JP4547225B2 - Photocurable / thermosetting resin composition and optical / electrical hybrid substrate - Google Patents

Photocurable / thermosetting resin composition and optical / electrical hybrid substrate Download PDF

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本発明は、高分子材料を用いた光導波路材料用の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物に関するものであり、詳しくは、保存安定性に優れ、既存のアルカリ現像設備で容易にパターン形成でき、耐衝撃性、耐熱性、密着性、電気絶縁性等に優れることからソルダーレジストとしても利用可能である。また、光導波路材料として光損失が少なく、優れた保存安定性を有し、種々の光集積回路または光配線板に利用できる光導波路材料用の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、光硬化性・熱硬化性ドライフィルム、及びその硬化物並びに光・電気混載基板に関するものである。   The present invention relates to a photocurable / thermosetting resin composition for an optical waveguide material using a polymer material. Specifically, the present invention has excellent storage stability and can be easily patterned with existing alkali development equipment. It can also be used as a solder resist because of its excellent impact resistance, heat resistance, adhesion, electrical insulation and the like. In addition, photo-curing and thermosetting resin compositions for optical waveguide materials that have low optical loss as optical waveguide materials, have excellent storage stability, and can be used for various optical integrated circuits or optical wiring boards. And a thermosetting dry film, a cured product thereof, and an optical / electrical hybrid substrate.

近年、より高速処理が行えるコンピュータを作るために、CPUのクロック周波数は益々増大する傾向にあり、現在では1GHzオーダーを超えるものが出現するに至っている。この結果、コンピュータの中のプリント基板上の銅による電気配線には高周波電流が流れる部分が存在することになるので、ノイズの発生により誤動作が生じたり、また電磁波が発生して周囲に悪影響を与えることが問題となっている。   In recent years, in order to make a computer that can perform higher-speed processing, the clock frequency of the CPU tends to increase more and more than 1 GHz order has now appeared. As a result, there is a part where high-frequency current flows in the copper electrical wiring on the printed circuit board in the computer, so that malfunctions may occur due to the generation of noise, and electromagnetic waves may be generated, adversely affecting the surroundings. Is a problem.

このような問題を解決するために、プリント基板上の銅による電気配線の一部を光ファイバーまたは光導波路による光配線に置き換え、電気信号の代わりに光信号を利用することが行われている。   In order to solve such a problem, a part of the electrical wiring made of copper on the printed board is replaced with an optical wiring made of an optical fiber or an optical waveguide, and an optical signal is used instead of the electrical signal.

高密度実装または小型化の観点からは、電気配線と光配線とが同一の基板上で積み重なっている光・電気混載基板を作ることが望ましいことから、たとえば、電気配線基板上に光ファイバーを絶縁膜にて固定させた基板が提案されている(例えば、特許文献1参照)。しかし、光配線として光ファイバーを用いる場合、その屈曲性の限界から、複雑な形状の光配線には対応しきれず、設計の自由度が低くなってしまい、高密度配線あるいは基板の小型化に対応できないという問題がある。   From the viewpoint of high-density mounting or miniaturization, it is desirable to make an optical / electrical hybrid board in which electrical wiring and optical wiring are stacked on the same board. Has been proposed (see, for example, Patent Document 1). However, when an optical fiber is used as an optical wiring, due to its flexibility, it cannot be applied to a complicated-shaped optical wiring, resulting in a low degree of freedom in design, and cannot support high-density wiring or downsizing of a substrate. There is a problem.

このため、電気配線基板の上に光配線として、コア組成とクラッド組成の屈折率差を利用し、光を伝搬させる、いわゆる光導波路を用いた光・電気混載基板の構成がいくつか提案されている。これまで、安価な材料を用いて簡便な作製法が選択できる高分子導波路の検討が多数行われている。例えば、ポリスチレン等の透明性の優れた高分子材料をコアとし、コア材料より屈折率の低い高分子材料をクラッドとした光導波路材料が作製されている(例えば、特許文献2参照)が、耐熱性不足といった欠点が指摘されている。これに対し、耐熱性の高いポリイミド類を用いた低損失、高耐熱の光導波路材料が実現されている(例えば、特許文献3参照)。しかしこれらの方法は、クラッド層の表面にコア構造を形成する際、一枚毎にフォトレジストを用いたコアパターンの形成や反応性イオンエッチングによる凹凸加工が必要であり、低価格化や生産性に問題があった。   For this reason, several configurations of optical / electrical hybrid boards using so-called optical waveguides that propagate the light by utilizing the refractive index difference between the core composition and the cladding composition as optical wiring on the electrical wiring board have been proposed. Yes. So far, many studies have been made on polymer waveguides that allow simple fabrication methods to be selected using inexpensive materials. For example, an optical waveguide material in which a polymer material having excellent transparency such as polystyrene is used as a core and a polymer material having a refractive index lower than that of the core material is used as a cladding (see, for example, Patent Document 2) is heat resistant. Disadvantages such as lack of sex have been pointed out. On the other hand, a low-loss, high-heat-resistant optical waveguide material using polyimides with high heat resistance has been realized (see, for example, Patent Document 3). However, in these methods, when forming the core structure on the surface of the clad layer, it is necessary to form a core pattern using a photoresist for each sheet or to perform uneven processing by reactive ion etching, thereby reducing cost and productivity. There was a problem.

また、半導体プロセスを用いる方法の適用や感光性高分子あるいはレジストを用いる方法を挙げることができる。特に感光性高分子を用いてコアを形成して導波路を作製する方法は、パターンフィルムを通して紫外線を照射し、パターン形成する方法等が行われ、その作製方法が簡便で低価格化に適している。   Further, application of a method using a semiconductor process and a method using a photosensitive polymer or a resist can be given. In particular, a method of forming a waveguide by forming a core using a photosensitive polymer includes a method of forming a pattern by irradiating ultraviolet rays through a pattern film, and the manufacturing method is simple and suitable for cost reduction. Yes.

このようなことから、エチレン性不飽和基含有カルボン酸樹脂を用いたアルカリ現像型の光導波路用樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献4参照)が、熱硬化性成分を必須としていないため、十分な耐熱性が得られず、更に耐衝撃性、耐溶剤性、耐薬品性に劣るという問題がある。また、カルボキシル基を有する重合体と重合性反応基を有する化合物及びカチオン重合開始剤を含む光導波路用放射線硬化性樹脂組成物も提案されている(例えば、特許文献5参照)が、カチオン重合性であるため、十分な密着性、電気絶縁性が得られないという問題がある。   For this reason, an alkali development type optical waveguide resin composition using an ethylenically unsaturated group-containing carboxylic acid resin has been proposed (for example, see Patent Document 4), but a thermosetting component is essential. Therefore, there is a problem that sufficient heat resistance cannot be obtained and the impact resistance, solvent resistance, and chemical resistance are inferior. Further, a radiation curable resin composition for an optical waveguide containing a polymer having a carboxyl group, a compound having a polymerizable reactive group, and a cationic polymerization initiator has also been proposed (see, for example, Patent Document 5). Therefore, there is a problem that sufficient adhesion and electrical insulation cannot be obtained.

光導波路用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、諸特性を向上させるために、通常2個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物を熱硬化性成分として含んでいる。しかしながら、この多官能エポキシ化合物は反応性が高いため、これを含有する光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、保存安定性が短く、一液型組成することが困難な場合があった。そのため、多官能エポキシ化合物を主体とした硬化剤溶液と、感光性樹脂を主体とし、これに硬化促進剤等を配合した主剤溶液の二液型組成にし、使用時にこれらを混合して用いる必要があり、作業性の点で問題があった。   In order to improve various properties, the photocurable / thermosetting resin composition for an optical waveguide usually contains a polyfunctional epoxy compound having two or more epoxy groups as a thermosetting component. However, since this polyfunctional epoxy compound has high reactivity, the photocurable / thermosetting resin composition containing the polyfunctional epoxy compound has short storage stability, and it may be difficult to form a one-component composition. Therefore, it is necessary to use a two-part composition of a curing agent solution mainly composed of a polyfunctional epoxy compound and a main agent solution mainly composed of a photosensitive resin and blended with a curing accelerator and the like, and these must be mixed and used at the time of use. There was a problem in terms of workability.

多官能エポキシ化合物を含む光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、ドライフィルム形態にした場合においても保存安定性が短くなり、0℃以下の冷凍保存を行う必要性があり、室温保存性に大きな問題があった。しかも、ドライフィルムの使用に際しても、温度を室温まで戻す必要があり、作業性の点でも問題が挙げられた。更に、多官能エポキシ化合物を含有する光導波路用の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、露光、現像した後に加熱硬化させ、多官能エポキシ化合物の架橋反応によって硬度等の特性に優れた硬化皮膜が得られるが、反面、架橋が進み過ぎると塗膜の硬化収縮を生じ、クラックを生じる場合があった。
特開平3−29905号公報(特許請求の範囲) 特開平2−181103号公報(第5−6欄) 特開平6−265738号公報(第3−5頁、第1図) 特開2003−149475号公報(特許請求の範囲) 特開2003−195079号公報(特許請求の範囲)
A photo-curable / thermosetting resin composition containing a polyfunctional epoxy compound has a short storage stability even in the form of a dry film, and needs to be stored frozen at 0 ° C. or less, and is stable at room temperature. There was a big problem. Moreover, when using a dry film, it is necessary to return the temperature to room temperature, which raises a problem in terms of workability. Furthermore, a photo-curable / thermosetting resin composition for optical waveguides containing a polyfunctional epoxy compound is cured by heat and curing after exposure and development, and has excellent properties such as hardness by a crosslinking reaction of the polyfunctional epoxy compound. Although a film can be obtained, on the other hand, if the crosslinking proceeds too much, the film may be cured and contracted to cause cracks.
JP-A-3-29905 (Claims) JP-A-2-181103 (Column 5-6) JP-A-6-265738 (page 3-5, FIG. 1) JP 2003-149475 A (Claims) JP 2003-195079 A (Claims)

本発明の目的は、光導波路材料用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物として、優れた保存安定性を有し、既存のアルカリ現像設備で容易にパターン形成でき、耐衝撃性、耐熱性、密着性、電気絶縁性、クラック耐性等に優れる光導波路形成用樹脂組成物、およびそれを用いて作製された光導波路材料ならびに光導波路の形成方法を提供することにある。更に、ソルダーレジストとしても利用可能であり、かつ光損失が少なく、製造プロセスの簡略化が可能な光学特性に優れる光導波路ならびに光配線板に利用できる光導波路材料用の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を提供することにある。   The object of the present invention is as a photocurable / thermosetting resin composition for optical waveguide materials, has excellent storage stability, can be easily patterned with existing alkali development equipment, impact resistance, heat resistance, An object of the present invention is to provide an optical waveguide forming resin composition excellent in adhesion, electrical insulation, crack resistance, and the like, an optical waveguide material produced using the same, and an optical waveguide forming method. In addition, it can be used as a solder resist, has low optical loss, can simplify the manufacturing process, and has excellent optical characteristics. Optical curability and thermosetting for optical waveguide materials that can be used for optical wiring boards. The object is to provide a resin composition.

前記目的を達成するために、本発明の基本的な態様としては、光・電気混載基板を構成する、(a)光導波路及びソルダーレジスト層、(b)光導波路及び中間絶縁層、(c)光導波路、ソルダーレジスト層及び中間絶縁層のいずれかの組合せに併用して用いられる樹脂組成物であって、(A)酸価が40〜250mgKOH/gであり、かつ重量平均分子量が2,000〜50,000である線状ポリマーである芳香環の無い特定のカルボキシル基含有樹脂、(B)光硬化して前記カルボキシル基含有樹脂(A)を希アルカリ水溶液に対して不溶化する反応性希釈剤、(C)光重合開始剤、(D)熱硬化成分として一分子中に2個以上のオキセタニル基を有するオキセタン樹脂、及び(E)熱硬化促進剤を含有する樹脂組成物が、保存安定性に優れ、既存のアルカリ現像設備で容易にパターン形成でき、耐熱性、密着性、電気絶縁性等に優れることからソルダーレジストとしても利用可能であり、さらに樹脂組成を変えることにより屈折率を自由に、かつ容易に制御でき、光導波路材料、並びに光導波路作製方法として有用であることを見出し、本発明を完成するに至った。
前記カルボキシル基含有樹脂(A)の酸価が、40〜250mgKOH/gであり、かつ重量平均分子量が2,000〜50,000である線状ポリマーを用いることにより、アルカリ水溶液による現像性が安定化し、耐衝撃性、クラック耐性に優れた硬化物が提供される。さらに前記カルボキシル基含有樹脂(A)が、エチレン性不飽和二重結合を有していることにより、耐現像性、感度が向上し、既存のアルカリ現像設備で容易に精度良くパターン形成でき、作業性も向上することができる。
ここで、本発明において、「光硬化性・熱硬化性樹脂組成物」および「光硬化性・熱硬化性ドライフィルム」とは、それぞれ「光硬化性かつ熱硬化性の樹脂組成物」および「光硬化性かつ熱硬化性のドライフィルム」を意味する。
In order to achieve the above object, the basic aspect of the present invention includes : (a) an optical waveguide and a solder resist layer; (b) an optical waveguide and an intermediate insulating layer; A resin composition used in combination with any combination of an optical waveguide, a solder resist layer and an intermediate insulating layer , wherein (A) the acid value is 40 to 250 mg KOH / g, and the weight average molecular weight is 2,000. A specific carboxyl group-containing resin having no aromatic ring, which is a linear polymer of ˜50,000, (B) a reactive diluent that is photocured to insolubilize the carboxyl group-containing resin (A) in a dilute aqueous alkali solution; (C) a photopolymerization initiator, (D) an oxetane resin having two or more oxetanyl groups in one molecule as a thermosetting component, and (E) a resin composition containing a thermosetting accelerator is stable in storage. It can be easily formed with existing alkali development equipment, and it can be used as a solder resist because of its excellent heat resistance, adhesion, and electrical insulation, and the refractive index can be freely adjusted by changing the resin composition. The present invention has been completed by finding that it is easily controllable and useful as an optical waveguide material and an optical waveguide manufacturing method.
By using a linear polymer having an acid value of 40 to 250 mgKOH / g and a weight average molecular weight of 2,000 to 50,000, the developability with an aqueous alkali solution is stable. And a cured product having excellent impact resistance and crack resistance is provided. Furthermore, since the carboxyl group-containing resin (A) has an ethylenically unsaturated double bond, development resistance and sensitivity are improved, and pattern formation can be easily and accurately performed with existing alkali development equipment. Can also be improved.
Here, in the present invention, the “photocurable / thermosetting resin composition” and the “photocurable / thermosetting dry film” are respectively “photocurable and thermosetting resin composition” and “ It means “photocurable and thermosetting dry film”.

また、他の態様としては、光・電気混載基板を構成する光導波路の下部クラッド層、コア層、及び上部クラッド層の少なくとも一つと、当該光・電気混載基板を構成するソルダーレジスト層もしくは中間絶縁層とが、いずれも、上記光硬化性・熱硬化性樹脂組成物から形成されてなる光・電気混載基板型プリント配線板が提供される。 Further, as another aspect , at least one of a lower cladding layer, a core layer, and an upper cladding layer of an optical waveguide constituting an optical / electrical hybrid substrate, and a solder resist layer or an intermediate insulation constituting the optical / electrical hybrid substrate and a layer, any light-electric hybrid board type printed wiring board ing formed from the photocurable and thermosetting resin composition Ru are provided.

本発明の光導波路材料用の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、優れた保存安定性を有し、既存の設備で容易にパターン形成でき、耐衝撃性、耐熱性、密着性、電気絶縁性等に優れ、かつ光損失が少なく、容易な製造プロセスにて光導波路クラッド層及び光導波路コア層が形成できる。
さらに、無機充填剤、特にナノ粒径の充填剤を用いることにより、従来使用されている充填剤と同等の特性向上効果を有し、更に光導波路材料としても光透過性等の光学特性を低下することが無く、弾性率、ガラス転移温度、線膨張係数といった物性を調節することも可能になる。すなわち、更に優れた耐熱性、リフロー耐性、耐溶剤性、耐薬品性を有する光導波路、及びソルダーレジストに適用可能な組成物が提供でき、光・電気混載基板を安価で、かつ生産性良く提供することができる。
The photocurable / thermosetting resin composition for the optical waveguide material of the present invention has excellent storage stability, can be easily patterned with existing equipment, and has impact resistance, heat resistance, adhesion, electricity The optical waveguide cladding layer and the optical waveguide core layer can be formed by an easy manufacturing process with excellent insulation and the like, and with little optical loss.
In addition, the use of inorganic fillers, especially nano-particle fillers, has the same effect of improving properties as conventionally used fillers, and also reduces optical properties such as light transmission as an optical waveguide material. It is also possible to adjust physical properties such as elastic modulus, glass transition temperature, and linear expansion coefficient. In other words, it is possible to provide a composition that can be applied to optical waveguides and solder resists that have even better heat resistance, reflow resistance, solvent resistance, and chemical resistance, and provide optical / electrical hybrid substrates at low cost and high productivity. can do.

本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、光・電気混載基板を構成する、(a)光導波路及びソルダーレジスト層、(b)光導波路及び中間絶縁層、(c)光導波路、ソルダーレジスト層及び中間絶縁層のいずれかの組合せに併用して用いられる樹脂組成物であって、(A)酸価が40〜250mgKOH/gであり、かつ重量平均分子量が2,000〜50,000である線状ポリマーである芳香環の無い特定のカルボキシル基含有樹脂、(B)光硬化して前記カルボキシル基含有樹脂(A)を希アルカリ水溶液に対して不溶化する反応性希釈剤、(C)光重合開始剤、(D)熱硬化成分として一分子中に2個以上のオキセタニル基を有するオキセタン樹脂、及び(E)熱硬化促進剤を含有しており、樹脂組成を変えることにより屈折率を自由に、かつ容易に制御できる。また、前記カルボキシル基含有樹脂(A)を用いることにより、未露光部を希アルカリ水溶液により除去することができ、更に、前記一分子中に2個以上のオキセタニル基を有するオキセタン樹脂(D)を含有していることにより、熱硬化した塗膜は、耐衝撃性、耐溶剤性、耐薬品性に極めて優れ、かつソルダーレジスト層としての特性を有した硬化物を与えることが可能となる。
以下、本発明に係る光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の各構成成分について、詳細を説明する。
Photocurable and thermosetting resin composition of the present invention constitutes a light-electric hybrid board, (a) an optical waveguide and the solder resist layer, (b) an optical waveguide and the intermediate insulating layer, (c) an optical waveguide, A resin composition used in combination with any combination of a solder resist layer and an intermediate insulating layer , wherein (A) the acid value is 40 to 250 mg KOH / g, and the weight average molecular weight is 2,000 to 50, A specific carboxyl group-containing resin having no aromatic ring, which is a linear polymer of 000, (B) a reactive diluent that is photocured to insolubilize the carboxyl group-containing resin (A) in a dilute alkaline aqueous solution, (C It contains a photopolymerization initiator, (D) an oxetane resin having two or more oxetanyl groups in one molecule as a thermosetting component, and (E) a thermosetting accelerator. The refractive index is changed by changing the resin composition. Freely, and easily controlled. Further, by using the carboxyl group-containing resin (A), an unexposed portion can be removed with a dilute alkaline aqueous solution, and an oxetane resin (D) having two or more oxetanyl groups in one molecule is further obtained. By containing, the heat-cured coating film can give a cured product that is extremely excellent in impact resistance, solvent resistance, and chemical resistance and has characteristics as a solder resist layer.
Hereinafter, the details of each component of the photocurable and thermosetting resin composition according to the present invention will be described.

本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物に用いられる前記カルボキシル基含有樹脂(A)は、分子中にカルボキシル基を含有している酸価が40〜250mgKOH/gであり、かつ重量平均分子量が2,000〜50,000である芳香環の無い特定の線状ポリマーであり、更に分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有の感光性線状ポリマー(A’)が、光硬化性や耐現像性の面からより好ましい。
具体的には、下記に列挙するような樹脂である
The carboxyl group-containing resin used in the photocurable and thermosetting resin composition of the present invention (A) has an acid value containing a carboxyl group in the molecular is 40~250mgKOH / g, and the weight A specific linear polymer having no aromatic ring and having an average molecular weight of 2,000 to 50,000, and further containing a carboxyl group having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule (A ′) Is more preferable in terms of photocurability and development resistance.
Specifically, a resin such as listed below.

(1)不飽和カルボン酸と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の共重合によって得られるカルボキシル基含有の線状ポリマー(A)、
(2)不飽和カルボン酸と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、部分的にエチレン性不飽和基をペンダントとして付加させることによって得られるカルボキシル基含有の感光性線状ポリマー(A’)、
(3)一分子中にエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した第二級の水酸基に飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有の感光性線状ポリマー(A’)、
(4)不飽和二重結合を有する酸無水物と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、一分子中に水酸基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られるカルボキシル基含有の感光性線状ポリマー(A’)。
このような主鎖に芳香環の無い共重合系の線状ポリマーは、黄変等による光吸収を起こすことがなく、光導波路用として好適に用いることができる。
(1) A carboxyl group-containing linear polymer (A) obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid and a compound having an unsaturated double bond other than that,
(2) A carboxyl group-containing photosensitive ray obtained by partially adding an ethylenically unsaturated group as a pendant to a copolymer of an unsaturated carboxylic acid and another compound having an unsaturated double bond. Polymer (A ′),
(3) A second product produced by reacting a compound having an epoxy group and an unsaturated double bond in one molecule with a copolymer of another compound having an unsaturated double bond with an unsaturated monocarboxylic acid. Carboxyl group-containing photosensitive linear polymer (A ′) obtained by reacting a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride with a primary hydroxyl group,
(4) A compound having a hydroxyl group and an unsaturated double bond in one molecule is reacted with a copolymer of an acid anhydride having an unsaturated double bond and another compound having an unsaturated double bond. The resulting carboxyl-containing photosensitive linear polymer (A ′ ).
Such linear polymer backbone with no aromatic ring in the copolymerization system, without causing the light absorption by such as yellowing, can be suitably used for an optical waveguide.

上記のようなカルボキシル基含有樹脂(A)は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数の遊離のカルボキシル基を有するため、希アルカリ水溶液による現像が可能である。
このようなカルボキシル基含有樹脂(A)の酸価は、40〜250mgKOH/gの範囲であり、より好ましくは80〜120mgKOH/gの範囲である。カルボキシル基含有樹脂の酸価が40mgKOH/g未満であるとアルカリ現像が困難となり、一方、250mgKOH/gを超えると現像液による露光部の溶解が進むために、必要以上にラインが痩せたり、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離してしまい、正常なレジストパターンの描画が困難となるので好ましくない。
また、このようなカルボキシル基含有樹脂(A)の重量平均分子量は、2,000〜50,000、好ましくは、5,000〜20,000の範囲が望ましい。重量平均分子量が、2,000未満の場合、塗膜の指触乾燥性が低下し、硬化物の耐衝撃性が得られ難くなるので好ましくない。一方、重量平均分子量が、50,000を越えた場合、現像性が低下するので好ましくない。
上記カルボキシル基含有樹脂(A)の配合量は、全組成物中に、20〜60質量%、好ましくは30〜50質量%である。上記範囲より少ない場合、アルカリ可溶性成分が不足し、現像処理により目的とする導波路形状が得られ難くなったり、硬化物の強度が低下したりするので好ましくない。一方、上記範囲より多い場合、他の成分が不足し、感度が低下したり、硬化物特性が低下したりするので好ましくない。
Since the carboxyl group-containing resin (A) as described above has a large number of free carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, development with a dilute alkaline aqueous solution is possible.
The acid value of such a carboxyl group-containing resin (A) is in the range of 40 to 250 mgKOH / g, more preferably in the range of 80 to 120 mgKOH / g. If the acid value of the carboxyl group-containing resin is less than 40 mgKOH / g, alkali development becomes difficult. On the other hand, if it exceeds 250 mgKOH / g, dissolution of the exposed area by the developer proceeds and the line becomes thinner than necessary. Depending on the case, the exposed portion and the unexposed portion are not distinguished from each other by dissolution and peeling with a developer, which makes it difficult to draw a normal resist pattern.
Moreover, the weight average molecular weight of such a carboxyl group-containing resin (A) is in the range of 2,000 to 50,000, preferably 5,000 to 20,000. A weight average molecular weight of less than 2,000 is not preferable because the touch-drying property of the coating film is lowered and the impact resistance of the cured product is hardly obtained. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 50,000, the developability is lowered, which is not preferable.
The compounding quantity of the said carboxyl group containing resin (A) is 20-60 mass% in all the compositions, Preferably it is 30-50 mass%. When the amount is less than the above range, the alkali-soluble component is insufficient, and it becomes difficult to obtain a desired waveguide shape by the development process, or the strength of the cured product is lowered, which is not preferable. On the other hand, when the amount is larger than the above range, other components are insufficient, and the sensitivity is lowered or the cured product properties are lowered.

本発明において使用される反応性希釈剤(B)としては、光硬化して、上記カルボキシル基含有樹脂を希アルカリ水溶液に対して不溶化するために使用するものである。その代表的なものとしては、例えばヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、EO変性リン酸ジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の反応性希釈剤が挙げられる。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語で、他の類似の表現についても同様である。
The reactive diluent (B) used in the present invention is used for photocuring and insolubilizing the carboxyl group-containing resin in a dilute alkaline aqueous solution. Typical examples thereof include hydroxyethyl (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, and polyethylene. Glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol adipate di (meth) acrylate, hydroxypivalate neopentyl glycol di (meth) acrylate, dicyclopentanyl di (meth) acrylate, caprolactone modified dicyclopentanyl di (meth) acrylate , EO-modified phosphoric acid di (meth) acrylate, allylated cyclohexyl di (meth) acrylate, isocyanurate di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, dipentaeryth Tall tri (meth) acrylate, propionic acid modified dipentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, PO modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tris (acryloxyethyl) isocyanurate, propionic acid modified di Examples include reactive diluents such as pentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate.
In addition, in this specification, (meth) acrylate is a term that collectively refers to acrylate, methacrylate, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

これらの反応性希釈剤(B)の配合量としては、前記カルボキシル基含有の線状ポリマー(A)100質量部に対して、5〜100質量部が好ましく、特に好ましくは5〜50質量部である。(B)成分が5質量部未満の場合、十分な硬化性が得られず、設計通りの導波路形状が得られなくなる。一方、100部以上となった場合、指触乾燥性が悪くなったり、ドライフィルムを形成する際、不都合を生じるので好ましくない。   As a compounding quantity of these reactive diluents (B), 5-100 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of the said linear polymer (A) containing a carboxyl group, Most preferably, it is 5-50 mass parts. is there. When the component (B) is less than 5 parts by mass, sufficient curability cannot be obtained, and the designed waveguide shape cannot be obtained. On the other hand, when the amount is 100 parts or more, it is not preferable because the dryness to the touch is deteriorated or inconvenience is caused when a dry film is formed.

本発明において使用される光重合開始剤(C)としては、光重合性組成物において一般的に使用されている光重合開始剤が使用できる。その代表的なものとしては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとベンゾインアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1等のアミノアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−ターシャリーブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;又はキサントン類;(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、エチル−2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィネイト等のフォスフィンオキサイド類などが挙げられ、これら公知慣用の光重合開始剤(C)は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   As a photoinitiator (C) used in this invention, the photoinitiator generally used in the photopolymerizable composition can be used. Typical examples thereof include benzoin and benzoin alkyl ethers such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy. Acetophenones such as 2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1 -Aminoacetophenones such as 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1; 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tertiarybutylanthraquinone Anthraquinones such as 1-chloroanthraquinone; thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyldimethyl ketal Benzophenones such as benzophenone; or xanthones; (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-pentylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 2,4 , 6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, phosphine oxides such as ethyl-2,4,6-trimethylbenzoylphenyl phosphinate, and the like. Initiator (C) may be used alone or in combination of two or more.

これらの光重合開始剤(C)の配合量は、全組成物中に、0.1〜10質量%であり、好ましくは0.2〜5質量%である。前記配合量が組成物全体量の0.2質量%未満の場合、光硬化性が低下し、目的とする光導波路形状の形成が困難となるので好ましくない。一方、10質量%を超えた場合、光導波路の伝送損失に悪影響を及ぼす可能性を有し、更にコスト高の原因となるので好ましくない。   The compounding quantity of these photoinitiators (C) is 0.1-10 mass% in all the compositions, Preferably it is 0.2-5 mass%. When the blending amount is less than 0.2% by mass of the total amount of the composition, the photocurability is lowered, and it becomes difficult to form a desired optical waveguide shape, which is not preferable. On the other hand, if it exceeds 10% by mass, it may adversely affect the transmission loss of the optical waveguide, and this is not preferable because it causes a higher cost.

本発明において使用される一分子中に2個以上のオキセタニル基を有するオキセタン樹脂(D)は、一般的にトリメチロールプロパンなどのトリメチロール化合物とアルキルカーボネートを反応して得られるオキセタンアルコールと、多官能アルコールやポリフェノール類とのエーテル化反応、または多官能カルボン酸とのエステル化反応により、合成することができ、例えば、下記一般式(1)で示されるビスオキセタン類が挙げられる。







上記一般式(1)において、Rは、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基であり、Rは、炭素数1〜12の線状又は分岐状飽和炭化水素類、炭素数2〜12の線状又は分岐状不飽和炭化水素類、下記式(I)、(II)、(III)、(IV)及び(V)で示される芳香族炭化水素類、式(VI)及び(VII)で示されるカルボニル基を含む直鎖状又は環状のアルキレン類、式(VIII)及び(IX)で示されるカルボニル基を含む芳香族炭化水素類から選択される2価の原子価を持った基である。
The oxetane resin (D) having two or more oxetanyl groups in one molecule used in the present invention is generally an oxetane alcohol obtained by reacting a trimethylol compound such as trimethylolpropane with an alkyl carbonate, It can be synthesized by an etherification reaction with a functional alcohol or a polyphenol or an esterification reaction with a polyfunctional carboxylic acid, and examples thereof include bisoxetanes represented by the following general formula (1).







In the general formula (1), R 1 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and R 2 is a linear or branched saturated hydrocarbon having 1 to 12 carbon atoms, 2 to 2 carbon atoms. 12 linear or branched unsaturated hydrocarbons, aromatic hydrocarbons represented by the following formulas (I), (II), (III), (IV) and (V), formulas (VI) and (VII A group having a divalent valence selected from linear or cyclic alkylenes containing a carbonyl group represented by formula (VIII) and aromatic hydrocarbons containing a carbonyl group represented by formulas (VIII) and (IX) It is.


式中、Rは、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、アリール基、又はアラルキル基を表わし、Rは、−O−、−S−、−CH−、−NH−、−SO−、
−CH(CH)−、−C(CH−、又は−C(CF−を表わし、Rは、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表わす。

In the formula, R 3 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group, or an aralkyl group, and R 4 represents —O—, —S—, —CH 2 —, —NH—, — SO 2 −,
-CH (CH 3) -, - C (CH 3) 2 -, or -C (CF 3) 2 - represents, R 5 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.




式中、nは1〜12の整数を表わす。



In the formula, n represents an integer of 1 to 12.


また、分子中に3つ以上のオキセタン環を有する化合物の代表例としては、下記一般式(2)で示されるような化合物の他、オキセタンとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、又はシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を含有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。



上記一般式(2)において、Rは前記と同じ意味であり、Rは、前記エーテル化物の水酸基含有樹脂残基、下記式(X)、(XI)、及び(XII)で示されるような炭素数1〜12の分岐状アルキレン基、式(XIII)、(XIV)、及び(XV)で示される芳香族炭化水素類である。また、mは残基Rに結合している官能基の数を表わし、3以上の整数、好ましくは3〜500の整数である。
Moreover, as a representative example of a compound having three or more oxetane rings in the molecule, in addition to a compound represented by the following general formula (2), oxetane and novolak resin, poly (p-hydroxystyrene), cardo type Examples include bisphenols, calixarenes, calixresorcinarenes, and etherified products with resins having a hydroxyl group such as silsesquioxane. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer containing an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate is also included.



In the general formula (2), R 1 has the same meaning as described above, and R 6 represents a hydroxyl group-containing resin residue of the etherified product, represented by the following formulas (X), (XI), and (XII). A C1-C12 branched alkylene group, and aromatic hydrocarbons represented by the formulas (XIII), (XIV), and (XV). M represents the number of functional groups bonded to the residue R 6 , and is an integer of 3 or more, preferably an integer of 3 to 500.


式中、Rは、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、又はアリール基を表わす。

In the formula, R 7 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or an aryl group.

これらオキセタン樹脂(D)は、熱硬化反応することにより光導波路塗膜の密着性、耐熱性、電気絶縁性を向上させる。オキセタン樹脂(D)の配合割合としては、前記カルボキシル基含有樹脂(A)のカルボキシル基1当量に対して、0.5〜2.0当量であり、好ましくは0.8〜1.6当量の割合である。オキセタン樹脂成分の配合割合が、前記カルボキシル基含有樹脂(A)のカルボキシル基1当量に対して、0.5当量未満の場合、硬化塗膜の架橋密度が低下し、はんだ耐熱性やリフロー耐性が低くなりやすい。一方、2.0当量を超えると乾燥塗膜の現像性が低下し、目的通りの導波路形状が得られなくなる。   These oxetane resins (D) improve the adhesion, heat resistance, and electrical insulation properties of the optical waveguide coating film by a thermosetting reaction. As a mixture ratio of oxetane resin (D), it is 0.5-2.0 equivalent with respect to 1 equivalent of carboxyl groups of the said carboxyl group-containing resin (A), Preferably it is 0.8-1.6 equivalents. It is a ratio. When the blending ratio of the oxetane resin component is less than 0.5 equivalent with respect to 1 equivalent of the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin (A), the crosslinking density of the cured coating film is lowered, and the solder heat resistance and reflow resistance are reduced. It tends to be low. On the other hand, if it exceeds 2.0 equivalents, the developability of the dried coating film is lowered, and the desired waveguide shape cannot be obtained.

本発明において使用される硬化促進剤(E)としては、三級アミン、三級アミン塩、四級オニウム塩、三級ホスフィン、イミダゾール誘導体又はクラウンエーテル錯体(例えば、18−クラウン−6/カリウムフェノキシド、カリウムベンゾエーテル、KCl、KBr、アンモニウムアセテート等)の中から任意に選択することが可能であり、これらを単独で又は2種以上混合して用いてもよい。その他、ホスホニウムイリドなども使用できる。三級アミンとしては、トリエチルアミン、トリブチルアミン、DBU(1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデカ−7−エン)、DBN(1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]ノナ−5−エン)、DABCO(1,4−ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン)、ピリジン、N,N′−ジメチル−4−アミノピリジンなどが挙げられる。三級アミン塩としては、例えば、サンアプロ(株)製のU−CATシリーズなどが挙げられる。さらに、三級アミン又は三級ホスフィンと、カルボン酸あるいは酸性の強いフェノール類との付加反応により形成される四級オニウム塩も反応促進剤として使用可能である。これらは、反応系に添加する前に四級塩を形成するか、もしくはそれぞれを別に添加して反応系中で四級塩形成を行わせるいずれの方法でもよい。具体的には、トリブチルアミンと酢酸により得られるトリブチルアミン酢酸塩、トリフェニルホスフィンと酢酸により形成されるトリフェニルホスフィン酢酸塩等が挙げられる。四級オニウム塩としては、アンモニウム塩、ホスホニウム塩、アルソニウム塩、スチボニウム塩、オキソニウム塩、スルホニウム塩、セレノニウム塩、スタンノニウム塩、ヨードニウム塩等が挙げられる。特に好ましいものは四級アンモニウム塩及び四級ホスホニウム塩である。四級アンモニウム塩の具体例としては、テトラ−n−ブチルアンモニウムクロライド(TBAC)、テトラ−n−ブチルアンモニウムブロミド(TBAB)、テトラ−n−ブチルアンモニウムアイオダイド(TBAI)、及びテトラ−n−ブチルアンモニウムアセテート(TBAAc)等が挙げられる。四級ホスホニウム塩の具体例としては、テトラ−n−ブチルホスホニウムクロライド(TBPC)、テトラ−n−ブチルホスホニウムブロミド(TBPB)、テトラ−n−ブチルホスホニウムアイオダイド(TBBI)、テトラフェニルホスホニウムクロライド(TPPC)、テトラフェニルホスホニウムブロミド(TPPB)、テトラフェニルホスホニウムアイオダイド(TPPI)、エチルトリフェニルホスホニウムブロミド(ETPPB)、エチルトリフェニルホスホニウムアセテート(ETPPAc)などが挙げられる。三級ホスフィンとしては、炭素数1〜12個のアルキル基又はアリール基を有する三価の有機リン化合物であればよい。具体例としては、トリエチルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィンなどが挙げられる。イミダゾール誘導体としては、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾールなどが挙げられる。具体的に市販されているものとしては、例えば四国化成(株)製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZなどが挙げられる。また経時安定性向上を図るものとして、旭チバ(株)製のノバキュアHX−3721、HX−3748、HX−3741、HX−3088、HX−3722、HX−3742、HX−3921HP、HX−3941HP、HX−3613等も挙げられる。ホスホニウムイリドとしては、ホスホニウム塩と塩基との反応により得られる化合物であれば公知の物が使用可能であるが、取扱いの容易さから安定性の高い物の方が好ましい。具体的な例としては、(ホルミルメチレン)トリフェニルホスフィン、(アセチルメチレン)トリフェニルホスフィン、(ピバロイルメチレン)トリフェニルホスフィン、(ベンゾイルメチレン)トリフェニルホスフィン、(p−メトキシベンゾイルメチレン)トリフェニルホスフィン、(p−メチルベンゾイルメチレン)トリフェニルホスフィン、(p−ニトロベンゾイルメチレン)トリフェニルホスフィン、(ナフトイル)トリフェニルホスフィン、(メトキシカルボニル)トリフェニルホスフィン、(ジアセチルメチレン)トリフェニルホスフィン、(アセチルシアノ)トリフェニルホスフィン、(ジシアノメチレン)トリフェニルホスフィンなどが挙げられる。   Examples of the curing accelerator (E) used in the present invention include tertiary amines, tertiary amine salts, quaternary onium salts, tertiary phosphines, imidazole derivatives or crown ether complexes (for example, 18-crown-6 / potassium phenoxide). , Potassium benzoether, KCl, KBr, ammonium acetate, etc.), and these may be used alone or in admixture of two or more. In addition, phosphonium ylide can also be used. The tertiary amine includes triethylamine, tributylamine, DBU (1,8-diazabicyclo [5.4.0] undec-7-ene), DBN (1,5-diazabicyclo [4.3.0] non-5- En), DABCO (1,4-diazabicyclo [2.2.2] octane), pyridine, N, N'-dimethyl-4-aminopyridine and the like. Examples of the tertiary amine salt include U-CAT series manufactured by San Apro Co., Ltd. Furthermore, a quaternary onium salt formed by an addition reaction of a tertiary amine or tertiary phosphine with a carboxylic acid or a strongly acidic phenol can also be used as a reaction accelerator. These may be any method in which a quaternary salt is formed before addition to the reaction system, or each is added separately to form a quaternary salt in the reaction system. Specific examples include tributylamine acetate obtained from tributylamine and acetic acid, and triphenylphosphine acetate formed from triphenylphosphine and acetic acid. Examples of the quaternary onium salt include ammonium salts, phosphonium salts, arsonium salts, stibonium salts, oxonium salts, sulfonium salts, selenonium salts, stannonium salts, iodonium salts, and the like. Particularly preferred are quaternary ammonium salts and quaternary phosphonium salts. Specific examples of quaternary ammonium salts include tetra-n-butylammonium chloride (TBAC), tetra-n-butylammonium bromide (TBAB), tetra-n-butylammonium iodide (TBAI), and tetra-n-butyl. Ammonium acetate (TBAAc) etc. are mentioned. Specific examples of the quaternary phosphonium salt include tetra-n-butylphosphonium chloride (TBPC), tetra-n-butylphosphonium bromide (TBPB), tetra-n-butylphosphonium iodide (TBBI), and tetraphenylphosphonium chloride (TPPC). ), Tetraphenylphosphonium bromide (TPPB), tetraphenylphosphonium iodide (TPPI), ethyltriphenylphosphonium bromide (ETPPB), ethyltriphenylphosphonium acetate (ETPPAc), and the like. The tertiary phosphine may be a trivalent organic phosphorus compound having an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group. Specific examples include triethylphosphine, tributylphosphine, triphenylphosphine and the like. Examples of imidazole derivatives include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1- (2- And cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole. Specific examples of commercially available products include 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, and 2P4MHZ manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd. Moreover, as a thing which aims at stability improvement with time, Asahi Ciba Co., Ltd. product NOVACURE HX-3721, HX-3748, HX-3741, HX-3088, HX-3722, HX-3742, HX-392HP, HX-3941HP, HX-3613 etc. are also mentioned. As the phosphonium ylide, known compounds can be used as long as they are compounds obtained by the reaction of a phosphonium salt and a base, but a highly stable compound is preferred from the viewpoint of ease of handling. Specific examples include (formylmethylene) triphenylphosphine, (acetylmethylene) triphenylphosphine, (pivaloylmethylene) triphenylphosphine, (benzoylmethylene) triphenylphosphine, (p-methoxybenzoylmethylene) triphenyl. Phosphine, (p-methylbenzoylmethylene) triphenylphosphine, (p-nitrobenzoylmethylene) triphenylphosphine, (naphthoyl) triphenylphosphine, (methoxycarbonyl) triphenylphosphine, (diacetylmethylene) triphenylphosphine, (acetylcyano) ) Triphenylphosphine, (dicyanomethylene) triphenylphosphine, and the like.

硬化促進剤(E)の使用量は、オキセタニル基1モルに対して0.1〜25モル%の範囲であり、さらに好ましくは0.5〜20モル%であり、より好ましくは1〜15モル%である。硬化促進剤の使用量がオキセタニル基に対して0.1モル%よりも少ないと実用的な速度で反応が進行し難く、一方、25モル%よりも多量に使用しても顕著な反応促進効果は見られないため、経済性の点で好ましくない。   The usage-amount of a hardening accelerator (E) is the range of 0.1-25 mol% with respect to 1 mol of oxetanyl groups, More preferably, it is 0.5-20 mol%, More preferably, it is 1-15 mol %. When the amount of the curing accelerator used is less than 0.1 mol% with respect to the oxetanyl group, the reaction does not easily proceed at a practical rate. Is not preferable in terms of economy.

本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、又は光硬化性・熱硬化性ドライフィルムは、硬化物の線膨張係数を調整したり、耐熱性等の塗膜特性を向上させるために、(F)無機充填剤を配合することができる。このような無機充填剤(F)としては、公知慣用の充填剤、例えば結晶性シリカ、溶融シリカ、ガラス粉末、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、天然マイカ、合成マイカ、水酸化アルミニウム、沈降性硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化鉄、非繊維状ガラス、アスベスト、ミネラルウール、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、亜鉛華、酸化チタン等の無機顔料などが挙げられる。
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、又は光硬化性・熱硬化性ドライフィルムは、ソルダーレジスト及び光導波路用材料として使用可能であるが、ソルダーレジストとして用いる場合、前記無機充填剤(F)の平均粒径は、一般的なソルダーレジストの膜厚から、20μm以下、より好ましくは10μm以下である。
一方、光導波路用材料に用いる場合、一般的に光導波路に用いられる波長が850nm,1300nm,1550nmであることから、無機充填剤(F)の平均粒径は、800nm以下、好ましくは400nm以下、より好ましくは100nm以下であり、かつ最大粒径が850nm以下であることが、光導波路の透過性が増し、光損失が少なくなるので好ましい。
The photocurable / thermosetting resin composition of the present invention, or the photocurable / thermosetting dry film is used to adjust the linear expansion coefficient of the cured product or to improve the coating properties such as heat resistance. (F) An inorganic filler can be blended. Examples of such inorganic fillers (F) include known and commonly used fillers such as crystalline silica, fused silica, glass powder, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, natural mica, synthetic mica, aluminum hydroxide, sedimentation. And inorganic pigments such as basic barium sulfate, barium titanate, iron oxide, non-fibrous glass, asbestos, mineral wool, aluminum silicate, calcium silicate, zinc white, and titanium oxide.
The photocurable / thermosetting resin composition or the photocurable / thermosetting dry film of the present invention can be used as a solder resist and a material for an optical waveguide, but when used as a solder resist, the inorganic filler The average particle size of (F) is 20 μm or less, more preferably 10 μm or less, from the film thickness of a general solder resist.
On the other hand, when used for an optical waveguide material, since the wavelengths generally used for optical waveguides are 850 nm, 1300 nm, and 1550 nm, the average particle size of the inorganic filler (F) is 800 nm or less, preferably 400 nm or less, More preferably, it is 100 nm or less and the maximum particle size is 850 nm or less, since the transparency of the optical waveguide is increased and the optical loss is reduced.

このように光導波路材料として用いられる微細な無機充填剤(F)としては、前記反応性希釈剤(B)にナノシリカを分散したHanse−Chemie社製のNANOCRYL(商品名) XP 0396、XP 0596、XP 0733、XP 0746、XP 0765、XP 0768、XP 0953、XP 0954、XP 1045(何れも製品グレード名)、XP21/1442、XP21/1500、XP21/1306、XP21/0778、XP21/0568、XP21/1192、XP21/1364、XP21/1425、XP21/0940、XP21/1465、XP21/0638、XP21/0568、XP21/1471、XP21/0930、XP21/0528、XP21/1468、XP21/0687、XP21/1515、XP21/1472、XP21/0942、XP21/1447、XP21/1481(何れも試作品グレード名)などが挙げられる。
また、後述の有機溶剤にナノシリカを分散した日産化学工業社製のオルガノシリカゾル PMA−ST(商品名)などを使用することもできる。
さらに、本願発明の目的である保存安定性を低下させない範囲で、エポキシ樹脂を使用することができ、そのエポキシ樹脂にナノシリカを分散したHanse−Chemie社製のNANOPOX(商品名) XP 0516、XP 0525、XP 0314(何れも製品グレード名)、XP22/0543、XP22/0531、XP22/0540(何れも試作品グレード名)を使用することもできる。
このような前記反応性希釈剤(B)等に分散された無機充填剤(F)は、原料保管中に無機充填剤(F)が二次凝集することが少なく、樹脂組成物中に、均一にし分散させることができるので、好ましく用いることができる。
Thus, as the fine inorganic filler (F) used as an optical waveguide material, NANOCRYL (trade name) XP 0396, XP 0596, manufactured by Hanse-Chemie, in which nano silica is dispersed in the reactive diluent (B), XP 0733, XP 0746, XP 0765, XP 0768, XP 0953, XP 0954, XP 1045 (all product grade names), XP21 / 1442, XP21 / 1500, XP21 / 1306, XP21 / 0568, XP21 / 0568, XP21 / 1192, XP21 / 1364, XP21 / 1425, XP21 / 0140, XP21 / 1465, XP21 / 0638, XP21 / 0568, XP21 / 1471, XP21 / 0928, XP21 / 0528, XP21 / 1468, XP21 / 0687, XP21 / 1515, XP21 / 1472, XP21 / 0942, XP21 / 1447, XP21 / 1481 (all are prototype grade names) and the like.
Further, organosilica sol PMA-ST (trade name) manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd. in which nano silica is dispersed in an organic solvent described later can also be used.
Furthermore, an epoxy resin can be used as long as the storage stability, which is the object of the present invention, is not reduced, and NANOPOX (trade name) XP 0516, XP 0525 manufactured by Hanse-Chemie, in which nano silica is dispersed in the epoxy resin. , XP 0314 (all are product grade names), XP22 / 0543, XP22 / 0531, XP22 / 0540 (all are prototype grade names).
The inorganic filler (F) dispersed in the reactive diluent (B) or the like is less likely to cause secondary aggregation of the inorganic filler (F) during raw material storage, and is uniform in the resin composition. And can be preferably used.

これら無機充填剤成分の配合割合は、前記カルボキシル基含有樹脂(A)100質量部に対して、0〜200質量部が適当であり、好ましくは10〜100質量部、より好ましくは20〜50質量部である。充填剤成分の配合割合が、前記カルボキシル基含有樹脂(A)100質量部に対して、200質量部を超えた場合、組成物の塗布性や流動性が得られなかったり、硬化物の平滑性が得られなくなるので好ましくない。   The blending ratio of these inorganic filler components is suitably 0 to 200 parts by weight, preferably 10 to 100 parts by weight, more preferably 20 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing resin (A). Part. When the blending ratio of the filler component exceeds 200 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A), the applicability and fluidity of the composition cannot be obtained, or the smoothness of the cured product Is not preferable because it cannot be obtained.

さらに、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、又は光硬化性・熱硬化性ドライフィルムは、必要に応じて、(G)有機溶剤を含有することができる。有機溶剤(G)は、前記カルボキシル基含有樹脂(A)、前記反応性希釈剤(B)、前記光重合開始剤(C)、前記オキセタン樹脂(D)、及び前記硬化促進剤(E)を含有する成分を溶解し、液状化したり、塗布方法に応じた粘度に調整するために用いられる。また、光硬化性・熱硬化性ドライフィルムを作成する場合においても、均一な組成物を作成し、支持フィルムに均一に塗布するために用いられる。
これら有機溶剤(G)として、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類、石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。特に、沸点が150℃以下の有機溶剤がドライフィルム化には好ましく使用できる。これらの有機溶剤は、単独でまたは2種類以上組み合わせて用いることができる。
これら有機溶剤の使用量は、前記カルボキシル基含有樹脂(A)、前記反応性希釈剤(B)、前記光重合開始剤(C)、前記オキセタン樹脂(D)、及び前記硬化促進剤(E)からなる感光層成分100質量部に対して、10〜200質量部の範囲内とすることが好ましい。ドライフィルム化する場合、有機溶剤を飛散させる温度条件は、50℃〜150℃、より好ましくは70℃〜130℃である。また、乾燥後に残存する溶剤量は、感光層成分100質量部に対して、30質量部未満、より好ましくは10質量部未満にすることが好ましい。
Furthermore, the photocurable / thermosetting resin composition or the photocurable / thermosetting dry film of the present invention may contain (G) an organic solvent, if necessary. The organic solvent (G) contains the carboxyl group-containing resin (A), the reactive diluent (B), the photopolymerization initiator (C), the oxetane resin (D), and the curing accelerator (E). It is used for dissolving the component contained and liquefying it or adjusting the viscosity according to the coating method. Further, when a photocurable / thermosetting dry film is prepared, it is used for preparing a uniform composition and uniformly applying it to a support film.
Examples of these organic solvents (G) include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methylcellosolve, butylcellosolve, carbitol, methylcarbitol, butylcarbitol, Glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol Acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether Acetates, esters such as propylene carbonate; octane, aliphatic hydrocarbons decane, petroleum ether, petroleum naphtha, and petroleum solvents such as solvent naphtha, organic solvents conventionally known can be used. In particular, an organic solvent having a boiling point of 150 ° C. or less can be preferably used for forming a dry film. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more.
The amount of these organic solvents used is the carboxyl group-containing resin (A), the reactive diluent (B), the photopolymerization initiator (C), the oxetane resin (D), and the curing accelerator (E). The amount is preferably in the range of 10 to 200 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photosensitive layer component. In the case of forming a dry film, the temperature condition for scattering the organic solvent is 50 ° C to 150 ° C, more preferably 70 ° C to 130 ° C. The amount of the solvent remaining after drying is preferably less than 30 parts by mass, more preferably less than 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photosensitive layer component.

また、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、又は光硬化性・熱硬化性ドライフィルムは、必要に応じて、シリコーン系、炭化水素系、アクリル系等の消泡剤;シラン系、チタネート系、アルミナ系等のカップリング剤等の分散剤;オキサゾリン基含有ポリマーなどの高分子相溶化剤などの添加剤を配合することができる。これら添加剤は、単独または2種類以上組み合わせて用いることができる。   In addition, the photocurable / thermosetting resin composition or the photocurable / thermosetting dry film of the present invention may be a silicone-based, hydrocarbon-based, acrylic-based or other antifoaming agent; Dispersants such as coupling agents such as titanates and alumina; additives such as polymer compatibilizers such as oxazoline group-containing polymers can be blended. These additives can be used alone or in combination of two or more.

本発明の光硬化性・熱硬化樹脂組成物は、例えば、塗布方法に適した粘度に前記有機溶剤(G)で粘度調整し、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布し、約60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることにより、タックフリーの塗膜を形成できる。また、上記組成物をプラスチックフィルム上に塗布し、乾燥させてドライフィルム化したものを基材上に張り合わせることにより、クラッド層やコア層となる樹脂絶縁層を形成できる。その後、接触式(又は非接触方式)により、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性光線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば0.3〜3%炭酸ソーダ水溶液)により現像して、クラッド層やコア層のパターンが形成される。さらに、例えば約140〜180℃の温度に加熱して熱硬化させることにより、前記カルボキシル基含有樹脂(A)のカルボキシル基と、1分子中に2個以上のオキセタニル基を有するオキセタン樹脂(D)のオキセタニル基が反応し、耐熱性、耐溶剤性、耐酸性、耐吸湿性、PCT耐性、密着性、電気特性などの諸特性に優れた硬化塗膜を形成することができる。   The photocurable / thermosetting resin composition of the present invention is, for example, adjusted in viscosity with the organic solvent (G) to a viscosity suitable for the coating method, and dip-coated, flow-coated, or roll-coated on the substrate. It is applied by a method such as bar coater method, screen printing method, curtain coating method, etc., and the organic solvent contained in the composition is evaporated and dried (temporary drying) at a temperature of about 60 to 100 ° C. A film can be formed. Moreover, the resin insulating layer used as a clad layer or a core layer can be formed by apply | coating the said composition on a plastic film, and sticking on a base material what dried and made the dry film. After that, by a contact method (or non-contact method), exposure is selectively performed with actinic rays through a photomask having a pattern formed, and an unexposed portion is developed with a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3% sodium carbonate aqueous solution). Thus, the pattern of the cladding layer and the core layer is formed. Furthermore, for example, by heating to a temperature of about 140 to 180 ° C. and thermosetting, the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin (A) and an oxetane resin having two or more oxetanyl groups in one molecule (D) The oxetanyl group can react to form a cured coating film excellent in various properties such as heat resistance, solvent resistance, acid resistance, moisture absorption resistance, PCT resistance, adhesion, and electrical characteristics.

本発明の光硬化性・熱硬化性ドライフィルムの製造に際しては、前述したような有機溶剤(G)に感光層成分を溶解し、塗布方法に適した粘度に調整し、適当な支持フィルム上に、乾燥後の感光層の厚さが10〜150μmであり、膜厚のバラツキが±10%以内となるようにフィルムコーター等で塗布した後、例えば約60〜140℃で乾燥し、一般には約120℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥させることにより、タックフリーの乾燥皮膜からなる感光層を有するドライフィルムが形成される。この時、乾燥後の膜厚のバラツキが±10%を超えた場合、平滑性が欠け、光損失等が大きくなるので好ましくない。
上記支持フィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリカーボネート、ポリエーテルスルフォン、ポリ塩化ビニル等の15〜125μm程度のフィルム厚で、可撓性を有するフィルムが用いられる。
また、支持体に感光層成分を塗布する方法としては、例えば、ナイフコーター法、コンマコーター法、ダイコーター法、グラビアコーター法、ロールコーター法、スプレーコーター法等が挙げられる。
さらに、感光層の表面に塵が付着するのを防ぐなどの目的で、感光層の表面に剥離可能なカバーフィルムを積層することが望ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、PETフィルム、PPフィルム、PEフィルム、あるいはこれらにシリコーンをコーティング又は焼き付けしたフィルムなどの15〜100μm程度の膜厚を有するフィルムが用いられる。剥離可能となる条件としては、カバーフィルムを剥離するときに感光層と支持フィルムとの接着力よりも、感光層とカバーフィルムとの接着力がより小さいものであればよい。また、光硬化性・熱硬化性の感光層の酸素減感作用を防止すると共に、露光時に密着されるパターン形成用のフォトマスクの粘着を防止するために、感光層上にさらにポリビニルアルコール、部分けん化ポリ酢酸ビニル等の水溶性樹脂組成物で、膜厚1〜10μm程度の保護層を形成することもできる。
In the production of the photocurable / thermosetting dry film of the present invention, the photosensitive layer components are dissolved in the organic solvent (G) as described above, adjusted to a viscosity suitable for the coating method, and placed on an appropriate support film. The photosensitive layer after drying has a thickness of 10 to 150 μm and is coated with a film coater or the like so that the variation in film thickness is within ± 10%, and then dried at, for example, about 60 to 140 ° C. By dry-drying the organic solvent contained in the composition at a temperature of 120 ° C., a dry film having a photosensitive layer composed of a tack-free dry film is formed. At this time, if the variation in the film thickness after drying exceeds ± 10%, the smoothness is lost and the optical loss is increased, which is not preferable.
Examples of the support film include a film having a film thickness of about 15 to 125 μm and having flexibility such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene (PE), polypropylene (PP), polycarbonate, polyether sulfone, and polyvinyl chloride. Used.
Examples of the method for applying the photosensitive layer component to the support include a knife coater method, a comma coater method, a die coater method, a gravure coater method, a roll coater method, and a spray coater method.
Furthermore, it is desirable to laminate a peelable cover film on the surface of the photosensitive layer for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the photosensitive layer. As the peelable cover film, for example, a film having a film thickness of about 15 to 100 μm, such as a PET film, a PP film, a PE film, or a film obtained by coating or baking these with silicone is used. The peelable condition may be any if the adhesive force between the photosensitive layer and the cover film is smaller than the adhesive force between the photosensitive layer and the support film when the cover film is peeled off. Further, in order to prevent the oxygen desensitizing action of the photocurable / thermosetting photosensitive layer and to prevent the adhesion of the photomask for pattern formation adhered during exposure, polyvinyl alcohol is further added on the photosensitive layer. A protective layer having a film thickness of about 1 to 10 μm can be formed from a water-soluble resin composition such as saponified polyvinyl acetate.

本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用いて、光導波路を形成するにあたり、下部クラッド層、上部クラッド層、およびコア層の各層を形成する工程の少なくとも一つの工程に、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を基材に塗布、又はドライフィルムとして転写した後、露光と、その後の加熱とにより硬化させる工程を用いることができる。
このように本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を、下部クラッド層、上部クラッド層、およびコア層の少なくとも一つに用いる場合、各部の屈折率の関係が、光導波路に要求される条件を満足するように、各成分の種類、配合量等を適宜選択することにより、異なる屈折率を有する硬化膜が得られる光硬化性・熱硬化性樹脂組成物とすることができる。本発明においては、コア部分だけに本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用い、それ以外のクラッド部分を従来の光硬化性・熱硬化性インキ組成物によって作製したり、あるいは全層を本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用いて光導波路を作製したりすることもできる。
本発明に用いられる基材は、特に制限されるものではないが、例えば、シリコン基板、ガラス基板、ガラスエポキシ樹脂基板等を用いることができる。
In forming an optical waveguide using the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention, the present invention includes at least one step of forming each of the lower cladding layer, the upper cladding layer, and the core layer. After the photocurable / thermosetting resin composition is applied to a substrate or transferred as a dry film, a step of curing by exposure and subsequent heating can be used.
Thus the photocurable and thermosetting resin composition of the present invention, the lower cladding layer, upper cladding layer, and a case of using at least one core layer, the relationship between the refractive index of each part, is required to the optical waveguide By appropriately selecting the type and blending amount of each component so as to satisfy the conditions, a photocurable / thermosetting resin composition from which cured films having different refractive indexes can be obtained can be obtained. In the present invention, the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention is used only for the core portion, and the other cladding portions are produced by a conventional photocurable / thermosetting ink composition, or The optical waveguide can also be produced using the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention for all layers.
Although the base material used for this invention is not restrict | limited in particular, For example, a silicon substrate, a glass substrate, a glass epoxy resin substrate etc. can be used.

ここで、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、又は光硬化性・熱硬化性ドライフィルムを光硬化させるための照射光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ又はメタルハライドランプが適当である。その他、レーザー光源などもダイレクト・イメージング工法を利用して露光用活性光源として直接描画することができる。また、上記現像に用いられる希アルカリ水溶液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類などのアルカリ水溶液が使用でき、特に、炭酸ナトリウムが好ましい。   Here, as an irradiation light source for photocuring the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention or the photocurable / thermosetting dry film, a low pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure Mercury lamps, xenon lamps or metal halide lamps are suitable. In addition, a laser light source or the like can be directly drawn as an active light source for exposure using a direct imaging method. As the dilute alkaline aqueous solution used for the development, alkaline aqueous solutions such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium silicate, ammonia and amines can be used, and sodium carbonate is particularly preferable.

さらに、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、又は光硬化性・熱硬化性ドライフィルムを、ソルダーレジストや中間絶縁層として用いることもでき、上記のようにして形成された光導波路と共に、電子回路にも用いられた光・電気混載基板を製造することも可能である。   Furthermore, the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention or the photocurable / thermosetting dry film can be used as a solder resist or an intermediate insulating layer, and the optical waveguide formed as described above. At the same time, it is also possible to manufacture an optical / electrical hybrid substrate used in an electronic circuit.

次に本発明の実施例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が以下の実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。なお、以下において「部」及び「%」とあるのは、特に断りのない限り全て「質量部」及び「質量%」を表す。   Next, the present invention will be specifically described with reference to examples and comparative examples of the present invention. Needless to say, the present invention is not limited to the following examples. In the following, “parts” and “%” represent “parts by mass” and “mass%” unless otherwise specified.

〈合成例1〉
攪拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた2リットル容セパラブルフラスコに、ジエチレングリコールジメチルエーテル900g、およびt−ブチルパーオキシ2−エチルヘキサノエート[日本油脂(株)製パーブチルO]21.4gを仕込み、90℃に昇温後、メタクリル酸309.9g、メタクリル酸メチル116.4g、ラクトン変性2−ヒドロキシエチルメタクリレート[ダイセル化学工業(株)製プラクセルFM1]109.8gをビス(4−t−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート[日本油脂(株)製パーロイルTCP]21.4gと共にジエチレングリコールジメチルエーテル中に3時間かけて滴下し、さらに6時間熟成することによってカルボキシル基を有するビニル共重合体溶液を得た。反応は窒素雰囲気下で行った。
次に上記ビニル共重合体溶液に、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート
[ダイセル化学(株)製サイクロマーA200]363.9g、ジメチルベンジルアミン3.6g、ハイドロキノンモノメチルエーテル1.80gを加え、100℃に昇温し、撹拌することによってエポキシの開環付加反応を行った。16時間後、固形分酸価=108.9mgKOH/g、重量平均分子量=25,000(スチレン換算)のカルボキシル基含有の感光性線状ポリマーを、53.8wt%(不揮発分)含む溶液を得た。以下、この反応溶液をA−1ワニスと称す。
<Synthesis Example 1>
To a 2 liter separable flask equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, dropping funnel and nitrogen inlet tube, 900 g of diethylene glycol dimethyl ether and t-butyl peroxy 2-ethylhexanoate [Nippon Yushi Co., Ltd. O] 21.4 g was charged, and after raising the temperature to 90 ° C., 309.9 g of methacrylic acid, 116.4 g of methyl methacrylate, 109.8 g of lactone-modified 2-hydroxyethyl methacrylate [Daicel Chemical Industries, Ltd. Plaxel FM1] Vinyl having a carboxyl group by dropwise addition over 3 hours to diethylene glycol dimethyl ether together with 21.4 g of bis (4-t-butylcyclohexyl) peroxydicarbonate [Nippon Yushi Co., Ltd. Parroyl TCP] and further aging for 6 hours Copolymer solution Obtained. The reaction was performed under a nitrogen atmosphere.
Next, 363.9 g of 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate [Cyclomer A200 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.], 3.6 g of dimethylbenzylamine, and 1.80 g of hydroquinone monomethyl ether were added to the vinyl copolymer solution. Epoxy ring-opening addition reaction was performed by raising the temperature to 0 ° C. and stirring. After 16 hours, a solution containing 53.8 wt% (nonvolatile content) of a carboxyl group-containing photosensitive linear polymer having a solid content acid value of 108.9 mgKOH / g and a weight average molecular weight of 25,000 (in terms of styrene) was obtained. It was. Hereinafter, this reaction solution is referred to as A-1 varnish.

〈実施例1〉
コア用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−1)の作製
市販のスチレン−アクリル酸樹脂であるジョンソンポリマー社製のジョンクリル 67(商品名、固形分酸価=213mgKOH/g、重量平均分子量=12,500)をカルビトールアセテートに、不揮発分=70%となるように溶かしたワニス(以下、A−2ワニスと称す。)を用いて、下記の配合成分を撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉することにより均一分散し、希釈後、ろ過することによりコア用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−1)を調整した。

A−2ワニス 100.0部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 15.0部
2−メチル−1〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン 5.0部
フェノールノボラック型オキセタン樹脂
(東亞合成社製、試作品名PNOX−1009、
オキセタン当量=202) 60.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 10.0部
BYK−310(ビックケミージャパン社製の表面調整剤) 0.3部
<Example 1>
Preparation of photocurable / thermosetting resin composition for core (P-1) Jonkrill 67 (trade name, solid content acid value = 213 mgKOH / g, weight) manufactured by Johnson Polymer Co., Ltd., which is a commercially available styrene-acrylic acid resin Using the varnish (hereinafter referred to as A-2 varnish) in which the average molecular weight = 12,500 was dissolved in carbitol acetate so that the non-volatile content = 70%, the following blending components were stirred with a stirrer. Thereafter, the mixture was uniformly dispersed by kneading with a three-roll mill, and after dilution, the photocurable / thermosetting resin composition for core (P-1) was prepared by filtration.

A-2 varnish 100.0 parts Dipentaerythritol hexaacrylate 15.0 parts 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl]
-2-morpholinopropan-1-one 5.0 parts phenol novolac oxetane resin (manufactured by Toagosei Co., Ltd., prototype name PNOX-1009,
Oxetane equivalent = 202) 60.0 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 10.0 parts BYK-310 (Surface conditioner manufactured by Big Chemie Japan) 0.3 parts

〈実施例2〉
上下クラッド用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−2)の作製
下記の配合成分を撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉することにより均一分散し、希釈後、ろ過することにより上下クラッド用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−2)を調整した。

A−1ワニス 100.0部
NANOCRYL XP21/1364
(Hanse−Chemie社製の
ナノシリカ含有モノマー、固形分=40%) 30.0部
2−メチル−1〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン 5.0部
フェノールノボラック型オキセタン樹脂
(東亞合成社製、試作品名PNOX−1009、
オキセタン当量=202) 60.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 10.0部
BYK−310(ビックケミージャパン社製の表面調整剤) 0.3部
<Example 2>
Preparation of photocurable / thermosetting resin composition for upper and lower clad (P-2) The following compounding ingredients were stirred with a stirrer and then uniformly dispersed by kneading with a three roll mill, diluted and filtered. By doing so, the photocurable thermosetting resin composition (P-2) for upper and lower clads was prepared.

A-1 Varnish 100.0 parts NANOCRYL XP21 / 1364
(Nanosilica-containing monomer manufactured by Hanse-Chemie, solid content = 40%) 30.0 parts 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl]
-2-morpholinopropan-1-one 5.0 parts phenol novolac oxetane resin (manufactured by Toagosei Co., Ltd., prototype name PNOX-1009,
Oxetane equivalent = 202) 60.0 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 10.0 parts BYK-310 (Surface conditioner manufactured by Big Chemie Japan) 0.3 parts

〈実施例3〉
上下クラッド用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−3)の作製
下記の配合成分を撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉することにより均一分散し、希釈後、ろ過することにより上下クラッド用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−3)を調整した。

A−1ワニス 100.0部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 15.0部
2−メチル−1〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン 5.0部
フェノールノボラック型オキセタン樹脂
(東亞合成社製、試作品名PNOX−1009、
オキセタン当量=202) 60.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 10.0部
BYK−310(ビックケミージャパン社製の表面調整剤) 0.3部
<Example 3>
Preparation of photocurable / thermosetting resin composition for upper and lower clad (P-3) The following compounding ingredients were stirred with a stirrer and then uniformly dispersed by kneading with a three roll mill, diluted and filtered. By doing so, the photocurable thermosetting resin composition (P-3) for upper and lower clads was prepared.

A-1 Varnish 100.0 parts Dipentaerythritol hexaacrylate 15.0 parts 2-Methyl-1 [4- (methylthio) phenyl]
-2-morpholinopropan-1-one 5.0 parts phenol novolac oxetane resin (manufactured by Toagosei Co., Ltd., prototype name PNOX-1009,
Oxetane equivalent = 202) 60.0 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 10.0 parts BYK-310 (Surface conditioner manufactured by Big Chemie Japan) 0.3 parts

〈実施例4〉
コア用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−4)の作製
実施例1で得られた樹脂組成物をポリエチレンテレフタレートフィルム上にアプリケーターを用いて塗布し、90℃で30分仮乾燥させることにより、乾燥膜厚50μmのコア用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−4)を作製した。
<Example 4>
Preparation of core photocurable / thermosetting dry film (P-4) Applying the resin composition obtained in Example 1 onto a polyethylene terephthalate film using an applicator and temporarily drying at 90 ° C. for 30 minutes. Thus, a photocurable / thermosetting dry film for core (P-4) having a dry film thickness of 50 μm was produced.

〈実施例5〉
上下クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−5,P−6)の作製
実施例2で得られた樹脂組成物をポリエチレンテレフタレートフィルム上にアプリケーターを用いて塗布し、90℃で30分仮乾燥させることにより、乾燥膜厚20μmの下部クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−5)、及び乾燥膜厚70μmの上部クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−6)を作製した。
<Example 5>
Preparation of photocurable / thermosetting dry films (P-5, P-6) for upper and lower clads The resin composition obtained in Example 2 was applied onto a polyethylene terephthalate film using an applicator, and 30 at 90 ° C. By preliminarily drying, a photocurable / thermosetting dry film for a lower clad with a dry film thickness of 20 μm (P-5) and a photocurable thermosetting dry film for an upper clad with a dry film thickness of 70 μm (P -6) was produced.

〈実施例6〉
上下クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−7,P−8)の作製
実施例3で得られた樹脂組成物をポリエチレンテレフタレートフィルム上にアプリケーターを用いて塗布し、90℃で30分仮乾燥させることにより、乾燥膜厚20μmの下部クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−7)、及び乾燥膜厚70μmの上部クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−8)を作製した。
<Example 6>
Production of Photocurable and Thermosetting Dry Films for Upper and Lower Cladding (P-7, P-8) The resin composition obtained in Example 3 was applied onto a polyethylene terephthalate film using an applicator, and 30 at 90 ° C. By preliminarily drying, a photocurable / thermosetting dry film for a lower clad with a dry film thickness of 20 μm (P-7) and a photocurable thermosetting dry film for an upper clad with a dry film thickness of 70 μm (P -8) was produced.

〈比較例1〉
コア用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−9)の作製
下記の配合成分を撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉することによりコア用光硬化性・熱硬化性ドライフィルムのベースとなる樹脂組成物を均一分散し、希釈後、ろ過することにより樹脂組成物を調整した。得られた樹脂組成物をポリエチレンテレフタレートフィルム上にアプリケーターを用いて塗布し、90℃で30分仮乾燥させることにより、乾燥膜厚50μmのコア用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−9)を作製した。

A−2ワニス 100.0部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 15.0部
2−メチル−1〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン 5.0部
DEN−431(ダウ・ケミカル社製の
フェノールノボラック型エポキシ樹脂(Mw=970)) 60.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 10.0部
BYK−310(ビックケミージャパン社製の表面調整剤) 0.3部
<Comparative example 1>
Preparation of core photocurable / thermosetting dry film (P-9) The following compounding ingredients were stirred with a stirrer and then kneaded with a three-roll mill to make the core photocurable / thermosetting dry. The resin composition used as the base of the film was uniformly dispersed, diluted, and then filtered to prepare a resin composition. The obtained resin composition was applied onto a polyethylene terephthalate film using an applicator and temporarily dried at 90 ° C. for 30 minutes, whereby a photocurable / thermosetting dry film for core (P-9) having a dry film thickness of 50 μm. ) Was produced.

A-2 varnish 100.0 parts Dipentaerythritol hexaacrylate 15.0 parts 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl]
-2-morpholinopropan-1-one 5.0 parts DEN-431 (Phenol novolac type epoxy resin (Mw = 970) manufactured by Dow Chemical Company) 60.0 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 10.0 parts BYK- 310 (Surface conditioner manufactured by Big Chemie Japan) 0.3 parts

〈比較例2〉
上下クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−10,P−11)の作製
下記の配合成分を撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉することによりクラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルムのベースとなる樹脂組成物を均一分散し、希釈後、ろ過することにより樹脂組成物を調整した。得られた樹脂組成物をポリエチレンテレフタレートフィルム上にアプリケーターを用いて塗布し、90℃で30分仮乾燥させることにより、乾燥膜厚20μmの下部クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−6)、及び乾燥膜厚70μmの上部クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−7)を作製した。

A−1ワニス 100.0部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 15.0部
2−メチル−1〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルフォリノプロパン−1−オン 5.0部
DEN−431(ダウ・ケミカル社製の
フェノールノボラック型エポキシ樹脂(Mw=970)) 60.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 10.0部
BYK−310(ビックケミージャパン社製の表面調整剤) 0.3部
<Comparative example 2>
Preparation of photocurable and thermosetting dry films (P-10, P-11) for upper and lower clads Photocurability for clads by stirring the following blending components with a stirrer and then kneading with a three roll mill -The resin composition used as the base of a thermosetting dry film was uniformly disperse | distributed, the resin composition was adjusted by filtering after dilution. The obtained resin composition was applied onto a polyethylene terephthalate film using an applicator and temporarily dried at 90 ° C. for 30 minutes, whereby a photocurable / thermosetting dry film (P- 6) and a photocurable / thermosetting dry film (P-7) for an upper clad having a dry film thickness of 70 μm.

A-1 Varnish 100.0 parts Dipentaerythritol hexaacrylate 15.0 parts 2-Methyl-1 [4- (methylthio) phenyl]
-2-morpholinopropan-1-one 5.0 parts DEN-431 (Phenol novolac type epoxy resin (Mw = 970) manufactured by Dow Chemical Company) 60.0 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 10.0 parts BYK- 310 (Surface conditioner manufactured by Big Chemie Japan) 0.3 parts

<ドライフィルム状態での保存安定性試験>
上記実施例4〜6及び比較例1,2で作製した光導波路コア、及びクラッド用の光硬化性・熱硬化性ドライフィルムを3日間、5日間、及び10日間常温にて放置した後、ベースフィルムが上になるように、常圧熱ロール圧着機を用いて、適当な熱と圧力を加えながら、ドライフィルムを基板上に転写した。その後、露光、現像を行い、それぞれパターン形成出来るか否かについて評価し、その結果を表1に示した。
○:基板転写し、露光、現像した後、パターン形成出来たもの。
×:基板転写し、露光、現像した後、パターン形成出来なかったもの。
<Storage stability test in dry film state>
The optical waveguide cores prepared in Examples 4 to 6 and Comparative Examples 1 and 2 and the photocurable / thermosetting dry film for cladding were left at room temperature for 3 days, 5 days, and 10 days, and then the base. The dry film was transferred onto the substrate while applying appropriate heat and pressure using an atmospheric pressure hot roll crimping machine so that the film was on top. Thereafter, exposure and development were performed, and whether or not each pattern could be formed was evaluated. The results are shown in Table 1.
○: A pattern was formed after substrate transfer, exposure and development.
X: After the substrate was transferred, exposed and developed, the pattern could not be formed.

上記のように、熱硬化成分としてオキセタン樹脂を用いた実施例4〜6のドライフィルム(P−4〜8)は、熱硬化成分としてエポキシ樹脂を用いた比較例1,2のドライフィルム(P−9〜11)に比べて、保存安定性に優れていることが判る。   As described above, the dry films (P-4 to 8) of Examples 4 to 6 using the oxetane resin as the thermosetting component are the dry films (P) of Comparative Examples 1 and 2 using the epoxy resin as the thermosetting component. It can be seen that the storage stability is excellent as compared with -9 to 11).

〈応用実施例1〉
基板上に、実施例2のクラッド用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−2)を乾燥塗膜が20μmとなるように、スクリーン印刷で塗布し、80℃で20分間加熱して有機溶剤を揮発させた後、その上から露光することにより光硬化させた後、150℃の熱風循環式乾燥炉で30分のポストキュアーを行うことにより、光導波路の下部クラッド層を形成した基板を得た。次に、この下部クラッド層上に、実施例1のコア用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−1)を乾燥塗膜が50μmとなるように、スクリーン印刷で塗布し、80℃で20分間加熱して有機溶剤を揮発させた後、その上面から所定のラインパターンを有するフォトマスクを介して露光を行い、1.0wt%NaCO水溶液にて60秒現像を行った。その後、下部クラッド層と同様に150℃、60分熱硬化反応を行うことにより、下部クラッド層上部にコア層を形成した。次に、コア部分が形成された下部クラッド層上に、実施例2のクラッド用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−2)を塗布し、80℃で20分間加熱して有機溶剤を揮発させた後、その上から露光することにより光硬化させた後、150℃の熱風循環式乾燥炉で30分のポストキュアーを行うことにより、コア上20μm、下クラッド上70μmの膜厚の光導波路上クラッド用硬化膜を形成し、マルチモード型光導波路を作製した。このようにして得られた光導波路を、1cmから5cmの間の長さにそれぞれ切り出し、光伝送損失について、カットバック法により測定を行った。
<Application Example 1>
On the substrate, the photocurable / thermosetting resin composition for cladding (P-2) of Example 2 was applied by screen printing so that the dry coating film was 20 μm, and heated at 80 ° C. for 20 minutes. The substrate on which the lower cladding layer of the optical waveguide is formed by volatilizing the organic solvent, photocuring it by exposing it from above, and performing post-curing for 30 minutes in a hot air circulation drying oven at 150 ° C. Got. Next, on this lower clad layer, the photocurable / thermosetting resin composition for core (P-1) of Example 1 was applied by screen printing so that the dry coating film would be 50 μm, and 80 ° C. Then, the organic solvent was volatilized by heating for 20 minutes, and then the upper surface was exposed through a photomask having a predetermined line pattern, and developed with a 1.0 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution for 60 seconds. Then, the core layer was formed in the upper part of the lower clad layer by performing a thermosetting reaction at 150 ° C. for 60 minutes similarly to the lower clad layer. Next, the photocurable / thermosetting resin composition for cladding (P-2) of Example 2 was applied on the lower cladding layer on which the core portion was formed, and heated at 80 ° C. for 20 minutes to form an organic solvent. And then photocuring by exposing from above, followed by post-curing for 30 minutes in a hot air circulating drying oven at 150 ° C., so that the film thickness is 20 μm on the core and 70 μm on the lower cladding. A cured film for clad on the optical waveguide was formed to produce a multimode type optical waveguide. The optical waveguides thus obtained were cut into lengths between 1 cm and 5 cm, respectively, and the optical transmission loss was measured by the cutback method.

〈応用実施例2〉
上記応用実施例1において、実施例1のクラッド用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−2)の代わりに、実施例3のクラッド用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物(P−3)を使用した以外は同様にしてマルチモード型光導波路を作製した。
このようにして得られた光導波路を、1cmから5cmの間の長さにそれぞれ切り出し、光伝送損失について、カットバック法により測定を行った。
<Application Example 2>
In the application example 1, in place of the photocurable / thermosetting resin composition for clad (P-2) of example 1, the photocurable / thermosetting resin composition for clad of example 3 (P A multimode type optical waveguide was produced in the same manner except that 3) was used.
The optical waveguides thus obtained were cut into lengths between 1 cm and 5 cm, respectively, and the optical transmission loss was measured by the cutback method.

〈応用実施例3〉
基板上に、実施例5の下部クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−5)をベースフィルムが上になるように、常圧熱ロール圧着機を用いて、適当な熱と圧力を加えながら、ドライフィルムを基板上に転写した。その後、この下部クラッド層を露光することにより光硬化させた後、150℃、60分熱硬化反応を行った。次に、この下部クラッド層上に、実施例4のコア用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−4)を前述手法と同様にして、常圧熱ロール圧着機を用いて下部クラッド層上に転写し、コア用塗膜を形成した。その後、コア用塗膜の上面から所定のラインパターンを有するフォトマスクを介して露光を行い、1.0wt%NaCO水溶液にて60秒現像を行った。その後、下部クラッド層と同様に150℃、60分熱硬化反応を行うことにより、下部クラッド層上部にコア層を形成した。次に、コア部分が形成された下部クラッド層上に、実施例5の上部クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−6)をベースフィルムが上になるように、常圧熱ロール圧着機を用いて、適当な熱と圧力を加えながら、ドライフィルムを基板上に転写した。この上層クラッド用ドライフィルムに対し、露光して光硬化させることにより、上部クラッド層を形成した後、150℃、60分熱硬化反応を行い、下部クラッド層、コア層、上部クラッド層から形成される光導波路を作製した。このようにして得られた光導波路を、1cmから5cmの間の長さにそれぞれ切り出し、光伝送損失について、カットバック法により測定を行った。

<Application Example 3>
Appropriate heat and pressure using a normal pressure hot roll crimping machine so that the base film is on top of the photocurable / thermosetting dry film (P-5) for lower clad of Example 5 on the substrate. The dry film was transferred onto the substrate while adding. Thereafter, the lower cladding layer was exposed to light and cured, and then a thermosetting reaction was performed at 150 ° C. for 60 minutes. Next, on the lower clad layer, the core photocurable / thermosetting dry film (P-4) of Example 4 is formed in the same manner as described above, using an atmospheric pressure hot roll crimping machine, and the lower clad layer. The film was transferred to the top to form a core coating film. Thereafter, exposure through a photomask having a predetermined line pattern from the upper surface of the core for a coating film was subjected to 60 seconds development at 1.0wt% Na 2 CO 3 aq. Then, the core layer was formed in the upper part of the lower clad layer by performing a thermosetting reaction at 150 ° C. for 60 minutes similarly to the lower clad layer. Next, the photothermographic / thermosetting dry film (P-6) for upper clad of Example 5 is placed on the lower clad layer on which the core portion is formed so that the base film faces upward. The dry film was transferred onto the substrate using a crimping machine while applying appropriate heat and pressure. The upper clad dry film is exposed and photocured to form an upper clad layer, and then a thermosetting reaction is performed at 150 ° C. for 60 minutes to form the lower clad layer, the core layer, and the upper clad layer. An optical waveguide was manufactured. The optical waveguides thus obtained were cut into lengths between 1 cm and 5 cm, respectively, and the optical transmission loss was measured by the cutback method.

〈応用実施例4〉
上記実施例3において、実施例5の上下クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−5,P−6)の代わりに、実施例6の上下クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−7,P−8)を使用した以外は同様にしてマルチモード型光導波路を作製した。
このようにして得られた光導波路を、1cmから5cmの間の長さにそれぞれ切り出し、光伝送損失について、カットバック法により測定を行った。
<Application Example 4>
In Example 3 above, instead of the photocurable and thermosetting dry film (P-5, P-6) for the upper and lower clads of Example 5, the photocurable and thermosetting dry for the upper and lower clads of Example 6 were used. A multimode type optical waveguide was produced in the same manner except that the films (P-7, P-8) were used.
The optical waveguides thus obtained were cut into lengths between 1 cm and 5 cm, respectively, and the optical transmission loss was measured by the cutback method.

〈応用比較例1〉
前記応用実施例3において、実施例5の上下クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−5,P−6)の代わりに、比較例2の上下クラッド用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−10,P−11)を使用し、また、実施例4のコア用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−4)の代わりに、比較例1のコア用光硬化性・熱硬化性ドライフィルム(P−9)を使用したこと以外は同様にしてマルチモード型光導波路を作製した。
このようにして得られた光導波路を、1cmから5cmの間の長さにそれぞれ切り出し、光伝送損失について、カットバック法により測定を行った。
<Application comparison example 1>
In the application example 3, in place of the photocurable and thermosetting dry film for upper and lower clad (P-5, P-6) of example 5, the photocurable and thermosetting for upper and lower clad of comparative example 2 were used. The dry film (P-10, P-11) was used, and the core photocurable property of Comparative Example 1 was used instead of the core photocurable and thermosetting dry film (P-4) of Example 4. A multimode optical waveguide was produced in the same manner except that a thermosetting dry film (P-9) was used.
The optical waveguides thus obtained were cut into lengths between 1 cm and 5 cm, respectively, and the optical transmission loss was measured by the cutback method.

性能評価:
(a)はんだ耐熱性
得られたマルチモード型光導波路について、JIS C 6481の試験方法に従って、はんだ槽に収容した260℃の溶融はんだに30秒間浸漬し、その後セロハンテ−プ(商品名)をその硬化塗膜の上に指で擦って貼り付けてから引き剥がす、いわゆるピ−リング試験を行い、その1回の試験を1サイクルとして、これを同じ個所で3サイクルまで行った。硬化塗膜の剥離の程度を目視により観察し、以下の基準により評価し、その結果を表2に示した。
○:テープピーリング試験後、剥離等がないもの。
×:テープピーリング試験後、剥離を生じるもの。
Performance evaluation:
(A) Solder heat resistance About the obtained multimode type optical waveguide, according to the test method of JIS C 6481, it was immersed in the molten solder of 260 degreeC accommodated in the solder tank for 30 second, and cellophane tape (brand name) was added after that A so-called peeling test was performed, in which the film was rubbed with a finger after being applied to the cured coating film, and then peeled off. One test was regarded as one cycle, and this was repeated up to three cycles at the same location. The degree of peeling of the cured coating film was visually observed and evaluated according to the following criteria. The results are shown in Table 2.
○: No peeling after tape peeling test.
X: Detachment after tape peeling test.

(b)リフロー耐性
得られたマルチモード型光導波路について、温度260℃のリフロー炉を通過させることにより、剥がれ、膨れが無いかを目視により観察し、以下の基準により評価し、その結果を表2に示した。
○:リフロー炉を通過後、塗膜に剥がれ、膨れが無い。
×:リフロー炉を通過後、塗膜に剥がれ、膨れを生じるもの。
(B) Reflow resistance The obtained multimode type optical waveguide was passed through a reflow furnace at a temperature of 260 ° C. to visually observe whether it peeled off or swelled, and was evaluated according to the following criteria. It was shown in 2.
○: After passing through the reflow furnace, the coating film peels off and does not swell.
X: After passing through the reflow furnace, the film peels off and causes swelling.

(c)耐薬品性
得られたマルチモード型光導波路について、10%の塩酸水溶液に30分間浸漬した後、硬化塗膜の状態を目視により観察し、以下の基準により評価し、その結果を表2に示した。
○:全く変化が認められないもの。
△:ほんの僅か変化しているもの。
×:顕著に変化しているもの。
(C) Chemical resistance The obtained multimode optical waveguide was immersed in a 10% aqueous hydrochloric acid solution for 30 minutes, and then the state of the cured coating film was visually observed and evaluated according to the following criteria. It was shown in 2.
○: No change is observed at all.
Δ: Slightly changed.
X: Remarkably changed.

(d)耐溶剤性
得られたマルチモード型光導波路について、プロピレングリコールモノメチルエーテルに30分間浸漬した後、硬化塗膜の状態を目視により観察し、以下の基準により評価し、その結果を表2に示した。
○:全く変化が認められないもの。
△:ほんの僅か変化しているもの。
×:顕著に変化しているもの。
(D) Solvent resistance The obtained multimode optical waveguide was immersed in propylene glycol monomethyl ether for 30 minutes, and then the state of the cured coating film was visually observed and evaluated according to the following criteria. It was shown to.
○: No change is observed at all.
Δ: Slightly changed.
X: Remarkably changed.

(e)コア形状の精度
得られたマルチモード型光導波路を切り出しそれぞれの長さでのコア形状の違いについて観察した。その結果を表2に示した。
○:ほぼ変化が認められないもの。
△:±3μm以上の相違が確認されるもの。
×:顕著に変化しているもの。
(E) Accuracy of core shape The obtained multi-mode optical waveguide was cut out and observed for differences in core shape at each length. The results are shown in Table 2.
○: Almost no change is observed.
Δ: A difference of ± 3 μm or more is confirmed.
X: Remarkably changed.

(f)クラック耐性
得られたマルチモード型光導波路基板を、サーマルショック試験器に入れ、−45℃,15分と125℃,15分のヒートサイクル試験を、300サイクル行い、試験終了後の基板の顕微鏡で観察し、クラックの発生の有無を調べた。
○:クラック等の異常なし。
△:一部にクラック発生。
×:全体に、クラック発生。






(F) Crack resistance The obtained multi-mode type optical waveguide substrate is put into a thermal shock tester, and a heat cycle test at −45 ° C., 15 minutes and 125 ° C., 15 minutes is performed for 300 cycles. Were observed with a microscope and examined for the presence of cracks.
○: No abnormality such as cracks.
Δ: Some cracks occurred.
X: Cracks occur throughout.






上記のように、熱硬化成分としてオキセタン樹脂を用いた応用実施例1〜4は、熱硬化成分としてエポキシ樹脂を用いた応用比較例と同等のはんだ耐熱性、リフロー耐性、耐薬品性等を示し、コア形状の精度にも問題が無かった。さらに、クラック耐性においては、熱硬化成分としてエポキシ樹脂を用いた応用比較例1より優れている傾向にあった。
以上のように、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、及び光硬化性・熱硬化性ドライフィルムは、前記表1からも判るように、保存安定性に優れ、熱硬化性成分としてエポキシ樹脂を用いた場合と同等以上の特性が得られた。
As described above, application examples 1 to 4 using oxetane resin as the thermosetting component show solder heat resistance, reflow resistance, chemical resistance, etc. equivalent to the application comparative example using epoxy resin as the thermosetting component. There was no problem with the accuracy of the core shape. Further, the crack resistance tended to be superior to that of Comparative Application Example 1 using an epoxy resin as a thermosetting component.
As described above, the photocurable / thermosetting resin composition and the photocurable / thermosetting dry film of the present invention are excellent in storage stability and have a thermosetting component as can be seen from Table 1 above. As a result, characteristics equal to or higher than those obtained when an epoxy resin was used were obtained.

Claims (5)

光・電気混載基板を構成する、(a)光導波路及びソルダーレジスト層、(b)光導波路及び中間絶縁層、(c)光導波路、ソルダーレジスト層及び中間絶縁層のいずれかの組合せに併用して用いられる樹脂組成物であって、
(A)酸価が40〜250mgKOH/gであり、かつ重量平均分子量が2,000〜50,000である主鎖に芳香環の無い下記(1)〜(4)から選ばれるいずれか少なくとも一種の共重合系の線状ポリマーであるカルボキシル基含有樹脂、
(1)不飽和カルボン酸と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の共重合によって得られるカルボキシル基含有の線状ポリマー、
(2)不飽和カルボン酸と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、部分的にエチレン性不飽和基をペンダントとして付加させることによって得られるカルボキシル基含有の感光性線状ポリマー、
(3)一分子中にエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した第二級の水酸基に飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有の感光性線状ポリマー、
(4)不飽和二重結合を有する酸無水物と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、一分子中に水酸基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られるカルボキシル基含有の感光性線状ポリマー、
(B)光硬化して前記カルボキシル基含有樹脂(A)を希アルカリ水溶液に対して不溶化する反応性希釈剤、
(C)光重合開始剤、
(D)熱硬化成分として一分子中に2個以上のオキセタニル基を有するオキセタン樹脂、及び
(E)熱硬化促進剤を含有することを特徴とする光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
Used in combination with any combination of (a) optical waveguide and solder resist layer, (b) optical waveguide and intermediate insulating layer, and (c) optical waveguide, solder resist layer and intermediate insulating layer that constitute the optical / electrical hybrid substrate. A resin composition to be used,
(A) The acid value is 40 to 250 mg KOH / g and the weight average molecular weight is 2,000 to 50,000, and at least one selected from the following (1) to (4) having no aromatic ring in the main chain carboxyl group-containing resin which is a copolymer based linear polymers of,
(1) a linear polymer containing a carboxyl group obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid and a compound having an unsaturated double bond other than that,
(2) A carboxyl group-containing photosensitive ray obtained by partially adding an ethylenically unsaturated group as a pendant to a copolymer of an unsaturated carboxylic acid and another compound having an unsaturated double bond. Polymer,
(3) A second product produced by reacting a compound having an epoxy group and an unsaturated double bond in one molecule with a copolymer of another compound having an unsaturated double bond with an unsaturated monocarboxylic acid. A photosensitive linear polymer containing a carboxyl group obtained by reacting a saturated hydroxyl group with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride,
(4) A compound having a hydroxyl group and an unsaturated double bond in one molecule is reacted with a copolymer of an acid anhydride having an unsaturated double bond and another compound having an unsaturated double bond. The resulting photosensitive linear polymer containing carboxyl groups,
(B) a reactive diluent that is photocured to insolubilize the carboxyl group-containing resin (A) in a dilute aqueous alkali solution;
(C) a photopolymerization initiator,
(D) A photocurable thermosetting resin composition comprising an oxetane resin having two or more oxetanyl groups in one molecule as a thermosetting component, and (E) a thermosetting accelerator.
前記カルボキシル基含有樹脂(A)が、さらに(A’)エチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有の感光性線状ポリマーであることを特徴とする請求項1に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。 2. The photocuring property according to claim 1, wherein the carboxyl group-containing resin (A) is a carboxyl group-containing photosensitive linear polymer further having (A ′) an ethylenically unsaturated double bond. Thermosetting resin composition. さらに、(F)無機充填剤を含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。 Furthermore, (F) inorganic filler is contained, The photocurable and thermosetting resin composition of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 光・電気混載基板を構成する光導波路の下部クラッド層、コア層、及び上部クラッド層の少なくとも一つと、当該光・電気混載基板を構成するソルダーレジスト層もしくは中間絶縁層とが、いずれも、前記請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物から形成されてなることを特徴とする光・電気混載基板。 At least one of the lower clad layer, the core layer, and the upper clad layer of the optical waveguide constituting the optical / electrical hybrid substrate, and the solder resist layer or the intermediate insulating layer constituting the optical / electrical hybrid substrate, An optical / electrical hybrid substrate formed from the photocurable / thermosetting resin composition according to any one of claims 1 to 3. 光・電気混載基板を構成する光導波路の下部クラッド層、コア層、及び上部クラッド層の少なくとも一つと、当該光・電気混載基板を構成するソルダーレジスト層もしくは中間絶縁層とが、いずれも、前記請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物からなる感光層を有する光硬化性・熱硬化性ドライフィルムを用いて形成されてなることを特徴とする光・電気混載基板。 At least one of the lower clad layer, the core layer, and the upper clad layer of the optical waveguide constituting the optical / electrical hybrid substrate, and the solder resist layer or the intermediate insulating layer constituting the optical / electrical hybrid substrate, It is formed using the photocurable and thermosetting dry film which has a photosensitive layer which consists of a photocurable and thermosetting resin composition as described in any one of Claims 1 thru | or 3. Optical / electric hybrid board.
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