、横溝及び縦溝の両者間に分割難易
度差を持たせ、クランクまたは破損等を生じさせること
なく、横溝及び縦溝に沿って、確実に分割し得る焼結板
を提供できる。

（ｂ）本発明に係る焼結板の製造方法は、横刃部と縦刃
部とが格子状に配列されていて、横刃部の高さと、縦刃
部の高さが互いに異なっている型を使用し、型の横刃部
及び縦刃部をグリーンシートに押し当てて、横溝及び縦
溝を同時に形成するので、渚形成工程が１工程となり、
工程数が減少し、生産能率が向上すると共に、設備コス
トダウンが達成される。

（Ｃ）横構と縦溝は、型によって定まる相対的位置関係
に固定されていて、位置ズレを生じる余地がない。この
ため、最終製品として得られるチップ部品の歩留が著し
く向上する。また、グリーンシートの位置決めや、型の
駆動機構に対する精度的要求が緩和され、溝形成工程が
簡単化され、設備費が安価になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る焼結板の平面図、第２図は第１図
Ａ，−Ａ，線上における拡大断面図、第３図は第１図Ａ
２　　Ａ２線上における拡大断面図、第４図及び第５図
は本発明に係る焼結板の更に別の実施例における拡大断
面図、第６図（ａ）、（ｂ）は本発明に係る焼結板の分
割操作を示す図、第７図（ａ）、（ｂ）は第４図及び第
５図に示した焼結板の製造方法を示す図、．第８図は型
の要部における平面拡大図、第９図は第８図Ａ．−Ａ３
線上における断面図、第ｌＯ図は第８図Ａ　４　　Ａ　
＜線上における断面図、第１１図及び第１２図はグリー
ンシートに対する横刃部及び縦刃部の作用を示す図、第
１３図及び第１４図は型の別の実施例を示す要部拡大断
面図である。１・・・焼結板　　２、２１、２２・・・横構３、３１
、３２・・・縦溝４・グリーンシート５・上型６・下型５　１　、６１・横刃部５　２、６２・縦刃部第１図１第６図《０》（ｂ）第７図《０》第１３図第１４図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）厚み方向の両主面の少なくとも一方に、横溝及び
縦溝を格子状に配列して設けた焼結板であって、前記横溝と前記縦溝は、深さが互いに異なつていることを特徴とする焼結板。
（２）焼成前のグリーンシートに対し、その厚み方向の
両主面の少なくとも一方に、横溝及び縦溝を格子状に形
成した後、前記グリーンシートを焼結させる焼結板の製
造方法であって、横刃部と縦刃部とが格子状に配列されていて前記横刃部
の高さと前記縦刃部の高さが互いに異なっている型を使
用し、前記型の前記横刃部及び縦刃部を前記グリーンシ
ートに押し当てて、前記横溝及び前記縦溝を同時に形成
することを特徴とする焼結板の製造方法。
（３）平板状の未焼成焼結板の面上に溝を形成を形成す
るための型を含む装置であって、前記型は、横刃部と縦刃部とが格子状に配列されていて
前記横刃部の高さと前記縦刃部の高さが互いに異なって
いることを特徴とする焼結板製造装置。