JPH03155518A - レーザ光源 - Google Patents

レーザ光源

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JPH03155518A
JPH03155518A JP19115290A JP19115290A JPH03155518A JP H03155518 A JPH03155518 A JP H03155518A JP 19115290 A JP19115290 A JP 19115290A JP 19115290 A JP19115290 A JP 19115290A JP H03155518 A JPH03155518 A JP H03155518A
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beams
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序で本発明を説明する。
A 産業上の利用分野 B 発明の概要 C従来の技術(第7図及び第8図) D 発明が解決しようとする課題(第9図)E 課題を
解決するための手段(第1図及び第2図) F 作用(第1図及び第2図) G 実施例 (G1)第1の実施例(第1図及び第2図)(G2)第
2の実施例(第3図) (G3)第3の実施例(第4図及び第5図)(G4)第
4の実施例(第6図) H発明の効果 A 産業上の利用分野 本発明はレーザ光源に関し、例えば固体レーザを励起す
るレーザ光源に適用して好適なものである。
B 発明の概要 本発明は、レーザ光源において、ビーム形状を整形して
偏光面が直交するようになされた光ビームを偏光ビーム
スプリフタで合成した後、所定の光学系を介して光ファ
イバに入射するようにしたことにより、小さなスポット
径で、パワー密度を向上した合成光を得ることができる
ようにしたものである。
C従来の技術 従来、固体レーザを効率良く励起するために、レーザ光
源を用いるようになされたものがある。
すなわち、第7図に示すように側面励起方式においては
、例えば円柱形状のレーザ媒質(1)の上下端面が光共
振器を構成するようになされ、所定のレーザ光源からそ
の光共振器の軸○と直角に、すなわちレーザ媒質の側面
に励起光L1を入射する。
このようにすれば、当該レーザ媒質(1)に入射する励
起光L1全体の光量を増大し得ることから、全体として
光強度の大きいレーザ光LOを射出し得る。
ところが、側面励起方式においては、スポット径の小さ
なレーザ光LDを得ることが困難な欠点がある。
このためスポット径の小さなレーデ光を得る場合、第8
図に示すようにレーデ媒質(3)の端面から励起光L2
を入射して、レーザ媒質(3)を励起する端面励起方式
が用いられるようになされている。
すなわち、レーザ媒質(3)の、端面の前後にミラー(
4)及び(5)が配置され、全体として当該レーザ媒質
(3ンから射出されるレーデ光LOの光共振器を形成す
るようになされている。
さらに、ミラー(4)は励起光L2を選択的に透過し得
るのに対し、ミラー(5)はレーザ光LOの一部を透過
して残りを反射するようになされ、これによりミラー(
4)を透過してレーザ媒質(3)の端面から励起光L2
を入射すると共に、ミラー(5)を介して光共振器で共
振したレーザ光LDを射出するようになされている。
このようにすれば、励起光L2の入射した領域だけレー
ザ媒質(3)を励起し得、励起された領域からレーザ光
が誘導放射されることから、励起光し2のビーム径を小
型化して、スポット径の小さなレーザ光LDを出力し得
る。
従って、例えばレーザダイオードから出射される光ビー
ムを励起光としてレーザ媒質の端面に入射されることに
よって、レーザ媒質から所望のレーザ光LOを出力し得
る。
D 発明が解決しようとする課題 ところで端面励起方式において、ビーム径が小型で光量
の大きなレーザ光LDを得るためには、ビーム径が小さ
く光量の大きな励起光L2、すなわちパワー密度の大き
な励起光L2を用いてレーデ媒質(3)を励起する必要
がある。
ところが、レーザダイオードにおいては、1〔W〕程度
の光ビームしか得られず、その励起光強度を大きくする
ことが困難な問題があった。
従って端面励起方式に適応する場合、スポット径の小さ
なレーデ光LDを出力し得る反面、レーザ媒質を効率良
く励起してレーザ光LOの光強度を太き(することが困
難になる。
この問題を解決する1つの方法として第9図に示すよう
に、光ファイバのバンドル(7)を用いて励起光を作成
する方法が提案されている(OPTIC3LETTER
3/Vo1.13. No、4/April 1988
.306頁〜308頁、  Fiber−bundle
 coupled、  end−pumped Nd:
YAGlaser)。
すなわちバンドル(7)においては、そのバンドル(7
)を構成する各光ファイバにレーザダイオード(8A)
〜(8N)の光ビームを入射するようになされ、これに
よりレーザダイオード(8A)〜(8N)の光ビームを
このバンドル(7)で集光した後、レンズ(9)及び(
10)を介して励起光L3を作成する。
因にこの場合レーザ媒質(12)においては、バンドル
(7)側の端面に励起光L3を選択的に透過するミラー
面が形成され、これにより当該端面とミラー(5)とで
光共振器を形成するようになされている。
かくしてパントノ喧7)でレーデダイオード(8A〉〜
(8N)の光ビームを集光した分、励起光し3の光量を
増大し得る。
従って、バンドル(7)及び高出力のレーザダイオ−ド
を用いて励起光L3を作成すれば、その分スポット径が
小さく、光強度の大きいレーザ光を射出し得ると考える
ところが、高出力のレーザダイオードにおいては、スト
ライプ幅が約100[μm]と大きい特徴があり、この
ようなレーザダイオードの光ビームを光ファイバに入射
する場合、当該ストライプ幅より径の大きな光ファイバ
を用いる必要があった。
その結果、その分バンドル(7)で作成した励起光し3
のビーム径も大きくなり、光強度の大きい励起光L3を
作成し得る反面、結局励起光し3のスポット径が大きく
なり、パワー密度を向上することが困難な問題があった
従って端面励起方式に適用して、光強度の大きなレーザ
光を射出し得る反面、レーザ光のスポット径が大きくな
ることを避は得なかった。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、小さなス
ポット径で、パワー密度を向上することができるレーザ
光源を提案しようとするものである。
E 課題を解決するための手段 かかる課題を解決するため、本発明においては、所定の
偏光面を有する第1及び第2の光ビームLA及びLBを
射出する第1及び第2の光源(22A) 及び(22B
)  と、第1の光ビームしへのビーム形状を整形する
第1のビーム形状整形手段(28A)  と、第2の光
ビームLBのビーム形状を整形する第2のビーム形状整
形手段(28B>  と、第1のビーム形状整形手段(
28A)  から出力される第1の光ビームLAを受け
ると共に、該第1の光ビームLAに対して90度偏光面
の傾いた状態で第2のビーム形状整形手段(28B)か
ら出力される第2のビームLBを受け、該第1及び第2
の光ビームLA及びLBを合成する偏光ビームスプリッ
タ(32)と、偏光ビームスプリッタ(32)から出力
される合成光LLを集光し、光ファイバ(40A)〜(
4ON)  に導く集光光学系(34)、 (35)、
 (36)とを備えるようにする。
F 作用 かかる本発明によれば、ビーム形状を整形した第1及び
第2のビームLA及びLBを、互いに90度偏光面が異
なる状態で偏光ビームスプリッタ(32)で合成した後
、集光して光ファイバ(40A)〜(4ON)に導くよ
うにすれば、小さなスポット径で、パワー密度を向上し
た合成光を得ることができる。
G 実施例 以下図面について、本発明の実施例を詳述する。
(G1)第1の実施例 第9図との対応部分に同一符号を付して示す第2図は、
本発明を適用したレーザ発振器を示し、(20)はレー
ザ発振器の全体を示し、レーザ光源(21A)〜(21
N)  から射出されるレーデ光を集光して励起光を作
成する。
第1図は本発明の第1の実施例のレーザ光源を示し、レ
ーザ光源(21A)〜(21N)  は、それぞれ1〔
W〕の光ビームLA及びLBを射出するレーザダイオー
ド(22A)及び(22B)  を有し、ストライプの
向きが紙面に平行で、かつ光ビームLA及びLBの光軸
が直交するようにレーザダイオード(22A)及び(2
2B)  を配置するようになされている。
これにより、レーザダイオード(22A)及び(22B
>から射出される光ビームLA及びLBにおいては、矢
印a及びbで示すように偏光面が紙面に平行で、紙面と
平行な方向に約10度、紙面と垂直な方向に約30度の
広がりで発散する楕円のビーム形状で射出されるように
なされている。
そして、それぞれレーザダイオード(22A)及び(2
2B)  の光軸上には、コリメータレンズ(23A)
 及び(23B)  が配置され、光ビームLA及びL
Bを平行光線に変換するようになされている。
さらに、コリメータレンズ(23A)及び(23B) 
 の光軸上には、それぞれガラス基tli (24A)
及び(24B)上にプリズム(25A)及び(25B)
  とプリズム(26A)及び(26B)  とを配置
して構成されたアナモプリズム(28^)及び(28B
)  が配置され、これにより光ビームLA及びLBの
ビーム形状を、扁平な楕円から円形寄りの楕円に整形す
るようになされている。
因に、この実施例においては、アナモプリズム(28A
)及び(28B)  の倍率Aを約2.5に選定して、
光ビームLA及びLBのビーム形状を、扁平な楕円から
円形寄りの楕円に整形することができた。
そして、アナモプリズム(28B)  の光軸上には、
光ビームLBに対して偏光面を45度傾けて172波長
板(30)が配置され、これにより光ビームLBの偏光
面を90度面回転せるようになされている。
かくして、円形寄りの楕円のビーム形状で偏光面を紙面
に垂直にしてなる光ビームL8と、光ビームLBと同様
に円形寄りの楕円のビーム形状で光ビームLBに対して
偏光面及び光軸を直交してなる光ビームLAを得ること
ができる。
そして、アナモプリズム(28A)及び172波長板(
30)の光軸上には、その光軸の交差する位置に偏光ビ
ームスプリッタ(PBS) (32)  が配置され、
光ビームLA及びLBを合成するようになされている。
すなわち、偏光ビームスプリッタ(32)は、p彼を透
過するのに対し、S波を反射する特徴を有し、これによ
り光ビームLAを透過すると共にその光ビームLAに対
して光軸が直交する光ビームLBを90度折り曲げ、光
ビームLA及びLBの光軸を一致させてなる合成光t、
Lを作成するようになされている。
かくして合成光しLにおいては、ビーム形状が円形寄り
の楕円の光ビームLA及び1日の光軸を一致させて合成
したことから、光ビームLA及びLBの光強度に対して
約2倍の光強度を得ることができ、その分、光ビームL
A及びLBに対して、パワー密度を向上することができ
る。
さらに、偏光ビームスプリッタ(32)を用いて、偏光
面が直交する2つの光ビームLA及びLBを合成したこ
とにより、2つの光ビームLA及びLB間の干渉を有効
に回避して合成光LLを合成することができる。
ところで、偏光ビームスプリッタ(32)に偏光面が直
交する2つのレーザ光を入射して合成光を生成する場合
′、予め偏光面が直交する2つのレーザ光が生成した後
、ビーム形状を円形寄りの楕円に整形する方法が考えら
れる。
ところが、アナモプリズム(28A)及び(28B) 
 においては、偏光面に応じて透過率が変化する特徴が
あり、この場合紙面に平行な偏光面に対してほぼ100
〔%1の透過率を有するのに対し、紙面に垂直な偏光面
に対して約10c%〕の損失が発生する。
従って、この実施例のように、ビーム形状を整形した後
、172波長板(30)を介して偏光面を90度面回転
せることにより、レーザダイオード(22A)及び(2
2B)  の光ビームLA及びLBを有効に利用して、
パワー密度20大きい合成光LLを得ることができる。
そしてリレーレンズ(34)及び(35)は、合成光L
Lを平行光線に変換してコリメータレンズ(36)に入
射するようになされ、これにより合成光LLの蹴られを
有効に回避するようになされている。
コリメータレンズ(36)は、入射した合成光LLを集
光して光コネクタ(3T)に導くようになされ、これに
よりこの光コネクタ(37)に接続された光ファイバ(
40A)〜(4ON)  にそれぞれ合成光LLを入射
する。
かくして、リレーレンズ(34)及び(35)とコリメ
ータレンズ(36)で構成された光学系を介して、合成
光LLを光ファイバ(40A)〜(4ON)  に入射
したことにより、径の小さな光ファイバ(40A)〜(
4ON)に合成光LLを効率良く入射することができる
さらに、このとき、アナモプリズム(28A)  及び
(28B>  の倍率Aを2,5に選定して、光ビーム
LA及び1日のビーム形状を扁平な楕円から円形寄りの
楕円に整形したことから、その分光ファイバを(40A
)〜(4ON)  に合成光LLを入射する際に、合成
光LLのスポット形状が小さくなるように集光し得る。
因に、この実施例においては、ストライブ幅200[μ
m]のレーザダイオード(22A)及び(22B) か
ら出射させる光ビームLA及びLBを合成して、合成光
LLをスポット長径200[μm]に集光した後、直径
100[μm]の光ファイバ(40A) 〜(4ON)
  に合成光LLを入射するようになされ、これにより
合成光LLを直径200〔μm1の光ファイバに直接入
射した場合の約4倍の光密度を得るようになされている
かくして、レーザ光源(21A)〜(21N> を介し
て小さなスポット径で、パワー密度を向上した合成光L
Lを得ることができる。
光ファイバ(40A)〜(4ON>  は、バンドルを
構成するようになされ、これにより各レーザ光P、(2
1A)〜(21N)  から出射された合成光LLを集
光して、レーザ媒質(12)を端面励起するようになさ
れている。
かくして、小さなスポット径で、パワー密度を向上した
合成光LLを集光してレーザ媒質(12)を端面励起し
得ることから、その分率さなスポット径で、光強度の大
きなレーザ光LOを射出し得る。
因に、この実施例において、レーザダイオード(22A
)及び(22B)  は、それぞれ所定の偏光面を有す
る第1及び第2の光ビームLA及びLBを射出する第1
及び第2の光源を構成するのに対し、アナモプリズム(
28A)及び(28B)  は、第1及び第2の光ビー
ムLA及びLBのビーム形状を整形する第1及び第2の
ビーム形状整形手段を構成する。
さらに、リレーレンズ(34)、 (35)   コリ
メータレンズ(36)は、偏光ビームスプリッタ(32
)から出力される合成光LLを集光し、光ファイバ(4
0A)〜(4ON)  に導く集光光学系を構成する。
以上の構成によれば、ビーム形状を整形して偏光面が直
交するようになされた光ビームLA及びLBを、偏光ビ
ームスプリッタ(32)で合成した後、所定の光学系を
介して光ファイバに入射したことにより、小さなスポッ
ト径で、パワー密度を向上した合成光LLを得ることが
できる。
従って当該合成光LLを集光して、レーザ媒質(12)
を端面励起することにより、小さなスポット径で、光強
度の大きなレーザ光LOを射出することができる。
(G2)第2の実施例 第1図との対応部分に同一符号を付して示す第3図は、
第2の実施例のレーザ光源を示し、第3図において、(
40)は全体としてレーザ光源を示し、レーザ光R(2
1A)・〜(21N)  に代えて合成光LLを射出す
る。
すなわち、レーザ光源(40)に右いては、ガラス基板
(41)上に、夫々アナモプリズム(28A)、 (2
8B)  を構成するプリズム(25A)、 (25B
)及び(26A)、 (26B)と、172波長板(3
0)と、偏光ビームスプリッタ(32)とを搭載するよ
うになされ、これにより全体の形状を小型化するように
なされている。
さらに、プリズム(26A)、 (26B)、172波
長板(30)及び偏光ビームスプリッタ(32)におい
ては、互いに平行面を形成する入射出面を接着剤で接着
するようになされ、これによりガラス基板(41)を小
型化し、レーザ光源(40)全体として形状を小型化す
るようになされている。
かくしてプリズム(26A)及び(26B)  、1/
2波長tf(30)、偏光ビームスプリッタ(32)を
接着するようにすれば、そのプリズム(26A>及び(
26B) 、1/2波長板(30)、偏光ビームスプリ
ッタ(32)の接着面においては、反射防止コートを省
略し得、その分全体として簡易な構成のレーザ光源(4
0)を得ることができる。
さらに、このようにガラス基板(41)上にプリズム(
25A)、 <25B>、 (26A)及び(26B)
、172波長板(30)と偏光ビームスプリッタ(32
)を搭載して全体を小型化すれば、レーザダイオード(
22A)及び(22B)から光コネクタ(37)に至る
までの光路を短(し得る。
従って、その分光ビームLA及びLBの広がりを有効に
回避し得、リレーレンズ(34)及び(35) (第1
図)を省略しても、合成光LLの蹴られを有効に回避し
て、光コネクタ(37)に合成光LLを集光し得る。
従ってその分さらに一段と簡易かつ小型のレーザ光源(
40)を得ることができる。
かくして、この実施例においては、リレーレンズ(34
)、 (35)  、コリメータレンズ(36)に代え
て光フアイバ結合用の集光レンズ(44)を用いるよう
になされ、これにより合成光LLを光コネクタ(37)
に集光して、簡易かつ小型のレーザ光源(40)を得る
ようになされている。
かくして、この実施例においては、光フアイバ結合用の
集光レンズ(44)が偏光ビームスプリッタ(32)か
ら出力される合成光LLを集光して、光ファイバ(40
A)〜(4ON)  に導く集光光学系を構成する。
第3図の構成によれば、ガラス基板(41)上にプリズ
ム(25A>、 (25B)、 (26A)及び(26
B) 、1/2波長板(30)と偏光ビームスプリッタ
(32)を搭載し、互いに平行面を形成する入射出面を
接着したことにより、第1の実施例の効果に加えて、さ
らに−段と容易かつ小型のレーザ光!(40)を得るこ
とができる。
なお、上述の実施例においては、偏光面が紙面に平行な
光ビームLA及びLBをレーザダイオード(22A)及
び(22B) から射出した後、1/2波長板(30)
で光ビームLBの偏光面を90度回転させる場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、偏光面が紙面に垂
直な光ビームLA及びLBをレーデダイオード(22A
)及び(22B)  から射出した後、光ビームLAの
偏光面の方を1/2波長板で90度回転させるようにし
てもよい。
さらにレーザダイオード(22A)及び(22B>から
偏光面の一致した光ビームLA及びLBを射出する代わ
りに、レーザダイオード(22B>  、アナモプリズ
ム(28B)  を90度傾けて配置し、172波長彼
(30)を省略するようにしてもよい。
(G、)第3の実施例 すなわち、第1図との対応部分に同一符号を付して示す
第4図は、本発明の第3の実施例のレーザ光源を示し、
この第4図では、172波長板(30)を省略し、レー
ザダイオード(22B>  は、第1図とは異なり、矢
印Cに示すように、紙面に垂直な方向に約lO°、紙面
と平行な方向に約30°の広がりで発散する楕円のビー
ム形状のレーザビームを放射するように成されると共に
、アナモプリズム(28B)  が光軸の回りに90°
回転せしめられている。
従って、この場合も、第1図の場合と同様に、レーザダ
イオード(22A) からの光ビームLA(pi光)と
、レーデダイオード(22B) からの光ビームt、e
(p偏光)との偏光面は互いに直交しており、これら光
ビームLASLBは夫々アナモプリズム(28A)。
(28B)  によって、ビーム形状が円形寄りの楕円
ビームに整形された後、偏光ビームスプリッタ(32)
において合成される。従って、第5図に示す如く、光コ
ネクタ(37)に取り付けられた光ファイバの端面上の
光ビームLA、LBの楕円のビームスポットSPa 5
SPb は、その長径方向が略直交していることが分か
る。因に、第1図のレーデ光源では、光コネクタ(37
)に取り付けられた光ファイバの端面上の光ビームLA
、LBの楕円のビームスポット5PaSPb は、その
長径方向が同じ方向と成る。その他の構成は、第1図と
同じである。
この第4図の実施例によれば、第1図の実施例に比し、
光ファイバによるスペックルノイズ(モーダルノイズ)
を低減できると共に、172波長板を不要とするので、
構成が簡単に成ると言う利点がある。
次に、このスペックルノイズ(モーダルノイズ)につい
て説明する。このスペックルノイズ(モーダルノイズ)
σm2は、 σm’ = (PC’/(FC” +2FS2) ’t
((1−P)/P ) / Np と表される。ここで、Fcはファイバ帯域、Fsはレー
ザ線幅、Pはカップリング効率、Npは励起モード数を
示す。従って、第4図の実施例では、第1図の実施例に
比べて、励起モード数Npが増えるので、スペックルノ
イズ(モーダルノイズ)が低減されることに成る。
さらに上述の実施例においては、同一波長の合成光LL
を光ファイバで集光する場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、異なる波長の合成光をレーデ光源で作
成した後、例えばグイクロイックミラーで集光するよう
にしてもよい。
(G、)第4の実施例 すなわち、第6図に示すように、レーザ光源(50)、
 (51)、 (52)においては、それぞれ2つのレ
ーデダイオードから射出される光ビームを合成し、波長
780[nm1. 810[nm]、  830[nm
l  の合成光しLl。
Ll2. Ll3を作成する。
合成光LLI、 Ll2. Ll3 は、ミラー(54
)及びグイクロックミラー(55)、 (56)  を
介−してさらに合成されるようになされ、このとき各合
成光LLI、 Ll2゜Ll3 の光軸が一致するよう
に合成する。
このようにすれば、ビーム径が小さく、従来に比して光
量の大きな合成光LLI、 Ll2. Ll3を合成し
て、1つの光ファイバに導くことができる。
さらに上述の実施例においては、所定のレーザ媒質を励
起する励起光を作成する場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、当該レーザ光源から射出される合成光
をレーザ印刷、レーザ半田、レーザ加工、レーデメス等
に広く適用することができる。
H発明の効果 上述のように本発明によれば、ビーム形状を整形して偏
光面が直交するようになされた光ビームを偏光ビームス
プリッタで合成した後、所定の光学系を介して光ファイ
バに入射させるようにしたので、小さなスポット径で、
パワー密度を向上した合成、光を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例のレーザ光源を示す配置
図、第2図は本発明を適用したレーデ発振器の一例を示
す配置図、第3図は第2の実施例のレーザ光源を示す配
置図、第4図は第3の実施例を示す配置図、第5図は第
3の実施例における光ファイバの端面上の光ビームのス
ポットを示す図、第6図は第4の実施例を示す配置図、
第7図は側面励起法を示す路線図、第8図は端面励起法
を示す路線図、第9図は課題の説明に倶するバンドルを
用いた励起を示す路線図である。 (21A)〜(21N)  はレーザ光源、(22A)
、 (22B)  は夫々レーザダイオード、(23A
)、 (23B)  は夫々コリメータレンズ、(23
A)、 (23B)  はアナモプリズム、(30)は
172波長板、(32)は偏光ビームスプリッタ、(3
4)、 (35)  はリレーレンズ、(36)はコリ
メータレンズ、(37)は光コネクタ、(40A)〜(
4ON)  は光ファイバである。 代  理  人 松  隈  秀  盛

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 所定の偏光面を有する第1及び第2の光ビームを射出す
    る第1及び第2の光源と、 上記第1の光ビームのビーム形状を整形する第1のビー
    ム形状整形手段と、 上記第2の光ビームのビーム形状を整形する第2のビー
    ム形状整形手段と、 上記第1のビーム形状整形手段から出力される上記第1
    の光ビームを受けると共に、該第1の光ビームに対して
    90度偏光面の傾いた状態で上記第2のビーム形状整形
    手段から出力される上記第2の光ビームを受け、該第1
    及び第2の光ビームを合成する偏光ビームスプリッタと
    、 上記偏光ビームスプリッタから出力される合成光を集光
    し、光ファイバに導く集光光学系とを具えることを特徴
    とするレーザ光源。
JP19115290A 1989-08-16 1990-07-19 レーザ光源 Expired - Lifetime JP2956152B2 (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012204760A (ja) * 2011-03-28 2012-10-22 Miyachi Technos Corp レーザ加工用のレーザダイオードの出力モニタ装置およびこれを備えたレーザ加工用のレーザダイオードユニット
JP2015223463A (ja) * 2014-05-30 2015-12-14 ソニー株式会社 照明装置、照明方法及び内視鏡
JP2015223462A (ja) * 2014-05-30 2015-12-14 ソニー株式会社 照明装置、照明方法及び内視鏡
US10842367B2 (en) 2014-05-30 2020-11-24 Sony Corporation Illumination apparatus, method and medical imaging system

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