JPH0685465B2 - Method of manufacturing electromagnetic shield wiring board - Google Patents

Method of manufacturing electromagnetic shield wiring board

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JPH0685465B2
JPH0685465B2 JP1146588A JP14658889A JPH0685465B2 JP H0685465 B2 JPH0685465 B2 JP H0685465B2 JP 1146588 A JP1146588 A JP 1146588A JP 14658889 A JP14658889 A JP 14658889A JP H0685465 B2 JPH0685465 B2 JP H0685465B2
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layer
insulating material
wiring board
development
electromagnetic shield
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順一 伊藤
準一 宮崎
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Tokuyama Corp
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Tokuyama Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電磁シールド配線板の新規な製造方法に関す
る。
The present invention relates to a novel method for manufacturing an electromagnetic shield wiring board.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、OA機器を始めとする各種電子機器より発生する電
磁波ノイズ(以下、単にノイズという)の問題が重要視
され始め、ノイズ防止対策の要求が高まりつつある。
In recent years, the problem of electromagnetic wave noise (hereinafter simply referred to as noise) generated from various electronic devices such as OA devices has begun to be emphasized, and demands for noise prevention measures are increasing.

かかるノイズ防止対策の手段の1つとして、ノイズの発
生原因となるプリント配線基板の表面に導電性層を形成
させた電磁シールド配線板が提案されている。上記の電
磁シールド配線板は、プリント配線回路パターン間の短
絡防止のため、該パターンと導電性層との間に絶縁層を
必要とする。
As one of means for preventing such noise, an electromagnetic shield wiring board in which a conductive layer is formed on the surface of a printed wiring board which causes noise is proposed. The above electromagnetic shield wiring board requires an insulating layer between the printed wiring circuit pattern and the conductive layer in order to prevent a short circuit between the printed wiring circuit patterns.

従来、上記絶縁層の形成は、熱硬化性、あるいは、光硬
化性のエポキシタイプの絶縁レジストをスクリーン印刷
し、これを硬化させることにより行われていた。ところ
が、プリント配線基板のパターン密度の高度化に伴な
い、該基板の表面に絶縁性を有する光硬化材料よりなる
層を形成させ、これを露光、現像することにより、より
高精度の絶縁層を形成する手段が必要となってきた。
Conventionally, the formation of the insulating layer has been performed by screen-printing a thermosetting or photocurable epoxy type insulating resist and curing it. However, as the pattern density of the printed wiring board becomes more sophisticated, a layer of a photo-curable material having an insulating property is formed on the surface of the substrate, and this is exposed and developed to form a more precise insulating layer. A means of forming is needed.

〔本発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be Solved by the Present Invention]

しかしながら、光硬化材料を用いてこれを露光、現像す
る方法は、形成される絶縁層のサイドウオールがアンダ
ーカツトとなり易く、その後導電性ペーストを積層する
際、該部分に導電性ペーストを充填することが困難とな
る。そのため、該部分に充填された光硬化材料よりなる
層と絶縁層のサイドウオール下部との間に気泡が残留し
たまま導電性ペーストの硬化が行われる。その結果、絶
縁層にピンホールの生成等が生じ、導電層とプリント配
線基板上のアースパターンとの接触不良等により不良品
発生の原因になるという問題を生じる。
However, the method of exposing and developing this using a photo-curable material is such that the side wall of the insulating layer to be formed easily becomes an undercut, and when the conductive paste is subsequently laminated, the conductive paste should be filled in the part. Will be difficult. Therefore, the conductive paste is cured while air bubbles remain between the layer of the photo-curable material filled in the portion and the lower portion of the side wall of the insulating layer. As a result, pinholes and the like are generated in the insulating layer, which causes defective products due to poor contact between the conductive layer and the ground pattern on the printed wiring board.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明者らは、かかる問題を解決すべく鋭意研究を重ね
た結果、プリント配線板上に光感度及び/または現像速
度の異なる2種類以上の光硬化材料の層を、現像後の硬
化体の残存量が表面に向って少なくなるよう形成し、形
成される絶縁層のサイドウオールが表面に向かって広が
った状態となるようにすることにより、該部分に気泡の
残留を伴なうことなく導電層を形成し得ることを見い出
し本発明を完成するに至った。
As a result of earnest studies to solve such problems, the present inventors have found that a layer of two or more types of photo-curable materials having different photosensitivities and / or development rates is formed on a printed wiring board as a cured product after development. By forming so that the remaining amount decreases toward the surface and the side wall of the insulating layer that is formed spreads toward the surface, it is possible to conduct without causing bubbles to remain in that part. The inventors have found that a layer can be formed and completed the present invention.

本発明は、プリント配線基板上に、絶縁層及び導電層を
順次積層して電磁シールド配線板を製造するに際し、該
プリント配線基板上に、光感度及び/又は現像速度の異
なる2層以上の光硬化性絶縁材料の層を、露光、現像後
の硬化層の残存量が表面に向って減少するように積層し
た後、露光及び現像を行って、サイドウォールが表面に
向って広がった絶縁層を形成することを特徴とする電磁
シールド配線板の製造方法である。
The present invention, when an electromagnetic shield wiring board is manufactured by sequentially laminating an insulating layer and a conductive layer on a printed wiring board, the printed wiring board is provided with two or more layers of light having different photosensitivities and / or development rates. After stacking layers of curable insulating material so that the residual amount of the cured layer after exposure and development decreases toward the surface, exposure and development are performed to form an insulating layer in which the sidewalls spread toward the surface. It is a manufacturing method of an electromagnetic shield wiring board characterized by forming.

本発明において、プリント配線基板は、公知の構造のも
のが特に制限なく使用される。例えば、ガラスエポキシ
複合体、紙−フェノール樹脂複合体などの複合体、プラ
スチツクフイルム、又は金属などの立体成形品、板又は
フイルムを支持体として、その上にアデイテイブ法、サ
ブトラクテイブ法、ダイスタンピング法、フラツシユ法
等の方法で導電性パターンを形成したものが一般的であ
る。かかるプリント配線基板は、片面又は両面に配線パ
ターンを有するもの、重ねた多層の配線パターン構造を
有するものが特に制限なく使用される。
In the present invention, the printed wiring board having a known structure is used without particular limitation. For example, a glass epoxy composite, a composite such as a paper-phenolic resin composite, a plastic film, or a three-dimensional molded article such as metal, a plate or a film as a support, on which an additive method, a subtractive method, a die stamping method, Generally, a conductive pattern is formed by a method such as a flash method. As such a printed wiring board, one having a wiring pattern on one side or both sides, or one having a laminated multilayer wiring pattern structure is used without particular limitation.

上記プリント配線基板において、電磁シールドの必要な
回路は、特にデジタル信号等の高周波電流を伝達する回
路配線又は外部からの高周波ノイズに影響を受けやすい
回路配線等である。本発明において、導電層の形成によ
る電磁シールド対策は、従来のように分散して存在する
電磁シールドの必要な回路配線に対策を施こす場合は勿
論、CAD等により、対策の必要な回路を片面に集中させ
ることにより片面だけのシールド対策により、経済的か
つ効果的に電磁シールドを行う場合をも含む。
In the above-mentioned printed wiring board, a circuit requiring electromagnetic shielding is, for example, a circuit wiring for transmitting a high frequency current such as a digital signal or a circuit wiring susceptible to a high frequency noise from the outside. In the present invention, the electromagnetic shield countermeasure by forming the conductive layer is not limited to the case where the circuit wiring requiring the electromagnetic shield which exists in a dispersed manner as in the conventional case is subjected to the countermeasure, but the circuit requiring the countermeasure is provided on one side by CAD or the like. Including the case where the electromagnetic shielding is performed economically and effectively by concentrating on the one side and only one side shield measures.

本発明において、光硬化性絶縁材料は、可視光、紫外
線、X線等の活性光線によって硬化し、且つ硬化体が絶
縁性を有するものであれば特に制限されない。一般に
は、(a)重合性不飽和化合物、(b)光重合開始剤及
び高分子結合剤よりなるものが使用される。
In the present invention, the photocurable insulating material is not particularly limited as long as it is hardened by an actinic ray such as visible light, ultraviolet rays, and X-rays, and the hardened material has an insulating property. Generally, a compound comprising (a) a polymerizable unsaturated compound, (b) a photopolymerization initiator and a polymer binder is used.

上記した重合性不飽和化合物は、ラジカル重合可能な公
知の化合物が特に制限なく使用される。好適な重合性不
飽和化合物を例示すれば、トリグリシジルイソシアヌレ
ートと不飽和基含有モノカルボン酸とを酸当量/エポキ
シ当量比を0.3〜0.9の範囲で付加反応させて得られるエ
ポキシ基含有不飽和化合物、ノボラツク型エポキシ樹脂
のエポキシ基/当量とエチレン性不飽和カルボン酸を0.
8〜1.3当量とを反応させてエステル化樹脂、オルソクレ
ゾールノボラツク型エポキシ樹脂、フエノールノボラツ
ク型エポキシ樹脂およびハロゲン化フエノールノボラツ
ク型エポキシ樹脂からなる群から選ばれた少なくとも1
種のノボラツク型エポキシ樹脂と、不飽和カルボン酸と
を酸当量/エポキシ当量比が0.1〜0.9の範囲で付加反応
させて得られる不飽和化合物の2級水酸基に、イソシア
ナートエチルメタクリレートをイソシアナート当量/水
酸基当量比が0.1〜1.2の範囲で反応させて得られる不飽
和化合物、少なくとも2個の末端エポキシ基を有するエ
ポキシ樹脂にこのエポキシ樹脂の1エポキシ当量当り約
0.7〜1.5モルのエチレン結合を1個有する不飽和カルボ
ン酸を反応させた後、更に1エポキシ当量当り0.2〜1
モルの多塩基酸無水物とを反応させて得られる不飽和化
合物等のエポキシ樹脂から誘導される不飽和基含有エポ
キシ樹脂類及びトリメチロールプロパントリアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリ
メチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプ
ロパンジメタクリレート、テトラメチロールメタントリ
アクリレート、テトラメチロールメタントリメタクリレ
ート、テトラメチロールメタントリメタクリレート、テ
トラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメ
チロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリス
リトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
メタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリ
レート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレー
ト、1,1,1−トリ(アクリロキシプロポキシメチル)プ
ロパンなどの多官能モノマーが挙げられる。
As the above-mentioned polymerizable unsaturated compound, known compounds capable of radical polymerization are used without particular limitation. An example of a suitable polymerizable unsaturated compound is an epoxy group-containing unsaturated compound obtained by addition reaction of triglycidyl isocyanurate and an unsaturated group-containing monocarboxylic acid in an acid equivalent / epoxy equivalent ratio of 0.3 to 0.9. Compound, epoxy group / equivalent of novolak type epoxy resin and ethylenically unsaturated carboxylic acid 0.
At least 1 selected from the group consisting of esterified resin, orthocresol novolak type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin and halogenated phenol novolak type epoxy resin by reacting with 8 to 1.3 equivalents.
Isocyanatoethylmethacrylate is added to the secondary hydroxyl group of the unsaturated compound obtained by the addition reaction of one type of novolak type epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid in the acid equivalent / epoxy equivalent ratio range of 0.1 to 0.9. Unsaturated compound obtained by reacting at a hydroxyl group / hydroxyl equivalent ratio in the range of 0.1 to 1.2, an epoxy resin having at least two terminal epoxy groups, and about 1 epoxy equivalent of this epoxy resin.
After reacting 0.7 to 1.5 mol of an unsaturated carboxylic acid having one ethylene bond, 0.2 to 1 per epoxy equivalent is further added.
Unsaturated group-containing epoxy resins derived from epoxy resins such as unsaturated compounds obtained by reacting with moles of polybasic acid anhydride and trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolpropane diacrylate , Trimethylolpropane dimethacrylate, tetramethylolmethane triacrylate, tetramethylolmethane trimethacrylate, tetramethylolmethane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol Pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, 1,1,1-tri (acetic acid) Polyfunctional monomers such as Lilo propoxy methyl) propane.

また、光重合開始剤も特に制限されるものではない。例
えば、ベンゾフエノン、4,4−ジメチルアミノベンゾフ
エノン、4,4′−ジエチルアミノベンゾフエノンなどの
ベンゾフエノン類、2−エチルアントラキノン、tert−
ブチルアントラキノンなどのアントラキノン類、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテルなど
のベンゾイルアルキルエーテル類、2,2−ジメトキシ−
2−フエニルアセトフエノン、2,2−ジエトキシアセト
フエノン、2−クロロチオキサントン、ジエチルチオキ
サントン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフエノ
ン、4′−イソプロピル−2−ヒドロキシ−2−メチル
プロピオフエノン、2−メチル−1−〔4−(メチルチ
オ)−フエニル〕−2−モルフオリノ−1−プロパン等
が挙げられ、これらの1種又は2種以上組合せて使用さ
れる。
Also, the photopolymerization initiator is not particularly limited. For example, benzophenones such as benzophenone, 4,4-dimethylaminobenzophenone, 4,4′-diethylaminobenzophenone, 2-ethylanthraquinone, tert-
Anthraquinones such as butyl anthraquinone, benzoyl alkyl ethers such as benzoin ethyl ether and benzoin propyl ether, 2,2-dimethoxy-
2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2-chlorothioxanthone, diethylthioxanthone, 2-hydroxy-2-methylpropionophenone, 4'-isopropyl-2-hydroxy-2-methylpropione Ofenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) -phenyl] -2-morpholino-1-propane and the like can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.

更に、高分子結合剤としては、アルカリ水溶液又は有機
溶剤に可溶な公知のものが特に制限なく使用される。そ
のうち、アルカリ水溶液に可溶であり、かつ水に不溶性
であるもの、例えば、カルボキシル基、無水カルボン酸
基、スルホン酸基、スルホンアミド基等のアルカリ可溶
性付与基を有する高分子が好適に用いられる。これらの
高分子結合剤は、例えば、特開昭59-151152号公報、特
開昭58-42040号公報、特開昭48-73148号公報等に記載さ
れている。一般には、メタクリル酸、アクリル酸、イタ
コン酸、クロトン酸、無水マレイン酸からなる群から選
ばれる不飽和基を1個有するカルボン酸又は酸無水物と
ビニル単量体との共重合体が使用される。
Further, as the polymer binder, known ones which are soluble in an alkaline aqueous solution or an organic solvent are used without particular limitation. Among them, those which are soluble in an alkaline aqueous solution and insoluble in water, for example, a polymer having an alkali-solubilizing group such as a carboxyl group, a carboxylic acid anhydride group, a sulfonic acid group and a sulfonamide group are preferably used. . These polymer binders are described in, for example, JP-A-59-151152, JP-A-58-42040 and JP-A-48-73148. Generally, a copolymer of a vinyl monomer and a carboxylic acid or acid anhydride having one unsaturated group selected from the group consisting of methacrylic acid, acrylic acid, itaconic acid, crotonic acid and maleic anhydride is used. It

そのうち、特に好ましい高分子結合剤の具体的態様を例
示すれば、メチルメタクリレート/エチルアクリレート
/メタクリル酸共重合体、メチルメタクリレート/エチ
ルアクリレート/アクリル酸共重合体、メチルメタクリ
レート/メタクリル酸ブチル/2−ヒドロキシエチルアク
リレート/メタクリル酸ブチル/メタクリル酸共重合
体、メチルメタクリレート/トリプロモフエニルアクリ
レート/メタクリル酸共重合体等をあげることができ
る。また、これらの高分子結合剤はカルボキシル基含有
量が10〜50モル%であることが好ましい。
Among them, particularly preferable examples of the polymer binder are as follows: methyl methacrylate / ethyl acrylate / methacrylic acid copolymer, methyl methacrylate / ethyl acrylate / acrylic acid copolymer, methyl methacrylate / butyl methacrylate / 2- Examples thereof include hydroxyethyl acrylate / butyl methacrylate / methacrylic acid copolymer and methyl methacrylate / tripromophenyl acrylate / methacrylic acid copolymer. Further, these polymer binders preferably have a carboxyl group content of 10 to 50 mol%.

上記した光硬化性絶縁材料は、必要に応じて、充填材、
重合禁止剤、染料、顔料、溶剤等を配合してもよい。
The above-mentioned photocurable insulating material, if necessary, a filler,
You may mix | blend a polymerization inhibitor, a dye, a pigment, a solvent, etc.

本発明において、プリント配線基板上への上記した光硬
化性絶縁材料よりなる層は、光感度及び/又は現像速度
の異なる少なくとも2種類の層を露光、現像後の硬化層
の残存量が表面に向かって減少するように積層して形成
される。
In the present invention, the layer made of the above-mentioned photocurable insulating material on the printed wiring board is exposed to at least two types of layers having different photosensitivity and / or development rate, and the residual amount of the cured layer after development is on the surface. It is formed by stacking so as to decrease toward the bottom.

尚、本発明において、積層された光硬化性絶縁材料より
なる層の層間の光感度の差は、ストウフアー40段ステツ
プタブレツトを用いたグレースケール法(以下、単にグ
レースケール法という)により測定した値をいう。かか
るグレースケール法による光感度の定量は、永松元太
郎、乾英夫著、「感光性高分子」、P.50(講談社)に記
載の方法に準じて実施される。即ち、市販の銅張積層板
上に、乾燥後の光硬化性絶縁材料を厚みが25μmとなる
様、ドクターブレードを用いて塗布したものを評価試料
として用いる。本法に用いるグレースケールとしては、
ストウフアー(Stouffer )40段ステツプタブレツトを
用いる。本ステツプタブレツトを通して露光し、ブレー
クポイント50%で現像後、銅張積層板上に残存した硬化
体より、ステツプタブレツトに対応する段数(感度)を
読み取る。例えば、ステツプタブレツトの25段目まで硬
化体が残存し、26段目が現像により洗い流されている場
合、この試料の光硬化性絶縁材料の感度は25段と読む。
また、積層された光硬化性絶縁材料を用いるが、まず、
いずれか一方の試料を用いて上記手順により15〜25段の
感度が得られる様露光量を調節し、ここで決定された露
光、現像条件を用いて、これに積層される他の光硬化性
絶縁材料についても同一条件で感度を測定する。
In the present invention, the laminated photo-curable insulating material
The difference in the photosensitivity between the layers depends on the Stoufar 40-step step.
Grayscale method using a pt-bratt (hereinafter simply referred to as
The value measured by the Rayscale method). Scarecrow
Quantitative determination of photosensitivity by the grayscale method
Shiro, Hideo Inui, "Photosensitive Polymer", P.50 (Kodansha)
It is carried out according to the method described above. That is, a commercially available copper clad laminate
The thickness of the photocurable insulating material after drying is 25 μm.
, Evaluation sample that was applied using a doctor blade
Used as. The gray scale used in this method is
Stouffer ) 40-step step plate
To use. The exposure is done through this step tablet and the
Curing remaining on the copper-clad laminate after development at 50%
From the body, the number of steps (sensitivity) that corresponds to the step
read. For example, up to the 25th step of the step plate
If the compound remains and the 26th step is washed away by development.
In this case, the sensitivity of the photocurable insulating material of this sample is read as 25 steps.
In addition, a laminated photo-curable insulating material is used.
Use one of the samples to perform 15 to 25 steps according to the above procedure.
Adjust the exposure dose to obtain the sensitivity and
Other photo-curable layer laminated on this, using light and development conditions
The sensitivity of the insulating material is also measured under the same conditions.

また、光硬化性絶縁材料の現像速度は以下の方法によっ
て測定した値である。
The developing rate of the photocurable insulating material is a value measured by the following method.

即ち、光硬化性絶縁材料に適した現像液例えば水溶性光
硬化性絶縁材料の場合は1%Na2CO3水溶液を用い、コー
ンタイプのノズルを有するスプレー現像液を用い、目視
で基板表面の光硬化性絶縁材料の残量が確認できる位置
に未露光の光硬化性絶縁材料を25μm厚で25cm×25cmの
面積に塗布した基板を置き、30℃の温度の現像液をスプ
レー圧力1/4kg/cm2で、現像を行なう。この時、光硬化
性絶縁材料が丁度、基板表面から流い洗されるまでの時
間をt(秒)とすると、t(秒)が現像時間である(ブ
レークポイント100%)。尚、感度測定時に必要な現像
時間は同一現像条件下において2t(秒)である。(ブレ
ークポイント50%)。この2t(秒)は、一般に光硬化性
絶縁材料の最適現像時間として採用されることが多い。
That is, a developer suitable for the photocurable insulating material, for example, a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution is used in the case of a water-soluble photocurable insulating material, and a spray developing solution having a cone type nozzle is used to visually check the surface of the substrate. Place a substrate coated with unexposed photo-curable insulation material in a 25 μm-thick area of 25 cm × 25 cm at a position where the remaining amount of photo-curable insulation material can be confirmed, and spray a developing solution at a temperature of 30 ° C. with a spray pressure of 1/4 kg. Develop at / cm 2 . At this time, assuming that the time until the photo-curable insulating material is just washed from the substrate surface is t (second), t (second) is the developing time (break point 100%). The development time required for sensitivity measurement is 2 t (seconds) under the same development conditions. (Breakpoint 50%). This 2t (second) is often adopted as the optimum development time of the photocurable insulating material.

上記現像時間の測定方法に基づき、前記プリント配線板
に積層される光硬化性絶縁材料よりなる層の層間の現像
速度の差は、表面側の層の現像時間(t1)プリント配線
基板側の層の現像時間(t2)との比(t1/t2)によって
表される。
Based on the method for measuring the development time, the difference in the development speed between the layers of the photo-curable insulating material laminated on the printed wiring board is the development time of the surface layer (t1) and the layer on the printed wiring board side. It is represented by the ratio (t1 / t2) to the development time (t2).

光硬化性絶縁材料として、固体であるドライフイルムを
用いる場合、ドライフイルムの感度及び現像速度の測定
はレジスト部分をいったん良溶媒に溶解し、その後、液
状レジストと同様の方法で評価する。
When a dry film which is a solid is used as the photocurable insulating material, the sensitivity and development rate of the dry film are measured by first dissolving the resist portion in a good solvent and then evaluating it in the same manner as the liquid resist.

本発明において、光硬化性絶縁材料よりなる層間の光感
度の差によって、硬化層の残存量を表面に向かって減少
するようにするためには、前記した感度の差を示す段数
の(X)が、1〜15、好ましくは、3〜9となるよう
に、且つ表面に向かって該段数が下がるように積層すれ
ばよい。上記段数の差が、1より小さい場合は、光硬化
性絶縁材料よりなる層を露光、現像したとき、硬化層の
残存量を表面に向かって減少させることが困難となり、
又、段数の差が15より大きい場合には該層の現像度が低
下し、高密度のパターンを形成することが困難となる。
尚、この場合、層間の現像速度の差は、t1/t2が、0.1〜
10となる範囲であることが好ましい。
In the present invention, in order to reduce the residual amount of the cured layer toward the surface due to the difference in photosensitivity between the layers made of the photocurable insulating material, the number of stages (X) showing the difference in sensitivity described above is used. , 1 to 15, preferably 3 to 9, and the number of steps decreases toward the surface. When the difference in the number of steps is less than 1, it becomes difficult to reduce the residual amount of the cured layer toward the surface when the layer made of the photocurable insulating material is exposed and developed.
On the other hand, when the difference in the number of steps is larger than 15, the degree of development of the layer is lowered and it becomes difficult to form a high density pattern.
In this case, the difference in the developing speed between the layers is that t1 / t2 is 0.1-
It is preferably in the range of 10.

また、光硬化性絶縁材料よりなる層間の現像速度の差に
よって、硬化層の残存量を表面に向かって減少するよう
にするためには、前記したt1/t2比が、0.1〜1、好まし
くは0.5〜0.8となるように各層の現像速度を調整すれば
よい。上記現像速度の比が0.1より小さい場合には、光
硬化性絶縁材料よりなる層を露光、現像したとき、硬化
層の残存量を表面に向かって減少させることが困難とな
り、又、現像速度の比が1以上の場合には、該層の現像
度が低下し、高密度のパターンを形成することが困難と
なる。尚、この場合、層間の前記した感度を示す段数の
差(X)は、−10〜15となるように設定することが好ま
しい。
Further, in order to reduce the residual amount of the cured layer toward the surface due to the difference in the development speed between the layers made of the photocurable insulating material, the above-mentioned t1 / t2 ratio is 0.1 to 1, preferably The developing speed of each layer may be adjusted so as to be 0.5 to 0.8. When the ratio of the development rate is less than 0.1, it becomes difficult to reduce the residual amount of the cured layer toward the surface when the layer made of the photocurable insulating material is exposed and developed, and the development rate When the ratio is 1 or more, the degree of development of the layer is lowered and it becomes difficult to form a high-density pattern. In this case, it is preferable to set the difference (X) in the number of steps indicating the above-mentioned sensitivity between the layers to be −10 to 15.

勿論、光硬化性絶縁材料の層間の光感度の差及び現像速
度の差を共に、該層を露光、現像後の硬化層の残存量が
表面に向って減少するように各層の光感度及び現像速度
を調整することも可能である。
Of course, the difference in the photosensitivity between the layers of the photocurable insulating material and the difference in the development speed are taken into consideration, and the photosensitivity and the development of each layer are decreased so that the residual amount of the cured layer after exposure and development of the layer decreases toward the surface. It is also possible to adjust the speed.

上記した光硬化性絶縁材料の光感度又は現像速度の調整
は、前記重合性不飽和化合物、光重合開始剤及び高分子
結合剤の組成比、各成分の種類等を変えることにより行
うことができる。即ち、光感度は特に光重合開始剤の配
合比により変化させることが可能であり、また、現像速
度は、重合性不飽和化合物の化学構造によっても多少変
化させることができるが、主に、高分子結合剤のカルボ
キシル基含有量を変化させることにより、調整可能であ
る。更に、高分子結合剤の分子量及びコモノマーの親水
性によっても変化させ得る。
The photosensitivity or development rate of the above-mentioned photocurable insulating material can be adjusted by changing the composition ratio of the polymerizable unsaturated compound, the photopolymerization initiator and the polymer binder, the type of each component, and the like. . That is, the photosensitivity can be changed particularly by the compounding ratio of the photopolymerization initiator, and the development rate can be changed to some extent by the chemical structure of the polymerizable unsaturated compound, but mainly It can be adjusted by changing the carboxyl group content of the molecular binder. Further, it may be changed depending on the molecular weight of the polymer binder and the hydrophilicity of the comonomer.

一般に、各成分の組成比は、高分子結合剤が重合性不飽
和化合物100重量部に対して50〜300重量部、好ましくは
100〜200重量部の範囲となるように、また、光重合開始
剤は、重合性不飽和化合物と高分子結合剤との合計量に
対して0.1〜20重量%、好ましくは3〜10重量%の範囲
内で決定することが好ましい。
Generally, the composition ratio of each component is such that the polymer binder is 50 to 300 parts by weight, preferably 100 to parts by weight of the polymerizable unsaturated compound,
In the range of 100 to 200 parts by weight, the photopolymerization initiator is 0.1 to 20% by weight, preferably 3 to 10% by weight, based on the total amount of the polymerizable unsaturated compound and the polymer binder. It is preferable to determine within the range.

本発明において、光硬化性絶縁材料の積層は、前条件を
満足するものであれば、その積層方法は特に制限されな
い。例えば、光硬化性絶縁材料は、一般にドライフイル
ムと称される固体フイルム状、液状等の状態でプリント
配線基板上に積層することができる。即ち、光感度及び
/又は現像速度の異なる固体フイルム状或いは液状の光
硬化性絶縁材料同志を積層してもよいし、光感度及び/
又は現像速度の異なる、液状の光硬化性絶縁材料と固体
フイルム状の光硬化性絶縁材料とを積層してもよい。
尚、液状の光硬化性絶縁材料により層を形成させる方法
は、公知の手段、例えば、デイツプコート法、フローコ
ート法、スクリーン印刷法等公知の手段が特に制限なく
採用される。また、上記層は、含有する溶剤を乾燥させ
た後、他の層を積層或いは露光を行えばよい。
In the present invention, the method of laminating the photocurable insulating material is not particularly limited as long as it satisfies the above conditions. For example, the photo-curable insulating material can be laminated on the printed wiring board in a state of a solid film, which is generally called a dry film, or a liquid state. That is, solid film-like or liquid photo-curable insulating materials having different photosensitivities and / or development rates may be laminated.
Alternatively, a liquid photo-curable insulating material and a solid film-like photo-curable insulating material having different developing rates may be laminated.
As a method of forming a layer of a liquid photo-curable insulating material, known means such as a dip coating method, a flow coating method, a screen printing method may be used without particular limitation. Further, the above layer may be formed by drying a solvent contained therein and then stacking or exposing another layer.

上記した積層方法のうち、プリント配線基板に接する層
として、液状の光硬化性絶縁材料を使用することが好ま
しい。即ち、液状の光硬化性絶縁材料を使用することに
より、プリント配線基板に凹凸、スルーホール等がある
場合の密着性をより向上することができる。また、液状
の光硬化性絶縁材料は、超音波を照射することにより、
小孔スルーホールが存在する場合でも、該スルーホール
中に確実に浸入させることができる。かかる液状の光硬
化性絶縁材料は、前記光硬化性絶縁材料の組成のうち、
液状のものを使用してもよいし、光硬化性絶縁材料を溶
剤に溶解することにより調製することもできる。かかる
溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、メチルセ
ロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、シ
クロヘキサノン、メチルセロソルブ、プロピレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテート、塩化メチレン、プ
ロピレングリコールモノメチルエーテル等を挙げること
ができる。
Of the above-mentioned lamination methods, it is preferable to use a liquid photocurable insulating material as the layer in contact with the printed wiring board. That is, by using a liquid photocurable insulating material, it is possible to further improve the adhesiveness when the printed wiring board has irregularities, through holes, or the like. Further, the liquid photo-curable insulating material, by irradiating with ultrasonic waves,
Even if there is a small through hole, it can be surely penetrated into the through hole. Such a liquid photocurable insulating material, among the composition of the photocurable insulating material,
A liquid material may be used, or it may be prepared by dissolving a photocurable insulating material in a solvent. Examples of such a solvent include methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, cyclohexanone, methyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether acetate, methylene chloride, propylene glycol monomethyl ether and the like.

上記した光硬化性絶縁材料よりなる層の厚みは、特に限
定されるものではないが、一般に各層の厚みが5〜50μ
m、好ましくは10〜30μm、全層の厚みが100μm以下
となるように行うことが好ましい。
The thickness of the layer made of the photocurable insulating material described above is not particularly limited, but generally the thickness of each layer is 5 to 50 μm.
m, preferably 10 to 30 μm, and the thickness of all layers is preferably 100 μm or less.

本発明において、プリント配線基板上に形成された光硬
化性絶縁材料よりなる層の露光方法及び現像方法は、公
知の方法が特に制限なく採用される。即ち、露光は、前
記した活性光線をネガマスクを介して該層に照射するこ
とによって行えばよい。また、現像は、未硬化の光硬化
性絶縁材料をエツチング可能な液体で、露光後の未硬化
部分を除去することにより行えばよい。かかる液体とし
ては、光硬化性絶縁材料の構成成分である重合性不飽和
化合物及び/又は高分子結合剤を溶解し得るものであれ
ば特に制限されず、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム
等のアルカリ金属リン酸塩の水溶液、炭酸ナトリウム等
のアルカリ金属炭酸塩の水溶液等のアルカリ水溶液、1,
1,1−トリクロロエタン、パークロルエチレン、ブチル
セロソルブ、トルエン、キシレン等の有機溶剤より適宜
選択して使用される。
In the present invention, as a method of exposing and developing a layer made of a photocurable insulating material formed on a printed wiring board, a known method is adopted without particular limitation. That is, the exposure may be performed by irradiating the layer with the above-mentioned actinic rays through a negative mask. Further, the development may be carried out by removing the uncured portion after exposure with a liquid capable of etching the uncured photocurable insulating material. The liquid is not particularly limited as long as it can dissolve the polymerizable unsaturated compound and / or the polymer binder, which is a constituent component of the photocurable insulating material, and is an alkali such as sodium phosphate or potassium phosphate. Aqueous solution of metal phosphate, alkaline solution such as aqueous solution of alkali metal carbonate such as sodium carbonate, 1,
It is used by appropriately selecting from organic solvents such as 1,1-trichloroethane, perchlorethylene, butyl cellosolve, toluene and xylene.

また、現像後に80〜200℃で加熱処理を行なうことは、
形成される絶縁層のプリント配線基板に対する密着性、
耐熱性、耐溶剤性等の特性を向上でき好ましい態様であ
る。
In addition, heat treatment at 80 to 200 ° C after development is
Adhesion of the formed insulating layer to the printed wiring board,
This is a preferred embodiment because the properties such as heat resistance and solvent resistance can be improved.

本発明において、絶縁層は、一般にプリント配線基板の
アースパターン端子の一部を除く配線パターン、導通用
バイアホール等を被覆するように形成される。
In the present invention, the insulating layer is generally formed so as to cover the wiring pattern except a part of the ground pattern terminal of the printed wiring board, the conductive via hole, and the like.

本発明において、導電層は、一般にプリント配線基板上
の絶縁層、アースパターンを含む面上に形成される。
In the present invention, the conductive layer is generally formed on the surface including the insulating layer and the ground pattern on the printed wiring board.

上記導電層の形成には、導電性ペーストが一般に使用さ
れる。かかる導電性ペーストとしては、公知のものが特
に制限なく使用される。例えば、銅、金、銀、ニツケ
ル、カーボンなどの金属粉末を充填したエポキシ樹脂、
フエノール樹脂等の熱硬化性樹脂からなっているものが
好適に使用される。これをスクリーン印刷法等で必要な
面上にパターン印刷し、硬化させることにより導電層が
形成される。
A conductive paste is generally used for forming the conductive layer. As such a conductive paste, a known paste may be used without particular limitation. For example, epoxy resin filled with metal powder such as copper, gold, silver, nickel, carbon,
A thermosetting resin such as a phenol resin is preferably used. A conductive layer is formed by pattern-printing this on a required surface by a screen printing method or the like and curing it.

導電層の厚みは、電気抵抗に関係するが通常10μ〜100
μの厚みになるように、スクリーンメツシユ、印刷条
件、印刷回数、ペースト粘度などにより調節することが
好ましい。
The thickness of the conductive layer is related to the electrical resistance, but usually 10μ ~ 100
It is preferable that the thickness is adjusted by screen meshing, printing conditions, number of times of printing, paste viscosity, etc.

本発明において、上記方法によって得られる電磁シール
ド配線板の表面を外部環境から保護するためにオーバー
コート層を設けることが好ましい。オーバーコート層の
材質は、耐熱性、耐薬品性、表面硬度、耐湿性、高電気
絶縁性などの特性を兼ね備えたものが好適である。
In the present invention, it is preferable to provide an overcoat layer in order to protect the surface of the electromagnetic shield wiring board obtained by the above method from the external environment. It is preferable that the material of the overcoat layer has properties such as heat resistance, chemical resistance, surface hardness, moisture resistance, and high electric insulation.

一般には、ソルダーマスクとして市販されているエポキ
シ樹脂をペーストする熱硬化性樹脂、ur硬化性樹脂等が
用いられる。勿論、オーバーコート層として本発明の光
硬化性絶縁材料も使用することができる。
Generally, a thermosetting resin, a ur curable resin, or the like, which is commercially available as a solder mask and is pasted with an epoxy resin, is used. Of course, the photocurable insulating material of the present invention can also be used as the overcoat layer.

本発明の方法を第1図を用いて具体的に説明する。The method of the present invention will be specifically described with reference to FIG.

第1図は、本発明の方法による電磁シールド配線板の製
法の代表的な態様を示す処理工 第1図は、本発明の方法による電磁シールド配線板の製
法の代表的な態様を示す処理工程図である。即ち、
(a)において、配線パターン2、アースパターン5を
有する基板上1上に液状の光硬化性絶縁材料によって層
4−aを形成させた後、(b)において、該層4−aに
対して前記光感度及び/又は現像速度の差を有する固体
フイルム状の光硬化性絶縁材料による層4−bを積層す
る。尚、3はスルーホールである。その後、フオトマス
クを介して露光し、次いで現像を行って、(c)に示す
ように、必要な部分に絶縁層を有する配線基板が得られ
る。かかる絶縁層は表面に向って硬化層の残存量が減少
するように形成されるため、サイドウオールが表面に向
って広がった状態となる。そのため、(d)において、
該絶縁層上に、気体を巻き込むことなく導電ペースト6
を積層でき、これを硬化して良好な電磁シールド配線板
が得られる。
FIG. 1 is a treatment process showing a typical aspect of a method for producing an electromagnetic shield wiring board by the method of the present invention. FIG. 1 is a treatment step showing a representative aspect of a method for producing an electromagnetic shield wiring board by the method of the present invention. It is a figure. That is,
In (a), a layer 4-a is formed of a liquid photocurable insulating material on the substrate 1 having the wiring pattern 2 and the ground pattern 5, and then in (b), with respect to the layer 4-a. A layer 4-b made of a photo-curable insulating material in the form of a solid film having a difference in photosensitivity and / or development speed is laminated. In addition, 3 is a through hole. Then, the substrate is exposed through a photomask and then developed to obtain a wiring board having an insulating layer in a necessary portion as shown in (c). Since such an insulating layer is formed so that the residual amount of the hardened layer decreases toward the surface, the side wall is in a state of spreading toward the surface. Therefore, in (d),
Conductive paste 6 on the insulating layer without entraining gas
Can be laminated and cured to obtain a good electromagnetic shield wiring board.

〔効果〕〔effect〕

以上の説明より理解されるように、本発明によれば、プ
リント配線基板の配線パターン上に、特定の光硬化性絶
縁材料を組合せて用いることにより、サイドウオールが
上方に向って拡大する絶縁層が形成される。そのため、
上記絶縁層を覆って導電層を形成させる場合、該絶縁層
のサイドウオール下部への気体の残留を完全に防止する
ことができる。従って、プリント配線板が高密度の配線
パターンを有する場合であっても、その上に、絶縁層、
導電層を確実に形成することができ、得られる電磁シー
ルド配線板の信頼性を著しく向上させることができる。
As can be understood from the above description, according to the present invention, an insulating layer in which a sidewall expands upward by using a specific photocurable insulating material in combination on a wiring pattern of a printed wiring board. Is formed. for that reason,
When the conductive layer is formed so as to cover the insulating layer, it is possible to completely prevent the gas from remaining below the sidewall of the insulating layer. Therefore, even if the printed wiring board has a high-density wiring pattern, an insulating layer,
The conductive layer can be reliably formed, and the reliability of the obtained electromagnetic shield wiring board can be significantly improved.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明を更に具体的に説明するため、実施例を示
すが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
EXAMPLES Hereinafter, examples will be shown to more specifically describe the present invention, but the present invention is not limited to these examples.

尚、「部」の表示は重量部を示す。また、実施例におけ
る光感度及び現像時間の具体的な測定方法は以下のとお
りである。
In addition, the display of "part" shows a weight part. In addition, specific methods for measuring the photosensitivity and the developing time in the examples are as follows.

(1)感度の測定 光硬化性絶縁材料の溶液を、銅張積層板上に塗布し、室
温で20分、80℃で10分間乾燥し、厚さ25μmの光硬化性
絶縁材料の層を形成した。次いでストウフアー40段のス
テツプタブレツトを通してオーク製作所(株)製HMW−6
N型高圧水銀灯露光機を用い、500mt/cm2で露光した。露
光後、10分放置した後、1重量%炭酸ナトリウム水溶液
(30℃)を用いて、60秒間スプレー現像し(ブレークポ
イント50%)、直ちに60秒間スプレー水洗した。残存し
た硬化体より感度を読んだ。
(1) Sensitivity measurement A solution of a photo-curable insulating material is applied on a copper clad laminate and dried at room temperature for 20 minutes and at 80 ° C for 10 minutes to form a 25-µm-thick layer of photo-curable insulating material. did. Then, through the Stoufar 40-step step plate, the HMW-6 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.
Exposure was performed at 500 mt / cm 2 using an N type high pressure mercury lamp exposure machine. After the exposure, the film was allowed to stand for 10 minutes, then spray-developed for 60 seconds using a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution (30 ° C.) (break point 50%), and immediately washed with spray water for 60 seconds. The sensitivity was read from the remaining cured material.

(2)現像速度の測定 光硬化性絶縁材料溶液を、銅張積層板上に塗布し、室温
で20分、80℃で10分乾燥し、厚さ25μm、大きさ20cm×
20cmの層を形成した。未露光の状態で、1%炭酸ナトリ
ウム水溶液(30℃)を用いて、スプレー圧14kg/cm2でス
プレー現像し、光硬化性絶縁材料が銅表面から完全に溶
解除去されるまでの時間tを測定した。
(2) Measurement of development speed A photo-curable insulating material solution is applied on a copper clad laminate and dried at room temperature for 20 minutes and at 80 ° C for 10 minutes to obtain a thickness of 25 μm and a size of 20 cm ×
A 20 cm layer was formed. In the unexposed state, a 1% sodium carbonate aqueous solution (30 ° C.) was used for spray development at a spray pressure of 14 kg / cm 2 , and the time t until the photocurable insulating material was completely dissolved and removed from the copper surface was determined. It was measured.

実施例1. (a)重合性不飽和化合物の合成 A.TEPIC−G(日産化学工業(株)製トリグリシジルイ
ソシアヌレート、エポキシ当量110) 110部 B.メタクリル酸 57部 P−メトキシフエノール 0.1部 C.プロピレングリコールモノメチルエーテル 53部 D.メチルバイオレツト 0.01部 上記A化合物を140℃に昇温し、均一に溶解させた後、1
10℃に冷却し、温度を110℃に保ちながら、1時間かけ
てB化合物を滴下した。B化合物の滴下後、110℃で反
応系の酸価を1以下にした後、C化合物を添加し、不揮
発分75重量%のトリグリシジルイソシアヌレート/アク
リル酸(酸当量/エポキシ当量比=2/3)系エポキシ基
含有の重合性不飽和化合物の溶液(1)を得た。
Example 1. (a) Synthesis of polymerizable unsaturated compound A.TEPIC-G (triglycidyl isocyanurate manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., epoxy equivalent 110) 110 parts B. methacrylic acid 57 parts P-methoxyphenol 0.1 part C. Propylene glycol monomethyl ether 53 parts D. Methyl violet 0.01 part The above compound A was heated to 140 ° C and uniformly dissolved, and then 1
After cooling to 10 ° C and maintaining the temperature at 110 ° C, the compound B was added dropwise over 1 hour. After dropping the B compound, the acid value of the reaction system was reduced to 1 or less at 110 ° C., and then the C compound was added, and triglycidyl isocyanurate having a nonvolatile content of 75% by weight / acrylic acid (acid equivalent / epoxy equivalent ratio = 2 / 3) A solution (1) of a polymerizable unsaturated compound containing an epoxy group was obtained.

(b)光硬化性絶縁材料(1)の調製 (a)で得られた重合性不飽和化合物の溶液87部(固形
分66部)、メタクリル酸メチル/アクリル酸ブチル/メ
タクリル酸(70/5/25 モル比)共重合体(重量平均分
子量 8万)35部、ベンゾフエノン5部、4,4′−ビス
ジエチルアミノベンゾフエノン0.5部及びプロピレング
リコールモノメチルエーテル200部を配合し、均一に攪
拌溶解した。
(B) Preparation of Photocurable Insulating Material (1) 87 parts of solution of polymerizable unsaturated compound obtained in (a) (66 parts of solid content), methyl methacrylate / butyl acrylate / methacrylic acid (70/5 (/ 25 molar ratio) 35 parts of copolymer (weight average molecular weight 80,000), 5 parts of benzophenone, 0.5 part of 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether were mixed and uniformly stirred and dissolved. .

上記光硬化性材料の光感度は、25段、ブレークポイント
100%の現像時間は30秒であった。
The photosensitivity of the above photo-curable materials is 25 steps, break point
The development time at 100% was 30 seconds.

(c)光硬化性絶縁材料(2)の調製 上記(b)において、ベンゾフエノン3部、4,4′−ビ
スジエチルアミノベンゾフエノン0.1部とした外は同様
に行ない、レジスト(2)を調製した。
(C) Preparation of Photocurable Insulating Material (2) A resist (2) was prepared in the same manner as in the above (b) except that 3 parts of benzophenone and 0.1 part of 4,4′-bisdiethylaminobenzophenone were used. .

上記光硬化性絶縁材料の感度は19段、ブレークポイント
100%の現像時間は30秒であった。
The sensitivity of the above photo-curable insulating material is 19 steps, break point
The development time at 100% was 30 seconds.

(d)シールド板の形成 パターン形成されたエツチング基板(FR−4、銅張積層
板)に光硬化性絶縁材料(1)溶液を塗布し、室温で20
分、80℃で10分乾燥し、厚さ25μmのレジスト層を形成
した。次いで同様にして光硬化性絶縁材料(2)の25μ
mの層をレジスト(1)の上に形成した。次いでネガマ
スクを通して800mt/cm2で露光した。露光後10分放置し
た後、1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて30℃で100秒
間スプレ現像し(ブレークポイント50%)、直ちに60秒
間スプレー水洗した。感度は22段を示していた。次いで
150℃で30分間加熱処理して、ネガマスクに相応する寸
法精度の優れた絶縁層を得た。絶縁層の断固を走査型電
子顕微鏡で観察したところ、サイドウオールが上方に向
って広がっていた。
(D) Formation of shield plate A photo-curable insulating material (1) solution was applied to a patterned etching substrate (FR-4, copper clad laminate), and it was applied at room temperature for 20
Min, and dried at 80 ° C. for 10 minutes to form a resist layer having a thickness of 25 μm. Then, in the same way, 25μ of photo-curable insulating material (2)
A layer of m was formed on the resist (1). Then, it was exposed at 800 mt / cm 2 through a negative mask. After leaving for 10 minutes after the exposure, a 1% aqueous sodium carbonate solution was used for spray development at 30 ° C. for 100 seconds (break point 50%), and immediately washed with spray water for 60 seconds. The sensitivity showed 22 steps. Then
After heat treatment at 150 ° C for 30 minutes, an insulating layer with excellent dimensional accuracy corresponding to a negative mask was obtained. Observation of the solidification of the insulating layer with a scanning electron microscope revealed that the side walls spread upward.

次いで、絶縁レジスト上にシールドパターンを形成し
た。その後、180℃で30分間熱処理し、銅ペーストを熱
硬化させて電磁シールド配線板を得た。
Then, a shield pattern was formed on the insulating resist. Then, it heat-processed at 180 degreeC for 30 minutes, the copper paste was hardened | cured, and the electromagnetic shield wiring board was obtained.

上記方法により10コの電磁シールド配線板を製造したと
ころ、導通チエツカーによる検査で銅ペーストシールド
層と銅箔アースラインとの導通不良は皆無であった。
When 10 pieces of electromagnetic shield wiring boards were manufactured by the above-mentioned method, there was no defective conduction between the copper paste shield layer and the copper foil ground line in the inspection by the conduction checker.

実施例2. (a)光硬化性絶縁材料(3)の調製 実施例1−(a)で得られたエポキシ基含有の重合性不
飽和化合物の溶液87部(固形分 66部)、メタクリル酸
メチル/アクリル酸ブチル/メタクリル酸(60/5/35
モル比)共重合体(重量平均分子量8万)35部、ベンゾ
フエノン5部、4,4′−ビスジエチルアミノベンゾフエ
ノン0.5部、及びプロピレングリコールモノメチルエー
テル200部を配合し、均一に攪拌溶解した。
Example 2. (a) Preparation of photocurable insulating material (3) 87 parts of solution of the epoxy group-containing polymerizable unsaturated compound obtained in Example 1- (a) (solid content 66 parts), methacrylic acid Methyl / butyl acrylate / methacrylic acid (60/5/35
(Mole ratio) 35 parts of a copolymer (weight average molecular weight of 80,000), 5 parts of benzophenone, 0.5 part of 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether were mixed and uniformly stirred and dissolved.

上記光硬化性絶縁材料の現像速度及び感度を測定したと
ころ現像時間はブレークポイント100%で17秒、感度
は、25段を示した。
When the developing speed and the sensitivity of the above-mentioned photocurable insulating material were measured, the developing time was 17 seconds at a breakpoint of 100%, and the sensitivity was 25 steps.

(b)シールド板の形成 実施例1−(d)において、光硬化性絶縁材料(2)に
代えて、本実施例の光硬化性絶縁材料(3)を用いた以
外は同様にして電磁シールド配線板を製造した。尚、ポ
ストチユア後絶縁層の断面を走査型電子顕微鏡で観察し
たところ、上方に広がったサイドウォールを形成してい
た。
(B) Formation of shield plate Electromagnetic shield was obtained in the same manner as in Example 1- (d) except that the photo-curable insulating material (2) was used instead of the photo-curable insulating material (2). A wiring board was manufactured. When the cross section of the insulating layer after post-charge was observed with a scanning electron microscope, it was found that sidewalls that were spread upward were formed.

上記方法により10コの電磁シールド配線板を製造したと
ころ、導通チエツカーによる検査で銅ペーストシールド
層と銅箔アースラインとの導通不良は皆無にあった。
When 10 pieces of electromagnetic shield wiring boards were manufactured by the above-mentioned method, there was no conduction failure between the copper paste shield layer and the copper foil ground line in the inspection by the conduction checker.

実施例3. (a)光硬化性絶縁材料(4)の調製 実施例1−(a)で得られたエポキシ含有の重合性不飽
和化合物の溶液87部(固形分66部)、メタクリル酸メチ
ル/アクリル酸ブチル/メタクリル酸(60/5/35モル
比)共重合体(重量平均分子量8万)35部、ベンゾフエ
ノン3部、4,4′−ビスジエチルアミノベンゾフエノン
0.1部及びプロピレングリコールモノメチルエーテル200
部を配合し、均一に攪拌溶解した。
Example 3. (a) Preparation of photocurable insulating material (4) 87 parts (solid content 66 parts) of the solution of the epoxy-containing polymerizable unsaturated compound obtained in Example 1- (a), methyl methacrylate / Butyl acrylate / methacrylic acid (60/5/35 molar ratio) copolymer (weight average molecular weight 80,000) 35 parts, benzophenone 3 parts, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone
0.1 part and propylene glycol monomethyl ether 200
Parts were mixed and uniformly dissolved by stirring.

上記光硬化性絶縁材料の現像速度及び感度を測定したと
ころ、現像時間は、ブレークポイント100%で17秒、感
度は500mt/cm2で19段を示した。
When the developing speed and the sensitivity of the above-mentioned photocurable insulating material were measured, the developing time was 17 seconds at a breakpoint of 100%, and the sensitivity was 19 steps at 500 mt / cm 2 .

(b)シールド板の形成 実施例1−(d)において、光硬化性絶縁材料(2)に
代えて本実施例(a)の光硬化性絶縁材料(4)を用い
た以外は同様にして電磁シールド配線板を製造した。
尚、ポストチユア後、絶縁層の断面を走査型電子顕微鏡
で観察したところ、上方に広がったサイドウオールを形
成していた。
(B) Formation of Shield Plate In the same manner as in Example 1- (d), except that the photocurable insulating material (4) of this Example (a) was used in place of the photocurable insulating material (2). An electromagnetic shield wiring board was manufactured.
Incidentally, after the post-charge, when the cross section of the insulating layer was observed with a scanning electron microscope, it was found that a side wall spreading upward was formed.

上記方法により10コの電磁シールド配線板を製造したと
ころ、導通チエツカーによる検査で銅ペーストシールド
層と銅箔アースラインとの導通不良は皆無であった。
When 10 pieces of electromagnetic shield wiring boards were manufactured by the above-mentioned method, there was no defective conduction between the copper paste shield layer and the copper foil ground line in the inspection by the conduction checker.

比較例1. 実施例1−(d)において、光硬化性絶縁材料(2)の
代りに光硬化性絶縁材料(1)を用いた以外は同様にし
て電磁シールド配線板を製造した。
Comparative Example 1. An electromagnetic shield wiring board was manufactured in the same manner as in Example 1- (d) except that the photocurable insulating material (1) was used instead of the photocurable insulating material (2).

尚、上記製造において、導電層形成後、絶縁層の断固を
走査型電子顕微鏡で観察したところ、そのサイドウオー
ルのアンダーカツト部にエアーをトラツプしたまま、銅
ペーストが充填している状況が観察された。
Incidentally, in the above-mentioned production, after forming the conductive layer, observing the solidification of the insulating layer with a scanning electron microscope, while trapping air in the undercut portion of the side wall, a situation in which the copper paste was filled was observed. It was

上記方法により、10コの電磁シールド配線板を製造した
ところ、導通チエツカーによる検査で銅ペーストシール
ド層と銅箔アースラインとの導通不良が全アース箇所に
対して15.3発生した。
When 10 electromagnetic shield wiring boards were manufactured by the above-mentioned method, a conduction defect between the copper paste shield layer and the copper foil ground line was found to occur at 15.3 in all the ground points in the inspection by the conduction checker.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、本発明による電磁シールド配線板の製法の代
表的な態様を示す処理工程図である。図において、1は
基板、2は配線パターン、3はスルーホール、4−a、
4−bは光硬化性絶縁材料、5はアースパターン、6は
導電性ペーストを夫々示す。
FIG. 1 is a process chart showing a typical embodiment of a method for producing an electromagnetic shield wiring board according to the present invention. In the figure, 1 is a substrate, 2 is a wiring pattern, 3 is a through hole, 4-a,
4-b is a photo-curable insulating material, 5 is a ground pattern, and 6 is a conductive paste.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】プリント配線基板上に、絶縁層及び導電層
を順次積層して電磁シールド配線板を製造するに際し、
該プリント配線基板上に、光感度及び/又は現像速度の
異なる2層以上の光硬化性絶縁材料の層を、露光、現像
後の硬化層の残存量が表面に向って減少するように積層
した後、露光及び現像を行って、サイドウォールが表面
に向って広がった絶縁層を形成することを特徴とする電
磁シールド配線板の製造方法。
1. When manufacturing an electromagnetic shield wiring board by sequentially laminating an insulating layer and a conductive layer on a printed wiring board,
On the printed wiring board, two or more layers of a photocurable insulating material having different photosensitivities and / or development rates were laminated so that the residual amount of the cured layer after exposure and development decreased toward the surface. After that, exposure and development are performed to form an insulating layer in which the sidewalls spread toward the surface, and a method for manufacturing an electromagnetic shield wiring board.
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