JPH0313013Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は真空ゲート弁の改良に関するものであ
る。

（従来の技術） 従来、真空ゲート弁は箱形をした弁箱の前後に
開口部を有し、両側の案内材に沿つてシリンダ等
により上下動する上下動材に弁板を連結して、上
下動材の下降位置において前記弁板が開口部内側
周辺に設けたシール材を押圧して開口部を閉塞す
るごとくしていたが、真空装置が高温になる場合
シール材ａを保護するため、第５図及び第６図に
示すように開口部周辺Ｋに切欠ｂ，ｃを設け板ｄ
や型材ｅで蓋をして溶接し冷却路を形成し冷却剤
を通して冷却していた。

（考案が解決しようとする問題点） 開口部周辺に切欠を作り、板や型材を溶接して
シール材冷却用の冷却路を作つていたので、加工
費が高価となり、溶接部分から洩れが発生するこ
とであり、溶接熱によつて歪が発生し、溶接入熱
による応力腐食割れの危険性があり、美観が悪
く、溶接に熟練者を要する等の不都合があつた。

（問題点を解決するための手段） シール材近傍の開口部上下に水平方向の貫通孔
を穿設するとともにシール材近傍の開口部両側部
において前記上下二つの水平方向の貫通孔を連通
するごとく上下方向の孔を穿設し、前記水平方向
の貫通孔と上下方向の孔との一つの直交連通部を
閉塞するごとく一つの開口端を棒付き盲栓で閉塞
して直交閉塞部とし、他の開口端を盲栓で閉塞
し、前記直交閉塞部の両側に出入口を設けて冷却
路とした。

（作用） 溶接を使用しないため、溶接不良による洩れが
なく、溶接熱による歪が発生せず、溶接入熱がな
いので応力腐食割れがなく、製作費が安価であ
り、熱変形がないので孔位置をＯリング接触面へ
近づけて冷却効果を上げることができ、美観が良
好で製品価値が上る。

（実施例） 以下、図に示す実施例について説明する。説明
の便宜上第２図の左・右をそれぞれ「前」・「後」、
第１図の左・右をそれぞれ「左」・「右」と呼称す
る。

１は真空ゲート弁で、前側が真空装置V₁の開
口部に連結してあり、後側は真空装置V₂の開口
部に連結してある。

２は弁箱で前後に巾の長い開口部１ａ，１ｂが
設けてあり、開口部１ａの内側周辺にはＯリング
３が押え金具４によつて一部が内側へ突出するご
とく取着してある。

弁箱２の上部前後には点検孔５ａ，５ｂが設け
てあり、６ａ，６ｂはその蓋でＯリングを内蔵し
て点検孔５ａ，５ｂを気密に閉塞している。

７は上下動材であり、両側の上下部には左右方
向を規制するガイドローラ８と前後方向を規制す
るガイドローラ９がそれぞれ４個設けてあり、両
側のガイドレール１０ａ，１０ｂに沿つて上下動
するごとくなつている。

１１はシリンダで弁箱２の上部に設けてあり、
そのシリンダ・ロツド１１ａの先端は上下部材７
の上部に取着した取付金具１２に連結してある。

１３は上部ローラで上下動材７の上部に取着し
たローラ取付部材１５に回転自在に取着してあ
り、下部ローラ１４はローラ取付材１６に回転自
由に取着してある。上部下部ローラ１３，１４は
それぞれ適宜間隙を設けて複数個設けてある。

１７，１８は上下のスライド板で弁箱２の後壁
内側開口部１ｂ上下のローラ１３，１４の対向す
る位置に固着してある。

１９は弁板でローラ１３，１４の軸に回転自在
に支承されたリンク２０，２１の先端に回転自在
に連結してある。

２２は送り込みローラで左右２個設けてあり、
該ローラ１３，１４に対向する弁箱１の下部には
板２３が固着してある。

２４ａ，２４ｂは開口部１ａの上下にＯリング
３の近傍になるごとく穿設した水平方向の貫通孔
である。２５ａ，２５ｂは開口部１ａの左・右に
Ｏリング３の近傍となり、水平方向の貫通孔２４
ａ，２４ｂを連通するごとく穿設した上下方向の
孔である。２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２
６ｅは盲栓で貫通孔２４ａの両開口端、貫通孔２
４ｂの右開口端、孔２５ａ，２５ｂの開口端にね
じ込んで開口端を閉塞している。

２７は先端に棒を付けた盲栓で水平方向の貫通
孔２４ｂの左端から差し込んで水平方向の貫通孔
２４ｂと上下方向の孔２５ａとの直交連通部を閉
塞して直交閉塞部を形成するとともに水平方向の
貫通孔２４ｂの左端を閉塞している。

２８は弁箱２の左側から孔２５ａに連通するご
とく穿設した孔で出口ホース２９を連結してあ
る。３０は弁箱２の下側から孔２４ｂに連通する
ごとく穿設した孔で入口ホース３１を連結してあ
る。

これらの孔は従来のもののように溶接を使用し
ないから、溶接不良による洩れがなく、溶接熱に
よる歪が発生せず、溶接入熱がないので応力腐食
割れがなく、熱変形がないので孔位置をＯリング
接触面へ近づけることができるので冷却効果を向
上でき、美観が良好である。

３２はＯリングで３２ａはその押え板である。

しかして、シリンダ１１が縮短しているとき弁
板１９が上下動材７に当接して吊り上げられてお
り、真空装置V₁と真空装置V₂は連通している
（第３図参照）。シリンダ１１が伸長すると上下動
材７が弁板１９を吊つたまま下降し、弁板１９下
部の板２３が送り込みローラ２２上に当接すると
シリンダ１１の伸長によつてリンク２０，２１が
軸１３ａ，１４ａを中心に回動して弁板１９が送
り込みローラ２２上を前方へ移動し、Ｏリング３
を押圧し、開口部１ａを閉塞する。このときロー
ラ１３，１４はスライド板１７，１８を押圧す
る。

真空装置V₁が高温になる場合、入口ホース３
１から冷却水を送入し、出口ホース２９から送出
する。このため開口部１ａのＯリング３近傍は冷
却されＯリング３を保護する。

（考案の効果） 以上のごとく、シール材近傍の開口部上下に水
平方向の貫通孔を穿設するとともにシール材近傍
の開口部両側部において前記上下二つの水平方向
の貫通孔を連通するごとく上下方向の孔を穿設
し、前記水平方向の貫通孔と上下方向の孔との一
つの直交連通部を閉塞するごとく一つの開口端を
棒付き盲栓で閉塞して直交閉塞部とし、他の開口
端を盲栓で閉塞し、前記直交閉塞部の両側に出入
口を設けて冷却路としたから、溶接を使用しない
ため、溶接不良による洩れがなく、溶接熱による
歪が発生せず、溶接入熱がないので応力腐食割れ
がなく、製作費が安価であり、熱変形がないので
孔位置をＯリング接触面へ近づけて冷却効果を上
げることができ、美観が良好で製品価値が上る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本考案の一実施例で第１図
は正面図、第２図は第１図の−から見た断面
図、第３図は開口部が開口した場合の第２図と同
様の断面図、第４図は第３図の−から見た断
面図、第５図及び第６図は従来のものの開口部の
一部を示す断面図である。 １……真空ゲート弁、２……弁箱、１ａ，１ｂ
……開口部、３……Ｏリング、７……上下動材、
１１……シリンダ、１９……弁板、２４ａ，２４
ｂ，２５ａ，２５ｂ……孔，２６ａ，２６ｂ，２
６ｃ，２６ｄ，２６ｅ……盲栓、２９……出口ホ
ース、３１……入口ホース。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 箱形をした弁箱の前後に開口部を有し、両側の
   案内材に沿つてシリンダ等により上下動する上下
   動材に弁板を連結して、上下動材の下降位置にお
   いて前記弁板が開口部内側周辺に設けたシール材
   を押圧するごとくした真空ゲート弁において、シ
   ール材近傍の開口部上下に水平方向の貫通孔を穿
   設するとともにシール材近傍の開口部両側部にお
   いて前記上下二つの水平方向の貫通孔を連通する
   ごとく上下方向の孔を穿設し、前記水平方向の貫
   通孔と上下方向の孔との一つの直交連通部を閉塞
   するごとく一つの開口端を棒付き盲栓で閉塞して
   直交閉塞部とし、他の開口端を盲栓で閉塞し、前
   記直交閉塞部の両側に出入口を設けて冷却路とし
   たことを特徴とする真空ゲート弁。