JPH0854732A - Etching resist sheet and production of printed wiring board - Google Patents

Etching resist sheet and production of printed wiring board

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Publication number
JPH0854732A
JPH0854732A JP21210294A JP21210294A JPH0854732A JP H0854732 A JPH0854732 A JP H0854732A JP 21210294 A JP21210294 A JP 21210294A JP 21210294 A JP21210294 A JP 21210294A JP H0854732 A JPH0854732 A JP H0854732A
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JP
Japan
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resin composition
plated
layer
active energy
etching resist
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Application number
JP21210294A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoichi Haruta
要一 春田
Takeya Matsumoto
健也 松本
Tomio Kanbayashi
富夫 神林
Hideki Hiraoka
秀樹 平岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toagosei Co Ltd
Original Assignee
Toagosei Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toagosei Co Ltd filed Critical Toagosei Co Ltd
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Publication of JPH0854732A publication Critical patent/JPH0854732A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain an etching resist sheet easy in coating a plated through hole, high in pattern forming accuracy and excellent in workability for mass production by providing a layer of a 1st resin composition low in fluidity due to heating on a protective film and a layer of a 2nd resin composition high in fluidity due to heating thereon. CONSTITUTION:This etching resist sheet is formed by providing the layer 2 of the 1st resin composition soluble in alkali, low in fluidity due to heating and sensitive to active energy beam on the protective film 1 and the layer 3 of the 2nd resin composition soluble in alkali, high in fluidity due to heating and sensitive to active energy beam thereon. The 1st and 2nd resin composition are polymers consisting essentially of acrylic acid and/or methacrylic acid and (meth)acrylate. And the resin compositions are composed of a linear polyrner, which is made by adding an ethylenic unsaturated compound having glycidyl group to a part of carboxyl group originated from (meth)acrylic acid of the structural unit, as a base polymer.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はめっきスルーホールに絶
縁樹脂を容易に充填または閉塞することが可能で、しか
も表面を平滑にする高密度プリント配線板用エッチング
レジストシートを提供するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention provides an etching resist sheet for a high-density printed wiring board, which can easily fill or block an insulating resin in a plated through hole and has a smooth surface.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器の小型化、多機能化に伴って、
プリント配線板はより高密度化の方向に進んでいる。例
えば、導体回路の細線化、高多層化、ブラインドホ−
ル、バリ−ドホ−ル等のインタ−スティシャルバイアホ
−ルを含むスル−ホ−ルの小径化、小型チップ部品の表
面実装による高密度実装等がある。
2. Description of the Related Art As electronic devices have become smaller and more multifunctional,
Printed wiring boards are moving toward higher density. For example, thinning conductor circuits, increasing the number of layers, and blind ho
There are small diameters of through holes including interstitial via holes such as holes and ball holes, and high-density mounting by surface mounting of small chip parts.

【0003】従来のプリント配線板用エッチングレジス
トとしては、印刷インク、ドライフィルムおよび液状レ
ジスト等がある。スルーホールを有するプリント配線板
の製造方法としては、銅張積層板に穴加工を施し、銅め
っきによるパネルめっきをした後に、ドライフィルムを
テンティングした後、パターン形成してエッチングレジ
ストとして、その後エッチングして銅スルーホールプリ
ント配線板を製造する方法がある。しかしこの方法では
パターン形成のずれ分を考えてめっきスルーホールの径
よりも大きな径でエッチングレジストを残さないと、完
全にめっきスルーホールをドライフィルムで蓋をするこ
とができず、十分に蓋がなされていないとエッチング液
がめっきスルーホール内に入り込むことによりめっきス
ルーホールが一部溶解されてしまうという欠点があっ
た。従って、めっきスルーホールのランド径に制約があ
り、より高密度な配線には適さなかった。
Conventional etching resists for printed wiring boards include printing inks, dry films and liquid resists. As a method of manufacturing a printed wiring board having through holes, a copper clad laminate is subjected to hole processing, panel plating by copper plating is performed, and after a dry film is tented, a pattern is formed and used as an etching resist, and then etching is performed. Then, there is a method of manufacturing a copper through-hole printed wiring board. However, in this method, if the etching resist is left with a diameter larger than the diameter of the plated through hole in consideration of the deviation of the pattern formation, the plated through hole cannot be completely covered with the dry film and the cover cannot be sufficiently covered. If not done, there is a drawback that the plating through hole is partially dissolved due to the etching solution entering into the plating through hole. Therefore, the land diameter of the plated through hole is limited, and it is not suitable for higher density wiring.

【0004】一方ドライフィルムを真空下でラミネート
してドライフィルムの樹脂層を穴の中まで絞り込み、め
っきスルーホールのランド径を小さくすることも試みら
れている。しかしながら、ラミネート装置が大がかりか
つ高価となり、ラミネート速度も遅くなるため生産性が
落ちるという欠点があった。
On the other hand, it has also been attempted to laminate the dry film under vacuum to narrow the resin layer of the dry film into the holes to reduce the land diameter of the plated through holes. However, there is a drawback that the laminating apparatus becomes large and expensive, and the laminating speed becomes slow, so that the productivity is lowered.

【0005】また、めっきスルーホール形成後に、めっ
きスルーホール内にエッチングレジストをスクリーン印
刷、ロールコーティング等で埋め込んで乾燥または硬化
させた後、表面の不要なレジストを研磨除去し、穴埋め
した部分を含めて必要なパターン部分にスクリーン印刷
インクまたはドライフィルムによりパターンを形成する
方法がある。しかしスクリーン印刷によるエッチングレ
ジストのパターン形成はスクリーンの網目のぎざぎざが
残りやすく、150μm以下のパターン形成は困難であ
る。穴埋め部にドライフィルムを更に形成する方法では
穴埋め工程およびドライフィルムパターン形成工程等が
長くなり生産性が悪くなるという欠点があった。
After forming the plated through hole, an etching resist is embedded in the plated through hole by screen printing, roll coating or the like to be dried or cured, and then unnecessary resist on the surface is removed by polishing to include the filled portion. There is a method of forming a pattern on a required pattern portion with a screen printing ink or a dry film. However, the pattern formation of the etching resist by screen printing tends to leave a jagged mesh on the screen, and it is difficult to form a pattern of 150 μm or less. The method of further forming the dry film in the hole filling portion has a drawback that the hole filling step and the dry film pattern forming step are lengthened and the productivity is deteriorated.

【0006】まためっきスルーホールを有するパネルに
スクリーン印刷、ロールコーティング、静電塗装または
カーテンコート等により液状エッチングレジストをめっ
きスルーホールおよびパネル表面に塗布乾燥し、露光現
像によりエッチングレジストパターンを形成し、エッチ
ングにより銅スルーホールプリント配線板を製造する方
法がある。同様に液状レジストの代わりにエッチングレ
ジストを電着塗装する方法もある。
Further, a liquid etching resist is applied to the plated through hole and the surface of the panel by screen printing, roll coating, electrostatic coating or curtain coating on a panel having a plated through hole and dried, and an etching resist pattern is formed by exposure and development. There is a method of manufacturing a copper through hole printed wiring board by etching. Similarly, instead of the liquid resist, there is also a method of electrodeposition coating an etching resist.

【0007】レジストには、感光性により活性エネルギ
ー線照射により硬化するネガ型レジストと、活性エネル
ギー線照射によりアルカリ水溶液等に溶解可能となるポ
ジ型レジストがある。ネガ型レジストはめっきスルーホ
ール内のレジストに紫外線を照射させる必要があるが、
完全にめっきスルーホール穴壁内に照射させることは難
しく、エッチングでピンホールが発生しやすい。一方ポ
ジ型レジストは通常紫外線を照射させるのはめっきスル
ーホール以外のエッチングする部分であるが、ガイド穴
や基準穴のようにめっきを不要とするスルーホール部分
には紫外線を穴に照射してエッチングレジストを現像時
に除去する必要がある。しかしながら、穴壁上のエッチ
ングレジストに紫外線を確実に照射することは困難であ
り、穴壁上にめっき銅残りが発生するという問題があっ
た。
As resists, there are a negative type resist which is cured by irradiation with active energy rays due to photosensitivity and a positive type resist which can be dissolved in an alkaline aqueous solution or the like by irradiation with active energy rays. For negative resist, it is necessary to irradiate the resist in the plated through hole with ultraviolet rays,
It is difficult to completely irradiate the inside of the plated through-hole wall, and pinholes are likely to occur during etching. On the other hand, the positive type resist is usually exposed to ultraviolet rays on the part to be etched other than the plated through holes, but the through holes that do not require plating, such as guide holes and reference holes, are irradiated with ultraviolet rays and etched. The resist needs to be removed during development. However, it is difficult to reliably irradiate the etching resist on the hole wall with ultraviolet rays, and there is a problem that plated copper residue is generated on the hole wall.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来法の
欠点をなくし、めっきスルーホールの被覆が容易でパタ
ーン形成精度が高く量産加工性に優れたエッチングレジ
ストシートおよびこれを用いたプリント配線板の製造方
法を提供するものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention eliminates the above-mentioned drawbacks of the conventional method, easily coats plated through holes, has high pattern formation accuracy, and is excellent in mass production workability, and a printed wiring board using the same. The present invention provides a method for manufacturing the same.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明者等は鋭意検討した結果、後記樹脂組成物の
層の剥離が可能な保護フィルム上に、アルカリ可溶で加
熱による流動性が小さく活性エネルギー線に感応する第
1の樹脂組成物の層を設け、さらにその上にアルカリ可
溶で加熱による流動性が大きく活性エネルギー線に感応
する第2の樹脂組成物の層を設けてなるエッチングレジ
ストシートを発明するに至った。
In order to solve the above problems, the inventors of the present invention have conducted diligent studies, and as a result, as a result of heating on a protective film capable of peeling a layer of a resin composition described later, which is soluble in alkali and flows by heating. A layer of a first resin composition having a small property and sensitive to active energy rays is provided, and a layer of a second resin composition which is soluble in alkali and has a high fluidity by heating and is sensitive to active energy rays is further provided thereon. The inventors have invented an etching resist sheet made of

【0010】前述のとおりレジストには感光性により、
ネガ型とポジ型に分けられるが、価格の安さ、活性エネ
ルギー線に対する感度が大きいことおよび現像の際の現
像液のpH領域が広くて現像し易いことからネガ型の使
用が好ましい。以下特に説明のない限り、ネガ型レジス
トについて述べる。
As described above, the resist has photosensitivity.
Although it can be classified into a negative type and a positive type, it is preferable to use the negative type because it is inexpensive, has a high sensitivity to active energy rays, and has a wide pH range of a developing solution at the time of development, which facilitates development. The negative resist will be described below unless otherwise specified.

【0011】さらに本発明は、第1および第2の樹脂組
成物は、アクリル酸および/またはメタクリル酸(以下
「(メタ)アクリル酸」と称する。)並びに(メタ)ア
クリル酸エステルを主成分とする重合体であって、その
構成単位である(メタ)アクリル酸に由来するカルボキ
シル基の一部に、グリシジル基を有するエチレン性不飽
和化合物が付加された線状重合体をベースポリマーと
し、これに架橋剤、活性エネルギー線硬化反応開始剤お
よび活性エネルギー線硬化増感剤を配合してなる組成物
であり、さらに各ベースポリマーの分子量は、第1の樹
脂組成物は20,000〜200,000で、第2の樹
脂組成物は1,000〜50,000でかつ第1の樹脂
組成物より小さいことを特徴とするエッチングレジスト
シートである。
Furthermore, in the present invention, the first and second resin compositions contain acrylic acid and / or methacrylic acid (hereinafter referred to as "(meth) acrylic acid") and (meth) acrylic acid ester as main components. The polymer, which is a structural unit, a part of the carboxyl group derived from (meth) acrylic acid, a linear polymer having an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group added to the base polymer, Is a composition in which a crosslinking agent, an active energy ray curing reaction initiator and an active energy ray curing sensitizer are blended, and the molecular weight of each base polymer is 20,000 to 200, 000, the second resin composition is 1,000 to 50,000 and smaller than the first resin composition.

【0012】ここで、加熱による流動性が大きいとは、
めっきスルーホールを有するめっきパネルに、本発明の
エッチングレジストシートの樹脂組成物側を重ねてラミ
ネートする工程における加熱、即ち概ね60〜120℃
の、樹脂組成物が熱硬化しない温度範囲において、樹脂
組成物の層が溶融してめっきパネルのめっきスルーホー
ル内に容易に流れ出し、めっきスルーホールを埋めるこ
とができることを指す。
Here, the fact that the fluidity due to heating is large means that
Heating in the step of laminating the resin composition side of the etching resist sheet of the present invention on a plated panel having a plated through hole, that is, approximately 60 to 120 ° C.
In the temperature range in which the resin composition is not thermoset, the layer of the resin composition is melted and easily flows into the plated through hole of the plated panel to fill the plated through hole.

【0013】本発明で使用するエッチングレジストシー
トにおいて、第1および第2の樹脂組成物は、(メタ)
アクリル酸および(メタ)アクリル酸エステルを主成分
とする重合体であって、その構成単位である(メタ)ア
クリル酸に由来するカルボキシル基の一部に、グリシジ
ル基を有するエチレン性不飽和化合物を付加させた線状
重合体からなる、アルカリ水溶液に可溶なベースポリマ
ーを主成分とするのが好ましい。該ベースポリマーに、
架橋剤としての例えば1個以上の末端エチレン基を有す
る重合性化合物、活性エネルギー線硬化反応開始剤およ
び活性エネルギー線硬化増感剤を配合すると第1および
第2の樹脂組成物が得られるが、さらにその種類および
目的に応じて、熱硬化剤、難燃剤、着色顔料、耐湿顔
料、消泡剤、レベリング剤、チクソ性付与剤、重合禁止
剤、沈降防止剤等を適宜添加することができる。
In the etching resist sheet used in the present invention, the first and second resin compositions are (meth)
A polymer mainly composed of acrylic acid and (meth) acrylic acid ester, wherein an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group is added to a part of a carboxyl group derived from (meth) acrylic acid which is a constitutional unit of the polymer. It is preferable that the main component is a base polymer which is composed of an added linear polymer and is soluble in an alkaline aqueous solution. In the base polymer,
When a polymerizable compound having, for example, one or more terminal ethylene groups as a cross-linking agent, an active energy ray curing reaction initiator and an active energy ray curing sensitizer are added, the first and second resin compositions are obtained, Further, a thermosetting agent, a flame retardant, a coloring pigment, a moisture resistant pigment, a defoaming agent, a leveling agent, a thixotropic agent, a polymerization inhibitor, an anti-settling agent and the like can be appropriately added depending on the type and purpose.

【0014】本発明のエッチングレジストシートに使用
する第1および第2の樹脂組成物の加熱による流動性
は、ベースポリマーの分子量、架橋剤の種類および架橋
剤の量によって制御できる。即ち、ベースポリマーの分
子量が小さいほど、硬化前の流動性がより高い架橋剤を
使用するほどおよび架橋剤の量が多いほど、樹脂組成物
の加熱による流動性は大きくなる。
The fluidity of the first and second resin compositions used in the etching resist sheet of the present invention upon heating can be controlled by the molecular weight of the base polymer, the type of crosslinking agent and the amount of crosslinking agent. That is, the smaller the molecular weight of the base polymer, the use of a crosslinking agent having a higher fluidity before curing, and the greater the amount of the crosslinking agent, the greater the fluidity of the resin composition due to heating.

【0015】本発明で使用するアルカリ可溶で活性エネ
ルギー線に感応する第1および第2の樹脂組成物を構成
するベースポリマー(以下単に「ベースポリマー」と称
する。)としては、アクリロイル基および/またはメタ
クリロイル基等の光重合或いは光二量化する感光性基と
を含有する感光性のあるアルカリ水溶液に可溶なアクリ
ル樹脂および/またはメタクリル樹脂(以下「(メタ)
アクリル樹脂」と称する。)の使用が、製造時の分子量
の制御がし易くかつ高分子量が得られるので好ましい。
As the base polymer (hereinafter simply referred to as "base polymer") constituting the first and second resin compositions which are soluble in alkali and are sensitive to active energy rays used in the present invention, an acryloyl group and / or Alternatively, an acrylic resin and / or a methacrylic resin soluble in a photosensitive alkaline aqueous solution containing a photopolymerizable or photodimerizable photosensitive group such as a methacryloyl group (hereinafter referred to as “(meth)”
It is called "acrylic resin". It is preferable to use) because it is easy to control the molecular weight during production and a high molecular weight is obtained.

【0016】ベースポリマーは、その感光性基の濃度が
0.1〜5.0meq/gの範囲が好ましく、更に好ま
しくは0.3〜4.0meq/gである。感光性基の濃
度が小さすぎると光硬化性が悪くなり、大きすぎると保
存安定性が悪くなる。
The concentration of the photosensitive group in the base polymer is preferably 0.1 to 5.0 meq / g, more preferably 0.3 to 4.0 meq / g. If the concentration of the photosensitive group is too low, the photocurability deteriorates, and if it is too high, the storage stability deteriorates.

【0017】ベースポリマーとしては、(メタ)アクリ
ル酸エステル、スチレンやアクリロニトリル等のビニル
モノマーまたはN−フェニルマレイミド等と、(メタ)
アクリル酸との共重合体に、グリシジルアクリレートお
よび/またはグリシジルメタクリレート(以下「グリシ
ジル(メタ)アクリレート」と称する。)等のグリシジ
ル基を有するエチレン性不飽和化合物を開環付加したも
の(以下「開環付加物」と称する。)が耐熱性が良いの
で更に好ましい。
Examples of the base polymer include (meth) acrylic acid ester, vinyl monomers such as styrene and acrylonitrile, N-phenylmaleimide, and the like, and (meth)
A copolymer obtained by ring-opening addition of an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group such as glycidyl acrylate and / or glycidyl methacrylate (hereinafter referred to as "glycidyl (meth) acrylate") to a copolymer with acrylic acid (hereinafter referred to as "opening"). The term "cycloaddition product") is more preferable because it has good heat resistance.

【0018】この開環付加物は、溶剤(例えばジグライ
ムなどのエーテル類、エチルカルビトールアセテート、
エチルセロソルブアセテート、イソプロピルアセテート
等のエステル類、メチルエチルケトン、シクロヘキサノ
ン等のケトン類)に、前記共重合体を溶解し、グリシジ
ル(メタ)アクリレートをそのまま或いは溶剤で希釈し
て適下しながら反応させて得られる。
The ring-opening adduct is a solvent (for example, ethers such as diglyme, ethyl carbitol acetate,
Ethyl cellosolve acetate, isopropyl acetate, etc. esters, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, etc. ketone)) and dissolve the copolymer, and then react the glycidyl (meth) acrylate as it is or by diluting it with a solvent To be

【0019】この際、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノ
メチルエーテル、フェノチアジン等のラジカル重合禁止
剤を10〜10,000ppm、好ましくは30〜5,
000ppm、特に好ましくは50〜2,000ppm
の範囲で添加し、反応温度を好ましくは室温〜170
℃、更に好ましくは40〜150℃、特に好ましくは6
0〜130℃の範囲で行うのが良い。また、触媒として
テトラブチルアンモニウムブロマイド、トリメチルベン
ジルアンモニウムクロライド等の四級アンモニウム塩、
トリエチルアミンなどの三級アミン等を添加しても良
い。
At this time, a radical polymerization inhibitor such as hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether or phenothiazine is added in an amount of 10 to 10,000 ppm, preferably 30 to 5,
000 ppm, particularly preferably 50 to 2,000 ppm
And the reaction temperature is preferably room temperature to 170.
° C, more preferably 40 to 150 ° C, particularly preferably 6
It is good to carry out in the range of 0 to 130 ° C. Further, as a catalyst, tetrabutylammonium bromide, a quaternary ammonium salt such as trimethylbenzylammonium chloride,
A tertiary amine such as triethylamine may be added.

【0020】前記共重合体中のカルボキシル基にグリシ
ジル(メタ)アクリレートのグリシジル基を開環付加さ
せる際に、カルボキシル基の一部を残して適切な酸価に
なるようにすれば、得られる開環付加物はアルカリ可溶
性となる。酸価が小さくなりすぎてアルカリ溶解性が低
下した場合は、上記反応で生成した二級水酸基に酸無水
物を開環付加することにより酸価を上げることができ
る。
When the glycidyl group of glycidyl (meth) acrylate is subjected to the ring-opening addition to the carboxyl group in the above-mentioned copolymer, a suitable acid value can be obtained by leaving a part of the carboxyl group. The cycloadduct becomes alkali-soluble. When the acid value becomes too small and the alkali solubility decreases, the acid value can be increased by ring-opening addition of an acid anhydride to the secondary hydroxyl group generated in the above reaction.

【0021】本発明の第1の樹脂組成物のベースポリマ
ーとしては、全体を100重量部とし、(メタ)アクリ
ル酸を20〜40重量部、(メタ)アクリル酸エステル
を40〜75重量部、残部をスチレンやアクリロニトリ
ル等のビニルモノマーまたはN−フェニルマレイミド等
とし、(メタ)アクリル酸由来のカルボキシル基の30
〜70%相当分をグリシシル(メタ)アクリレートで変
性したものが好ましい。(メタ)アクリル酸が40重量
部を超えるとアルカリ溶解性が高すぎるし、20重量部
未満ではアルカリ溶解性が低下するのでパターン解像度
が落ちる。ベースポリマーにはスチレンを5〜20重量
部共重合させることが好ましい。スチレンが20重量部
を超えると樹脂層が硬くなりひび割れし易くなり、5重
量部未満では耐熱性が得られ難い。(メタ)アクリル酸
エステルの量により、Tg(ガラス転移温度)の調整、
樹脂流動性、アルカリ溶解性の調整が可能で上記範囲が
最適範囲である。
As the base polymer of the first resin composition of the present invention, the total amount is 100 parts by weight, 20 to 40 parts by weight of (meth) acrylic acid, 40 to 75 parts by weight of (meth) acrylic acid ester, The balance is a vinyl monomer such as styrene or acrylonitrile, or N-phenylmaleimide, etc., and the carboxyl group derived from (meth) acrylic acid is 30
It is preferable that about 70% is modified with glycicyl (meth) acrylate. If the amount of (meth) acrylic acid exceeds 40 parts by weight, the alkali solubility will be too high, and if it is less than 20 parts by weight, the alkali solubility will decrease and the pattern resolution will decrease. It is preferable to copolymerize 5 to 20 parts by weight of styrene with the base polymer. If the amount of styrene exceeds 20 parts by weight, the resin layer becomes hard and cracks easily, and if it is less than 5 parts by weight, it is difficult to obtain heat resistance. Adjustment of Tg (glass transition temperature) by the amount of (meth) acrylic acid ester,
The resin flowability and alkali solubility can be adjusted, and the above range is the optimum range.

【0022】本発明の第2の樹脂組成物のベースポリマ
ーとしては、全体を100重量部とし、(メタ)アクリ
ル酸20〜40重量部、(メタ)アクリル酸エステルを
40〜75重量部、残部をスチレンやアクリロニトリル
等のビニルモノマーまたはN−フェニルマレイミド等と
し、(メタ)アクリル酸由来のカルボキシル基の20〜
40%相当分をグリシシル(メタ)アクリレートで変性
したものが好ましい。
As the base polymer of the second resin composition of the present invention, the total amount is 100 parts by weight, 20 to 40 parts by weight of (meth) acrylic acid, 40 to 75 parts by weight of (meth) acrylic acid ester, and the balance. Is a vinyl monomer such as styrene or acrylonitrile, or N-phenylmaleimide, and has 20 to 20% of the carboxyl group derived from (meth) acrylic acid.
It is preferable that 40% of the amount is modified with glycicyl (meth) acrylate.

【0023】本発明の第1の樹脂組成物のベースポリマ
ーは、その分子量(ゲルパーミュエーションクロマトグ
ラフによるポリスチレン換算重量平均分子量)が20,
000〜200,000の範囲のものが好ましく、更に
好ましくは40,000〜150,000である。分子
量が小さすぎると加熱による流動性が大きくなり過ぎ、
分子量が大きくなりすぎるとアルカリ溶解性が悪くな
る。また、第2の樹脂組成物を構成するベースポリマー
としては分子量が1,000〜50,000のものが好
ましく、更に好ましくは5,000〜30,000であ
る。分子量が小さすぎると耐熱性、耐水性等が悪くな
り、大きくなりすぎると加熱による流動性が小さくなり
過ぎる。なお、いずれにせよ第2の樹脂組成物のベース
ポリマーの分子量は、第1の樹脂組成物のベースポリマ
ーの分子量よりも小さいことを要する。
The base polymer of the first resin composition of the present invention has a molecular weight (polystyrene conversion weight average molecular weight by gel permeation chromatography) of 20,
It is preferably in the range of 000 to 200,000, more preferably 40,000 to 150,000. If the molecular weight is too small, the fluidity due to heating becomes too large,
If the molecular weight becomes too large, the alkali solubility will deteriorate. Further, the base polymer constituting the second resin composition preferably has a molecular weight of 1,000 to 50,000, more preferably 5,000 to 30,000. If the molecular weight is too small, heat resistance, water resistance, etc. deteriorate, and if it is too large, fluidity due to heating becomes too small. In any case, the molecular weight of the base polymer of the second resin composition needs to be smaller than the molecular weight of the base polymer of the first resin composition.

【0024】本発明の第1および第2の樹脂組成物を構
成するベースポリマーは、その酸価が0.2〜10.0
meq/gの範囲が好ましく、更に好ましくは0.4〜
5.0meq/gで、特に好ましくは0.6〜3.0m
eq/gである。酸価が小さすぎるとアルカリ溶解性が
悪くなり、大きすぎると耐水性等が悪くなる。
The acid value of the base polymer constituting the first and second resin compositions of the present invention is 0.2 to 10.0.
The range of meq / g is preferable, and more preferably 0.4 to
5.0 meq / g, particularly preferably 0.6 to 3.0 m
eq / g. If the acid value is too small, the alkali solubility will be poor, and if it is too large, the water resistance will be poor.

【0025】本発明の第1および第2の樹脂組成物に
は、架橋剤として1個以上の末端エチレン基を有する重
合性化合物および/または熱硬化性樹脂の使用が好まし
い。前者としては(メタ)アクリル系やエポキシ系の化
合物等が使用できる。その例としては、単官能性化合物
としては2−エチルヘキシルアクリレート、2−ヒドロ
キシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアク
リレート;2官能性化合物としてはウレタンアクリレー
ト、1,3−ブタンジオールジアクリレート、1,4−
ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオ
ールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレ
ート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ポリエ
チレングリコールジアクリレート、ヒドロキシピバリン
酸エステルネオペンチルグリコールジアクリレート;多
官能性化合物としてはトリメチロールプロパントリアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジ
ペンタエリストールヘキサアクリレート、トリアリルイ
ソシアヌレート等が挙げられ、これらはオリゴマー状態
でも使用できる。熱硬化性樹脂としてはウレタン樹脂、
エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂
等が挙げられる。
In the first and second resin compositions of the present invention, it is preferable to use a polymerizable compound having at least one terminal ethylene group and / or a thermosetting resin as a crosslinking agent. As the former, a (meth) acrylic compound or an epoxy compound can be used. Examples thereof include 2-ethylhexyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, and 2-hydroxypropyl acrylate as monofunctional compounds; urethane acrylate, 1,3-butanediol diacrylate, and 1,4-difunctional compounds.
Butanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, hydroxypivalate neopentyl glycol diacrylate; trimethylolpropane triacrylate as a polyfunctional compound , Pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, triallyl isocyanurate, and the like, and these can be used in an oligomer state. Urethane resin as thermosetting resin,
Epoxy resins, unsaturated polyester resins, alkyd resins and the like can be mentioned.

【0026】紫外線、電子線等活性エネルギー線硬化の
反応開始剤としては、ベンゾインエーテル系としてベン
ジル、ベンゾイン、ベンゾインアルキルエーテル、1−
ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン;ケタール系
としてベンジルジアルキルケタール;アセトフェノン系
として2,2’−ジアリコキシアセトフェノン、2−ヒ
ドロキシアセトフェノン、p−t−ブチルトリクロロア
セトフェノン、p−t−ブチルジクロロアセトフェノ
ン;ベンゾフェノン系としてベンゾフェノン、4−クロ
ルベンゾフェノン、4,4’−ジクロルベンゾフェノ
ン、4,4’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、o
−ベンゾイル安息香酸メチル、3,3’−ジメチル−4
−メトキシベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メ
チルジフェニルスルフィド、ジベンゾスベロン、ベンジ
メチルケタール;チオキサントン系としてチオキサント
ン、2−クロルチオキサントン、2−アルキルチオキサ
ントン、2,4−ジアルキルチオキサントン、2−アル
キルアントラキノン、2,2’−ジクロロ−4−フェノ
キシアセトン等が挙げられ、その配合量は、ベースポリ
マーおよび架橋剤の固形分(以下「樹脂固形分」と称す
る。)100重量部に対して0.5〜10重量部が好ま
しい。0.5重量部未満では反応が十分開始されなく、
10重量部を超えると樹脂層が脆くなる。
As a reaction initiator for curing active energy rays such as ultraviolet rays and electron rays, benzoin ether type benzyl, benzoin, benzoin alkyl ether, 1-
Hydroxycyclohexyl phenyl ketone; benzyl dialkyl ketal as a ketal system; 2,2′-dialicoxyacetophenone, 2-hydroxyacetophenone, pt-butyltrichloroacetophenone, pt-butyldichloroacetophenone as an acetophenone system; benzophenone as a benzophenone system , 4-chlorobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bisdimethylaminobenzophenone, o
-Methyl benzoylbenzoate, 3,3'-dimethyl-4
-Methoxybenzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, dibenzosuberone, benzyl dimethyl ketal; thioxanthone type thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-alkylthioxanthone, 2,4-dialkylthioxanthone, 2-alkylanthraquinone, 2,2'-dichloro-4-phenoxyacetone and the like are included, and the amount thereof is 0.5 to 100 parts by weight of the solid content of the base polymer and the crosslinking agent (hereinafter referred to as "resin solid content"). 10 parts by weight is preferred. If the amount is less than 0.5 parts by weight, the reaction will not be sufficiently initiated,
If it exceeds 10 parts by weight, the resin layer becomes brittle.

【0027】紫外線、電子線等活性エネルギー線硬化の
反応時の増感剤としては新日曹化工(株)製のニッソキ
ュアEPA、EMA、IAMA、EHMA、MABP、
EABP等、日本化薬(株)製のカヤキュアEPA、D
ETX、DMBI等、Ward Blenkinsop
社製のQuntacure EPD、BEA、EOB、
DMB等、大阪有機(株)製のDABA、大東化学
(株)製のPAA、DAA等が挙げられる。その配合量
は樹脂固形分100重量部に対して0.5〜10重量部
が好ましい。0.5重量部未満では活性エネルギー線硬
化の反応速度は向上せず、10重量部を超えると反応が
速くなり、シェルフライフを低下させる。電子線照射で
使用する場合は反応増感剤を省いてもよい。
As a sensitizer at the time of curing of active energy rays such as ultraviolet rays and electron beams, Nisso Cure EPA, EMA, IAMA, EHMA, MABP manufactured by Shin Nisso Kako Co., Ltd.
Kayakyu EPA, D manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. such as EABP
Ward Blenkinsop, ETX, DMBI, etc.
Quantacure EPD, BEA, EOB,
Examples thereof include DMB and the like, DABA manufactured by Osaka Organic Co., Ltd., and PAA and DAA manufactured by Daito Chemical Co., Ltd. The blending amount thereof is preferably 0.5 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the resin solid content. When the amount is less than 0.5 part by weight, the reaction rate of the active energy ray curing does not improve. When the amount exceeds 10 parts by weight, the reaction speeds up and the shelf life is reduced. When used by electron beam irradiation, the reaction sensitizer may be omitted.

【0028】本発明におけるエッチングレジストシート
において、保護フィルムに塗布する第1の樹脂組成物の
層の厚さは10〜100μm、第2の樹脂組成物の層は
20〜60μmが好ましく、必要なパターン精度、めっ
きスルーホールの穴径およびめっきパネルの板厚等によ
り最適な厚さの組み合わせを設定できる。なお、保護フ
ィルムとしては、樹脂組成物の層を剥離可能であれば特
に種類は問わず、ポリエステルフィルムが好ましく使用
される。
In the etching resist sheet of the present invention, the thickness of the layer of the first resin composition applied to the protective film is preferably 10 to 100 μm, and the layer of the second resin composition is preferably 20 to 60 μm. The optimum combination of thicknesses can be set depending on the accuracy, the diameter of the plated through hole, the thickness of the plated panel, etc. As the protective film, a polyester film is preferably used regardless of the type as long as the resin composition layer can be peeled off.

【0029】本発明のエッチングレジストシートを用い
た多層プリント配線板の製造方法は例えば次の工程より
なる。即ちめっきスルーホールを有し表面全体がめっき
された絶縁基板からなるめっきパネルに、本発明のエッ
チングレジストシートを加熱積層して、該めっきスルー
ホールを第2の樹脂組成物で充填し、かつ該パネル表面
全体を第1の樹脂組成物の層で覆う工程;保護フィルム
を剥離する工程;該パネルのめっきスルーホールのうち
レジストで閉塞する部分および配線パターンを形成する
箇所に、活性エネルギー線を照射して露光部分の樹脂組
成物を硬化させるか、或いはめっきスルーホールのうち
レジストで閉塞する部分および配線パターンを形成する
箇所を除いた部分に活性エネルギー線を照射して、露光
部分の樹脂組成物をアルカリ可溶性とする工程;未硬化
またはアルカリ可溶性の樹脂組成物を弱アルカリ水溶液
で溶解する工程;露出しためっき部をエッチングする工
程;パネル表面の第1の樹脂組成物の層およびめっきス
ルーホール中の第2の樹脂組成物を強アルカリ水溶液で
溶解する工程;の組合せからなる。
The method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the etching resist sheet of the present invention comprises, for example, the following steps. That is, the etching resist sheet of the present invention is heat-laminated on a plated panel made of an insulating substrate having plated through holes and the entire surface is plated, and the plated through holes are filled with the second resin composition, and The step of covering the entire panel surface with a layer of the first resin composition; the step of peeling the protective film; the portion of the plated through hole of the panel that is closed by the resist and the portion where the wiring pattern is formed are irradiated with active energy rays. To cure the resin composition in the exposed portion, or to irradiate active energy rays to a portion of the plated through hole except the portion closed by the resist and the portion where the wiring pattern is formed, and the resin composition in the exposed portion To make it alkali-soluble; a step of dissolving an uncured or alkali-soluble resin composition in a weak alkaline aqueous solution; exposing It consists of the combination; first second step of dissolving the resin composition in strongly alkaline aqueous solution of the layer and in the plated through-holes of the resin composition of the panel surface; the plating part etching process.

【0030】表面全体がめっきされてめっきスルーホー
ルを有する絶縁基板からなるめっきパネルは、例えば絶
縁基板にドリル加工、レーザー加工等でスルーホール、
ブラインドバイアホールを施し、無電解銅めっきおよび
電解銅めっき等で、パネル全面およびスルーホール、ブ
ラインドバイアホールを全面的にめっきすることにより
得られる。
A plated panel made of an insulating substrate having a plated through-hole on the entire surface is plated with a through-hole, for example, by drilling or laser processing on the insulating substrate.
A blind via hole is provided, and the entire surface of the panel, the through hole, and the blind via hole are plated by electroless copper plating, electrolytic copper plating, or the like.

【0031】該パネルに、エッチングレジストシートを
用いてエッチングレジストを形成するには、60〜12
0℃に加熱したメタルロールまたはゴムロールで、ロー
ル圧2〜5kg/cm2 でラミネートすればよい。このよう
に熱をかけてラミネートすると、第2の樹脂組成物の層
は加熱による流動性が大きいため、めっきスルーホール
の中に入り込むことになる。一方第1の樹脂組成物は、
加熱時の流動性が小さいので、パネルの表面に残り平滑
性を保つことができる。ちなみに第2の樹脂組成物は、
全てがめっきスルーホール内に入るのでなく、一部パネ
ルの表面に残ることもある。上記エッチングレジストシ
ートのラミネートは両面同時に行っても良いが、めっき
スルーホール内に流れ込んだ第2の樹脂組成物の層中の
気泡を防止するため、片面づつラミネートした方が好ま
しい。
To form an etching resist on the panel using an etching resist sheet, 60 to 12 is used.
A metal roll or a rubber roll heated to 0 ° C. may be laminated at a roll pressure of 2 to 5 kg / cm 2 . When laminated by applying heat as described above, the layer of the second resin composition has a large fluidity due to heating, and therefore enters the plated through hole. On the other hand, the first resin composition is
Since the fluidity during heating is small, the surface of the panel can remain smooth. By the way, the second resin composition,
Not all of them go into the plated through holes, but some of them may remain on the surface of the panel. The etching resist sheet may be laminated on both sides at the same time, but it is preferable to laminate the etching resist sheet on each side in order to prevent bubbles in the layer of the second resin composition which has flowed into the plated through holes.

【0032】エッチングレジストをラミネートした後、
露光現像を行うが、この場合、保護フィルムをこのまま
残して露光してもよいが、保護フィルムを剥離してから
露光する方が解像度が上がるので好ましい。
After laminating the etching resist,
Although exposure and development are performed, in this case, the protective film may be left as it is for exposure, but it is preferable to peel off the protective film and then perform exposure because the resolution is improved.

【0033】即ち、本発明のエッチングレジストシート
は、一般的に第1の樹脂組成物の層は、分子量が大きく
熱による流動性が小さいことと併せて粘着性が低いの
で、保護フィルムを剥離した後で配線パターン露光する
ためのガラスやフィルムのホトツールに樹脂組成物が付
着することが少ないので、従来のドライフィルムのよう
に保護フィルムの上にホトツールを載せて露光する必要
が無く、直接ホトツールを載せることができるので、保
護フィルムの隙間からの露光漏れが皆無になるためパタ
ーン形成精度が著しく向上するものである。さらに第1
の樹脂組成物の層の厚さを薄くすることもできるのでよ
り高密度パターンの形成も可能となる。
That is, in the etching resist sheet of the present invention, since the layer of the first resin composition generally has a large molecular weight and a small fluidity due to heat, and also has a low tackiness, the protective film is peeled off. Since the resin composition rarely adheres to the glass or film phototool for exposing the wiring pattern later, it is not necessary to place the phototool on the protective film for exposure as in the conventional dry film, and the phototool can be directly exposed. Since it can be placed, the exposure leakage from the gap of the protective film is eliminated, so that the pattern forming accuracy is remarkably improved. First
Since the thickness of the resin composition layer can be reduced, it is possible to form a higher density pattern.

【0034】露光はホトツールを介して紫外線照射を行
うのが好ましい。ネガ型レジストの場合は、照射により
硬化した部分は炭酸ナトリウムのような弱アルカリ水溶
液に難溶性となり、未露光部分を弱アルカリ水溶液で溶
解除去する。この際パネルの配線パターンを形成する部
分およびめっきスルーホール部を閉塞するようにエッチ
ングレジストを形成する。ポジ型レジストの場合は、露
光部分が弱アルカリ可溶性となるので、パネルの配線パ
ターンを形成する箇所およびレジストで閉塞するめっき
スルーホールを除いた部分に紫外線を照射した後、露光
部分を弱アルカリ水溶液で溶解除去する。なお、前述の
ように価格の安さ、活性エネルギー線に対する感応性の
高さおよび現像のし易さからネガ型レジストの使用が好
ましい。
The exposure is preferably carried out by irradiating ultraviolet rays through a photo tool. In the case of a negative resist, the portion cured by irradiation becomes slightly soluble in a weak alkaline aqueous solution such as sodium carbonate, and the unexposed portion is dissolved and removed with a weak alkaline aqueous solution. At this time, an etching resist is formed so as to close the portion where the wiring pattern of the panel is formed and the plated through hole portion. In the case of a positive type resist, the exposed part becomes soluble in weak alkali, so after irradiating ultraviolet rays to the part where the wiring pattern of the panel is formed and the part except the plating through hole that is blocked by the resist, the exposed part is weakly alkaline aqueous solution. Dissolve and remove. As described above, it is preferable to use a negative resist because of its low price, high sensitivity to active energy rays, and ease of development.

【0035】次に、周知の銅エッチング液でエッチング
を行うが、めっきスルーホール部分は第2の樹脂組成物
が穴の中に入り込み、第1の樹脂組成物が表面を塞いで
いるのでエッチング液が穴内に入り込んで穴内のめっき
を腐食することなく、めっきスルーホールは所定の形状
で残ることになる。
Next, etching is performed using a known copper etching solution. The plating through hole portion has the second resin composition penetrating into the hole and the first resin composition blocking the surface, so that the etching solution is used. Will not enter the hole and corrode the plating in the hole, and the plated through hole will remain in a predetermined shape.

【0036】次に、水酸化ナトリウム等の強アルカリ水
溶液で、めっきスルーホール内の第2の樹脂組成物の層
およびパネル表面に残る第1の樹脂組成物の層および第
2の樹脂組成物の層を剥離することにより、めっきスル
ーホールを有するプリント配線板が得られる。
Then, with a strong alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide, the second resin composition layer in the plated through holes and the first resin composition layer remaining on the panel surface and the second resin composition layer are formed. By peeling off the layers, a printed wiring board having plated through holes is obtained.

【0037】[0037]

【作用】上記エッチングレジストをめっきスルーホール
を有するプリント配線板に熱ロールでラミネートする
と、第2の樹脂組成物の層は加熱による流動性が大きい
のでめっきスルーホール内に流れる。プリント配線板の
仕様と樹脂層の厚さを制御すればめっきスルーホールを
ほぼ完全に埋めることができる。一方、第1の樹脂組成
物の層は加熱による流動性が小さいのでめっきスルーホ
ールの表面に均一な厚さでかつ表面の平滑なエッチング
レジスト層を形成することになる。
When the above etching resist is laminated on a printed wiring board having a plated through hole with a hot roll, the second resin composition layer flows into the plated through hole because it has high fluidity due to heating. By controlling the specifications of the printed wiring board and the thickness of the resin layer, the plated through holes can be almost completely filled. On the other hand, since the first resin composition layer has a low fluidity due to heating, an etching resist layer having a uniform thickness and a smooth surface is formed on the surface of the plated through hole.

【0038】[0038]

【実施例】【Example】

(実施例1) (ベースポリマーの合成例1)n−ブチルメタクリレー
ト40重量部、メチルメタクリレート15重量部、ヒド
ロキシエチルメタクリレート10重量部、メタクリル酸
25重量部およびアゾビスイソブチルニトリル1重量部
からなる混合物を、窒素ガス雰囲気下で80℃に保持し
たプロピレングリコールモノメチルエーテル120重量
部中に5時間かけて滴下した。その後、1時間熟成後、
さらにアゾビスイソブチルニトリル0.5重量部を加え
て2時間熟成することにより、カルボキシル基含有メタ
クリル樹脂を合成した。次に空気を吹き込みながら、グ
リシジルメタクリレート15重量部、テトラブチルアン
モニウムブロマイド1.5重量部、さらに重合禁止剤と
してハイドロキノン0.15重量部を加えて温度80℃
で8時間反応させて分子量50,000〜70,00
0、酸価1.2meq/g、不飽和当量1.14モル/
kgのカルボキシル基を有するベースポリマーを合成し
た。
Example 1 (Synthesis example 1 of base polymer) 40 parts by weight of n-butyl methacrylate, 15 parts by weight of methyl methacrylate, 10 parts by weight of hydroxyethyl methacrylate, 25 parts by weight of methacrylic acid and 1 part by weight of azobisisobutylnitrile. Was added dropwise to 120 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether kept at 80 ° C. in a nitrogen gas atmosphere over 5 hours. Then, after aging for 1 hour,
Further, 0.5 part by weight of azobisisobutylnitrile was added and aged for 2 hours to synthesize a carboxyl group-containing methacrylic resin. Next, while blowing in air, 15 parts by weight of glycidyl methacrylate, 1.5 parts by weight of tetrabutylammonium bromide, and 0.15 parts by weight of hydroquinone as a polymerization inhibitor were added to the mixture at a temperature of 80 ° C.
Reaction for 8 hours at a molecular weight of 50,000 to 70,000
0, acid value 1.2 meq / g, unsaturated equivalent 1.14 mol /
A base polymer having kg of carboxyl groups was synthesized.

【0039】(ベースポリマーの合成例2)n−ブチル
メタクリレート50重量部、ヒドロキシエチルメタクリ
レート9重量部、メタクリル酸32.5重量部およびア
ゾビスイソブチルニトリル2重量部からなる混合物を、
窒素ガス雰囲気下で90℃に保持したプロピレングリコ
ールモノメチルエーテル120重量部中に5時間かけて
滴下した。その後、1時間熟成後、さらにアゾビスイソ
ブチルニトリル1重量部を加えて2時間熟成することに
よりカルボキシル基含有メタクリル樹脂を合成した。次
に空気を吹き込みながら、グリシジルメタクリレート1
5重量部、テトラブチルアンモニウムブロマイド1.5
重量部、さらに重合禁止剤としてハイドロキノン0.1
5重量部を加えて温度80℃で8時間反応させて分子量
20,000〜25,000、酸価2.0meq/g、
不飽和当量1.14モル/kgのカルボキシル基を有す
るベースポリマーを合成した。
Synthesis Example 2 of Base Polymer A mixture of 50 parts by weight of n-butyl methacrylate, 9 parts by weight of hydroxyethyl methacrylate, 32.5 parts by weight of methacrylic acid and 2 parts by weight of azobisisobutylnitrile was added,
It was added dropwise to 120 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether kept at 90 ° C. in a nitrogen gas atmosphere over 5 hours. Thereafter, after aging for 1 hour, 1 part by weight of azobisisobutylnitrile was further added and aging was performed for 2 hours to synthesize a carboxyl group-containing methacrylic resin. Next, while blowing in air, glycidyl methacrylate 1
5 parts by weight, tetrabutylammonium bromide 1.5
In addition, 0.1 part by weight of hydroquinone as a polymerization inhibitor
5 parts by weight was added and reacted at a temperature of 80 ° C. for 8 hours to have a molecular weight of 20,000 to 25,000 and an acid value of 2.0 meq / g.
A base polymer having a carboxyl group with an unsaturated equivalent of 1.14 mol / kg was synthesized.

【0040】(第1の樹脂組成物の調製)上述のように
作製した合成例1のベースポリマー60重量部、架橋剤
としてペンタエリスリトールトリアクリレート(東亞合
成(株)製アロニックスM−305)を20重量部およ
びウレタンアクリレート(東亞合成(株)製アロニック
スM−1600)20重量部、活性エネルギー線硬化反
応開始剤5重量部、活性エネルギー線硬化増感剤2重量
部、顔料としてメチレンブルー1重量部をよく混合して
第1の樹脂組成物を調製した。
(Preparation of First Resin Composition) 60 parts by weight of the base polymer of Synthesis Example 1 prepared as described above and 20 parts of pentaerythritol triacrylate (Aronix M-305 manufactured by Toagosei Co., Ltd.) as a crosslinking agent. 20 parts by weight and urethane acrylate (Aronix M-1600 manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 5 parts by weight of active energy ray curing reaction initiator, 2 parts by weight of active energy ray curing sensitizer, and 1 part by weight of methylene blue as a pigment. It mixed well and prepared the 1st resin composition.

【0041】(第2の樹脂組成物の調製)上述のように
作製した合成例2のベースレジン60重量部、架橋剤と
してアロニックスM−305を20重量部およびアロニ
ックスM−1600を20重量部、活性エネルギー線硬
化反応開始剤5重量部、活性エネルギー線硬化増感剤2
重量部並びに顔料としてメチレンブルー1重量部をよく
混合して第2の樹脂組成物を調製した。
(Preparation of Second Resin Composition) 60 parts by weight of the base resin of Synthesis Example 2 prepared as described above, 20 parts by weight of Aronix M-305 and 20 parts by weight of Aronix M-1600 as crosslinking agents, Active energy ray curing reaction initiator 5 parts by weight, active energy ray curing sensitizer 2
The second resin composition was prepared by thoroughly mixing 1 part by weight of methylene blue as a pigment and 1 part by weight of methylene blue.

【0042】(エッチングレジストシートの作成)16
μm厚ポリエステルフィルム上に前記第1の樹脂組成物
をバーコータで塗布し、80℃の雰囲気で5分間乾燥さ
せて10μmの第1の樹脂組成物の層を形成した。引き
続き、第1の樹脂組成物の層の上に前記の第2の樹脂組
成物をバーコータで塗布し、80℃の雰囲気で5分間乾
燥して40μmの第2の樹脂組成物の層を形成して、ロ
ール状のエッチングレジストシートを作成した。
(Preparation of etching resist sheet) 16
The first resin composition was applied on a μm thick polyester film by a bar coater and dried in an atmosphere of 80 ° C. for 5 minutes to form a 10 μm layer of the first resin composition. Subsequently, the above-mentioned second resin composition was applied onto the layer of the first resin composition with a bar coater and dried in an atmosphere of 80 ° C. for 5 minutes to form a layer of the second resin composition of 40 μm. Thus, a roll-shaped etching resist sheet was prepared.

【0043】本発明のエッチングレジストシートを使っ
たプリント配線板の製造方法を図面に則して説明する。
図1〜図6は本発明実施例の多層プリント配線板の製造
過程および構成を説明するための概略断面図である。
A method of manufacturing a printed wiring board using the etching resist sheet of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 to 6 are schematic cross-sectional views for explaining a manufacturing process and a structure of a multilayer printed wiring board according to an embodiment of the present invention.

【0044】板厚0.8mmのANSIグレードFR−
4のガラスエポキシ銅張積層板にドリル穴加工を施した
後、周知の銅めっき法によりめっきスルーホール7を有
し表面全体がめっきされためっきパネル5に、上記エッ
チングレジストシートを80℃のロール温度で、ロール
圧3kg/cm2 、送り速度1.0m/minでメタル
ロール8で片面づつラミネートして(図1、図2)、め
っきスルーホールに第2の樹脂組成物3で埋め込まれた
めっきパネル5の両面にエッチングレジスト層を形成す
ることができた(図3)。
ANSI grade FR with a plate thickness of 0.8 mm-
After the glass epoxy copper clad laminate of No. 4 is drilled, the above etching resist sheet is rolled at 80 ° C. on a plated panel 5 having a plated through hole 7 and a whole surface plated by a well-known copper plating method. At a temperature of 3 kg / cm 2 and a feed rate of 1.0 m / min, the metal roll 8 was used to laminate each side (FIGS. 1 and 2), and the second resin composition 3 was embedded in the plated through holes. An etching resist layer could be formed on both sides of the plated panel 5 (Fig. 3).

【0045】保護フィルム1を剥がした後、上記パネル
の表面にパターンフィルムを介し、200mJ/cm2
の紫外線を照射して1%炭酸ナトリウム溶液で現像(図
4)し、露出した銅をエッチング(図5)し、40℃の
2%水酸化ナトリウム溶液で膜はぎ(図6)することに
より高密度なプリント配線板が得られた。露光時にパタ
ーンフィルムを第1の樹脂組成物の層と直接接触させる
ことができるので30〜40μmと高いパターン解像度
が得られるが、該樹脂層はタックフリーであるためパタ
ーンフィルムは露光後容易にはがすことができた。
After peeling off the protective film 1, 200 mJ / cm 2 was applied to the surface of the panel through a pattern film.
By exposing it to 1% sodium carbonate solution (Fig. 4), etching the exposed copper (Fig. 5), and peeling the film with 2% sodium hydroxide solution at 40 ° C (Fig. 6). A dense printed wiring board was obtained. Since the pattern film can be brought into direct contact with the layer of the first resin composition at the time of exposure, a pattern resolution as high as 30 to 40 μm can be obtained, but since the resin layer is tack-free, the pattern film can be easily peeled off after exposure. I was able to.

【0046】[0046]

【発明の効果】従来のエッチングレジストでは得られな
かった表面平滑性を有し、しかもエッチングレジストの
厚さを極力薄くでき、しかも保護フィルム無しで露光で
きるのでパターン形成精度が高い。かつ、めっきスルー
ホールにエッチングレジストをラミネート工程のみで穴
埋めと表面のエッチングレジストの形成を同時に行うこ
とができるので、量産性に優れたプリント配線板の製造
が可能となり、工業的価値が極めて高いものである。
EFFECTS OF THE INVENTION The patterning accuracy is high because it has a surface smoothness which cannot be obtained by the conventional etching resist, the thickness of the etching resist can be made as thin as possible, and the exposure can be performed without a protective film. In addition, since it is possible to fill the plating through-hole with the etching resist only by the laminating process and to form the etching resist on the surface at the same time, it is possible to manufacture a printed wiring board with excellent mass productivity, which has an extremely high industrial value. Is.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のエッチングレジストシートを使用して
プリント配線板の製造過程における第1の面にラミネー
トしようとする工程の概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a step of laminating a first surface in a process of manufacturing a printed wiring board using the etching resist sheet of the present invention.

【図2】同製造過程における、第2の面にラミネートし
ようとする工程の概略断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a step of laminating on the second surface in the manufacturing process.

【図3】同製造過程における、エッチングレジストシー
トをラミネートした後のめっきパネルを示した概略断面
図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a plated panel after being laminated with an etching resist sheet in the same manufacturing process.

【図4】同製造過程における、露光現像によりエッチン
グレジストのパターンを形成した後の該パネルを示す概
略断面図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing the panel after forming a pattern of an etching resist by exposure and development in the same manufacturing process.

【図5】同製造過程における、銅をエッチングした後の
該パネルを示す概略断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing the panel after etching copper in the same manufacturing process.

【図6】同製造過程における、エッチングレジストを剥
離した後の該パネルを示す概略断面図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing the panel after the etching resist is peeled off in the manufacturing process.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 保護フィルム 2 第1の樹脂組成物の層 3 第2の樹脂組成物の層 4 めっき銅 5 めっきパネル 6 絶縁基板 7 めっきスルーホール 8 メタルロール 1 Protective Film 2 Layer of First Resin Composition 3 Layer of Second Resin Composition 4 Plated Copper 5 Plated Panel 6 Insulating Substrate 7 Plated Through Hole 8 Metal Roll

フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 3/42 B 7511−4E (72)発明者 平岡 秀樹 愛知県名古屋市港区船見町1番地の1東亞 合成株式会社名古屋総合研究所内Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Reference number within the agency FI Technical indication location H05K 3/42 B 7511-4E (72) Inventor Hideki Hiraoka 1 East Toa, 1 Funami-cho, Minato-ku, Aichi Prefecture Synthetic Co., Ltd. Nagoya Research Institute

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 保護フィルム上に、アルカリ可溶で加熱
による流動性が小さく活性エネルギー線に感応する第1
の樹脂組成物の層を設け、さらにその上にアルカリ可溶
で加熱による流動性が大きく活性エネルギー線に感応す
る第2の樹脂組成物の層を設けてなるエッチングレジス
トシート。
1. A first protective film which is soluble in alkali, has low fluidity when heated, and is sensitive to active energy rays.
An etching resist sheet comprising a layer of the resin composition described above, and a second resin composition layer which is soluble in alkali and has a high fluidity when heated and is sensitive to active energy rays.
【請求項2】 第1および第2の樹脂組成物は、アクリ
ル酸および/またはメタクリル酸並びにアクリル酸エス
テルおよび/またはメタクリル酸エステルを主成分とす
る重合体であって、その構成単位であるアクリル酸およ
び/またはメタクリル酸に由来するカルボキシル基の一
部に、グリシジル基を有するエチレン性不飽和化合物が
付加された線状重合体をベースポリマーとし、これに架
橋剤、活性エネルギー線硬化反応開始剤および活性エネ
ルギー線硬化増感剤を配合してなる組成物であり、さら
に各ベースポリマーの分子量は、第1の樹脂組成物は2
0,000〜200,000で、第2の樹脂組成物は
1,000〜50,000でかつ第1の樹脂組成物より
小さいことを特徴とするエッチングレジストシート。
2. The first and second resin compositions are polymers containing acrylic acid and / or methacrylic acid and acrylic acid ester and / or methacrylic acid ester as main components, and the acrylic resin which is a constitutional unit thereof. A linear polymer obtained by adding an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group to a part of a carboxyl group derived from an acid and / or methacrylic acid is used as a base polymer, and a crosslinking agent and an active energy ray curing reaction initiator are added to the base polymer. And the active energy ray curing sensitizer, and the first resin composition has a molecular weight of 2 for each base polymer.
The etching resist sheet is characterized in that the second resin composition is 10,000 to 20,000, and the second resin composition is 1,000 to 50,000 and smaller than the first resin composition.
【請求項3】 めっきスルーホールを有し表面全体がめ
っきされた絶縁基板からなるめっきパネルに、請求項1
または2記載のエッチングレジストシートを加熱積層し
て、該めっきスルーホールを第2の樹脂組成物で充填
し、かつ該パネル表面全体を第1の樹脂組成物の層で覆
う工程;保護フィルムを剥離する工程;該パネルのめっ
きスルーホールのうちレジストで閉塞する部分および配
線パターンを形成する箇所に、活性エネルギー線を照射
して露光部分の樹脂組成物を硬化させるか、或いはめっ
きスルーホールのうちレジストで閉塞する部分および配
線パターンを形成する箇所を除いた部分に活性エネルギ
ー線を照射して露光部分の樹脂組成物をアルカリ可溶性
とする工程;未硬化またはアルカリ可溶性の樹脂組成物
を弱アルカリ水溶液で溶解する工程;露出しためっき部
をエッチングする工程;パネル表面の第1の樹脂組成物
の層およびめっきスルーホール中の第2の樹脂組成物を
強アルカリ水溶液で溶解する工程;の組合せからなるこ
とを特徴とするプリント配線板の製造方法。
3. A plated panel comprising an insulating substrate having plated through-holes and having the entire surface plated,
Alternatively, a step of heating and laminating the etching resist sheet according to 2, filling the plated through holes with a second resin composition, and covering the entire panel surface with a layer of the first resin composition; peeling the protective film. Step of irradiating the resin composition of the exposed portion by irradiating active energy rays to the portion of the plated through hole of the panel closed by the resist and the portion where the wiring pattern is formed, or the resist of the plated through hole The step of irradiating the resin composition in the exposed portion with an alkali by irradiating an active energy ray to the portion except the portion to be closed with and the portion to form the wiring pattern; the uncured or alkali-soluble resin composition with a weak alkaline aqueous solution. A step of dissolving; a step of etching the exposed plating part; a layer of the first resin composition on the panel surface and a plating strip. Method for manufacturing a printed wiring board, characterized in that it consists of the combination; step of dissolving the second strong alkaline solution of the resin composition in Horu.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6794040B2 (en) 1998-09-01 2004-09-21 International Business Machines Corporation Flowable compositions and use in filling vias and plated through-holes
WO2006011548A1 (en) * 2004-07-30 2006-02-02 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive film, photosensitive film laminate and photosensitive film roll
WO2006093040A1 (en) * 2005-03-04 2006-09-08 Fujifilm Corporation Pattern forming material, pattern forming apparatus and pattern forming method
US20150151544A1 (en) * 2013-11-29 2015-06-04 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing liquid discharge head

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6794040B2 (en) 1998-09-01 2004-09-21 International Business Machines Corporation Flowable compositions and use in filling vias and plated through-holes
WO2006011548A1 (en) * 2004-07-30 2006-02-02 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive film, photosensitive film laminate and photosensitive film roll
WO2006093040A1 (en) * 2005-03-04 2006-09-08 Fujifilm Corporation Pattern forming material, pattern forming apparatus and pattern forming method
JP2006243546A (en) * 2005-03-04 2006-09-14 Fuji Photo Film Co Ltd Pattern forming material, pattern forming apparatus, and pattern forming method
US20150151544A1 (en) * 2013-11-29 2015-06-04 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing liquid discharge head
US9919526B2 (en) * 2013-11-29 2018-03-20 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing liquid discharge head
US20180154637A1 (en) * 2013-11-29 2018-06-07 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing liquid discharge head

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