JPH03131503A - Hc1―含有煙道ガスから純粋な塩酸を回収する方法 - Google Patents
Hc1―含有煙道ガスから純粋な塩酸を回収する方法Info
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- JPH03131503A JPH03131503A JP2249027A JP24902790A JPH03131503A JP H03131503 A JPH03131503 A JP H03131503A JP 2249027 A JP2249027 A JP 2249027A JP 24902790 A JP24902790 A JP 24902790A JP H03131503 A JPH03131503 A JP H03131503A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B7/00—Halogens; Halogen acids
- C01B7/01—Chlorine; Hydrogen chloride
- C01B7/07—Purification ; Separation
- C01B7/0706—Purification ; Separation of hydrogen chloride
- C01B7/0712—Purification ; Separation of hydrogen chloride by distillation
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Chimneys And Flues (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、1fcI−含有煙道ガスから純粋な塩酸を回
収する方法に関する。
収する方法に関する。
(従来技術)
数多(の塩素化反応において残留物が生じるが、これは
、例えば塩化ビニル・塩素化された炭化水素の製造にお
いて焼却しなければならない。これらの残留物中、時に
は塩素含有量が50重量%以上に達する。さらに、残留
物は、焼却における水生成を極少にするためにほとんど
または全く水素を含んでいない。この場合、焼却におい
て適したプロセスの条件により、lIc1ガスを回収す
ることが可能である。上述プロセスは、濃塩化水素酸が
生成され、これをHCIガス中への脱着と塩化水素酸の
共沸によって分離するGerman特許出願公開第2゜
262、875号明細書に記載されている。しかし、上
記の方法は、焼却すべき原材料の高い塩素含量および低
い水素含量である場合でなければllClガス回収に使
用できない。その上、これは、一般に限定された量の残
留物だけを、回収しなければならない相対的に小さなプ
ラントに対応する。このプラントのための投資と必要人
員は、より大規模なプラントのものも有利でない。
、例えば塩化ビニル・塩素化された炭化水素の製造にお
いて焼却しなければならない。これらの残留物中、時に
は塩素含有量が50重量%以上に達する。さらに、残留
物は、焼却における水生成を極少にするためにほとんど
または全く水素を含んでいない。この場合、焼却におい
て適したプロセスの条件により、lIc1ガスを回収す
ることが可能である。上述プロセスは、濃塩化水素酸が
生成され、これをHCIガス中への脱着と塩化水素酸の
共沸によって分離するGerman特許出願公開第2゜
262、875号明細書に記載されている。しかし、上
記の方法は、焼却すべき原材料の高い塩素含量および低
い水素含量である場合でなければllClガス回収に使
用できない。その上、これは、一般に限定された量の残
留物だけを、回収しなければならない相対的に小さなプ
ラントに対応する。このプラントのための投資と必要人
員は、より大規模なプラントのものも有利でない。
実際問題として、廃物専用の焼却は、異なる組成の塩素
含有あるいは塩素不合残留物の種々の量の加工される原
料を扱う大規模なプラントで一般に行われている。結果
として煙道ガスは、HCI と11□0の量が多様化す
る。さらにSO2および水銀。
含有あるいは塩素不合残留物の種々の量の加工される原
料を扱う大規模なプラントで一般に行われている。結果
として煙道ガスは、HCI と11□0の量が多様化す
る。さらにSO2および水銀。
カドミウム、ヒ素の化合物等の別の化合物も含まれ、時
にはハロゲン類、すなわち塩素、臭素、ヨウ素も存在す
る。煙道ガスの精製は一般にはフィルターによって、特
に静電沈澱によってダストの沈澱により開始される。煙
道ガスの中からHCI とSO2の分離スクラビングの
ための2段プロセスは従来公知であり、例えば、G、X
l1nke”Chmie−Anlagen und V
erfahren”1976、 N(L8. P84−
86に記載されている。第1段階が主洗浄、後洗浄(両
者とも水による)に分けられてもこのプロセスで煙道ガ
スは水と共に最初の段階で洗浄され、塩化水素は実質的
に完全に除去される。このようにして精製した塩化水素
酸は一般に低いllCl含有量であり、これは約3gの
塩化水素酸HCI/kgから100g/kg程度までと
なる。共沸塩化水素酸の濃度(塩化水素酸のHC1/k
gの202g)は、かかる残留焼却ユニットに達してい
ない。煙道ガス精製ユニットの二段階でS02は苛性ソ
ーダ溶液と共に洗い出される。
にはハロゲン類、すなわち塩素、臭素、ヨウ素も存在す
る。煙道ガスの精製は一般にはフィルターによって、特
に静電沈澱によってダストの沈澱により開始される。煙
道ガスの中からHCI とSO2の分離スクラビングの
ための2段プロセスは従来公知であり、例えば、G、X
l1nke”Chmie−Anlagen und V
erfahren”1976、 N(L8. P84−
86に記載されている。第1段階が主洗浄、後洗浄(両
者とも水による)に分けられてもこのプロセスで煙道ガ
スは水と共に最初の段階で洗浄され、塩化水素は実質的
に完全に除去される。このようにして精製した塩化水素
酸は一般に低いllCl含有量であり、これは約3gの
塩化水素酸HCI/kgから100g/kg程度までと
なる。共沸塩化水素酸の濃度(塩化水素酸のHC1/k
gの202g)は、かかる残留焼却ユニットに達してい
ない。煙道ガス精製ユニットの二段階でS02は苛性ソ
ーダ溶液と共に洗い出される。
第1段階で発生している塩化水素酸は、そのままの形で
は使われない。一方では、これは水とともに煙道ガスの
洗い出された不純物を含んでおり、他方では有効な中和
に対して作用する塩化水素酸が比較的低い濃度である。
は使われない。一方では、これは水とともに煙道ガスの
洗い出された不純物を含んでおり、他方では有効な中和
に対して作用する塩化水素酸が比較的低い濃度である。
(発明の解決しようとする課題)
本発明の目的は、煙道ガス洗浄の第1段階で作られる様
な希薄な、そして混入物を含んだ塩化水素酸から純粋で
技術的に使え、共沸状の塩化水素酸を作ることにある。
な希薄な、そして混入物を含んだ塩化水素酸から純粋で
技術的に使え、共沸状の塩化水素酸を作ることにある。
煙道ガスは多様な原材料の焼却から生じる。HCI含有
煙道ガスは、例えば廃棄物から作れる。煙道ガスの洗い
出されたHCIの量は、廃物の塩素含有量に釣り合う。
煙道ガスは、例えば廃棄物から作れる。煙道ガスの洗い
出されたHCIの量は、廃物の塩素含有量に釣り合う。
不要物巾約0.7%の塩素で、廃物のトン当たり約5k
gのIIcIの廃棄物が結果として生じる。異なる組成
の特別の廃棄物の焼却において、例えば大規模化学工場
における種々の生産過程からの残留物トン当たりHCI
の煙道ガスに含まれる変動の量は、自己残留焼却で予想
される量の10倍以上に達する。かかる残留焼却ユニッ
ト中で加工処理される残留物の含有塩素は平均化で約5
%である。変動があるかもしれないが、しかし全体に渡
って相対的に多くHClを含む様な場合に、プロセスは
、より困難な状態下でさえも価値のある塩化水素酸の回
収が要求されている。概して、煙道ガス第1段階からの
洗浄水は、約1〜15重量%、好ましくは3〜10重量
%のHCI含有量を持つ。洗浄水中に存在する不純物は
、燃焼の際のガス状態で形成されるそして酸性である(
HCIによる)洗浄水に溶解する全てのものであり、ま
た静電沈澱層に堆積されない限りはフィルターダストの
残留フラクションである。
gのIIcIの廃棄物が結果として生じる。異なる組成
の特別の廃棄物の焼却において、例えば大規模化学工場
における種々の生産過程からの残留物トン当たりHCI
の煙道ガスに含まれる変動の量は、自己残留焼却で予想
される量の10倍以上に達する。かかる残留焼却ユニッ
ト中で加工処理される残留物の含有塩素は平均化で約5
%である。変動があるかもしれないが、しかし全体に渡
って相対的に多くHClを含む様な場合に、プロセスは
、より困難な状態下でさえも価値のある塩化水素酸の回
収が要求されている。概して、煙道ガス第1段階からの
洗浄水は、約1〜15重量%、好ましくは3〜10重量
%のHCI含有量を持つ。洗浄水中に存在する不純物は
、燃焼の際のガス状態で形成されるそして酸性である(
HCIによる)洗浄水に溶解する全てのものであり、ま
た静電沈澱層に堆積されない限りはフィルターダストの
残留フラクションである。
酸性洗浄水中に溶解しているエアロゾル残留物もまた同
じように適用される。例えば、以下のものがかかる酸性
洗浄水に存在する。すなわち、たとえば、ヒ素化合物、
亜鉛、カドミウム、鉛のような重金属そしてとりわけ塩
化水銀あるいは金属水銀そしてその上に、硫酸塩、硫化
物の様な臭素そしてヨウ素化合物の各々の酸性洗浄水が
挙げられる。
じように適用される。例えば、以下のものがかかる酸性
洗浄水に存在する。すなわち、たとえば、ヒ素化合物、
亜鉛、カドミウム、鉛のような重金属そしてとりわけ塩
化水銀あるいは金属水銀そしてその上に、硫酸塩、硫化
物の様な臭素そしてヨウ素化合物の各々の酸性洗浄水が
挙げられる。
驚(べきことに、とても純粋にあるいはほぼ共沸な塩化
水素酸がかかる汚染された洗浄水から回収される。
水素酸がかかる汚染された洗浄水から回収される。
(課題を解決するための手段)
本発明は、HCl−含有煙道ガスの水−スクラビングま
たは〜クエンチングによって得られた汚染された1〜1
7%塩酸から純粋な18〜20%塩酸を回収する方法に
おいて、 第1段階で水を留去することによって汚染された塩酸を
約18〜20%塩酸に転換し、そして第2段階で後者を
底部生成物に残存する不純から留去することことからな
る、 上記方法に関する。第1段階において、洗浄される煙道
ガスからの洗浄水は、蒸留された溶液中にHCIfi度
が共沸塩化水素酸に相当する程度、すなわち約18〜2
0%重量に蒸留される。好ましくは、共沸塩化水素酸が
結果として生じる量の水は、蒸発揮敗する。洗浄水中お
けるヒ素あるいは臭化物またはヨウ化物の多量の存在下
に、洗浄水に酸化剤を、すなわち、蒸留の前・中に添加
するのが好ましい。添加され得る酸化剤の量は、洗浄水
中のヒ素化合物、臭化物およびヨウ化物の量により、過
剰に添加しても害にならない。使用し得る酸化剤の例と
して塩素(塩化ガスの導入)、次亜塩素酸塩、過酸化水
素が挙げられる。蒸留において、臭化物およびヨウ化物
は、気相を通過し、最終的に凝縮し、これから、所望に
より回収できる。添加し得る酸化剤は、3価から5価に
ヒ素化合物を変化させる機能を有し、従ってAsC1,
を留去することが回避される。はとんどヒ素を含まない
残留物の焼却において、酸化剤の添加は除くことができ
る。臭素、ヨウ素の多くの部分は、水蒸気により通過せ
ず、そして引続きの第2段階で蒸留の底部に残存する。
たは〜クエンチングによって得られた汚染された1〜1
7%塩酸から純粋な18〜20%塩酸を回収する方法に
おいて、 第1段階で水を留去することによって汚染された塩酸を
約18〜20%塩酸に転換し、そして第2段階で後者を
底部生成物に残存する不純から留去することことからな
る、 上記方法に関する。第1段階において、洗浄される煙道
ガスからの洗浄水は、蒸留された溶液中にHCIfi度
が共沸塩化水素酸に相当する程度、すなわち約18〜2
0%重量に蒸留される。好ましくは、共沸塩化水素酸が
結果として生じる量の水は、蒸発揮敗する。洗浄水中お
けるヒ素あるいは臭化物またはヨウ化物の多量の存在下
に、洗浄水に酸化剤を、すなわち、蒸留の前・中に添加
するのが好ましい。添加され得る酸化剤の量は、洗浄水
中のヒ素化合物、臭化物およびヨウ化物の量により、過
剰に添加しても害にならない。使用し得る酸化剤の例と
して塩素(塩化ガスの導入)、次亜塩素酸塩、過酸化水
素が挙げられる。蒸留において、臭化物およびヨウ化物
は、気相を通過し、最終的に凝縮し、これから、所望に
より回収できる。添加し得る酸化剤は、3価から5価に
ヒ素化合物を変化させる機能を有し、従ってAsC1,
を留去することが回避される。はとんどヒ素を含まない
残留物の焼却において、酸化剤の添加は除くことができ
る。臭素、ヨウ素の多くの部分は、水蒸気により通過せ
ず、そして引続きの第2段階で蒸留の底部に残存する。
第2段階において、第1段階で得られた塩化水素酸は、
蒸留されるが、はんの初期容量の1〜2%の洗浄水を有
する底部生成物が残存する場合、充分である。このよう
にして得られた留分は、約18〜20重量%の濃度のH
CIを有しており、そして非常に純粋である。驚(べき
ことに、不純物は、酸がGervsanPharraa
copea 9th editionの必要条件からす
るような低い濃度でしかなおも存在していた。
蒸留されるが、はんの初期容量の1〜2%の洗浄水を有
する底部生成物が残存する場合、充分である。このよう
にして得られた留分は、約18〜20重量%の濃度のH
CIを有しており、そして非常に純粋である。驚(べき
ことに、不純物は、酸がGervsanPharraa
copea 9th editionの必要条件からす
るような低い濃度でしかなおも存在していた。
実質的に全ての不純物(酸化剤が添加された場合は臭素
、ヨウ素以外)および特に重金属を含む留分からの底部
生成物が回収され得る。本発明による方法の特別の利点
は、底部生成物が非常に少量であっても、生成されると
いうことである。上記の通り、洗浄水の最初の量の2%
以下の量でもよくたとえば、加工するための洗浄水が5
%のHC1含有を有する場合、約1.5%でもよい。留
分からの底部生成物は、水酸化物の沈澱を影響するため
にライムまたは苛性ソーダ溶液でpl(9〜10に調整
することができる。重金属水酸化物は、濾別することが
できる。C3,5−トリアジン−2,4,6−)リチオ
ール(TMT)による沈澱も、事実重金属の部分が錯体
として結合されるべきである場合、好適である。しかし
ながら、事実比較的少ない中和された底部生成物を蒸発
することも可能である。各場合、固形の残留物は、埋め
立であるいは金属回収の両方に用いられる。
、ヨウ素以外)および特に重金属を含む留分からの底部
生成物が回収され得る。本発明による方法の特別の利点
は、底部生成物が非常に少量であっても、生成されると
いうことである。上記の通り、洗浄水の最初の量の2%
以下の量でもよくたとえば、加工するための洗浄水が5
%のHC1含有を有する場合、約1.5%でもよい。留
分からの底部生成物は、水酸化物の沈澱を影響するため
にライムまたは苛性ソーダ溶液でpl(9〜10に調整
することができる。重金属水酸化物は、濾別することが
できる。C3,5−トリアジン−2,4,6−)リチオ
ール(TMT)による沈澱も、事実重金属の部分が錯体
として結合されるべきである場合、好適である。しかし
ながら、事実比較的少ない中和された底部生成物を蒸発
することも可能である。各場合、固形の残留物は、埋め
立であるいは金属回収の両方に用いられる。
クロロ錯体として存在する水銀は、強アルカリイオン交
換体によりまだ中和されていない底部生成物から取り除
かれる。再生することができないこの交換体は、水銀で
負荷された後に埋め立てに供される。この底部生成物は
、次いで水銀がなくなるが、これも埋め立てに供し得る
。
換体によりまだ中和されていない底部生成物から取り除
かれる。再生することができないこの交換体は、水銀で
負荷された後に埋め立てに供される。この底部生成物は
、次いで水銀がなくなるが、これも埋め立てに供し得る
。
(実施例)
例1
化学工場における種々の製造プラントからの残留物の焼
却のためのユニントにおいて、濾過後に第1スクラビン
グ段階で洗浄された塩道ガスを、形成した。次に再加工
すべき酸性洗浄水(組成に関しては表−1を参照のこと
)は、約5重量%のI(C1を含有していた。7kgの
この洗浄水を、加熱可能な10ff丸底フラスコに採り
、Raschingリングを充填されたカラム(35X
3.5cm)をこれに付した。
却のためのユニントにおいて、濾過後に第1スクラビン
グ段階で洗浄された塩道ガスを、形成した。次に再加工
すべき酸性洗浄水(組成に関しては表−1を参照のこと
)は、約5重量%のI(C1を含有していた。7kgの
この洗浄水を、加熱可能な10ff丸底フラスコに採り
、Raschingリングを充填されたカラム(35X
3.5cm)をこれに付した。
フラスコの内容物を、100〜108 ’Cに加熱し、
水を留去した。蒸留速度は、750g/hとした。塩化
水素酸が実質的にない留分ない5061gが蒸留された
後、粗製塩化水素酸1933gがフラスコに残った。
水を留去した。蒸留速度は、750g/hとした。塩化
水素酸が実質的にない留分ない5061gが蒸留された
後、粗製塩化水素酸1933gがフラスコに残った。
第2蒸留において、粗製塩化水素酸を、2!フラスコか
ら記述の充填されたカラムを通して留去した(280g
/h)。純粋な塩化水素酸の1838gが通過し、そし
て底部生成物95gが残った(組成に関しては表−1を
参照のこと)。
ら記述の充填されたカラムを通して留去した(280g
/h)。純粋な塩化水素酸の1838gが通過し、そし
て底部生成物95gが残った(組成に関しては表−1を
参照のこと)。
表−1
不純物
(ml/kg):
弗素 9
臭素 500
1天素 <10
硫酸根(so、)590
砒素 8
2.5
00
<0.005
20
2000
く100
測定せず
00
カドミウム
クロム
銅
鉄
水銀
ニッケル
鉛
亜鉛
0.03 <0.005 <
100.5 <0.005
300.7 <0.005
3014.6 0.04
9000.02 0.003 0.003
0.871.6 <0.005
600.8 <0.
01 4524 0
.03 1400例2 例1に記載の洗浄煙道ガスからの洗浄水2kgを、加熱
可能な41丸底フラスコに採り、Rasching ’
Jソング充填されたカラム(35X 3.5cm)をこ
れに付した。フラスコの内容物を、100〜108°C
に加熱した。沸点に達した後、亜塩素酸ナトリウムを(
11当たり活性塩素20gを有する)を、コントロール
下に全蒸留時間の間供給した。200分に渡って実質的
に全臭素を含有する第1留分1,446gを留去した。
100.5 <0.005
300.7 <0.005
3014.6 0.04
9000.02 0.003 0.003
0.871.6 <0.005
600.8 <0.
01 4524 0
.03 1400例2 例1に記載の洗浄煙道ガスからの洗浄水2kgを、加熱
可能な41丸底フラスコに採り、Rasching ’
Jソング充填されたカラム(35X 3.5cm)をこ
れに付した。フラスコの内容物を、100〜108°C
に加熱した。沸点に達した後、亜塩素酸ナトリウムを(
11当たり活性塩素20gを有する)を、コントロール
下に全蒸留時間の間供給した。200分に渡って実質的
に全臭素を含有する第1留分1,446gを留去した。
次亜塩素ナトリウム(活性塩素として計算した)の消費
量は、740mgであった。粗製塩化水素酸580gが
フラスコ中に残った。第2蒸留において、粗製塩化水素
酸は、12フラスコから既述の充填カラムを通して蒸留
された(240g/h)。純粋な塩化水素酸546gが
通過し、底部生成物の34gが残った。留分と底部生成
物の組成を表−2に示す。
量は、740mgであった。粗製塩化水素酸580gが
フラスコ中に残った。第2蒸留において、粗製塩化水素
酸は、12フラスコから既述の充填カラムを通して蒸留
された(240g/h)。純粋な塩化水素酸546gが
通過し、底部生成物の34gが残った。留分と底部生成
物の組成を表−2に示す。
表−2
5,3重量%
CI
不純物
(o+I/kg) :
弗素
臭素
沃素
砒素
カドミウム
クロム
銅
鉄
水銀
00
<10
0.03
0.5
0.7
14.6
0.02
19.1重量% 16.6重量%
2゜4 17
590 <2
0
<0.005 1.6
<0.005
<0.005
<0.005
0.04
0.003 0.003
20
く200
く100
0.9
ニッケル
1.6
<0.005
0
鉛
0.8
<0.01
亜鉛
4
0.03
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)HCl−含有煙道ガスの水−スクラビングまたはク
エンチングによって得られた汚染された1〜17%塩酸
から純粋な18〜20%塩酸を回収する方法において、 第1段階で水を留去することによって汚染された塩酸を
約18〜20%塩酸に転換し、そして第2段階で後者を
底部生成物に残存する不純から留去することことからな
る、 上記方法。 2)酸化剤を、第1段階の前または第1段階の際に添加
する請求項1に記載の方法。 3)上記酸化剤が、塩素または次亜塩素酸塩である請求
項2に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19893931552 DE3931552A1 (de) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | Verfahren zur gewinnung reiner salzsaeure aus hcl-haltigen rauchgasen |
DE3931552.5 | 1989-09-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03131503A true JPH03131503A (ja) | 1991-06-05 |
Family
ID=6389902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2249027A Pending JPH03131503A (ja) | 1989-09-22 | 1990-09-20 | Hc1―含有煙道ガスから純粋な塩酸を回収する方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0424669A3 (ja) |
JP (1) | JPH03131503A (ja) |
DE (1) | DE3931552A1 (ja) |
IE (1) | IE903419A1 (ja) |
PT (1) | PT95368A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010172845A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Densho Engineering Co Ltd | エッチング廃液の処理方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5174865A (en) * | 1991-01-25 | 1992-12-29 | Dow Deutschland Inc. | Process for purifying crude hydrochloric acid |
DE4110177C2 (de) * | 1991-03-27 | 1995-01-05 | Qvf Glastech Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer von Fremdhalogenen gereinigten Salzsäure |
DE4206965C2 (de) * | 1992-03-05 | 1996-08-01 | Steinmueller Gmbh L & C | Verfahren zur Aufarbeitung einer anorganisch verunreinigten Abfallsalzsäure aus der Wäsche eines Abgases |
DE4226381C2 (de) * | 1992-08-10 | 1995-05-24 | Balcke Duerr Ag | Verfahren zur Gewinnung von reiner, konzentrierter Salzsäure aus Abwasser |
DE4344200C2 (de) * | 1993-12-23 | 1995-11-30 | Schering Ag | Verfahren zur Salzsäuregewinnung aus brom- und jodhaltigen Rauchgasen |
DE19607667C2 (de) * | 1996-02-29 | 2000-11-02 | Krupp Uhde Gmbh | Verfahren zur Verwertung von Abfallsalzsäure |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0393402B2 (de) * | 1989-04-17 | 1995-12-20 | Noell-KRC Umwelttechnik GmbH | Verfahren zur Reinigung von schwermetallhaltigem Abgas mit hohem Chloridgehalt |
-
1989
- 1989-09-22 DE DE19893931552 patent/DE3931552A1/de not_active Withdrawn
-
1990
- 1990-09-20 EP EP19900118089 patent/EP0424669A3/de not_active Withdrawn
- 1990-09-20 PT PT9536890A patent/PT95368A/pt not_active Application Discontinuation
- 1990-09-20 JP JP2249027A patent/JPH03131503A/ja active Pending
- 1990-09-21 IE IE341990A patent/IE903419A1/en unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010172845A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Densho Engineering Co Ltd | エッチング廃液の処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IE903419A1 (en) | 1991-04-10 |
PT95368A (pt) | 1991-05-22 |
EP0424669A3 (en) | 1991-06-19 |
DE3931552A1 (de) | 1991-04-04 |
EP0424669A2 (de) | 1991-05-02 |
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