JPH0315543Y2 - - Google Patents
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- JPH0315543Y2 JPH0315543Y2 JP19950785U JP19950785U JPH0315543Y2 JP H0315543 Y2 JPH0315543 Y2 JP H0315543Y2 JP 19950785 U JP19950785 U JP 19950785U JP 19950785 U JP19950785 U JP 19950785U JP H0315543 Y2 JPH0315543 Y2 JP H0315543Y2
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- arsenic
- reaction tube
- tube
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- vapor deposition
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- Expired
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Landscapes
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は金属砒素を蒸着する装置の改良であつ
て、金属砒素を効率よく蒸着させ析出した金属砒
素を汚染することなく、容易に析出部から取りは
ずし可能にしたものである。
て、金属砒素を効率よく蒸着させ析出した金属砒
素を汚染することなく、容易に析出部から取りは
ずし可能にしたものである。
高純度金属砒素を製造するには精製した塩化砒
素又は無水亜砒酸を水素還元し、あるいは砒化水
素を熱分解して金属砒素を析出せしめるか、また
は精製金属砒素をさらに昇華精製するなどのこと
が行なわれているが、一般に金属砒素蒸気を含ん
だガスの通過する反応管を、蒸着に適した360〜
450℃の温度に維持して蒸着を行なつている。従
来、この反応管への蒸着は、特公昭39−28106号
や、特公昭39−11759号に示されるように直管状
の石英管内壁に析出させるもので、これらは蒸着
物を取り出すために反応管全体を冷却後慎重に取
扱う必要があり、また特公昭45−9247号もので
は、析出部がラツパ状に狭くなつているため多量
の砒素を析出させることができず、また特公昭40
−13486号ではラツパ状に拡がつた部分に析出さ
せるため前記の欠点は除かれるものの、析出物を
テーパー管から取りはずすためには十分冷却後も
きわめて慎重に扱う必要があり、石英管の破損の
おそれも多かつた。
素又は無水亜砒酸を水素還元し、あるいは砒化水
素を熱分解して金属砒素を析出せしめるか、また
は精製金属砒素をさらに昇華精製するなどのこと
が行なわれているが、一般に金属砒素蒸気を含ん
だガスの通過する反応管を、蒸着に適した360〜
450℃の温度に維持して蒸着を行なつている。従
来、この反応管への蒸着は、特公昭39−28106号
や、特公昭39−11759号に示されるように直管状
の石英管内壁に析出させるもので、これらは蒸着
物を取り出すために反応管全体を冷却後慎重に取
扱う必要があり、また特公昭45−9247号もので
は、析出部がラツパ状に狭くなつているため多量
の砒素を析出させることができず、また特公昭40
−13486号ではラツパ状に拡がつた部分に析出さ
せるため前記の欠点は除かれるものの、析出物を
テーパー管から取りはずすためには十分冷却後も
きわめて慎重に扱う必要があり、石英管の破損の
おそれも多かつた。
本考案は前述の欠点を解消し、反応管内に析出
した金属砒素を効率よく蒸着させ、且つ反応管本
体を破損することなく、きわめて簡単に取出すこ
とのできるようにしたものである。
した金属砒素を効率よく蒸着させ、且つ反応管本
体を破損することなく、きわめて簡単に取出すこ
とのできるようにしたものである。
本考案は前記した目的を達成するために砒素蒸
気を含むガスから金属砒素を蒸着させる装置にお
いて、反応管の析出部の入口の内壁にリング状に
突出した仕切り板を設け、該仕切り板に当接して
反応管の析出部内に容易に出し入れ可能なように
反応管内径よりやゝ小さな外径を持つ軸方向に２
つ割りで、且つ長手方向に複数個に分割された蒸
着用内管を装入し、この内管の内面に砒素を蒸着
させるように蒸着装置を構成したものである。
気を含むガスから金属砒素を蒸着させる装置にお
いて、反応管の析出部の入口の内壁にリング状に
突出した仕切り板を設け、該仕切り板に当接して
反応管の析出部内に容易に出し入れ可能なように
反応管内径よりやゝ小さな外径を持つ軸方向に２
つ割りで、且つ長手方向に複数個に分割された蒸
着用内管を装入し、この内管の内面に砒素を蒸着
させるように蒸着装置を構成したものである。
以下本考案の装置の一実施例を図面に従つて説
明する。
明する。
第１図において１は透明石英製反応管、２はこ
の反応管１の入口部に接合された原料供給部で、
この例では注入口３よりAsCl3の液を管内に供給
し、水素供給口４より精製した水素が供給され、
反応管内で気化したAsCl3はH2と反応してAs蒸
気とHCIガスになる。
の反応管１の入口部に接合された原料供給部で、
この例では注入口３よりAsCl3の液を管内に供給
し、水素供給口４より精製した水素が供給され、
反応管内で気化したAsCl3はH2と反応してAs蒸
気とHCIガスになる。
反応管１は電気炉５，６によつて加熱され、５
は高温加熱部、６は低温加熱部で、両加熱部の中
間に水冷ジヤケツト７が備えられていて、反応管
内の雰囲気温度が高温部と低温部と明瞭に区分さ
れやすいようになつている。８は反応管内の析出
部（低温加熱部に相当）入口付近の内壁にリング
状に突出して設けられた仕切り板、９は蒸着用内
管でその外径は反応管内径より若干小さく、その
詳細は例えば第２図ａに示すように上下２つ割り
の半円筒１０，１１からなつており、夫々の接合
部の外縁からはつめ１２が突出して、上下を重ね
るとつめ１２が噛み合つて簡単にはずれないよう
になつている。また上下の接合面に凹凸を設けて
組合せることもできる。また内管９の長さはあま
り長くない寸法となつていて、最も高温部に近い
ものは仕切り板８に直接当るように押込まれ、短
かい内管９が反応管１内で析出部に連続するよう
にセツトされている。１３はフレキシブルダクト
で１４のダストチヤンバーに連絡されて、さらに
排気口を経て排ガス処理系統へ送られる。
は高温加熱部、６は低温加熱部で、両加熱部の中
間に水冷ジヤケツト７が備えられていて、反応管
内の雰囲気温度が高温部と低温部と明瞭に区分さ
れやすいようになつている。８は反応管内の析出
部（低温加熱部に相当）入口付近の内壁にリング
状に突出して設けられた仕切り板、９は蒸着用内
管でその外径は反応管内径より若干小さく、その
詳細は例えば第２図ａに示すように上下２つ割り
の半円筒１０，１１からなつており、夫々の接合
部の外縁からはつめ１２が突出して、上下を重ね
るとつめ１２が噛み合つて簡単にはずれないよう
になつている。また上下の接合面に凹凸を設けて
組合せることもできる。また内管９の長さはあま
り長くない寸法となつていて、最も高温部に近い
ものは仕切り板８に直接当るように押込まれ、短
かい内管９が反応管１内で析出部に連続するよう
にセツトされている。１３はフレキシブルダクト
で１４のダストチヤンバーに連絡されて、さらに
排気口を経て排ガス処理系統へ送られる。
内管の材質としては透明石英、不透明石英の他
パイレツクスガラスも使用することができる。
パイレツクスガラスも使用することができる。
本考案の蒸着装置を使用すれば、例えばAsCl3
と水素とを高温部で反応させて金属砒素蒸気を含
むガスとし、これを反応管の360〜450℃に保持し
た析出部に流すと、反応管内のリング状の仕切り
板より下流側には２つ割りの内管が連続してい
て、且つ仕切り板のリング内径はあまり大きくな
いので、砒素を含んだガスは内管外側と反応管と
の間にまわることなくAsは内管の内面にのみ析
出し、未析出のガスはフレキシブルダクトを経て
温度の低いダストチヤンバーに入り、こゝで無定
形のAsが凝縮してくる。
と水素とを高温部で反応させて金属砒素蒸気を含
むガスとし、これを反応管の360〜450℃に保持し
た析出部に流すと、反応管内のリング状の仕切り
板より下流側には２つ割りの内管が連続してい
て、且つ仕切り板のリング内径はあまり大きくな
いので、砒素を含んだガスは内管外側と反応管と
の間にまわることなくAsは内管の内面にのみ析
出し、未析出のガスはフレキシブルダクトを経て
温度の低いダストチヤンバーに入り、こゝで無定
形のAsが凝縮してくる。
１バツチ操業を終つたら反応管を冷却した後、
フレキシブルダクトを取りはずし反応管内の内管
を引き出すと、長手方向に複数個連続した内管内
に連続してAsが析出しているので、２つ割り内
管を逐次取りはずすと析出した金属砒素を容易に
取出すことができ、内管を損傷するおそれも少な
い。
フレキシブルダクトを取りはずし反応管内の内管
を引き出すと、長手方向に複数個連続した内管内
に連続してAsが析出しているので、２つ割り内
管を逐次取りはずすと析出した金属砒素を容易に
取出すことができ、内管を損傷するおそれも少な
い。
本考案は金属砒素蒸着装置を前記したように構
成してあるので蒸着の効率もよく、蒸着金属の取
出しが極めて容易であり、反応管を被損するおそ
れも少くなり、その有効性は大なるものがある。
成してあるので蒸着の効率もよく、蒸着金属の取
出しが極めて容易であり、反応管を被損するおそ
れも少くなり、その有効性は大なるものがある。
第１図は本考案の金属砒素蒸着装置の一実施例
の概要を示す断面図であり、第２図は蒸着用内管
の一例の斜視図でａは上下の内管を組合せたも
の、ｂは上下の内管を分離した状態を示す。 １……反応管、２……原料供給部、５……高温
加熱部、６……低温加熱部、８……仕切り板、９
……蒸着用内管、１０，１１……半円筒。
の概要を示す断面図であり、第２図は蒸着用内管
の一例の斜視図でａは上下の内管を組合せたも
の、ｂは上下の内管を分離した状態を示す。 １……反応管、２……原料供給部、５……高温
加熱部、６……低温加熱部、８……仕切り板、９
……蒸着用内管、１０，１１……半円筒。
Claims (1)
- 砒素蒸気を含むガスから金属砒素を蒸着させる
装置において、反応管の析出部入口の内壁にリン
グ状に突出した仕切り板を設け、該仕切り板に当
接して反応管の析出部内に容易に出し入れ可能な
外径を持つ軸方向に２つ割りで、且つ長手方向に
複数個に分割された蒸着用内管を装入してなる金
属砒素蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19950785U JPH0315543Y2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19950785U JPH0315543Y2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62110257U JPS62110257U (ja) | 1987-07-14 |
| JPH0315543Y2 true JPH0315543Y2 (ja) | 1991-04-04 |
Family
ID=31161197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19950785U Expired JPH0315543Y2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0315543Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP19950785U patent/JPH0315543Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62110257U (ja) | 1987-07-14 |
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