JPH03132602A - 色分解用回折格子 - Google Patents
色分解用回折格子Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、色分解用回折格子に関する。
〈従来の技術〉
色分解素子として、例えば特公昭６１−４５２１０号公
報に示されるような回折格子がある。
報に示されるような回折格子がある。
この回折格子は、第２図に示すように、ガラス板等の透
明板の厚さをその板面上の一方向に沿って繰り返し階段
状に変化させ、この階段状の変化を、ある選択された波
長の整数倍の光路差が生じるように構成したもので、例
えば繰り返し３段に変化させて、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、
Ｂ（青）の色成分像を形成するものである。
明板の厚さをその板面上の一方向に沿って繰り返し階段
状に変化させ、この階段状の変化を、ある選択された波
長の整数倍の光路差が生じるように構成したもので、例
えば繰り返し３段に変化させて、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、
Ｂ（青）の色成分像を形成するものである。
これにより、例えば第３図にカラー画像のライン読取り
装置における使用例を示すごとく、原稿１上の１ライン
のカラー画像をレンズ２．スリット３．レンズ４を介し
て回折格子５に導光すれば、回折格子５により、ＲＧＢ
に色分解して、３列に配置した各ラインセンサ６に読取
らせることができる。
装置における使用例を示すごとく、原稿１上の１ライン
のカラー画像をレンズ２．スリット３．レンズ４を介し
て回折格子５に導光すれば、回折格子５により、ＲＧＢ
に色分解して、３列に配置した各ラインセンサ６に読取
らせることができる。
ところで、従来の回折格子は、一般に、ガラス板をエツ
チングすることにより形成されており、以下にその製造
プロセスを示す（第４図参照）。
チングすることにより形成されており、以下にその製造
プロセスを示す（第４図参照）。
■ ガラス板１０上に第１のレジストパターン１１を形
成する。
成する。
■ エツチングを施して、第１のレジストパターン１１
により覆われていないガラスＦｉｌＯの表面を一定の深
さに食刻する。
により覆われていないガラスＦｉｌＯの表面を一定の深
さに食刻する。
■ 第１のレジストパターン１１を除去する。
■ 第２のレジストパターン１２を形成する。
■ エツチングを施して、第２のレジストパターン１２
により覆われていない前回エツチングにより食刻した部
分の一部を更に一定の深さに食刻する。
により覆われていない前回エツチングにより食刻した部
分の一部を更に一定の深さに食刻する。
■ 第２のレジストパターン１２を除去する。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、このような製造方法では、一定のエツチ
ング深さを得るためにエツチング時間を制御するが、エ
ツチング速度を各部で均一にすることが難しく、エツチ
ング深さにバラツキを生じてしまい、回折格子における
階段の高さを素子内あるいは素子間で均一かつ精度よく
作成することが難しいという問題点があった。
ング深さを得るためにエツチング時間を制御するが、エ
ツチング速度を各部で均一にすることが難しく、エツチ
ング深さにバラツキを生じてしまい、回折格子における
階段の高さを素子内あるいは素子間で均一かつ精度よく
作成することが難しいという問題点があった。
本発明は、このよう・な従来の問題点に鑑みてなされた
もので、階段の高さを均一かつ精度よくすることが製造
上容易な構造の色分解用回折格子を提供することを目的
とする。
もので、階段の高さを均一かつ精度よくすることが製造
上容易な構造の色分解用回折格子を提供することを目的
とする。
〈課題を解決するための手段〉
このため、本発明は、基板上に互、いに異なった材料か
らなる複数層の膜を形成し、これらの複数層の膜の一部
を順次エツチングすることにより階段状に形成して、色
分解用回折格子を構成したものである。
らなる複数層の膜を形成し、これらの複数層の膜の一部
を順次エツチングすることにより階段状に形成して、色
分解用回折格子を構成したものである。
〈作用〉
すなわち、複数層の膜を順にエツチングして回折格子を
形成するが、複数層の膜を互いにエツチングの選択比が
高い材料で組合わせることにより、エツチング深さを膜
厚分に容易に規制でき、階段の高さを膜厚により決める
ことができる従って、素子内、素子間で階段の高さが一
定になる。
形成するが、複数層の膜を互いにエツチングの選択比が
高い材料で組合わせることにより、エツチング深さを膜
厚分に容易に規制でき、階段の高さを膜厚により決める
ことができる従って、素子内、素子間で階段の高さが一
定になる。
〈実施例〉
以下に本発明の実施例を第１図に基づいて説明する。
透明板の基板として、ガラス基板を使用し、２層の膜を
Ｓ Ｌ Ｎ４ 、 Ｓ ｉ Ｏｚの組合わせにした場
合の製造プロセスを以下に示す。
Ｓ Ｌ Ｎ４ 、 Ｓ ｉ Ｏｚの組合わせにした場
合の製造プロセスを以下に示す。
（ａ） 膜形成
ガラス基板２０上に、５ｉｒＮ４膜２１，５ｉｎ２膜２
２を順に積層する。これは、例えばスパッタ法。
２を順に積層する。これは、例えばスパッタ法。
真空蒸着法による。
（ｂ）ＳｉＯ□膜のバターニング
Ｓｉｎ、膜２２上にレジストパターンを形成し、ＳｉＯ
□用のエツチング液（例えばフッ酸とフッ化アンモニウ
ムの混合液）を用いたエツチングにより、ＳｊＯ□膜２
２の一部をその膜厚の深さまで食刻する。この後、レジ
ストを剥離する。
□用のエツチング液（例えばフッ酸とフッ化アンモニウ
ムの混合液）を用いたエツチングにより、ＳｊＯ□膜２
２の一部をその膜厚の深さまで食刻する。この後、レジ
ストを剥離する。
（Ｃ）Ｓｉ、Ｎ、膜のバターニング
Ｓｉ、Ｎ４膜２１及びＳｉＯ□膜２２上２２上ストパタ
ーンを形成し、ドライエツチングにより、Ｓｉ、Ｎ、膜
２１の一部をその膜厚の深さまで食刻する。この後、レ
ジストを剥離する。
ーンを形成し、ドライエツチングにより、Ｓｉ、Ｎ、膜
２１の一部をその膜厚の深さまで食刻する。この後、レ
ジストを剥離する。
従って、１回目のエツチングは５ｉＯｚ膜２２の膜厚分
、２回目のエツチングは５ｉｚＮ４膜２１の膜厚分につ
いて行えばよく、これらの管理はエツチング方法の選択
により容易であるから、膜厚により階段の高さを決める
ことができ、階段の高さが一定になる。
、２回目のエツチングは５ｉｚＮ４膜２１の膜厚分につ
いて行えばよく、これらの管理はエツチング方法の選択
により容易であるから、膜厚により階段の高さを決める
ことができ、階段の高さが一定になる。
尚、透明板の基板としては、ガラス基板の他、石英、ア
クリル樹脂等を使用することもできる。
クリル樹脂等を使用することもできる。
また、複数層の膜としては、前記の例に限らず、エツチ
ング液に対する腐食性が異なるものであれば、各種のも
のを使用できる。
ング液に対する腐食性が異なるものであれば、各種のも
のを使用できる。
〈発明の効果〉
以上説明したように本発明によれば、色分解用回折格子
における階段の高さを均一かつ精度よくすることが製造
上容易となり、色分解性能が大幅に向上するという効果
が得られる。
における階段の高さを均一かつ精度よくすることが製造
上容易となり、色分解性能が大幅に向上するという効果
が得られる。
第１図は本発明の一実施例として色分解用回折格子の製
造プロセスを示す図、第２図は回折格子の形状を示す図
、第３図は回折格子の使用例を示す図、第４図は従来の
回折格子の製造プロセスを示す図である。 ２０・・・ガラス基板 ２１・・・Ｓｉ３Ｎ４膜
２２・・・ＳｉＯ□膜
造プロセスを示す図、第２図は回折格子の形状を示す図
、第３図は回折格子の使用例を示す図、第４図は従来の
回折格子の製造プロセスを示す図である。 ２０・・・ガラス基板 ２１・・・Ｓｉ３Ｎ４膜
２２・・・ＳｉＯ□膜
Claims (1)
- 透明板の厚さをその板面上の一方向に沿って繰り返し
階段状に変化させてなる色分解用回折格子であって、基
板上に互いに異なった材料からなる複数層の膜を形成し
、これらの複数層の膜の一部を順次エッチングすること
により階段状に形成したことを特徴とする色分解用回折
格子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1269208A JPH03132602A (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | 色分解用回折格子 |
| EP19900311350 EP0424110A3 (en) | 1989-10-18 | 1990-10-17 | Diffraction grating for colour separation and method for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1269208A JPH03132602A (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | 色分解用回折格子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03132602A true JPH03132602A (ja) | 1991-06-06 |
Family
ID=17469179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1269208A Pending JPH03132602A (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | 色分解用回折格子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0424110A3 (ja) |
| JP (1) | JPH03132602A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0749419A (ja) * | 1993-01-28 | 1995-02-21 | Gold Star Co Ltd | ホログラム光学素子の製造方法 |
| FR2716009A1 (fr) * | 1994-02-08 | 1995-08-11 | Bertin & Cie | Procédé de réalisation d'un filtre optique à réjection de bandes dans l'infrarouge et filtre optique obtenu par ce procédé. |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4029912A1 (de) * | 1990-09-21 | 1992-03-26 | Philips Patentverwaltung | Verfahren zur bildung mindestens eines grabens in einer substratschicht |
| DE4338969C2 (de) * | 1993-06-18 | 1996-09-19 | Schott Glaswerke | Verfahren zur Herstellung anorganischer diffraktiver Elemente und Verwendung derselben |
| DE19502727A1 (de) * | 1995-01-28 | 1996-08-01 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Phasengitter |
| JP3437517B2 (ja) * | 1999-02-16 | 2003-08-18 | キヤノン株式会社 | 二次元位相型光学素子の作製方法 |
| CN116047987B (zh) * | 2023-03-31 | 2023-06-16 | 福建天甫电子材料有限公司 | 用于电子级缓冲氧化物蚀刻液生产的智能控制系统 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1141373A1 (ru) * | 1983-07-25 | 1985-02-23 | Предприятие П/Я Г-4671 | Способ изготовлени рельефных голограмм со ступенчатым профилем полос |
| US4888260A (en) * | 1987-08-10 | 1989-12-19 | Polaroid Corporation | Volume phase reflection holograms and methods for fabricating them |
-
1989
- 1989-10-18 JP JP1269208A patent/JPH03132602A/ja active Pending
-
1990
- 1990-10-17 EP EP19900311350 patent/EP0424110A3/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0749419A (ja) * | 1993-01-28 | 1995-02-21 | Gold Star Co Ltd | ホログラム光学素子の製造方法 |
| FR2716009A1 (fr) * | 1994-02-08 | 1995-08-11 | Bertin & Cie | Procédé de réalisation d'un filtre optique à réjection de bandes dans l'infrarouge et filtre optique obtenu par ce procédé. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0424110A2 (en) | 1991-04-24 |
| EP0424110A3 (en) | 1991-12-27 |
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