JPH03147363A - 半導体記憶回路装置 - Google Patents
半導体記憶回路装置Info
- Publication number
- JPH03147363A JPH03147363A JP1286213A JP28621389A JPH03147363A JP H03147363 A JPH03147363 A JP H03147363A JP 1286213 A JP1286213 A JP 1286213A JP 28621389 A JP28621389 A JP 28621389A JP H03147363 A JPH03147363 A JP H03147363A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- memory cell
- cell array
- circuit device
- digit lines
- broader
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 8
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 7
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体記憶回路装置に関し特に複数のディジッ
ト線対毎にメモリセル・アレイを複数個隣接して配置し
た半導体記憶回路装置に関する。
ト線対毎にメモリセル・アレイを複数個隣接して配置し
た半導体記憶回路装置に関する。
従来、この種の半導体記憶回路装置の不良解析について
第2図(a)を参照して説明する。
第2図(a)を参照して説明する。
図において不良番地をさがす場合、不良箇所がどのブロ
ックのメモリセル・アレイでさらにそのメモリセル・ア
レイの何番目のセルかを数えなければならない。第2図
(b)は第2図(a)のメモリセル・アレイ部の部分拡
大図である。
ックのメモリセル・アレイでさらにそのメモリセル・ア
レイの何番目のセルかを数えなければならない。第2図
(b)は第2図(a)のメモリセル・アレイ部の部分拡
大図である。
メモリセル・アレイ部だけを見た場合にはメモリセル・
アレイMAL、MA2.・・・のさかいを記すものがな
いので何番目のメモリセル・アレイか計算をしてから不
良番地を数えてさがしていた。
アレイMAL、MA2.・・・のさかいを記すものがな
いので何番目のメモリセル・アレイか計算をしてから不
良番地を数えてさがしていた。
上述した従来の半導体記憶回路装置は、各メモリセル・
アレイ間の境界が外観上不明であるので、不良解析にお
いて、不良箇所を見つけるのにカラム方向に数えて求め
ていたので時間がかかり、その上数え誤りを起したりす
る為に見つけにくいという欠点がある。
アレイ間の境界が外観上不明であるので、不良解析にお
いて、不良箇所を見つけるのにカラム方向に数えて求め
ていたので時間がかかり、その上数え誤りを起したりす
る為に見つけにくいという欠点がある。
本発明は、複数のディジット線対毎にメモリセル・アレ
イを複数個隣接して配置した半導体記憶回路装置におい
て、前記各メモリセル・アレイの最外辺のディジット線
対の少なくとも一対が他のものより幅の広い配線層で形
成されているというものである、 「実施例〕 次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
イを複数個隣接して配置した半導体記憶回路装置におい
て、前記各メモリセル・アレイの最外辺のディジット線
対の少なくとも一対が他のものより幅の広い配線層で形
成されているというものである、 「実施例〕 次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の第1の実施例を示ずメモリセル・アレ
イ部の平面図である。
イ部の平面図である。
メモリセル・アレイMAI、・・・の右辺のディジット
線対Dn、D−n−が他のディジット線対に比べて幅の
広い(約2倍)配線層で形成されている。
線対Dn、D−n−が他のディジット線対に比べて幅の
広い(約2倍)配線層で形成されている。
各メモリセル・アレイMA、・・・はそれぞれ別々にI
10回路に接続されている。I10回路とメモリセル・
アレイとは1対1に対応しているので、メモリセル・ア
レイの場所が判ればよいのであり、それには幅の広いデ
ィジット線対が目印となって判別が簡単にできる。
10回路に接続されている。I10回路とメモリセル・
アレイとは1対1に対応しているので、メモリセル・ア
レイの場所が判ればよいのであり、それには幅の広いデ
ィジット線対が目印となって判別が簡単にできる。
第3図は本発明の第2の実施例を示すメモリセル・アレ
イ部の平面図であり、各メモリセル・アレイの両側のデ
ィジット線対り、、D、−及びD nDnの幅を広くし
である。境界部分に幅の広いものが多数集まるのでより
一層判別が簡単にできるという利点がある。
イ部の平面図であり、各メモリセル・アレイの両側のデ
ィジット線対り、、D、−及びD nDnの幅を広くし
である。境界部分に幅の広いものが多数集まるのでより
一層判別が簡単にできるという利点がある。
以上説明した様に本発明はメモリセル・アレイの境界部
に外観上(顕微鏡による場合も含め)の目印があるので
不良箇所を早期に判別できる為、不良解析における作業
能率向上という大きな効果が得られる。
に外観上(顕微鏡による場合も含め)の目印があるので
不良箇所を早期に判別できる為、不良解析における作業
能率向上という大きな効果が得られる。
第1図は本発明の一実施例のメモリセル・アレイ部を示
す平面図、第2図(a)、()))はそれぞれ従来例を
示す平面図及びメモリセル・アレイ部の平面図、第3図
は本発明の第2の実施例のメモリセル・アレイ部を示す
平面図である。 1・・・ロウデコーダ、2−1.2−2・・・カラムデ
コーダ、D、、D、、・・・、Dn、Dn・・・ディジ
ット線対、MA 1 、・・・、MA8・・・メモリセ
ル・アレイ。
す平面図、第2図(a)、()))はそれぞれ従来例を
示す平面図及びメモリセル・アレイ部の平面図、第3図
は本発明の第2の実施例のメモリセル・アレイ部を示す
平面図である。 1・・・ロウデコーダ、2−1.2−2・・・カラムデ
コーダ、D、、D、、・・・、Dn、Dn・・・ディジ
ット線対、MA 1 、・・・、MA8・・・メモリセ
ル・アレイ。
Claims (1)
- 複数のディジット線対毎にメモリセル・アレイを複数個
隣接して配置した半導体記憶回路装置において、前記各
メモリセル・アレイの最外辺のディジット線対の少なく
とも一対が他のものより幅の広い配線層で形成されてい
ることを特徴とする半導体記憶回路装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1286213A JPH03147363A (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | 半導体記憶回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1286213A JPH03147363A (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | 半導体記憶回路装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03147363A true JPH03147363A (ja) | 1991-06-24 |
Family
ID=17701439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1286213A Pending JPH03147363A (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | 半導体記憶回路装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03147363A (ja) |
-
1989
- 1989-11-02 JP JP1286213A patent/JPH03147363A/ja active Pending
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