JPH0315122B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、第一の部材の表面と、その第一の部
材から空間的に近接した少なくともひとつの第二
の導電性部材の表面との間の距離を、動的かつ非
接触に測定する装置および方法に関する。特に、
本発明は、発電機または水力発電機のような回転
機のエアキヤツプを、恒久的かつ比較的簡単な手
法で測定するのに用いて効果のある、微小距離を
動的かつ非接触に測定する装置および方法に関す
るものである。

異常状態においては、発電機のエアギヤツプの
動的測定をするためにどうしても用いなければな
らない精密な手段を考慮して、かかる測定をすれ
ばよいということが当業者にはよく知られてい
る。既知のエアギヤツプ測定方法の多くは、写真
および光学技術を必要とし、それらの技術では、
測定装置を設置するのに比較的広いスペースを必
要としている。このスペースは、通常、発電機を
開放するだけの広さを必要とし、このようなスペ
ース上の要求により、エアギヤツプの測定が散発
的にしかできない。従つて、例えば、発電機の回
転子と固定子との間の接触を避けるのには恒久的
なコントロールが非常に有用であるのにも拘ら
ず、そのようなコントロールが不可能となる。

他の既知のエアギヤツプ測定方法では、渦電流
の測定に基づいたあるいはホール効果に基づいた
動作原理の距離センサを必要としている。そのよ
うなタイプのセンサにおいては、その動作原理に
よつて、磁界の中では自然と乱されてしまう。繰
り返すと、このタイプのセンサを用いては、発電
機の通常動作中にエアギヤツプ測定ができない。
その上回転機のエアギヤツプ中に直接設置するの
には向いていないということは別としてもそのよ
うなセンサの読込み値は、メタルラミネーシヨン
によつて影響を受けて本来の値からは変つてしま
う。

本発明の目的は、上述した種々の欠点を除去し
た、互いに空間的に近接した二つの導電性部材の
表面間の距離を測定する方法および装置を提供す
ることにある。

詳述すれば、本発明は、発電機の回転子と固定
子のように、互いに空間的に近接した二つの部材
を隔てている距離を動的かつ非接触に測定する方
法および装置に関する。ここで、一方の部材は導
電性であるが、他方の部材は必ずしも導電性でな
くてもよい。このような装置および方法は、大き
な変更をすることなく、また、極端に広いスペー
スを必要とせずに恒久的に用いることができる。
特に発電機の場合には、発電機を大幅に変更する
ことなく、また極端に広いスペースを必要とする
ことなく、しかも、強い磁界の中ですら正確でか
つ信頼性を保ちながら、エアギヤツプ内に本発明
装置を恒久的に設置することができる。

本発明による装置および方法により、それらの
利点を通して、エアギヤツプの測定を基にした回
転機のあらゆる状態の研究がし易すくなる。

導電性または非導電性の第一の部材の表面を少
なくともひとつの導電性の第二の部材の表面から
離間させた距離を動的かつ非接触に測定する本発
明装置は、 互いに電気的に絶縁され、平行に重ね合わされ
た二枚のプレートを含み、第一の部材の表面とは
平行となりかつその第一の部材の表面とは電気的
に絶縁されるように、例えば発電機の固定子のよ
うな第一の部材の表面に位置決めされた少なくと
もひとつのセンサと、 センサの二枚のプレートに、５〜100ボルトと
することができる同一の電圧値で好ましくは100
キロヘルツ〜100メガヘルツの間の周波数の高周
波信号を供給する手段と、 発電機の回定子の極でもよい第二の導電性部材
の表面に最つとも近いセンサのプレートと第二の
部材との間で高周波信号により発生する電流であ
つて、第二の部材の表面を、第二の部材に最つと
も近接したセンサのプレートの表面から離間させ
ている距離の逆関数で変化する電流を測定する手
段と、 第一の部材を第二の部材から離間させている距
離の値を測定電流値の関数として決定する処理手
段とを具備したことを特徴とする。

上述したように、本発明に係る装置は、第二の
導電性部材に最つとも近接したセンサのプレート
と第二の部材との間で高周波信号により発生する
電流を測定する手段を有している。このようにし
て測定された電流の強さは次の方程式で与えられ
る。

ｉ＝ωCV ここで、ω＝2π：は出力信号の周波数、 Ｖは、第二の導電性部材の表面に最つとも近接
したセンサのプレートと第二の導電性部材と
の間の電位差、 Ｃは、第二の導電性部材の表面に最つとも近接
したセンサのプレートを第二の導電性部材か
ら離間している空間の容量であり、その容量
は、第二の導電性部材の表面に最つとも近接
したプレートを第二の導電性部材から離間し
ている直線距離に逆比例する。

容量にわかるように、センサに供給される信号
の周波数が高くなればなるほどおよび電圧が高く
なればなるほど、発生電流は大きくなりかつ容易
に検出可能となる。

実際上は、電流を発生させるのに用いられる信
号は100キロヘルツ〜10メガヘルツの周波数を含
むように選定するのが好ましい。その信号の周波
数がこの範囲より低い場合には、容易に測定する
には電流の強さが小さくなりすぎる。また、周波
数帯域が減少するので、信号を動的に測定できな
くなる。その上、発電機の場合には、周波数が低
すぎるとノイズが生ずる。一方、周波数が高す
ぎ、上述した範囲を越えると、高周波で信号を処
理可能とする増幅器がますます複雑になるという
測定上の問題が生じる。更にまた、周波数が高す
ぎると接地インピーダンスが無視できなくなる。

理論上は、センサの二枚のプレートに印加され
る電圧は、強い電流信号を発生するためにはでき
るだけ大きくしなければならない。好ましくは、
電圧を５〜100ボルトの範囲の値に制限する。何
故ならば、100ボルト以上は絶縁の問題が生ずる
惧れがある。

どんな場合では、所定のセンサについては、一
次近似値における検出電流が、第二の導電性部材
に最つとも近接したセンサのプレートを第二の導
電性部材から離間させている距離の逆関数である
ことを、上記の数式は明瞭に示している。

測定における非線形性を考慮するために、セン
サの構成に対してなされる適切な校正により、測
定された電流値の関数として、センサと第二の導
電性部材との間の距離の値を決定できる。この決
定では、センサの各タイプの種々の物理的パラメ
ータを考慮している。電流と距離との関係はコン
ピユータ内に予め定められていて、センサが位置
決めされた第一の部材を第二の部材から離間され
ている距離が、センサにより測定された電流値か
ら容易にわかる。

好ましくは、高周波信号により発生する電流を
測定する手段は、高周波信号を供給する手段と第
二の導電性部材に最つとも近接したセンサのプレ
ートとの間に直列に接続された微小インピーダン
スを有する。絶縁回路はその微小インピーダンス
に接続されて、そのインピーダンスの両端間で高
周波電圧信号を測定するとともに、その測定信号
から測定電流に比例した信号を抽出する。この絶
縁回路は、例えば、すべて直列に接続された、絶
縁トランスと、増幅器と、フイルタと、振幅復調
器とを有している。

上述した点から容易にわかるように、本発明に
係る装置に使用されるセンサの動作方法は距離を
定める二つの導電性表面の種類には関係がない。
本発明に係る装置は従つてラミネーシヨンに影響
されない。

更に、このセンサは二枚の導電性プレートから
成り、二枚のセンサの一方はその他方から絶縁材
により分離されている。そのセンサはできるだけ
小さい容積となるように製造される。これによ
り、回転機のエアギヤツプを測定するために容易
に回転機内に取付けることができる。その構造か
ら、本発明に係る装置内で用いられるセンサを、
既存の回転機に修正を加えることなく取付けるこ
とができる。

事実、本発明に係る装置は発電機に限つて用い
られるものではない。それは、本装置が、理論上
は、センサと他の導電性壁面との間の距離を測定
できるからである。

第一の部材の表面を、その第一の部材に空間的
に近接した第二の導電性部材の表面から離間させ
ている距離を動的かつ非接触に測定する本発明方
法は、 第一の部材上に上述したような少なくともひと
つのセンサを位置決めし、 二枚のプレートに同一電圧で同一の高周波信号
を供給し、 第二の導電性部材の表面に最つとも近接したセ
ンサのプレートと第二の導電性部材との間で高周
波信号によつて発生する電流を測定し、 第一の部材と第二の導電性部材との間に延在す
る距離の値を、測定された電流値の関数として決
定することを特徴とする。

センサとあらゆる種類の導電性部材との間の距
離の測定が可能であるので、本方法もまた発電機
に限定されない。

以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明
する。

第１図を参照するに、符号１は、微小距離を動
的かつ非接触に測定する本発明による装置を示し
ている。その装置１は、第一の部材の表面３と、
第一の部材の表面とは空間的に近接して置かれて
いる少なくともひとつの第二の導電性部材の表面
５との間に延在している距離を測定するようにな
つている。ここで、第一の部材は、導電性あるい
は非導電性部材であり、例えば、発電機の固定子
のようなものである。第二の部材は必ず導電性で
あり、例えば、第一の部材３が固定子である場合
には、発電機の回転子の磁極である。しかしなが
ら、本発明は、一方をセンスしたり、または他方
をセンスするもの、すなわち、固定子を発電子の
回転子から離間させている距離、または、その反
対に、回転子を発電機の固定子から離間させてい
る距離を測定するどのようなものにも用いること
ができるとするのが妥当である。

本発明に係る装置１は少なくともひとつのセン
サ７を有し、そのセンサ７は導電性の平行に設け
られた二枚のプレート９および１１から成つてい
て、その二枚のプレート９および１１は、好適な
絶縁材１３により互いに電気的に絶縁されて重さ
ね合されている。センサ７は第一の部材の表面３
上に位置決めされ、二枚のプレート９および１１
はその表面３と平行であり、しかもその表面３か
らは電気的に絶縁されている。図示したように、
プレート９および１１の電気的な絶縁は絶縁材１
３によりなされている。

表面３上でのセンサ７の位置決めは、簡単な接
着あるいは他の好適な手段によつて行うことがで
きる。発電機のエアギヤツプを測定するために、
発電機にセンサ７を取付ける場合には、例えば第
２図に示すようなくし状の表面を得るために溝１
５を導電性プレート９および１１の表面に刻設
し、それにより、できるだけ渦電流を少なくす
る。また、できるだけ寄生電流を少なくするため
に、一方のプレートを他方のプレートに対して寸
法を増大させることによりプレート９および１１
の表面の寸法を変えてもよいし、あるいは、プレ
ート９および１１を離間している距離を変えても
よい。その距離を小さくすれば寄生電流が少なく
なることがわかる。どのような場合には、測定さ
れる距離の値を正確に測定するためには、各セン
サの線形曲線を測定することもやはり必要であ
る。ここで、測定された距離の値は、各センサの
測定電流信号値の関数として示される。

本発明に係る装置１はまた、センサ７の二つの
プレート９および１１に、同一電圧の同一高周波
信号を供給する手段を有する。それら手段は、５
〜100ボルト、100キロヘルツ〜10メガヘルツの範
囲で動作する高周波信号発生器１７により構成す
ることができる。10ボルト、455キロヘルツでテ
ストしたところ満足できる結果が得られた。

本発明に係る装置１は、更に、第二の導電性部
材の表面５に最つとも近接しているプレート１１
と表面５との間で高周波信号により発生する電流
を絶縁モードで測定する手段１９も有している。

更にまた、本発明に係る装置は、第一の部材の
表面３を第二の導電性部材の表面５から離間させ
ている距離の値を、測定電流値の関数として決定
する処理手段２１をも有している。

上述したように、測定電流値は、第二の導電性
部材の表面５を、その第二の導電性部材に最つと
も近接したセンサ７のプレート１１の表面から離
間させている距離の逆関数として変化する。理論
上、測定電流値は、プレート１１を表面５から離
間させている距離に逆比例すべきものである。し
かしながら、実際上、検出電流値は、多くのパラ
レル効果によつて、第３図に示されるような第一
近似値である曲線ｉ＝（ｖ）となる。処理装置
２１は、表面３および５を離間させている距離ｄ
＋Ｄの値を測定電流の各測定値ｉについて得るた
めに、センタの各タイプの構造によつて決定され
る線形化曲線にそのことを考慮している。

本発明によれば、異なつた導線を介して同一の
パルス発生器１７と電気的に接続されている二つ
の導電性プレート９および１１によりセンサ７が
構成されているということが必須である。上で示
したように、表面５に最つとも近接しているプレ
ート１１が所望の測定を構成するのに専ら用いら
れ、そのプレート１１とパルス発生器１７との間
に直列に電流検出器１９が設けられている。プレ
ート９はプレート１１のマスクとして供される必
須の機能を有している。それにより、第一の部材
が導電性の場合にその第一の部材の表面３とセン
サ７との間で高周波信号によつて発生する電流
が、プレート１１と第二の導電性部材の表面５と
の間に発生する電流の所望の測定を完全に歪めて
しまうということが防止される。そのマスキング
機能により、同一電圧の下で同一の高周波信号を
プレート９およびプレート１１に供給するという
ことが何故必須であるかということが説明でき
る。所望の電気的絶縁が得られる場合には、絶縁
材１３の選択が何故重要でないかがについてもそ
のマスキング機能により説明できる。

第４図に、本発明に係る装置に用い得る測定、
検出および補正回路の構成図を示す。この図にお
いても、高周波信号発生器１７が示されていて、
その信号発生器１７は、第一の部材の表面３と共
に固定コンデンサCを形成するプレート９に高
周波信号を供給する。プレート１１は、第二の導
電性部材の表面５と共に可変コンデンサCvを形
成する。各種のセンサに適した寄生コンデンサ
Cpも示されている。第二の導電性部材の表面５
に最つとも近接したセンサプレート１１と信号発
生器１７との間に直列に取付けられている微小イ
ンピーダンス２３によつて、変流器が効果的に構
成されている。電流検出器１９は同様に低インピ
ーダンス２３に接続されている絶縁回路を有し、
絶縁された状態で、この低インピーダンスの両端
で高周波電圧信号を測定し、そのようにして測定
された信号から、検出電流に比例した信号を抽出
する。この回路は絶縁トランス２５を有し、その
一方の側は低インピーダンスの両端に、他方の側
は可調整利得増幅器２７に接続されている。増幅
器２７は既知のタイプの振幅復調器２９に接続さ
れ、その振幅変調器２９はフイルタ３１を介して
増幅器２７の信号を受信する。振幅復調器２９
は、検出電流に比例した要求信号を出力すると共
に、その要求信号を処理手段２１に送信する。処
理手段２１については後で詳述する。本装置の迅
速かつ簡便な校正を行うため、電流検出器１９が
校正手段３３を組込んでもいる。その校正手段は
３３は、短期間、可変コンデンサCvを復帰可能
である。校正手段３３はスイツチ３５を介して接
続可能であり、所定値の二つのインピーダンス３
７および３９によつて構成することができ、これ
により、二つの基準信号（ハイキヤリブレーシヨ
ンおよびローキヤリブレーシヨン）を得ることが
可能となる。これらインピーダンス３７および３
９は、リレー３８により順次に接続が可能とな
る。各データを読込むのに先立つて、利得やオフ
セツトを簡単に決定できるように増幅器や発電機
のいくつかの変形例を考慮することができるよう
になるという意味で、この校正手段３３を使用す
ることは比較的重要である。

第５図に示されるように、処理手段２１には電
流検出器１９を介してセンサ７から信号が供給さ
れる。

本発明の第一実施例によれば、この処理手段２
１は、センサ７によつて測定された電流信号を要
求されるまで格納するようにされているマイクロ
プロセツサ４３を有する。要求時に、それら電流
信号はマイクロプロセツサ４３からコンピユータ
４５に送出される。そのコンピユータ４５には、
外部記憶装置４７（デイスクまたはその他のも
の）および視覚手段４９（プリンタまたはその他
のもの）が設けられている。複数のセンサ７が用
いられる場合には、複数のセンサ７の各々に対応
したマイクロプロセツサ４３の各々の中に記憶さ
れた信号を個々に処理できるように、コンピユー
タ４５を、各センサ７と対応したマイクロプロセ
ツサ４３に接続することもできる。一例として、
第５図の破線に示すように、他のマイクロプロセ
ツサ４３への可能な接続が図示されている。各測
定電流の強さに対応した距離を得るために、コン
ピユータ内に各センサに対応した線形化データを
定めることは研究室内でなすことができる。

上に示したように、増幅器および高周波信号発
生器の利得およびオフセツトの変化を考慮に入れ
るために、各データの読込み以前に校正をするこ
とが必要である。

本発明の他の実施例によれば、処理手段２１が
アラーム回路５１を有していて、そのアラーム回
路はそれ単独でも、あるいは上述した回路と共に
でも用いることができる。この回路５１を設ける
ことにより、測定電流の値が予め定めた臨界距離
と等しくなつた場合にすぐにアラーム信号を付与
することができるという利点が得られる。アラー
ム回路は容易に恒久的に接続可能であり、そのア
ラーム回路の使用は、発電機または他の回転機を
連続的におよび恒久的にコントロールする場合に
主に効果がある。

〈一例〉 発電機のエアギヤツプを測定する本発明に従つ
た装置のプロトタイプは発明者等によつて完成さ
れてテストされた。そのために、くし状型プレー
トセンサが作成され、発電機の回転子を分解する
ことなくその固定子に接着された。このようにし
て取付けられたセンサの仕様およびテストが実行
された種々の条件は下記の通りである。

センサの寸法 ｈ＝200mm ｌ＝25mm ｄ＝１mm 最高温度 125℃ サンプリングの割合 １秒間に約5500サンプル
（一磁極当り約47サンプル、発電周波数60
キロヘルツ） 読込値の記憶 （約30000サンプル） 第一のテストモード 全サンプルの記憶（約650
磁極） 第二のテストモード 各磁極の最小エアギヤツプ
の記憶（約30000の読込み） このように実行されたテストにより、種々の動
作条件下での４ミリメートル〜25ミリメートルの
範囲におけるフルスケールで１％の全体精度を有
する測定が行なわれた。この点において、これら
種々の動作条件下で得られた結果を、回転子上の
同一の位置で正確にサンプリングを開始できるよ
うにした同期ボツクスを使用することにより、ひ
とつのテストから他のテストまで直接に比較し
た。このようにして実行したテストにより、発電
機における磁界や加速等のようなどのような乱れ
によつても測定が影響を受けなかつたことがわか
つた。

発明者等の結果を第６図に示す。この場合、発
明者等は、固定子上の一点に対する複数の磁極の
形状に注意した。第７図の曲線も同様に発明者等
の結果を示す。この曲線は、被試験機の固定子を
回転子の74の磁極から離間している最小距離を示
している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る装置の原理を示す構成
図、第２図は、発電機のエアギヤツプを測定する
ための、本発明に従つて用いられるセンサの表面
を示す平面図、第３図は、センサを、それと対向
する導電性プレートから離間させている距離の関
数として測定される電流の値を示す曲線の図、第
４図は、本発明の構成の中で用いられる、測定、
検出および校正の回路を示す回路図、第５図は、
本発明に係る装置の処理手段を示すブロツク図、
第６図は、発電機の固定子上のポイントに関す
る、発電機の回転子のいくつかの磁極の形状の線
図、第７図は、発電機の固定子上のポイントに関
する、回転子の各磁極の最小距離を示す線図であ
る。 ３，５……第１及び第２の部材、７……セン
サ、９，１１……導電性のプレート、１３……絶
縁材、１５……溝、１７……高周波信号発生器、
１９……電流検出器、２１……処理手段、２３…
…低インピダンス。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 第一の部材の表面と、該第一の部材と空間的
   に近接した少なくともひとつの導電性の第二の部
   材の表面との離間距離を動的かつ非接触に測定す
   る微小距離測定装置において、 互いに電気的に絶縁され、平行に重ね合わされ
   た二枚のプレートを含み、該二枚のプレートが、
   前記第一の部材の表面と電気的に絶縁され、か
   つ、当該第一の部材の表面とは平行となるように
   してその第一の部材の表面上に位置決めされた少
   なくともひとつのセンサと、 前記センサの二枚のプレートに、同一電圧で同
   一の高周波信号を供給する第一の手段と、 前記第二の部材の表面に最つとも近接した前記
   センサのプレートと前記第二の部材との間で前記
   高周波信号により発生する電流であつて、前記第
   二の部材の表面と、当該第二の部材に最とも近接
   した前記センサのプレートとの表面の離間距離の
   逆関数で変化する電流を測定する第二の手段と、 測定された電流値の関数として、前記第一の部
   材と前記第二の部材との離間距離の値を決定する
   処理手段とを具備したことを特徴とする微小距離
   測定装置。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記センサに供給される高周波信号は100キ
   ロヘルツ〜10メガヘルツの間の周波数であること
   を特徴とする微小距離測定装置。 ３ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記二枚のプレートに印加される電圧は５〜
   100ボルトの間の値であることを特徴とする微小
   距離測定装置。 ４ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記第二の手段は、 前記第二の部材に最つとも近接した前記センサ
   のプレートと前記第一の手段との間に直列に接続
   された低インピーダンスと、 前記低インピーダンスに接続され、絶縁状態
   で、前記低インピーダンスの両端子における高周
   波電圧信号を測定するとともに、その測定された
   信号から検出された電流に比例した信号を抽出す
   る絶縁回路とを有することを特徴とする微小距離
   測定装置。 ５ 特許請求の範囲第４項に記載の装置におい
   て、前記絶縁回路は、その一方の側が前記低イン
   ピーダンスの両端子に接続され、他方の側が増幅
   器に接続された絶縁トランスと、振幅復調器とを
   有することを特徴とする微小距離測定装置。 ６ 特許請求の範囲第５項に記載の装置におい
   て、前記増幅器は、可調整利得増幅器であり、該
   増幅器と前記振幅復調器との間にフイルタが設け
   られたことを特徴とする微小距離測定装置。 ７ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記処理手段は、前記センサの種々の物理的
   パラメータの関数として予めプログラムされたコ
   ンピュータを有し、そのコンピユータは、前記セ
   ンサに適した寄生効果であつて、測定された電流
   信号の値に影響を与える寄生効果を考慮しなが
   ら、前記センサの測定電流信号の値に対応した実
   距離を決定することを特徴とする微小距離測定装
   置。 ８ 特許請求の範囲第７項に記載の装置におい
   て、前記処理手段は、前記第二の手段と前記コン
   ピユータとの間に接続されたマイクロプロセツサ
   を有し、そのマイクロプロセツサは、測定された
   電流信号が前記マイクロプロセツサに供給される
   までその電流信号を格納することを特徴とする微
   小距離測定装置。 ９ 特許請求の範囲第７項に記載の装置におい
   て、前記処理手段は、前記コンピユータにより決
   定された値を格納する手段と、その決定された値
   を視覚化する手段とを有することを特徴とする微
   小距離測定装置。 １０ 特許請求の範囲第８項に記載の装置におい
   て、前記処理手段はアラーム回路を有し、そのア
   ラーム回路は、前記センサと対応したマイクロプ
   ロセツサと並列に、各センサの前記第二の手段と
   接続されて、測定電流が予め定めた臨界値と一致
   した場合にアラーム信号を直ぐに付与することを
   特徴とする微小距離測定装置。 １１ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記処理手段はアラーム回路を有し、測定電
   流が予め定めた臨界値と一致した場合にアラーム
   信号を直ぐに付与することを特徴とする微小距離
   測定装置。 １２ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記センサをひとつだけ設けたことを特徴と
   する微小距離測定装置。 １３ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、前記センサを少なくとも二つ設け、その二つ
   のセンサは、前記第一の導電性部材上に、互いに
   間〓をおいて設けられたことを特徴とする微小距
   離測定装置。 １４ 特許請求の範囲第４項、第８項および第１
   １項のうちのいずれか一項に記載の装置におい
   て、前記第一および第二の導電性部材は発電機の
   回転子および固定子であり、測定距離は前記発電
   機のエアギヤツプの距離であり、前記センサの二
   枚のプレートの表面には溝が刻設されて渦電流の
   発生を減少するくし型表面を得ることを特徴とす
   る微小距離測定装置。 １５ 特許請求の範囲第４項、第１０項および第
   １１項のうちのいずれか一項に記載の装置におい
   て、前記第一および第二の導電性部材は発電機の
   回転子および固定子であり、測定距離は前記発電
   機のエアギヤツプであり、前記高周波信号は、ピ
   ークピーク値10ボルト、周波数455キロヘルツで
   あることを特徴とする微小距離測定装置。 １６ 特許請求の範囲第４項〜第６項のいずれか
   の項に記載の装置において、前記コンピユータに
   基準信号を供給する校正手段を更に有することを
   特徴とする微小距離測定装置。 １７ 第一の部材の表面と、該第一の部材と空間
   的に近接した少なくともひとつの導電性の第二の
   部材の表面との離間距離を動的かつ非接触に測定
   するにあたり、 互いに電気的に絶縁され、平行に重ね合わされ
   た二枚のプレートを含む少なくともひとつのセン
   サを、当該二枚のプレートが、前記第一の部材の
   表面とは電気的に絶縁され、かつ、当該第一の部
   材の表面とは平行となるようにしてその第一の部
   材の表面上に位置決めし、 前記センサの二枚のプレートに、同一電圧で同
   一高周波信号を供給し、 前記第二の部材の表面に最つとも近接した前記
   センサのプレートと前記第二の部材との間で前記
   高周波信号により発生する電流であつて、前記第
   二の部材の表面と、当該第二の部材に最とも近接
   した前記センサのプレートの表面との離間距離の
   逆関数で変化する電流を測定し、 測定された電流値の関数として、前記第一の部
   材と前記第二の部材との離間距離の値を決定する
   ことを特徴とする微小距離測定方法。 １８ 特許請求の範囲第１７項に記載の方法にお
   いて、前記二枚のプレートに供給される高周波信
   号は、５〜100ボルトの電圧下で100キロヘルツ〜
   10メガヘルツの間の周波数であることを特徴とす
   る微小距離測定方法。 １９ 特許請求の範囲第１７項に記載の方法にお
   いて、高周波信号を出力する手段と前記第二の部
   材に最つとも近接したセンサのプレートとの間に
   直列に接続された低インピーダンスの両端子にお
   いて絶縁状態で高周波信号を測定し、そのように
   して測定された信号から、検出された電流に比例
   した信号を抽出することにより電流測定を行うよ
   うにすることを特徴とする微小距離測定方法。 ２０ 特許請求の範囲第１７項に記載の方法にお
   いて、前記センサの種々の物理的パラメータの関
   数として予めプログラムされたコンピユータによ
   り、前記第一および第二の部材を離間させている
   距離の値を測定電流値の関数として決定して、前
   記センサに適した寄生効果であつて、測定された
   電流信号の値に影響を与える寄生効果を考慮しな
   がら、前記センサにより測定された電流信号の値
   に対応した実距離の値を決定することを特徴とす
   る微小距離測定方法。 ２１ 特許請求の範囲第１７項に記載の方法にお
   いて、各電流測定に先立つて、そのコンピユータ
   に接続された校正手段により測定装置を校正する
   手順を付加したことを特徴とする微小距離測定方
   法。 ２２ 特許請求の範囲第１７項に記載の方法にお
   いて、前記第一および第二の部材は発電機の固定
   子および回転子であり、前記発電機のエアギヤツ
   プの距離を測定し、前記センサのプレートの表面
   には溝が刻設されて渦電流の発生を減少すること
   を特徴とする微小距離測定方法。 ２３ 特許請求の範囲第１７項に記載の方法にお
   いて、前記第一および第二の部材は発電機の固定
   子および回転子であり、前記発電機のエアギヤツ
   プの距離を測定し、ピークピーク値10ボルトで周
   波数455キロヘルツの高周波信号を用いることを
   特徴とする微小距離測定方法。