JPH0312991A - Manufacturing method of electromagnetic shield wiring board - Google Patents

Manufacturing method of electromagnetic shield wiring board

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JPH0312991A
JPH0312991A JP14658889A JP14658889A JPH0312991A JP H0312991 A JPH0312991 A JP H0312991A JP 14658889 A JP14658889 A JP 14658889A JP 14658889 A JP14658889 A JP 14658889A JP H0312991 A JPH0312991 A JP H0312991A
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wiring board
insulating material
photocurable
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Junichi Ito
順一 伊藤
Junichi Miyazaki
宮崎 準一
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Abstract

PURPOSE:To prevent the generation of undercut phenomena of side walls of an insulation layer by piling two and over layers of optical hardening insulation materials which have different optical sensibility and/or development speed on a printed board so that the residual amount of the hardening layer after exposure and development may be decreased toward the surface, and then forming the insulation layer after exposure and development. CONSTITUTION:A combination of optical hardening insulation material layers 4a and 4b which exceeds two layers having different optical sensibility and/or development speed is applied on a printed board 1, which forms an insulation layer whose side walls expand upward. Therefore, when it is necessary to cover the insulation layer so as to form a conductivity layer, the insulation layer and the conductivity layer can be definitely formed thereon even when the printed substrate 1 is provided with a high density interconnection pattern 2, which makes it possible to prevent the generation of undercut of the side wall of the insulation layer or residual air foams.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電磁シールド配線板の新規な製造方法に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a novel method for manufacturing an electromagnetic shielding wiring board.

〔従来の技伶〕[Traditional technique]

近年、OA機器を始めとする各種電子機器(1) より発生する電磁波ノイズ(以下、単にノイズという)
の問題がN要視され始め、ノイズ防止対策の要求が高ま
りつつある。
In recent years, electromagnetic noise (hereinafter simply referred to as noise) generated by various electronic devices such as office automation equipment (1) has been increasing.
The problem of noise is beginning to be considered important, and the demand for noise prevention measures is increasing.

かかるノイズ防止対策の手段の1つとして、ノイズの発
生原因となるプリント配線基板の表面に導電性層を形成
させた電磁シールド配線板が提案されている。上記の電
磁ンールド配線板は、プリント配線回路パターン間の短
絡防止のため、該パターンと導電性層との間に絶縁層を
必要とする。
As one means for preventing such noise, an electromagnetic shield wiring board has been proposed in which a conductive layer is formed on the surface of a printed wiring board that causes noise. The electromagnetic rolled wiring board described above requires an insulating layer between the printed wiring circuit patterns and the conductive layer to prevent short circuits between the patterns.

従来、上記絶縁層の形成は、A8硬化性、あるいは、光
硬化性のエポキシタイプの絶縁レジストをスクリーン印
刷し、これを硬化させることにより行われていた。とこ
ろが、プリント配線基板のパターン密度の高度化に伴な
い、該基板の表面に絶縁性を有する光硬化拐料よりなる
層を形成させ、これを露光、現像することにより、より
高M度の絶縁層を形成する手段が必要と1よってきた。
Conventionally, the insulating layer has been formed by screen printing an A8 curable or photocurable epoxy type insulating resist and curing the resist. However, as the pattern density of printed wiring boards has become more sophisticated, insulation with a higher M degree has been achieved by forming a layer made of an insulating photocuring material on the surface of the board, exposing and developing this layer. It has become clear that a means for forming layers is needed.

〔本発明が#決しようと′1イ、 1j11題点(2) しかしながら、光硬化材料を用いてこれを地元、現像す
る方法は、形成される絶縁層のツイドワオールがアンダ
ーカットとなり易く、その後導電性ペーストを積層する
際、該部分に導電性ペーストを充填することが困難とな
る。そのため、該部分に充填された光硬化材料よりなる
層と絶縁層のサイドウオール下部との間に気泡が残留し
たまま導電性ペーストの硬化が行われる。その結果、絶
縁層にピンホールの生成等が生り1、導電層とプリント
配線基板上のアースパターンとの接触不良等により不良
品発生の原因になるという問題を生じる、4 〔問題点を解決するための手段〕 本発明者らは、かかる問題を解決すべく鋭意研究を1ね
た結果、プリント配線板上に光感度及び/または現像速
度の異なる2種類以上の光硬化材料の層を、現像後の硬
化体の残存量が表向に向って少なくなるよう形成するこ
とにより、形成される絶縁層のサイドワオルがアンダー
カットとなる現象をvノ止し、該部分に気泡の残留を伴
なうことなく導電層を形成し得ることを見い出し本発明
を完成するに至った。
[What the present invention attempts to solve'1a, 1j11 Problem (2) However, in the method of locally developing a photocurable material, the twidwall of the insulating layer that is formed tends to be undercut, and then the conductive layer When laminating the conductive paste, it becomes difficult to fill the area with the conductive paste. Therefore, the conductive paste is cured with air bubbles remaining between the layer made of the photocurable material filled in the portion and the lower part of the sidewall of the insulating layer. As a result, pinholes are formed in the insulating layer, causing problems such as poor contact between the conductive layer and the ground pattern on the printed wiring board, which can lead to defective products. Means for Solving the Problem] As a result of intensive research in order to solve this problem, the present inventors have developed a method of forming layers of two or more types of photocurable materials with different photosensitivity and/or development speed on a printed wiring board. By forming the film so that the amount of the cured material remaining after development decreases toward the surface, the side wall of the formed insulating layer is prevented from undercutting, and air bubbles are not left in the area. The present invention was completed based on the discovery that a conductive layer can be formed without the formation of a conductive layer.

本発明は、プリント配線基板上に、絶縁層及び導電層を
順次積層して電磁シールド配線板を製造するに際し、該
プリント配線基板上に、光感度及び/又は現像速度の異
なる2層以上の光硬化性絶縁材料の層を、露光、現像後
の硬化層の残存量が表面に向って減少するように積層し
た後、露光及び現像を行って絶縁層を形成させることを
特徴とする電磁シールド配線板の製造方法である。
The present invention provides a method for producing an electromagnetic shield wiring board by sequentially laminating an insulating layer and a conductive layer on a printed wiring board. An electromagnetic shield wiring characterized in that layers of a curable insulating material are laminated such that the amount of the cured layer remaining after exposure and development decreases toward the surface, and then exposure and development are performed to form an insulating layer. This is a method of manufacturing a board.

本発明において、プリント配線基板は、公知の構造のも
のが特に制限なく使用される。
In the present invention, a printed wiring board having a known structure can be used without particular limitation.

例えば、ガラスエポキシ複合体、紙−フエノル樹脂複合
体などの複合体、プラスチックフィルム、又は金属など
の立体成形品、板又はフィルムを支持体として、その上
にアディティブ法、ザブトラクチイブ法、ダイスタンピ
ング法、フラッシュ法等の方法で導電性パターンを形成
したものが一般的である。かかるプリント配線基板は、
片面又は両面に配線パターンを有するもの、亀ねた多層
の配線パターン構造を有するものが特に制限なく使用さ
れる。
For example, a composite such as a glass epoxy composite, a paper-phenol resin composite, a plastic film, or a three-dimensional molded product such as a metal, a plate or a film is used as a support, and the additive method, subtractive method, die stamping method, etc. Generally, a conductive pattern is formed by a method such as a flash method. Such a printed wiring board is
Those having a wiring pattern on one side or both sides, and those having a meandering multilayer wiring pattern structure can be used without particular limitation.

上記プリント配線基板において、電磁シールドの必要な
回路は、特にデジタル信号等の高周波電流を伝達する回
路配線又は外部からの高周波ノイズに影響を受けやすい
回路配線等である。本発明において、導電層の形成によ
る1i!磁シールド対策は、従来のように分散して存在
する電磁シールドの必要な回路配線に対策を施こす場合
は勿論、CAD等により、対策の必要な回路を片面に集
中させることにより片面だけのシールド対策により、経
済的力・つ効果的に電磁ンールドを行う場合をも含む。
In the printed wiring board, circuits that require electromagnetic shielding are particularly circuit wiring that transmits high-frequency current such as digital signals, or circuit wiring that is susceptible to external high-frequency noise. In the present invention, 1i! by forming a conductive layer! Magnetic shielding measures can be taken not only by applying countermeasures to the circuit wiring that requires electromagnetic shielding, which is dispersed as in the past, but also by concentrating the circuits that require countermeasures on one side using CAD etc. This includes cases in which electromagnetic shielding is carried out economically and effectively by means of countermeasures.

本発明において、光硬化性絶縁材料は、可視光、紫外線
、X線等の活性光線によって硬(5) 化し、且つ硬化体が絶縁性を有するものであれば釉に制
限されない。一般には、(a)重合性不飽和化合物、(
b)光重合開始剤及び高分子結合剤よりなるものが使用
される。
In the present invention, the photocurable insulating material is not limited to glaze, as long as it is hardened by active light such as visible light, ultraviolet rays, and X-rays, and the cured material has insulating properties. Generally, (a) a polymerizable unsaturated compound, (
b) A photopolymerization initiator and a polymeric binder are used.

上記した重合性不飽和化合物は、ラジカル重合可能な公
知の化合物が特に制限なく使用される。好適な重合性不
飽和化合物を例示すれば、トリグリシジルイソシアヌレ
ートと不飽和基含有モノカルボン酸とを酸当量/エポキ
シ当量比を0.3〜09の範囲で付加反応させて得られ
るエポキシ基含有不飽和化合物、ノボラック型エポキシ
樹脂のエポキシ基/当飯とエチレン性不飽和カルボン酸
を0.8〜1.3当量とを反応させたエステル化樹脂、
オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノー
ルノボラック型エボキン樹脂およびハロゲン化フェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂からなる群から選はれた少
なくとも1種のノボラック型エポキシ樹脂と、不飽和カ
ルボン酸とを酸当量/エポキシ当量比が01〜09(6
) の範囲で付加反応させて得られる不飽和化合物の2級水
酸基に、インシアナートエチルメタクリレートなインン
アナート当敏/水酸基当飯比が01〜工2の範囲で反応
させて得られる不飽和化合物、少なくとも2個の末端エ
ポキシ基を有するエポキシ樹脂にこのエポキシ樹脂の1
エポキシ当量当り釣07〜15モルのエチレン結合を1
個有する不飽和カルボン酸を反応させた後、更にIエポ
キシ当量当り02〜1モルの多壌基酸無水物とを反応さ
せて得られる不飽和化合物等のエポキシ樹脂から誘導さ
れる不飽和基含有エポキシ樹脂類及びトリメチロールプ
ロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ
メタクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレト
、トリメチロールプロパンジメタクリレート、テトラメ
チロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメ
タントリメタクリレート、テトラメチロールメタントリ
メタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアク
リレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタ
エリスリトールトリメタクリレート、ジベンタエリスリ
トールベンクアクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタメタクリレート、1.111−)す(アクリロキシ
プロポキシメチル)プロパンなどの多官能モノマーが挙
げられる。
As the above-mentioned polymerizable unsaturated compound, any known compound capable of radical polymerization may be used without particular limitation. Examples of suitable polymerizable unsaturated compounds include epoxy group-containing compounds obtained by addition-reacting triglycidyl isocyanurate and unsaturated group-containing monocarboxylic acids at an acid equivalent/epoxy equivalent ratio of 0.3 to 09. An esterified resin obtained by reacting an unsaturated compound, an epoxy group/container of a novolac type epoxy resin, with 0.8 to 1.3 equivalents of ethylenically unsaturated carboxylic acid;
At least one novolac type epoxy resin selected from the group consisting of orthocresol novolac type epoxy resin, phenol novolac type Evoquin resin, and halogenated phenol novolac type epoxy resin and an unsaturated carboxylic acid at an acid equivalent/epoxy equivalent ratio is 01~09(6
) An unsaturated compound obtained by reacting the secondary hydroxyl group of an unsaturated compound obtained by an addition reaction in the range of incyanato ethyl methacrylate with an inanate/hydroxyl group ratio in the range of 01 to 2, 1 of this epoxy resin to an epoxy resin having at least two terminal epoxy groups.
07 to 15 moles of ethylene bonds per epoxy equivalent
Containing an unsaturated group derived from an epoxy resin such as an unsaturated compound obtained by reacting the unsaturated carboxylic acid contained therein and then further reacting with 02 to 1 mole of polyhydric acid anhydride per I epoxy equivalent. Epoxy resins and trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane dimethacrylate, tetramethylolmethane triacrylate, tetramethylolmethane trimethacrylate, tetramethylolmethane trimethacrylate, tetramethylolpropane Polyfunctional monomers such as tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, diventaerythritol benquaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, 1.111-)(acryloxypropoxymethyl)propane Can be mentioned.

また、光重合開始剤も特に制限されるものテハナい。例
えは、ベンゾフェノン、4.4ジメチルアミノベンゾフ
エノン、4.4’−ジエチルアミノベンゾフェノンなど
のベンゾフェノン類、2−エチルアントラキノン、tθ
rtブチルアントラキノンなどのアントラキノン類、ベ
ンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル
ナトのベンゾイルアルキルエーテル類 2.2−ジメト
キシ−2−フェニルアセトフェノン、 2+  2−シ
ェド牛ジアセトフェノン、2−クロロチオキサントン、
ジエチルチオキサントン、2−ヒドロキシ−2−メチル
プロピオフェノン、4′−イソプロピル−2−ヒドロキ
ン−2−メチルプロピオフェノン、2−メチル−1−(
4−(メチルチオ)−フェニルツー2−モルフォリノ=
1−グロパノン等が挙げられ、これらの1種又は2種以
上組合せて使用される。
Furthermore, there are no particular restrictions on the photopolymerization initiator. For example, benzophenones such as benzophenone, 4.4 dimethylaminobenzophenone, 4.4'-diethylaminobenzophenone, 2-ethylanthraquinone, tθ
Anthraquinones such as rt-butyl anthraquinone, benzoyl alkyl ethers of benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether nato, 2.2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2+ 2-shed beef diacetophenone, 2-chlorothioxanthone,
Diethylthioxanthone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 4'-isopropyl-2-hydroquine-2-methylpropiophenone, 2-methyl-1-(
4-(methylthio)-phenyl2-morpholino=
Examples include 1-glopanone, which may be used alone or in combination of two or more.

更に、高分子結合剤としては、アルカリ水溶液又は有機
溶剤に可溶な公知のものが特に制限なく使用される。そ
のうち、アルカリ水溶液に可溶であり、かつ水に不溶性
であるもの、例えは、カルボキシル基、無水カルボン酸
基、スルホン酸基、スルホンアミド基等のアルカリ酊溶
性付与基を有する高分子が好適に用いられる。これらの
高分子結合剤は、例えば、特開昭59−151152号
公報、特開昭58−42040号公報、特開昭4873
148号公報等に記載されている。一般には、メタクリ
ル酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、無水マレ
イン酸からなる群から選はねる不飽和基を1個有するカ
ルボン(9) 酸又は酸無水物とビニル単量体との共重合体が使用され
る。
Further, as the polymer binder, any known polymer binder soluble in an alkaline aqueous solution or an organic solvent can be used without particular limitation. Among these, polymers that are soluble in aqueous alkaline solutions and insoluble in water, for example, polymers having alkali solubility-imparting groups such as carboxyl groups, carboxylic anhydride groups, sulfonic acid groups, and sulfonamide groups, are preferred. used. These polymeric binders are disclosed, for example, in JP-A-59-151152, JP-A-58-42040, and JP-A-4873.
It is described in Publication No. 148, etc. Generally, a copolymer of a carboxylic acid or an acid anhydride and a vinyl monomer having one unsaturated group selected from the group consisting of methacrylic acid, acrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, and maleic anhydride. is used.

そのうち、特に好ましい高分子結合剤の具体的態様を例
示すilば、メチルメタクリシト/エチルアクリレート
/メタクリル酸共1合体、メチルメタクリレート/エチ
ルアクリレート/アクリル酸共重合体、メチルメタクリ
レート/メタクリル酸ブチル/2−ヒドロキシエチルア
クリレート/メタクリル酸ブチル/メタクリルクリ1合
体、メチルメタクリレート/トリブロモフェニルアクリ
レート/メタクリル酸共重合体等をあげることができる
。また、これらの高分子結合剤はカルボキシル基含有量
が10〜50モル%であることが好ましい。
Among them, specific examples of particularly preferred polymeric binders include methyl methacrylate/ethyl acrylate/methacrylic acid copolymer, methyl methacrylate/ethyl acrylate/acrylic acid copolymer, methyl methacrylate/butyl methacrylate/ Examples include 2-hydroxyethyl acrylate/butyl methacrylate/methacrylic acid copolymer, methyl methacrylate/tribromophenyl acrylate/methacrylic acid copolymer, and the like. Moreover, it is preferable that these polymeric binders have a carboxyl group content of 10 to 50 mol%.

上記した光硬化性絶縁材料は、必吸に応じて、充填材、
重合禁止剤、染料、顔料、溶剤等を配合してもよい。
The above-mentioned photocurable insulating materials can be used as filling materials,
Polymerization inhibitors, dyes, pigments, solvents, etc. may be added.

本発明において、プリント配線基板上への上記した光硬
化性絶縁材料よりなる層は、光(10) 感度及び/又は現像速度の異なる少なくとも2種類の層
を露光、現像後の硬化層の残存量が表面に向かって減少
するように積層して形成される。
In the present invention, the layer made of the above-mentioned photocurable insulating material on the printed wiring board is formed by exposing at least two types of layers having different sensitivities and/or development speeds to light (10), and the remaining amount of the cured layer after development. It is formed by laminating layers such that the amount decreases toward the surface.

尚、本発明において、積層された光硬化性絶縁拐料より
なる層の層間の光感度の差は、ストウファー40段ステ
ップタブレットを用いたグレースケール法(以下、単に
グレースケール法という)により測定した値をいう。
In the present invention, the difference in photosensitivity between layers of laminated photocurable insulation materials was measured by the gray scale method (hereinafter simply referred to as the gray scale method) using a Stouffer 40 step tablet. refers to value.

力・かるグレースクール法による光感度の定量は、永松
元太部、乾英夫著、「感光性高分子」、P、50(講談
社)に記載の方法に準して実施される。即ち、市販の銅
張積層板上に、乾操後の光硬化性絶縁材料を厚みが25
μmとなる様、ドクターブレードを用いて塗布したもの
を評価試料として用いる。拳法に用いるグレースケール
としては、ストウファー(S■ touffer )  4 o&ステップタブレットを
用いろ。本ステップタブレットを通して露光し、ブレー
クポイント50%で現像後、銅張積層板上に残存した硬
化体より、ステップタブレットに対応する段数(感度)
を読み取る。例えは、ステップタブレットの25段目ま
で硬化体が残存し、26段目か現像により洗い流されて
いる場合、この試料の光硬化性絶縁拐料の感度は25段
と読む。′thだ、積層された光硬化性絶縁拐料を用い
るが、まず、いずれか一方の試料を用いて上記手順によ
り15〜25段の感度が得られる様露光量を調節し、こ
こで決定された露光、現像条件を用いて、これに積層さ
れる他の光硬化性絶縁材料についても同一条件で感度を
測定する。
Quantification of photosensitivity by the power-karu gray school method is carried out in accordance with the method described in Gentabe Nagamatsu and Hideo Inui, "Photosensitive Polymer", p. 50 (Kodansha). That is, a dry photocurable insulating material was placed on a commercially available copper-clad laminate to a thickness of 25 mm.
A sample coated with a doctor blade so as to have a thickness of μm is used as an evaluation sample. As for the grayscale used in Kenpo, use the Stouffer 4 O&Step tablet. After exposure through this step tablet and development at a break point of 50%, the number of steps (sensitivity) corresponding to the step tablet is determined from the cured material remaining on the copper clad laminate.
Read. For example, if the cured product remains up to the 25th stage of the step tablet and is washed away by development at the 26th stage, the sensitivity of the photocurable insulation material of this sample is read as 25th stage. 'th, using a laminated photocurable insulating material, first, using one of the samples, adjust the exposure amount so as to obtain a sensitivity of 15 to 25 steps by the above procedure, and then Using the same exposure and development conditions, the sensitivity of other photocurable insulating materials laminated thereon is also measured under the same conditions.

1だ、光硬化性絶縁材料の現像速度は以下の方法によっ
て測定した値である。
1. The development speed of the photocurable insulating material is a value measured by the following method.

即ち、光硬化性絶縁材料に適した現像液例えば水溶性光
硬化性絶縁材料の場合は1%N a 2 Co 3 水
溶液を用い、コーンタイプのノズルを有するスプレー現
像機を用い、目視で基板表向の光硬化性絶縁材料の残置
が確認できる位f&に未露光の光硬化性絶縁材料を25
11m厚で25 cm X 25 cmの面積に塗布し
た基板を置き、30℃の温度の現像液をスプレー圧力1
4カで、現像を行なう。この時、光硬化性絶縁材料が丁
度、基板表面から流い洗されるまでの時間をt(秒)と
すると、t(秒)が現像時間である(ブレークポイント
100%)。
That is, using a developer suitable for photocurable insulating materials, such as a 1% Na 2 Co 3 aqueous solution in the case of water-soluble photocurable insulating materials, and using a spray developing machine with a cone-type nozzle, the surface of the substrate is visually inspected. Apply unexposed photocurable insulating material to f& to such an extent that the remaining photocurable insulating material can be confirmed.
The coated substrate was placed on an area of 25 cm x 25 cm with a thickness of 11 m, and a developer at a temperature of 30°C was sprayed at a pressure of 1
Develop in 4 steps. At this time, if t (seconds) is the time taken until the photocurable insulating material is washed away from the substrate surface, then t (seconds) is the development time (break point 100%).

尚、感度測定時に必要な現像時間は同一現像条件下にお
いて2t(秒)である。(ブレークポイント50%)。
Incidentally, the development time required for sensitivity measurement is 2t (seconds) under the same development conditions. (Breakpoint 50%).

この2t(秒)は、穀に光硬化性絶縁材料の最適現像時
間として採用されることが多い1、 上記現像時間の測定方法に基づき、前記プリント配線板
に積層される光硬化性絶縁材料よりなる層の層間の現像
速度の差は、表面側の層の現像時間(tl)プリント配
線基板側の層の現像時間(t2)との比(tl/12)
によって表される。
This 2t (seconds) is often adopted as the optimum development time for photocurable insulating materials. The difference in development speed between the layers is the ratio (tl/12) of the development time (tl) of the layer on the surface side to the development time (t2) of the layer on the printed wiring board side.
Represented by

光硬化性絶縁材料として、固体であるドライフィルムを
用いる場合、ドライフィルムの感度及び現像速度の測定
はレジスト部分をい(13) つたん良溶媒に溶解し、その後、液状レジストと同様の
方法で評価する。
When using a solid dry film as a photocurable insulating material, the sensitivity and development speed of the dry film can be measured by first dissolving the resist portion in a suitable solvent (13) and then using the same method as for liquid resist. evaluate.

本発明において、光硬化性絶縁材料よりなる層間の光感
度の差によって、硬化層の残存量を表面に向かって減少
するようにするためには、前記した感度の差を示す段数
の差(X)が、1〜15、好ましくは、3〜9となるよ
うに、且つ表面に向かって該段数か下がるように積層す
れはよい。上記段数の差か、1より小さい場合は、光硬
化性絶縁材料よりなる層を露光、現像したとき、硬化層
の残存蓋を表面に向かって減少させることが困難となり
、又、段数の差が15より大きい場合には核層の現像度
が低下し、高密度のパターンを形成することが困難とな
る。尚、この場合、層r川の現像速度の差は、t 1 
/ t 2が、0.1〜10となる範囲で冷)ることか
好ましい5 また、光硬化性絶縁材料よりなる層間の現像速度の差に
よって、硬化層の残存量を表面に自刃・つて減少するよ
うにするためには、前(14) 記したt l / t 2比が、01〜1、好ましくは
0.5〜0.8となるように各層の現像速度を調整すれ
はよい。上記現像速度の比が01より小さい場合には、
光硬化性絶縁材料よりなる層を露光、現像したとき、硬
化層の残存量を表向に向かって減少させることが困難と
なり、又、現像速度の比が1以上の場合には、核層の現
像度が低下し、高密度のパターンを形成することが困難
となる。尚、この場合、層間の前記した感度を示す段数
の差(X)は、−10〜15となるように設定すること
が好ましい。
In the present invention, in order to reduce the residual amount of the cured layer toward the surface due to the difference in photosensitivity between layers made of photocurable insulating materials, the difference in the number of stages (X ) is 1 to 15, preferably 3 to 9, and the layers may be stacked so that the number of steps decreases toward the surface. If the difference in the number of steps is less than 1, it will be difficult to reduce the remaining lid of the cured layer toward the surface when the layer made of photocurable insulating material is exposed and developed, and the difference in the number of steps will be less than 1. When it is larger than 15, the degree of development of the core layer decreases, making it difficult to form a high-density pattern. In addition, in this case, the difference in development speed of the layer r river is t 1
/ t 2 is preferably in the range of 0.1 to 10.5 In addition, due to the difference in development speed between layers made of photocurable insulating material, the amount of remaining cured layer can be reduced by self-cutting on the surface. In order to achieve this, the development speed of each layer should be adjusted so that the tl/t2 ratio described in (14) above is 01 to 1, preferably 0.5 to 0.8. If the ratio of the above development speeds is smaller than 01,
When a layer made of a photocurable insulating material is exposed and developed, it becomes difficult to reduce the remaining amount of the cured layer toward the surface, and when the ratio of development speeds is 1 or more, the core layer decreases. The degree of development decreases, making it difficult to form a high-density pattern. In this case, it is preferable that the difference (X) in the number of steps indicating the above-mentioned sensitivity between the layers is set to -10 to 15.

勿論、光硬化性絶縁材料の層間の光感度の差及び現像速
度の差を共に、核層を露光、現像後の硬化層の残存量が
表向に向って減少するように各層の光感度及び現像速度
を調整することも可能である。
Of course, both the difference in photosensitivity and the difference in development speed between the layers of the photocurable insulating material can be compensated for by adjusting the photosensitivity and development speed of each layer so that the amount of remaining cured layer after exposure and development of the core layer decreases toward the surface. It is also possible to adjust the development speed.

上記した光硬化性絶縁材料の光感度又は現像速度の調整
は、前記1合性不飽和化合物、光重合開始剤及び高分子
結合剤の組成比、各(15) 成分の種類等を変えることにより行うことができる。即
ち、光感度は特に光重合開始剤の配合比により変化させ
ることが可能であり、また、現像速度は、11合性不飽
和化合物の化学構造によっても多少変化させることがで
きるか、主に、高分子結合剤のカルボキシル基含有量を
変化させることにより、調整可能である。更に、高分子
結合剤の分子量及びコモノマーの親水性によっても変化
させ得る。
The photosensitivity or development speed of the photocurable insulating material described above can be adjusted by changing the composition ratio of the monomerically unsaturated compound, the photopolymerization initiator, and the polymeric binder, the type of each (15) component, etc. It can be carried out. That is, the photosensitivity can be changed by changing the blending ratio of the photopolymerization initiator, and the development speed can also be changed to some extent by the chemical structure of the 11-polymerized unsaturated compound. It can be adjusted by changing the carboxyl group content of the polymeric binder. Additionally, it may vary depending on the molecular weight of the polymeric binder and the hydrophilicity of the comonomer.

一般に、各成分の組成比は、高分子結合剤が1合性不飽
和化合物100重社部に対して50〜30ON量部、好
ましくは100〜200重量部の範囲となるように、ま
た、光重合開始剤は、重合性不飽和化合物と高分子結合
剤との合計量に対して01〜20重組%、好ましくは3
〜101量%の範囲内で決定することか好ましい。
Generally, the composition ratio of each component is such that the polymer binder is in the range of 50 to 30 parts by weight, preferably 100 to 200 parts by weight, per 100 parts by weight of the monounsaturated compound, and The polymerization initiator is used in an amount of 01 to 20%, preferably 3%, based on the total amount of the polymerizable unsaturated compound and the polymeric binder.
It is preferable to determine it within the range of 101% by weight.

本発明において、光硬化性絶縁材料の積層は、前条件を
満足するものであれは、その積層方法は特に制限されな
い。例えは、光硬化(I6) 性絶縁材料は、一般にドライフィルムと称される固体フ
ィルム状、液状等の状態でプリント配線基板上に積層す
ることができる。即ち、光感度及び/又は現像速度の異
なる固体フィルム抄成いは液状の光硬化性絶縁材料同志
を積層してもよいし、光感度及び/又は現像速度の異な
る、液状の光硬化性絶縁材料と固体フィルム状の光硬化
性絶縁材料とを積層してもよい。尚、液状の光硬化性絶
縁材料により層を形成させる方法は、公知の手段、例え
ば、デイツプコート法、ブローコート法、スクリーン印
刷法等公知の手段が特に制限なく採用される。また、上
記層は、含有する溶剤を乾燥させた後、他の層を積層或
いは露光を行えばよい。
In the present invention, the method of laminating photocurable insulating materials is not particularly limited as long as the preconditions are satisfied. For example, the photocurable (I6) insulating material can be laminated on a printed wiring board in the form of a solid film generally referred to as a dry film, or in a liquid state. That is, solid film sheets or liquid photocurable insulating materials with different photosensitivity and/or development speed may be laminated together, or liquid photocurable insulating materials with different photosensitivity and/or development speed may be laminated together. and a photocurable insulating material in the form of a solid film may be laminated. As a method for forming a layer using a liquid photocurable insulating material, any known means such as a dip coating method, a blow coating method, a screen printing method, etc. may be employed without particular limitation. Moreover, after drying the solvent contained in the above layer, other layers may be laminated or exposed.

上記した積層方法のうち、プリント配線基板に接する層
として、液状の光硬化性絶縁材料を使用することが好ま
しい。即ち、液状の光硬化性絶縁材料を使用することに
より、プリント配線基板に凹凸、スルーホール等かあ(
17) る場合の密着性をより向上することができる。
Among the above lamination methods, it is preferable to use a liquid photocurable insulating material as the layer in contact with the printed wiring board. In other words, by using a liquid photocurable insulating material, there are no irregularities, through holes, etc. on the printed wiring board (
17) Adhesion can be further improved when

また、液状の光硬化性絶縁材料は、超音波を照射するこ
とにより、小孔スルーホールが存在する場合でも、該ス
ルーホール中に確実に浸入させることができる。か力)
ろ液状の光硬化性絶縁材料は、前記光硬化性絶縁41料
の組成のうち、液状のものを使用してもよいし、光硬化
性絶縁材料を溶剤に溶解することにより調製することも
できる。かかる溶剤としては、例えば、メチルエチルケ
トン、メチルセロソルブアでテート、エチルセロンルブ
アセテート、シクロヘキサノン、メチルセロソルブ、プ
IJピレングリコール千ツメチルエーテルアセテート、
塩化メチレン、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル等をaげることかできる。
Further, even if a small through hole exists, the liquid photocurable insulating material can be reliably penetrated into the through hole by irradiating it with ultrasonic waves. force)
The photocurable insulating material in the form of a filtrate may be prepared from among the compositions of the 41 photocurable insulation materials, or may be prepared by dissolving the photocurable insulating material in a solvent. . Examples of such solvents include methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl seron rub acetate, cyclohexanone, methyl cellosolve, pyrene glycol methyl ether acetate,
Methylene chloride, propylene glycol monomethyl ether, etc. can be used.

上記した光硬化性絶縁材料よりなる層の厚みは、特に限
定されるものではないか、一般に各層の厚みが5〜50
μm、射すしくけ10〜30μm、全層の厚みが100
μm以下と(]8) なるように行うことが好ましい。
The thickness of the layer made of the photocurable insulating material described above is not particularly limited, and generally the thickness of each layer is 5 to 50 mm.
μm, radiation thickness 10-30 μm, total thickness 100
It is preferable to conduct the process so that it is less than μm (]8).

本発明において、プリント配線基板上に形成された光硬
化性絶縁材料よりなる層の露光方法及び現像方法は、公
知の方法が特に制限なく採用される。即ち、露光は、前
記した活性光線を子ガマスフを介して核層に照射するこ
とによって行えはよい。また、現像は、未硬化の光硬化
性絶縁材料をエツチング司能な液体で、露光後の未硬化
部分を除去することにより行えばよい9.力)かる液体
としては、光硬化性絶縁材料の構成成分である1合性不
飽和化合物及び/又は高分子結合剤を溶解し得るもので
あれば特に制限されず、リン酸ナトリウム、リン酸カリ
ワム等のアルカリ金属リン酸地の水溶液、炭酸す) I
Jウム等のアルカリ金属炭酸塩の水溶液等のアルカリ水
溶液、1.1.1−)リクロロエタン、パークロルエチ
レン、ブチルセロソルブ、トルエン、キシレン等の有機
溶剤より適宜選択して使用される。
In the present invention, known methods can be used without particular limitation as the exposure method and development method for the layer made of photocurable insulating material formed on the printed wiring board. That is, the exposure can be carried out by irradiating the nuclear layer with the above-mentioned actinic rays through the progeny. Further, development may be carried out by removing the uncured portion after exposure with a liquid capable of etching the uncured photocurable insulating material9. The liquid is not particularly limited as long as it can dissolve the monounsaturated compound and/or polymeric binder that are the constituent components of the photocurable insulating material, and sodium phosphate, potassium phosphate, etc. Aqueous solutions of alkali metal phosphates such as carbonic acid) I
An aqueous alkali solution such as an aqueous solution of an alkali metal carbonate such as Jum, and an organic solvent such as 1.1.1-)lichloroethane, perchlorethylene, butyl cellosolve, toluene, and xylene are used.

また、現像後に80〜200℃で加熱処理を行なうこと
は、形成される絶縁層のプリント配線基板に対する密着
性、耐熱性、耐溶剤性等の特性を向上でき好ましい態様
である。
Furthermore, heat treatment at 80 to 200° C. after development is a preferred embodiment since it can improve the properties of the formed insulating layer, such as adhesion to the printed wiring board, heat resistance, and solvent resistance.

本発明において、絶縁層は、一般にプリント配線基板の
アースパターン端子の一部を除く配線パターン、導通用
バイアホール等を被覆するように形成される。
In the present invention, the insulating layer is generally formed to cover the wiring pattern, conductive via holes, etc. of the printed wiring board except for a part of the earth pattern terminal.

本発明において、導11層は、一般にプリント配線基板
上の絶縁層、アースパターンを含む向上に形成される5
゜ 上記導電層の形成には、導電性ペーストが一般に使用さ
れる。か力)る導電性ペーストとしては、公知のものが
偶に制限なく使用される。例えは、銅、金、銀、ニッケ
ル、カーボンなどの金属粉末を充填したエポキン樹脂、
フェノール樹脂等の熱硬化性樹脂からなっているものが
好適に使用される。これをスクリン印刷法等で必要な面
上にパターン印刷し、硬化させることにより導電層か形
成される。
In the present invention, the conductor 11 layer is generally formed on the insulation layer on the printed wiring board, including the ground pattern.
゜A conductive paste is generally used to form the conductive layer. As the conductive paste, any known conductive paste may be used without any restriction. For example, Epokin resin filled with metal powder such as copper, gold, silver, nickel, and carbon,
Those made of thermosetting resin such as phenol resin are preferably used. A conductive layer is formed by pattern-printing this on a required surface using a screen printing method or the like and curing it.

導電層の厚みは、電気抵抗に関係するが通常10μ〜1
00μの厚みになるように、スクリーンメツンユ、印刷
条件、印刷回数、ペースト粘度などにより調節すること
が好可しい。
The thickness of the conductive layer is related to electrical resistance, but is usually 10μ to 1
It is preferable to adjust the thickness to 00 μm by adjusting the screen thickness, printing conditions, number of printings, paste viscosity, etc.

本発明において、上記方法によって得られる電磁シール
ド配線板の表面を外部環境から保護するためにオーバー
コート層を設けることが好ましい。オーバーコート層の
材質は、耐熱性、耐薬品性、表面硬度、耐湿性、高電気
絶縁性などの特性を兼ね備えたものが好適である。
In the present invention, it is preferable to provide an overcoat layer in order to protect the surface of the electromagnetic shielding wiring board obtained by the above method from the external environment. The material for the overcoat layer is preferably one that has properties such as heat resistance, chemical resistance, surface hardness, moisture resistance, and high electrical insulation.

一部には、ンルダーマスクとして市販さねているエボ千
シ樹脂をベースとする熱硬化性樹脂、ur硬化性樹脂等
が用いられる。勿論、オーバーコート層として本発明の
光硬化性絶縁材料も使用することができる。
In some cases, a thermosetting resin based on Evochishi resin, which is commercially available as an unruder mask, a UR curable resin, etc. are used. Of course, the photocurable insulating material of the present invention can also be used as the overcoat layer.

本発明の方法を第1図を用いて具体的に説明する。The method of the present invention will be specifically explained using FIG.

第1図は、本発明の方法による電磁シールド配線板の製
法の代表的な態様を示す処理工(21) 第1図は、本発明の方法による電磁シールド配線板の製
法の代表的な態様を示す処理工程図である。即ち、(a
Jにおいて、配線バタン2、アースパターン5を有する
基板上1上に液状の光硬化性絶縁材料によって層4を形
成させた後、(b)に45いて、核層4−aに対して前
記光感度及び/又は現像i!l!度の差を有する固体フ
ィルム状の光硬化性絶縁材料による層4−1)を積層す
る。尚、3はスルーホールである。その後、フォトマス
クを介して露光し、次いで現像を行って、(C)に示す
ように、必要な部分に絶縁層を有する配線基板が得られ
る。〃・かる絶縁層は表向に向って硬化層の残存量が減
少するように形成されるため、サイドウオールが表面に
向って広がった状態となる。そのため、(dJにおいて
、該絶縁層上に、気体を巻き込むことなく導電ペースト
6を積層でき、これを硬化して良好な電磁シールド配線
板が得られる。
FIG. 1 shows a processing process (21) showing a typical aspect of the method for manufacturing an electromagnetic shielding wiring board according to the method of the present invention. FIG. FIG. That is, (a
In J, after forming a layer 4 of a liquid photocurable insulating material on the substrate 1 having the wiring battens 2 and the ground pattern 5, in step (b), the layer 4 is applied to the core layer 4-a. Sensitivity and/or development i! l! Layers 4-1) of solid film-like photocurable insulating materials having different degrees of strength are laminated. Note that 3 is a through hole. Thereafter, exposure is performed through a photomask, and then development is performed to obtain a wiring board having an insulating layer in required portions, as shown in (C). Since the insulating layer is formed such that the amount of the remaining hardened layer decreases toward the surface, the sidewalls are expanded toward the surface. Therefore, in (dJ), the conductive paste 6 can be laminated on the insulating layer without involving gas, and by curing it, a good electromagnetic shield wiring board can be obtained.

〔効 果〕〔effect〕

(22) 以上の説明より理解されるように、本発明によれば、プ
リント配線基板の配線パターン上に、特定の光硬化性絶
縁材料を組合せて用いることにより、サイドウオールが
上方に向って拡大する絶縁層が形成される。そのため、
上記絶縁層を覆って導電層を形成させる場合、騒絶縁層
のサイドウオール下部へのfi 体(1) 8菌を完全
に防止することができる。従って、プリント配線板が高
密度の配線パターンを有する場合であっても、その上に
、絶縁層、導電層を確実に形成することができ、得られ
る電磁シールド配線板の信頼性を著しく向上させること
ができる。
(22) As understood from the above description, according to the present invention, by using a specific photocurable insulating material in combination on the wiring pattern of a printed wiring board, the sidewall expands upward. An insulating layer is formed. Therefore,
When a conductive layer is formed covering the insulating layer, it is possible to completely prevent bacteria from entering the lower part of the sidewall of the insulating layer. Therefore, even if the printed wiring board has a high-density wiring pattern, an insulating layer and a conductive layer can be reliably formed thereon, significantly improving the reliability of the resulting electromagnetic shielding wiring board. be able to.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明を更に具体的に説明するため、実施例を丞
すが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
EXAMPLES Hereinafter, in order to explain the present invention more specifically, Examples will be presented, but the present invention is not limited to these Examples.

尚、1部」の表永は1鼠部を示す。複だ、実施例におけ
る光感度及び現像時間の具体的な測定方法は以下のとお
りである。
In addition, the length of the table in "Part 1" indicates the first part. The specific methods for measuring photosensitivity and development time in Examples are as follows.

(1) 感度の測定 光硬化性絶縁材料σ】溶液を、銅張積層板上に塗布し、
室温で20分、80°Cで10分間乾燥し、厚さ25μ
mの光硬化性絶縁材料の層を形成した。次いでスト97
740段のステップタブレットを通してオーク製作所■
製)IMW−6N型高圧水銀灯露光機を用い、500 
mt/crrLで露光した。露光後、10分放置した後
、1重針%炭酸ナトリウム水溶液(30℃)を用いて、
60秒間スプレー現像しくブレークポイント50%)、
直ちに60秒間スプレー水洗した。
(1) Measurement of sensitivity A photocurable insulating material σ] solution was applied onto a copper-clad laminate,
Dry for 20 minutes at room temperature and 10 minutes at 80°C to a thickness of 25μ.
A layer of photocurable insulating material of m was formed. Then strike 97
Oak Manufacturing Co., Ltd. through a 740 step tablet
500 using a high-pressure mercury lamp exposure machine (manufactured by) IMW-6N model
Exposure was made at mt/crrL. After being left for 10 minutes after exposure, using a single needle% sodium carbonate aqueous solution (30°C),
Spray develop for 60 seconds (break point 50%),
Immediately sprayed and washed with water for 60 seconds.

残存した硬化体より感度を読んだ。The sensitivity was read from the remaining cured material.

(2)現像速度の測定 光硬化性絶縁材料溶液を、銅張積層板上に塗布し、室温
で20分、80℃で10分乾燥し、厚さ25μm1大き
さ20儂×20αの層を形成した。未露光の状態で、1
%炭酸ナトリウム水溶液(30℃)を用いて、スプレー
圧14ジノでスプレー現像し、光硬化性絶縁材料が銅表
面から完全に溶解除去されるまでの時Itii tを測
定した。
(2) Measurement of development speed A photocurable insulating material solution was applied onto a copper-clad laminate and dried at room temperature for 20 minutes and at 80°C for 10 minutes to form a layer with a thickness of 25 μm and a size of 20 mm x 20 α. did. In the unexposed state, 1
% sodium carbonate aqueous solution (30° C.) at a spray pressure of 14 dino, and the Itii t was measured until the photocurable insulating material was completely dissolved and removed from the copper surface.

実施@1 (a)  、*合性不飽和化合物の合成A、TEPIC
−G (日産化学工岡株製トリグリシジルイソンアヌレ
ート、エポキシ当鼠110)110部 B、メタクリル酸         57部P−メトキ
シフェノール    0.1部co プロピレンクリコ
ールモノメチルエーテル 53部り、メチルバイオレッ
ト          0.01部上記A化合物を14
0℃に昇温し、均一に溶解させた後、110℃に冷却し
、温度を110℃に保ちながら、1時間かけてB化合物
を滴下した。B化合物の滴下後、110℃で反応系の酸
価を1以下にした後、C化合物を添加し、不揮発分75
重量%のトリグリシジルインシアヌレート/アクリル酸
(酸当量/エポキシ当量比−273)系エポ千ン基含有
の重合性不飽和化合物の(25) 溶液(1)を得た。
Implementation @1 (a), *Synthesis of synthetic unsaturated compounds A, TEPIC
-G (Nissan Kagaku Oka Co., Ltd. triglycidyl isone annulate, epoxy 110) 110 parts B, methacrylic acid 57 parts P-methoxyphenol 0.1 part co Propylene glycol monomethyl ether 53 parts, methyl violet 0. 01 parts 14 parts of the above compound A
After raising the temperature to 0°C and uniformly dissolving the mixture, it was cooled to 110°C, and compound B was added dropwise over 1 hour while maintaining the temperature at 110°C. After dropping compound B, the acid value of the reaction system was reduced to 1 or less at 110°C, and compound C was added to reduce the nonvolatile content to 75.
A solution (1) of (25) of a polymerizable unsaturated compound containing triglycidyl in cyanurate/acrylic acid (acid equivalent/epoxy equivalent ratio -273) type epothyl group in weight% was obtained.

(b)  光硬化性絶縁材料(1)の調製(aJで得ら
れた重合性不飽和化合物の溶液87部(固形分66部)
、メタクリル酸メチル/アクリル醒ブチル/メタクリル
酸(7015/25  モル比)共1合体(重量平均分
子量 8カ)35部、ベンゾフェノン5flJs、4.
4’−ヒスジエチルアミノベンゾフェノン05部及びプ
ロピレンクリコールモノメチルエーテル200 k’t
 配合L−1均一に攪拌溶解した。
(b) Preparation of photocurable insulating material (1) (87 parts of solution of polymerizable unsaturated compound obtained in aJ (solid content 66 parts)
, 35 parts of methyl methacrylate/butyl acrylate/methacrylic acid (7015/25 molar ratio) comonomer (weight average molecular weight 8), 5 flJs of benzophenone, 4.
05 parts of 4'-hisdiethylaminobenzophenone and 200 k't of propylene glycol monomethyl ether
Formulation L-1 was stirred and dissolved uniformly.

上記光硬化性材料の光感度は、25段、ブレークポイン
)100%の現像時間は30秒であった。
The photosensitivity of the photocurable material was 25 steps, and the development time for 100% (break point) was 30 seconds.

(C)光硬化性絶縁材料(2)の調製 上記(b)において、ベンゾフェノン3部、4.4′−
ビスジエチルアミノベンゾフェノン01部とした外は同
様に行ない、レジスト(2)を調製した。、 上記光硬化性絶縁材料の感度は19段、(26) ブレークポイント100%の現像時間は30秒であった
(C) Preparation of photocurable insulating material (2) In the above (b), 3 parts of benzophenone, 4.4'-
A resist (2) was prepared in the same manner except that 01 part of bisdiethylaminobenzophenone was used. The sensitivity of the photocurable insulating material was 19 steps, (26) and the development time for 100% breakpoint was 30 seconds.

(dJ  シールド板の形成 パターン形成されたエツチング基板(FR−4、銅張積
層板)に光(便化性絶縁材料(1)溶液を塗布し、室温
で20分、80℃で10分乾燥し、厚さ25μmのレジ
スト層を形成した。次いで同様にして光硬化性絶縁材料
(2)の25μmの1曽をレジスト(]〕の上に形成し
た。次いでネカマスクを通して800mt/、7  で
f!!光した。露光後10分放&した後、1%炭酸ナト
リウム水溶液を用いて30℃で100秒間スプレ現像し
くブレークポイント50%)、直ちに60秒間スプレー
水洗した。感度は22段を示していた。次いで150°
Cで30分間加熱処理して、ネガマスクに相比・する寸
法精度の優れた絶縁層を得た。絶縁層の断固を走査型電
子顕微鏡で観察したところ、サイドウオルが上方に向っ
て広かつていた。
(dJ Formation of shield plate Apply a solution of facilitable insulating material (1) to the etched substrate (FR-4, copper-clad laminate) on which the pattern has been formed, and dry at room temperature for 20 minutes and at 80°C for 10 minutes. , a resist layer with a thickness of 25 μm was formed. Then, in the same manner, a 25 μm thick layer of photocurable insulating material (2) was formed on the resist (]). Then, it was passed through a mask at 800 mt/, 7 f!! After exposure for 10 minutes, the film was spray developed using a 1% sodium carbonate aqueous solution at 30°C for 100 seconds (break point: 50%), and immediately washed with water for 60 seconds.The sensitivity was 22 steps. then 150°
C for 30 minutes to obtain an insulating layer with excellent dimensional accuracy comparable to that of a negative mask. When the insulating layer was examined using a scanning electron microscope, it was found that the sidewalls were expanding upward.

次いで、絶縁レジスト上にンールドパタンを形成した。Next, a rolled pattern was formed on the insulating resist.

その後、】80°Cで30分間熱処理し、銅ペーストを
熱硬化させて電磁ンールド配線板を得た。
Thereafter, heat treatment was performed at 80° C. for 30 minutes to thermally harden the copper paste to obtain an electromagnetic rolled wiring board.

上記方法により10コの電磁シールド配線板を製造した
ところ、導通チエッカ−による検査で銅ペーストシール
ド層と銅箔アスラインとの導通不良は皆無であった。5
実施例2゜ (a)光硬化性絶縁材料(3)の調製 実施例1−(atで得られたエポキシ基含有の1合性不
飽和化合物の溶液87部(固形分 66部)、メタクリ
ル酸メチル/アクリル酸ブチル/メタクリル酸(601
5/35 モル比)共重合体(重量平均分子斑8カ)3
5部、ベンゾフェノン 5部、4゜4′−ビスジエチル
アミノベンゾフェノン05部、及びプロピしングリコー
ルモノメチルエーテル 200部を配合し、均一に攪拌
溶解した。
When ten electromagnetic shield wiring boards were manufactured by the above method, there was no conduction failure between the copper paste shield layer and the copper foil as-line when inspected using a continuity checker. 5
Example 2゜(a) Preparation of photocurable insulating material (3) Example 1 - 87 parts (solid content: 66 parts) of a solution of the epoxy group-containing monounsaturated compound obtained in at, methacrylic acid Methyl/butyl acrylate/methacrylic acid (601
5/35 molar ratio) copolymer (weight average molecular mottling: 8) 3
5 parts of benzophenone, 05 parts of 4°4'-bisdiethylaminobenzophenone, and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether were mixed and uniformly dissolved with stirring.

上記光硬化性絶縁材料の現像速度及び感度を測定したと
ころ現像時間はブレークポイント100%で17秒、感
度は、25段を示した。
When the development speed and sensitivity of the photocurable insulating material were measured, the development time was 17 seconds at a break point of 100%, and the sensitivity was 25 steps.

(bン シールド板の形成 実施例1−(d)において、光硬化性絶縁材料(2)に
代えて、本実施例の光硬化性絶縁材料(3)を用いた以
外は同様にして電磁シールド配線板を製造した。尚、ボ
ストチニア後絶縁層の断面を走査型電子顕微鏡で観察し
たところ、上方に広かったサイドウオールを形成してい
た。
(b) Electromagnetic shielding was performed in the same manner as in Example 1-(d) for forming a shield plate, except that the photocurable insulating material (3) of this example was used instead of the photocurable insulating material (2). A wiring board was manufactured. When the cross section of the insulating layer after bostonia was observed with a scanning electron microscope, it was found that a wide sidewall was formed in the upper part.

上記方法により10コの電磁シールド配線板を製造した
ところ、導通チエッカ−による検査で銅ペーストシール
ド層と銅箔アスラインとの導通不良は皆無にあった。
When 10 electromagnetic shield wiring boards were manufactured using the above method, there was no conduction failure between the copper paste shield layer and the copper foil as-line when inspected using a continuity checker.

実施例3゜ (a)  光硬化性絶縁材料(4)の調製実施例1−(
a)で得られたエポキシ含有の重台性不飽和化合物の溶
液87部(固形分(29) 66部)、メタクリル酸メチル/アクリル酸ブチル/メ
タクリル酸(6015/35モル比)共重合体11平均
分子鼠8万)35部、ベンゾフェノン3部、4.4′−
ビスジエチルアミンベンゾフェノンo1m(及びプロピ
レングリコールモノメチルエーテル200部を配合し、
均一に攪拌溶解した。
Example 3゜(a) Preparation of photocurable insulating material (4) Example 1-(
87 parts of the solution of the epoxy-containing heavily unsaturated compound obtained in a) (solid content (29) 66 parts), methyl methacrylate/butyl acrylate/methacrylic acid (6015/35 molar ratio) copolymer 11 average molecular weight 80,000) 35 parts, benzophenone 3 parts, 4.4'-
Blend bisdiethylamine benzophenone ol 1m (and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether,
The mixture was stirred and dissolved uniformly.

上記光硬化性絶縁材料の現像速度及び感度を測定したと
ころ、現像時間は、ブレクポイント100%で17秒、
感度は500mt/i で19段を示した。
When the development speed and sensitivity of the above photocurable insulating material were measured, the development time was 17 seconds at a break point of 100%;
The sensitivity was 19 steps at 500 mt/i.

(b)  シールド板の形成 実施例1−(d)において、光硬化性絶縁材料(2)に
代えて本実施例(&)の光硬化性絶縁材料(4〕を用い
た以外は同様にして電磁シールド配線板を製造した。尚
、ボストチニア後、絶縁層の断面を走査型電子顕微鏡で
観察したところ、上方に広かったサイドウオールを形成
していた。
(b) Forming a shield plate In the same manner as in Example 1-(d) except that the photocurable insulating material (4) of this example (&) was used instead of the photocurable insulating material (2). An electromagnetic shielding wiring board was manufactured.After the bostotinia, the cross section of the insulating layer was observed with a scanning electron microscope, and it was found that a wide sidewall was formed in the upper part.

上記方法によりIOコの電磁シールド配(30) 線板を製造したところ、導通チエッカ−による検査で銅
ペーストシールド層と銅箔アスラインとの導通不良は皆
無であった。。
When an IO electromagnetic shielding wiring board (30) was manufactured by the above method, there was no conduction failure between the copper paste shield layer and the copper foil as-line when inspected using a continuity checker. .

比較例1 実施例1−(d)において、光硬化性絶縁材料(2)の
代りに光硬化性絶縁材料(すな用いた以外は同様にして
電磁シールド配線板を製造した。
Comparative Example 1 An electromagnetic shield wiring board was produced in the same manner as in Example 1-(d), except that a photocurable insulating material (or the like) was used instead of the photocurable insulating material (2).

尚、上記製造において、導電層形成後、絶縁層の断固を
走査型電子顕微鏡で観察したところ、そのサイドウオー
ルのアンダーカット部にエアーをトラップしたまま、銅
ペーストが充填している状況が観察された。
In the above manufacturing process, after the conductive layer was formed, the insulating layer was observed using a scanning electron microscope, and it was observed that the undercut of the sidewall was filled with copper paste while trapping air. Ta.

上記方法により、]0コの電磁シールド配線板を製造し
たところ、導通チエッカ−による検査で銅ペーストシー
ルド層と銅箔アースラインとの導通不良が全アース箇所
に対して15.3発生した。
When 0 electromagnetic shield wiring boards were manufactured by the above method, a conduction failure between the copper paste shield layer and the copper foil ground line occurred at 15.3 points at all ground points when inspected using a continuity checker.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明による電磁シールド配線板の製法の代
表的な態様を示す処理工程図である。図において、1は
基板、2は配線バタン、3はスルーホール、4−a、4
−bは光硬化性絶縁林料、5はアースパターン、6は導
電性ペーストを夫々示す。
FIG. 1 is a process diagram showing a typical aspect of the method for manufacturing an electromagnetic shielding wiring board according to the present invention. In the figure, 1 is a board, 2 is a wiring button, 3 is a through hole, 4-a, 4
-b indicates a photocurable insulating forest material, 5 indicates a ground pattern, and 6 indicates a conductive paste.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1) プリント配線基板上に、絶縁層及び導電層を順
次積層して電磁シールド配線板を製造するに際し、該プ
リント配線基板上に、光感度及び/又は現像速度の異な
る2層以上の光硬化性絶縁材料の層を、露光、現像後の
硬化層の残存量が表面に向って減少するように積層した
後、露光及び現像を行って絶縁層を形成させることを特
徴とする電磁シールド配線板の製造方法。
(1) When manufacturing an electromagnetic shield wiring board by sequentially laminating an insulating layer and a conductive layer on a printed wiring board, photocuring of two or more layers with different photosensitivity and/or development speed is applied on the printed wiring board. 1. An electromagnetic shield wiring board characterized in that layers of insulating materials are laminated such that the amount of the cured layer remaining after exposure and development decreases toward the surface, and then exposure and development are performed to form an insulating layer. manufacturing method.
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