JPH03129788A - ガスレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、レーザ媒質ガスを放電してレーザ光を出力す
るガスレーザ装置に係り、特にレーザ媒質ガスをｖａ環
する送風機として貫流ファンを用いて、レーザ媒質ガス
を封入した気密容器内に配したガスレーザ装置に関する
。

〈従来の技術〉 一般に、Ｔ　Ｅ　ＡＧＯ，レーザやエキシマレーザのよ
うな大気圧あるいは高気圧横放電励起によってレーザ出
力を得るガスレーザ装置では、（ｚ−４Ｊ’　媒質ガス
を充填した気密容器内に放電電極部、送風機および熱交
ｔａ器を配置して、この放電電極部に設けた上下一対の
主放電電極間と多数の予備電離電極間の放電によてレー
ザ光出力を得ている。ここで、予備型Ｍ電極は主放電電
極が放電を開始する前に放電空間のレーザ媒質ガスを予
備電離し、主放電が発生し易くするためのものである。

送風機は、放電空間のレーザ媒質ガスを循環して、放電
によって生じたダストやレーザ発振を妨げるような不純
物の偏りを除き、主放電電極間で均一なグロー放電が生
じるようにするのと、放電によって温度上昇したレーザ
媒質ガスを熱交換器に導き、レーザ媒質ガスを適切な温
度に下げるとともに、気密、容器の圧ノコを一定にする
ために用いられている。

このような送風機には一般に質流ファンが用いられ、気
密容器をコンパクトにし、かつ横長の主放電電極間全域
のレーザ媒質ガスを循環できるようにしている。しかし
、送風機は一般にファンとケーシングによってその性能
が決まるため、効率的な送風を行うためには適切なファ
ンとケーシングが必要である。さらに、主放電電極間に
レーザ媒質ガスを導くためのダクトもしくは案内板が必
要である。

このようなガスレーザ装置の代表例としては、例えば特
開昭６３−２２８７７５号公報や同６３−８４１７９号
公報、同６３−５５８３号公報などに開示されたものが
ある。

〈発明が解決しようとする課題〉 前記特開昭６３−２２８７７５号のガスレーザ装置にお
いては、第１１図に示すように、送風機として用いられ
るＷ流ファン３は気密容器１１内に主放電電極ｌａ、ｌ
ｂと予備電熱電極２ａ、２ｂからなる放電部と熱交換器
４が占める空間以外の位置に配置されているのみで、特
にケーシング、ダクト、案内板の配置が考慮されていな
い、したがって、貫流ファン３から排出されたレーザ媒
質ガスは放電空間以外の部分にも流れるから、貫流ファ
ン３は効率よく運転されないという問題がある。さらに
、主放電電極１ｂ近傍のレーザ媒質ガスの流れは主放電
電極表面から剥離と渦を生じてガス交換が行われないた
め、例えばエキシマレーザのようなパルスレーザにおい
ては繰り返し発振周波数を大きくすることができないと
いう問題もある。

また、特開昭６３−８４１７９号のガスレーザ装置は、
第１２図に示すように、気密容器ｌｌ内に貫流ファン３
から排出されたレーザ媒質ガスを放電空間に導く案内板
８が設すられている例であり、この場合は前記した特開
昭６３−２２８７７５号のガスレーザ装置よりは効率よ
くレーザ媒質ガスを放電電極部に導くことはできるが、
主放電電極１ｂ近傍ではやはリレーザ媒質ガスはｆｆｉ
＋ｌ　ｍｌ＋と渦を生じ、主放電電極ｌａ、ｌｂ間で滑
らかなガス循環が行われないのである。また、この装置
では、一般に貫流）１ンのケーシングの舌部と叶ばれる
位置にある案内板８と円筒形の気密容器１１によってケ
ーシングの吹き出し目部分が構成されているが、吸い込
み口側のケーシングは特に考慮されていないため、効率
よくファンを運転しているとは言えない。

さらに、特開昭６３−５５８３号の場合は、第１３図に
示すように、主放電電極１ａ、ｌｂ近傍に１枚もしくは
複数の案内板８が設けられているが、主放電電極１ｂ近
傍では、鋭角的にレーザ媒質ガスの流れ方向を変えなけ
ればならないため、設置した案内板８の後方ですでに剥
離、渦が生じ、主放電電極１ａ、ｌｂ間で滑らかなレー
ザ媒質ガス流れは実現できない。また、この装置には吹
き出し口と吸い込み口を考慮したケーシングが配されて
いるが、その構造は複雑であり、複数の案内板を含め装
置の保守１点検が容易ではなくなるとともに、装置自体
が高価なものになってしまうという問題がある。

さらにまた、上記した特開昭６３−２２８７７５．６３
−８４１７９、６３−５５８３の各号のいずれものガス
レーザ装置に用いられる貫流ファン３の大きさは、気密
容器１１内の主放電電極１ａ、ｌｂの収電ｒｊ、極部。

熱交換器４．案内板８およびケーシングの大きさによっ
て制限され、放電電極部の大きさに比較して同等かもし
くは小さいものしか用いることができないのである。

したがって、貫流ファン３の大きさを変えない場合には
、レーザ媒質ガスの流量はファンの回転数によって調整
するしかなく、高速にガス循環を行うときにはファンの
回転数を上げるほか手がないのである。すなわち、質流
ファン３を大きくして排出風量を増すときには、同時に
気密容器１１の容量をも大きくしなければならないため
、装置を大型化してしまうという不具合が生じてしまう
。

なお、貫流ファン３の大きさを変えないとしても、例え
ばエキシマレーザのような腐食性のレーザ媒質ガスを用
いるガスレーザ装置では、ファンを駆動するモータは気
密容器の外に設置しなければならず、モータの回転運動
を伝達するカップリングの性能によりファンの回転数は
１ＩＩＩＩ限されるため、送風量も制限されることにな
る。

また、この場合、大気圧と気密容器内圧との圧力差を保
ちつつ回転運動を伝達しなければならないカップリング
には、主に磁性流体シールを用いたものと磁気カップリ
ングが用いられるが、ファンは数千ｒｐ１１もの速度で
回転させられるため、磁性流体シールを用いたカップリ
ングは短寿命ですぐ交換するとか保守点検を頻繁に行わ
ねばならず、また磁気カップリングは伝達トルクを大き
くしてファンの回転数を上げるためには磁石を大きくし
なければならないから、カップリングの回転軸と同じ回
転軸を有するファンは、その設置位置によってはその大
きさに制限が生じる。

さらに、質流ファンの回転数を上げるに従ってファンを
支持するベアリングの寿命も短くなるため、レーザ媒質
ガスの流量（あるいは流速）を増すためにファンの回転
数を増すことは好ましくないのである。

本発明は、上記したような従来技術の有する課題を解決
すべくなされたものであって、その第１の目的とすると
ころは従来より気密容器を小型化しながらかつ貫流ファ
ンを効率的に運転し、また従来より気密容器の大きさに
対するファン径の大きさの比率を大きくしファンの回転
数を上部することなく主放電電極間のレーザ媒質ガスを
より高速に循環することにあり、さらに第２の目的とす
るところは、主放電電極間のレーザ媒質ガスの２り離や
渦をなくして円滑にＷｉ環して−様な主放電を生しさせ
ることにより、安定で高出力なレーザ装置を提供するこ
とにある。

く課題を解決するための手段〉 本発明の要旨とするところは、レーザ媒質ガスが封入さ
れた気密容器と、この気密容器内に前記レーザ媒質ガス
を励起する予（ｌｉ電離電極と上下−対の主放電電極か
らなる放電部と、この放電部にレーザ媒質ガスをｉ環、
冷却する貫流ファンと、熱交換器とからなるガスレーザ
装置において、前記気密容器に円柱状の内壁を備えると
ともに、この内壁上部に上部主放電電極と予備電熱電極
とをその内部に突出するように配設し、さらにこの内壁
内に下部主放電電極と貫流ファンと熱交換器とを備え、
前記質流ファンの半径を前記内壁の半径に対して０．４
０以上０．６５以内としたことを特徴とするガスレーザ
装置である。

また、前記内壁の円の中心と前記貫流ファンの中心を結
ぶ線分と、前記主放電電極の中心と前記内壁の円の中心
を結ぶ線分とのなす角を３０°から５０°の範囲とする
のがよい。

さらに、前記貫流ファンの吸い込み口と吹き出し口とを
分離する案内板を設けるようにするのがよい。

さらにまた、前記下部主放電電極の近傍にレーザ媒質ガ
スの流れを整えるガイドブロックを設けるのがよい。

く作　用〉 本発明のガスレーザ装置によれば、気密容器内でのレー
ザ媒質ガスの流れの外周を円あるいは円と直線とからな
る長円形状の内壁によって規制し、この円の半径に対す
る貫流ファンの半径の比率が０．４０から０．６５の範
囲にあるようにしたので、従来より大きな容量のファン
を用いることができるから、ファンの回転数を上昇させ
ることなく放電電極部のレーザ媒質ガスの循環を高速か
つ円滑に行うことができ、したがって高出力で安定した
レーザ光出力を得ることができる。

また、内壁の円の中心と前記質流ファンの中心を結ぶ線
分と、前記主放電電極の中心と前記内壁の円の中心を結
ぶ線分とのなす角を３０°から５０＠の範囲としたので
、ファンの回転軸はレーザ媒質ガスの流れの外周を構成
する円の中心とは異なる最適な位置に配することができ
る。

さらに、貫流ファンの吸い込み口と吹き出し口とを分離
する案内板を設けるようにしたので、貫流ファンを効率
よく運転することができる。

さらにまた、主放電電極の近傍にレーザ媒質ガスの流れ
を整えるガイドブロックを設けるようにしたので、レー
ザ媒質ガスの剥離や渦の発ΔＬを抑制して円滑なガス循
環を行うことができる。

〈実施例〉 以下に本発明の実施例について、図面を参照して詳しく
説明する。

第１図は、本発明に係るガスレーザ装置の実施例を示す
概略構成図であり、レーザ出力光に対して垂直な面から
みた気密容器１１の断面図である。

図において、ｌａは上部主放電電極、１ｂは下部主放電
電極、２ａ、２ｂは予備電離電極、３は貫流ファンで、
図では矢示Ｆ方向すなわち時計回りに回転して主放電電
極１ａ、ｌｂ間のレーザ媒質ガスを循環する。

４は放電によって生じた熱を気密容器ｌｌ内から取り除
くための熱交ｔＡ器で、５はコンデンサである。

６は本発明の要である気密容器１１の内壁であり、レー
ザ媒質ガスの流路を滑らかにするためにその断面形状は
円形状とされる。そして、上部主放電電極１ａと予備電
離電極２ａ、２ｂは、この内壁６内に突出するように気
密容器１１上部に着脱自在に取付けられたフランジ１２
から品り下げられ、方、下部主放電電極１ｂと貫流ファ
ン３．熱交換器４は内壁Ｇ内に配設される。

このようにして、レーザ媒質ガスの循環する流路を円形
状に形成するようにし、かつ空間部を広＜　ｉＩ保する
ようにしている。なお、内壁６の断面形状は必ずしも円
形状に限ることなく、例えば第２図に示すような円と直
線から構成される略楕円形状であっても）ｎわない、ま
た、７はいわゆる舌部と呼ばれる案内板であり、８およ
び９ａ、９ｂも案内手反である。また、１０ａ、１０ｂ
はガイドブロックであり、後で詳しく説明する。

ここで、貫流ファン３の容量について説明すると、第３
図に示すように、内壁６の半径をＲ，とし、貫流ファン
３の半径Ｒ１とすると、それらの半径比Ｒ１／Ｒ，の値
は気密容器１１内の放電電極部および熱交換器４の大き
さと貫流ファン３の運転効率によってその範囲が決まる
が、本発明者らの実験によれば０．４０から０．６５の
範囲が適切であることが判明している。

すなわち、０，４０より小さくすると第１図の案内板７
と気密容器１１の内壁６によって措戒されるファン吹き
出し口から放電電極部までの距離が長くなり、ガスの摩
擦抵抗が増し、ガス流速が減少することが判明したので
ある。したがって、限定した径の貫流ファン３を用いた
場合より高速に回転させなければならなくなり、ファン
中山受やカソフ。

リングの寿命が短くなってしまう不都合が生じる。

また、放？’ｉｔ電極部と熱交換器４の大きさを小さく
するには限界があるため、０．６５より大きくすると構
造上ケーシング１３が構成できなくなり、０．４０以下
の場合と同様に貫流ファン３は高速回転しなければなら
なくなる。

これによって、従来装置と比較すると貫流ファン３の容
量が大きいためレーザ媒質ガスの流星が増し、熱交換器
を通過するガス流速も増ずから熱交ｔＡｆｆｉを増加し
得るので、逆に熱交換器を小型化することができる。し
たがって、気密容器自体の小型化を実現することができ
る。

つぎに、気密容器１１内での質流ファン３の位置関係に
ついて説明すると、前出ｔｌＳ３図に示すように、内壁
６の円の中心Ｏ１と貫流ファン３の中心Ｏ！とを結ぶ線
分り、と、主放電電極１ａ、ｌｂの中心と内壁６の円の
中心０１を結ぶ線分Ｌｔとすると、この線分り、と線分
り、とのなす角θを３０＠から５０”の範囲内にあるよ
うにして線分り。

上に貫流ファン３の中心０２を置くのが適切である。

すなわち、３０°より小さくすると、第１図の案内板７
と気密容器１１の内壁６によって構成されるファン吹き
出し口から放電電極部までの距離が長くなり、ガスの摩
擦抵抗が増すとともに、ファン吸い込み口側の吸引面積
が小さくなることにより主放電Ｍ、極間でのガス流速が
減少することが判明したのである。また、５０＠より大
きくすることは、放電電極部および気密容器１１内部の
大きさとの兼ね合いにより難しいのである。

なお、線分Ｌ３上に貫流ファン３の中心０２を置いても
よいが、貫流ファン３の吹き出し口から主放電電極１ａ
、ｌｂ間までの距離が長くなり、レーザ媒質ガスとその
流路間の摩擦抵抗によるエネルギー損失によってレーザ
媒質ガスの流速が減少するため、なるべく前記範囲の角
度に質流ファン３を設置するのが望ましい。

第４図は、貫流ファン３のケーシング１３の形状の一例
を示したものである。一般に、貫流ファン３のケーシン
グ１３は主にデイフユーザ１４．舌部１５および背壁１
６とで構成される。このような貫流ファン３はそもそも
鉱山の換気用ファンとして発達し、現在では電子機器の
冷却やニアコンディショナの送風機として用いられ、フ
ァンの吹き出し口と吸い込み口は大気中にオープンの状
態で使用されるのが普通である（「ア　スタデイ　オプ
　クロス　フロー　ファン（Ａ　５ｔｕｄｙ　ｏｆ　Ｃ
ｒｏｓｓＦｌｏｗＦａｎ　；　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　
Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ　５ｃ
ｉ−ｅｎｃｅ　（Ｖｏｌ、１２．　Ｎｏ、６．１９７０
）　）　Ｊ参照）。

しかしながら、本発明が関与しているガスレーザ装置の
場合は、気密容器ｌｌ内という密閉された空間内でＰｊ
流ラフアン３運転しなければならないため、ファンの大
きさに対して気密容器が非常に大きい場合を除いて前記
したようなケーシング１３をそのまま用いることはでき
ない、なぜならば、レーザ媒質ガスは気密容器１１内の
流路に沿って流れるため、ファンの吸い込み口が大気中
にオープンな場合と異なり、ファンの吸い込み口に流入
するレーザ媒質ガスは方向性を有しているからである。

したがって、本発明のガスレーザ装置では、レーザ媒質
ガスの流れを考慮した質流ファン吸い込み口近傍のケー
シングを設計する必要がある。

第５図は、貫流ファン３と内壁６の半径比Ｒｔ／　ＲＩ
　の値を０．６１とし、線分Ｌ１と線分Ｌ２とのなず角
θを４０＠とした場合における、ファン吸い込み口側に
は何ら特別の案内板を設けなかったときのレーザ媒質ガ
ス流れの状態を示したものである。主放電電極１ａ、ｌ
ｂ間を通過したレーザ媒質ガスは、下部主放電電極１ｂ
の近傍で剥Ｍ１７と渦１８ａを生じ、また貫流ファン３
内に理論的にも生しる渦１８ｂがファン吸い込み口にま
ではみ出て、前記した剥ｇ＋１１７．渦１８ａと混ざり
合うことにより複雑なガス流れを形成する。その結果、
貫流ファン３のガス吸入面積は狭くなってファンに滑ら
かに流入するレーザ媒質ガス量は少ないものとなる。

なお、図中渦１８ｃは、下部主放電電極１ｂと、案内板
７が滑らかにつながっていないために生じる渦であり、
主に案内板７からのガス流れの剥離によるものである。

第６図は、ファン吸い込み口側に案内板８を設けたとき
のレーザ媒質ガス流れの状態を示したものである。この
案内板８によって前出第５図に示した渦１８ｂがファン
吸い込み口にはみ出るのを抑え、ファンに流入するレー
ザ媒質ガス流れを整えることができるので、貫流ファン
３のガス吸入面積を広くすることができ、それ故ファン
吹き出し風量を増すことができる。この案内板８は、レ
ーザ媒質ガスの流れの外周を形成する内壁６の円の中心
０１とほとんど等しい位置に中心を有する円弧とされる
。ここで、案内板８の下端８ａの位置は、第７図に示す
ように、貫流ファン３の中心Ｏ！とその下端８ａを結ぶ
線分り、と線分り、とのなす角φについては、半径比Ｒ
ｚ　／Ｒ，；０．６１゜角θ：４０１の場合には、１４
０＠≦φ≦１６０°の範囲が適当である。その運出は、
φが１４０°より小さい場合にはこの案内板８の表面で
剥離が生じ、また１６０°よりも大きい場合には貫流フ
ァン３の吸入面積が減少することにより、ガス吹き出し
風量は減少するからである。

つぎに、下部主放電電極１ｂ近傍のレーザ媒質ガス流れ
を整える手段について説明すると、第８図は下部主放電
電極１ｂ近傍のレーザ媒質ガス流れに対し上流側にガイ
ドブロック１０ａを配した場合を示したものであり、第
９図は下部主放電電極１ｂの上流側および下流側にそれ
ぞれガイドブロック１０ａ、１０ｂを配した場合を示し
たものである。

前出第５図に示した従来装置のように、ガイドブロック
１０ａ、１０ｂがない場合は、下部主放電電極１ｂ近傍
に剥離１７以外に渦１８ａ、１８ｃが生じ、レーザ媒質
ガスは滑らかに主放電電極間を通過しない、このように
放電空間に渦や剥離が生じると、放電によって生じたダ
ストや不純物の一部が放電空間に滞留したり、あるいは
レーザ媒質ガスの密度変化□が生してアーク放電の原因
となって電極を傷めるため、レーザ発振を妨げたりする
ので、レーザ出力の低下や不安定化をもたらしたり、電
極交換のメンテナンス間隔が短くなるという問題がある
。そこで、ガイドブロック１０ａ、１０ｂを設けること
により、渦や剥離をなくすることが必要である。

以上のように、貫流ファン３を用いてレーザ媒質ガスを
Ｖａ環するようにしたガスレーザ装置では、貫流ファン
３のケーシング１３と主放電電極１ａ。

ｌｂ近傍のガス流路形状を最適化しなければ、放電空間
のレーザ媒質ガスを適切に循環することができず、レー
ザ出力は低く不安定なものしか得られない、さらに、主
放電電極１ａ、ｌｂ間でアーク放電が頻繁に生じると、
主放電電極そのものを傷めることになり、電極寿命も短
くなってしまうことになる。

貫流ファンの位置、ケーシングおよび放電空間近傍のレ
ーザ媒質ガス流路形状を最適化した本発明例の装置を用
いて、貫流ファンの回転数を２７００ｒｐ−として、Ｋ
ｒＦエキシマレーザを発振させた場合の繰り返し発振周
波数（＋１２）とレーザ出力（Ｗ）の関係特性を、第１
０図に直線へとして示した。

なお、比較のために、前出第５図に示した従来装置を用
いて同一条件での特性を１ｌｌＩ綿Ｂとして、また貫流
ファンの回転数を４００Ｏｒｐｍとしたときの特性を曲
線Ｃとして、第１０図に併せて示した。

−ａに、にｒＦエキシマレーザはパルスレーザであって
、通常、放電空間のレーザ媒質ガスＷｉ環が十分に行わ
れていれば、繰り返し発振周波数に正比例したレーザ出
力が得られる。

このことから、第１０図に示した直線Ａは繰り返し発振
周波数に正比例したレーザ出力が増加していることから
、本発明のガスレーザ装置においてはレーザ媒質ガスｖ
ａ環が十分に行われていることを示している。また、主
放電電極間における放電は発振周波数によらず−様なグ
ロー放電である。

一方、曲線Ｂは繰り返し発振周波数が１００１Ｉｚまで
は直線的にレーザ出力が増加してしているが、それ以上
発振周波数を増すとレーザ出ツノは減少する。このこと
から、放電と放電の間にレーザ媒質ガスのＩ環（交換）
が不十分であることがわかる。

すなわち、発振周波数に正比例してレーザ出力が増加し
ているときは、主放電電極間では−様なグロー放電であ
るが、レーザ出力が減少している発振周波数においては
アーク放電となっているのである。

また、曲Ｌ’ｉｌＣは、貫流ファンの回転数を増加した
分だけ曲線Ｂに比して直線的にレーザ出力が増加する発
振周波数が高くなっていることから、レーザ媒質ガス循
環がかなりよく行われていることがわかるが、直線Ａの
場合に比べると貫流ファンの回転数が約１．５倍も高い
ことから、質流ファンの運転効率が悪いのである。また
、貫流ファンを高速に回転させるには、出力の大きいモ
ータと容量の大きいモータドライバを用いれば可能では
あるが、ガスレーザ装置の総合効率の点から好ましくな
い、それにもまして、貫流ファンを高速回転させると、
ファン軸受の摩耗や軸受ベアリングの摩耗および破損、
ベアリング潤滑グリスのｍｔｌｋや蒸発、モータとファ
ンのカプリングの破ｔＭといった機械的故障の頻度が増
加したり、レーザ出力をを妨げるようなダストや不純物
の発生などにより、レーザ媒質ガスの寿命とガスレーザ
装置自体の寿命が短くなるので、極力貫流ファンは低回
転で運転した方がよいのである。

（発明の効果〉 以上説明したように、本発明のガスレーザ装置によれば
、従来装置に比して気密容器の大きさに対して貫流ファ
ンのサイズを大きくし、さらに貫流ファンの位置とケー
シングの形状、放電空間近傍のガス流路形状を最適化す
るようにしたので、貫流ファンの回転数を従来装置より
低くしても十分なレーザ媒質ガス循環が行えるようにな
り、放電電極間での−様なグロー放電が実現することが
でき、高出力で安定したレーザ光出力が得ることが可能
である。

また、貫流ファンの回転数を低減し得ることから、貫流
ファンの機械的寿命を伸ばすことができ、不純ガスの発
生を抑制することができる。

さらに、ガス流路を形成する案内板、ガイドブロックの
形状は簡単でかつその数は少なく、気密容器の形状も簡
単であるから、その製造コストを低下さ・きることがで
き、安価なガスレーザ装置を提供することが可能である
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係るガスレーザ装置の実施例を示す
概要図、第２図は、内壁の他の実施例を示す概要図、第
３図は、貫流ファンの容量と位置を示す説明図、第４図
は、一般的なケーシングの形状を示す概要図、第５図は
、従来装置のレーザ媒質ガス流れの状態を示す概要図、
第６図は、本発明装置のレーザ媒質ガス流れの状態を示
す概要図、第７図は、案内板８の形状を示す概要図、第
８．９図は下部主放電電極１ｂ近傍のレーザ媒質ガス流
れを整える手段の説明図、第１０図は、繰り返し発振周
波数とレーザ出力の関係を示す特性図、第１１．１２．
１３図は、従来装置の構成を示す概要図である。 １ａ・・・上部主放電電極、　　　ｌｂ・・・下部主放
電電極、　　　２ａ、２ｂ・・・予備電離電極、　　３
・・・貫流ファン、　　４・・・熱交換器、　　６・・
・内壁、　　７８．９ａ、９ｂ−・・案内板、　　１０
ａ、１０ｂ−ガイドブロック、　　１１・・・気密容器
、　　１３・・・ケーシング、　　１７・・・剥離＋　
　１８ａ、１８ｂ、１８ｃ・・・渦。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、レーザ媒質ガスが封入された気密容器と、この気密
   容器内に前記レーザ媒質ガスを励起する予備電離電極と
   上下一対の主放電電極からなる放電部と、この放電部に
   レーザ媒質ガスを循環、冷却する貫流ファンと、熱交換
   器とからなるガスレーザ装置において、前記気密容器に
   円柱状の内壁を備えるとともに、この内壁上部に上部主
   放電電極と予備電離電極とをその内部に突出するように
   配設し、さらにこの内壁内に下部主放電電極と貫流ファ
   ンと熱交換器とを備え、前記貫流ファンの半径を前記内
   壁の半径に対して０．４０以上０．６５以内としたこと
   を特徴とするガスレーザ装置。 ２、前記内壁の円の中心と前記貫流ファンの中心を結ぶ
   線分と、前記主放電電極の中心と前記内壁の円の中心を
   結ぶ線分とのなす角を３０°から５０°の範囲としたこ
   とを特徴とする請求項１記載のガスレーザ装置。 ３、前記貫流ファンの吸い込み口と吹き出し口とを分離
   する案内板を設けたことを特徴とする請求項１ないし２
   記載のガスレーザ装置。 ４、前記下部主放電電極の近傍にレーザ媒質ガスの流れ
   を整えるガイドブロックを設けたことを特徴とする請求
   項１ないし３記載のガスレーザ装置。