JPH03126889A - Production of amorphous alloy - Google Patents

Production of amorphous alloy

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JPH03126889A
JPH03126889A JP26397589A JP26397589A JPH03126889A JP H03126889 A JPH03126889 A JP H03126889A JP 26397589 A JP26397589 A JP 26397589A JP 26397589 A JP26397589 A JP 26397589A JP H03126889 A JPH03126889 A JP H03126889A
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amorphous alloy
film
plating bath
ions
amorphous
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雅春 小田
Hidehiko Ohashi
英彦 大橋
Takemoto Kamata
健資 鎌田
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Abstract

PURPOSE:To obtain amorphous alloy foil having superior soft magnetism and satisfactory workability by electrodepositing an amorphous alloy having a specified ratio of Fe to Co+Fe and a specified P content with an acidic plating bath contg. Co ions, Fe ions and phosphorous acid. CONSTITUTION:An acidic plating bath contg. at least divalent Co ions, divalent Fe ions and phosphorous acid or phosphite is prepd. Electrolysis is carried out with the plating bath to electrodeposit an amorphous Fe-Co-P alloy having 0.1-20 atomic ratio of Fe to Co+Fe and 3-30 atomic% P content on a working electrode and the resulting electrodeposited film is exfoliated. The large amt. of P can be incorporated into the alloy with satisfactory film forming property, film thickness is advantageously reduced and amorphous alloy foil having superior magnetic characteristics and satisfactory workability is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁性材料、特に軟磁性に優れ、かつ従来の非晶
質合金に比べ薄く加工性が良好な非晶質合金の製造方法
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for producing a magnetic material, particularly an amorphous alloy that has excellent soft magnetism and is thinner and has better workability than conventional amorphous alloys.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

非晶質合金は金属原子の配列が不規則で長周期性が欠如
しており、また、結晶粒界や格子欠陥が存在しないなど
結晶質の合金と比較して構造的特異性を有している。こ
れらに起因して非晶質合金は磁気的特性に優れている。
Amorphous alloys have irregular arrangement of metal atoms, lack long periodicity, and have structural specificities compared to crystalline alloys, such as the absence of grain boundaries and lattice defects. There is. Due to these factors, amorphous alloys have excellent magnetic properties.

特に、低履歴損失材料や高透磁率材料としての応用が有
望視されている。例えばFe基系の非晶質合金は飽和磁
束密度が大きく、低履歴損失の特性を生かしてトランス
の鉄心としての応用が考えられている。従来の珪素鋼板
を中心としたトランスに比べて大幅にその損失を小さく
することができ、良好な特性を備えたものとすることが
できると言われている。また、CO基系の非晶質合金は
、広い周波数帯域で保磁力が小さいという特性を備えて
おり磁気増幅器用の磁気コア材として有用に用いられて
いる。
In particular, applications as low hysteretic loss materials and high magnetic permeability materials are seen as promising. For example, Fe-based amorphous alloys have a high saturation magnetic flux density and are being considered for application as transformer iron cores by taking advantage of their low hysteresis loss characteristics. It is said that the loss can be significantly reduced compared to conventional transformers mainly made of silicon steel plates, and that it can have good characteristics. Furthermore, CO-based amorphous alloys have the characteristic of having a low coercive force over a wide frequency band, and are usefully used as magnetic core materials for magnetic amplifiers.

非晶質合金の製造方法として、最も一般的には溶融合金
を急冷する方法にて作られている。この方法は、溶融金
属を冷却した回転ロールに導き、105〜1.06de
g/ sで急冷することにより結晶化のだめの時間を与
°えずに固化させ、非晶質合金を形成させるものである
。しかし、この急冷法によって作製される非晶質合金は
現在その製法上厚さが数10μ以上の物しかできず、か
つ平滑性良好なものとすることができない。
The most common method for producing amorphous alloys is to rapidly cool a molten alloy. This method involves directing molten metal to cooled rotating rolls,
By rapidly cooling at g/s, the alloy is solidified without giving any time for crystallization to form an amorphous alloy. However, at present, the amorphous alloy produced by this rapid cooling method can only have a thickness of several tens of microns or more due to its manufacturing method, and cannot be made to have good smoothness.

非晶質合金の他の作製方法としてはスパッタリング法、
真空蒸着法およびイオンブレーティング法などが検討さ
れている。しかしこれらの方法で。
Other methods for producing amorphous alloys include sputtering,
Vacuum deposition methods and ion blating methods are being considered. But with these methods.

は非晶質合金の生産性が悪く、また製造装置が高価とな
り、非晶質合金を箔状物、フィルム状物として単離する
ことが難しい。
The productivity of the amorphous alloy is poor, the manufacturing equipment is expensive, and it is difficult to isolate the amorphous alloy in the form of a foil or film.

他方、特公昭63−10235号公報には、2価のコバ
ルトイオンと次亜リン酸又は次亜リン酸塩を含むp)1
1.2〜2.2なるメッキ浴を用い浴温30〜60℃、
電流密度5〜20mA/d+y+2なる電流密度で電気
メッキを行ないコバルトとリンを主成分とする非晶質合
金を製造する発明が開示されている。
On the other hand, Japanese Patent Publication No. 63-10235 discloses p)1 containing divalent cobalt ions and hypophosphorous acid or hypophosphite.
Using a plating bath of 1.2 to 2.2, the bath temperature is 30 to 60°C,
An invention is disclosed in which an amorphous alloy containing cobalt and phosphorus as main components is produced by electroplating at a current density of 5 to 20 mA/d+y+2.

〔発明が解決しようとする課題〕 非晶質合金薄膜を工業製品として利用するには、目的の
形状、大きさに容易に、かつ精密に加工できること、ま
た、生産性が良好であることなどが要求される。例えば
、これらの非晶質合金を磁気ヘッドとして使用すること
を考えると、磁気ヘッドの将来の技術指向は垂直磁気記
録方式であり、こ\に使用される磁気ヘッドは更に薄膜
化することおよび透磁率が大きいことが要求される。ま
た、スイッチングレギュレーターなどに使用される磁気
コアは高周波の励磁領域における保磁力などの軟磁性等
の磁気特性の高いものの開発要望があるが、この要望を
達成し得たものは未だ開発されるに至っていない。これ
は、一般に磁気コアに高周波の励磁電流が流れると磁性
層中に流れる渦電流が増加し、損失が大きくなるためで
ある。渦電流は磁性層厚みに比例するため、こ\に用い
る磁性材料はできるだけ薄膜化することが必要なのであ
るが、従来技術では膜厚の非常に薄い軟磁性体を作るこ
とはできなかった。
[Problem to be solved by the invention] In order to use an amorphous alloy thin film as an industrial product, it is necessary that it can be easily and precisely processed into the desired shape and size, and that it has good productivity. required. For example, considering the use of these amorphous alloys in magnetic heads, the future technological direction for magnetic heads is perpendicular magnetic recording, and the magnetic heads used for this will require further thinning and transparency. High magnetic flux is required. In addition, there is a demand for the development of magnetic cores used in switching regulators, etc. that have high magnetic properties such as coercive force and soft magnetism in the high frequency excitation region, but nothing that can meet this demand has yet been developed. Not yet reached. This is because, in general, when a high-frequency excitation current flows through the magnetic core, eddy currents flowing in the magnetic layer increase, resulting in increased loss. Since the eddy current is proportional to the thickness of the magnetic layer, it is necessary to make the magnetic material used for this as thin as possible, but with conventional technology it has not been possible to create a soft magnetic material with an extremely thin film thickness.

更に、非晶質合金テープをトロイダルコア状に巻いたり
、積層したりする際には実際に該非晶質合金テープの占
める体積率すなわち占積率が高いことが望まれるが、従
来開発されてきた非晶質合金膜はその表面平滑性が不足
するため、この占積率が80〜85%程度にしかならず
、この占積率を90%以上となし得る表面平滑性の良好
な非晶質合金薄膜の開発が望まれている。
Furthermore, when winding or laminating amorphous alloy tape into a toroidal core shape, it is desired that the volume ratio, that is, the space factor occupied by the amorphous alloy tape is actually high, but conventionally developed Since an amorphous alloy film lacks surface smoothness, its space factor is only about 80 to 85%, and an amorphous alloy thin film with good surface smoothness that can increase this space factor to 90% or more is needed. development is desired.

また精密電子機器の発達は多くの電磁波障害を発生させ
、ノイズの原因となり問題となって来ている。この障害
を除くには高透磁率の磁性材料の開発が望まれている。
Furthermore, the development of precision electronic equipment has generated a lot of electromagnetic interference, which has become a cause of noise and has become a problem. To eliminate this obstacle, it is desired to develop magnetic materials with high magnetic permeability.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

そこで本発明者等は表面平滑性に優れ、軟磁性に優れた
薄膜状非晶質合金薄膜を作る方法を開発すべく検討中の
ところ電気メッキ法を用い非晶質元素供給源として従来
は使用不可と考えられていた亜リン酸又はその塩を用い
ることにより、その目的とする非晶質合金薄膜を作り得
ることを見出し本発明を完成した。
Therefore, the present inventors are currently considering developing a method for producing a thin amorphous alloy thin film with excellent surface smoothness and soft magnetic properties, using electroplating, which has traditionally been used as a source of amorphous elements. The present invention was completed by discovering that the desired amorphous alloy thin film could be produced by using phosphorous acid or its salts, which had been thought to be impossible.

本発明の要旨とするところは、少なくとも2価のコバル
トイオン、2価の鉄イオン、及び亜リン酸及び/又は亜
リン酸塩を含む酸性メッキ浴を用いて電析し、Fe/(
Co+Fa)が0.1〜20at%、P含有量3〜30
at%なる非晶質合金を電析せしめることを特徴とする
非晶質合金の製法にある。
The gist of the present invention is to electrolytically deposit Fe/(
Co+Fa) is 0.1 to 20 at%, P content is 3 to 30
The present invention provides a method for producing an amorphous alloy characterized by electrodepositing an amorphous alloy of at%.

本発明を実施するに際して用いる2価のコバルトイオン
を供給するための塩としては、例えばスルファミン酸コ
バルト、硫酸コバルト、塩化コバルト、ビロリン酸コバ
ルト、酢酸コバルト、安息香酸コバルト等水溶性で溶解
度の大きなものであれば良い。また、2価の鉄イオンを
供給するための塩としては臘酸鉄、塩化鉄、硝酸鉄等水
溶性で溶解度の大きいものが挙げられる。亜リン酸及び
/又は亜リン酸塩は鉄−コバルト合金を非晶質化するた
めのリン供給源としてメッキ浴中に添加される。亜リン
酸塩としては、亜リン酸カリウム、亜リン酸水素アンモ
ニウム、亜リン酸水素ナトリウム、亜リン酸ナトリウム
、亜リン酸マグネシウム等を用いることができる。
Examples of salts for supplying divalent cobalt ions used in carrying out the present invention include salts that are water-soluble and have high solubility, such as cobalt sulfamate, cobalt sulfate, cobalt chloride, cobalt birophosphate, cobalt acetate, and cobalt benzoate. That's fine. Salts for supplying divalent iron ions include salts that are water-soluble and have high solubility, such as iron phosphate, iron chloride, and iron nitrate. Phosphite and/or phosphite are added to the plating bath as a phosphorus source to amorphize the iron-cobalt alloy. As the phosphite, potassium phosphite, ammonium hydrogen phosphite, sodium hydrogen phosphite, sodium phosphite, magnesium phosphite, etc. can be used.

本発明において、2価の鉄イオンは電解メッキ中に3価
の鉄イオンに酸化される。3価の鉄イオンは水酸化物と
してメッキ浴中で沈澱を生成しやすい。これは3価の鉄
イオンを2価に還元する還元剤または/及び3価の鉄イ
オンと安定な錯化合物を形成する錯イオンを添加するこ
とによって防ぐことができる。還元剤としては例えば、
ヒドラジン、ジメチルアミンボラン、はう水素化ナトリ
ウム、ヒドロキノン、塩酸ヒドロキシルアミン等を挙げ
ることができる。これらの還元剤は、亜リン酸を次亜リ
ン酸に還元することなく、3価の鉄を2価に還元するも
のと考えられる。このことは、電気泳動法によるイオン
の組成分析から確かめられた。
In the present invention, divalent iron ions are oxidized to trivalent iron ions during electrolytic plating. Trivalent iron ions tend to form precipitates in the plating bath as hydroxides. This can be prevented by adding a reducing agent that reduces trivalent iron ions to divalent iron ions and/or a complex ion that forms a stable complex compound with trivalent iron ions. Examples of reducing agents include:
Examples include hydrazine, dimethylamine borane, sodium hydride, hydroquinone, and hydroxylamine hydrochloride. These reducing agents are thought to reduce trivalent iron to divalent iron without reducing phosphorous acid to hypophosphorous acid. This was confirmed by ion composition analysis using electrophoresis.

また、錯化剤としては例えばヒドロキシカルボン酸、ポ
リカルボン酸、クエン酸、グルコン酸、BDTAおよび
その金属塩等が挙げられる。
Examples of complexing agents include hydroxycarboxylic acids, polycarboxylic acids, citric acid, gluconic acid, BDTA and metal salts thereof.

メッキ浴中で2価のコバルトイオンはO81〜5mol
/f、2価の鉄イオンは0.01〜l mol/i、亜
リン酸及び/又は亜リン酸塩は0.001〜5、Omo
l/j!において非晶質合金薄膜の形成が可能である。
The divalent cobalt ion in the plating bath is O81~5mol
/f, divalent iron ion is 0.01-1 mol/i, phosphorous acid and/or phosphite is 0.001-5, Omo
l/j! It is possible to form an amorphous alloy thin film.

特に製膜性良く電析するためのメッキ浴のpH値は1.
5前後とするのが最もよいことが確かめられている。こ
のpH範囲にメッキ浴を調整するためには従来技術であ
る特公昭63−10235号公報による次亜リン酸では
多量の酸の添加を必要としたが本発明において亜リン酸
を用いる場合には多量の酸を用いる必要はない。非晶質
合金膜の製膜性は非晶質合金を箔やテープに形成したり
、導電体上に析出させるためには重要な特性である。ま
た製膜性は磁気特性とも密接な関連性があり、得られる
非晶質合金膜のピンホール、亀裂等がなく表面光沢を有
する薄膜は軟磁性特性もより優れている傾向にある。本
発明法では亜リン酸を用いているため、このような特性
を備えたものとすることができメッキ浴のpH調整も同
時に行うことができる。また、特公昭63−10235
号公報の方法ではメッキ浴中の次亜リン酸濃度を0.3
 mol / 1以上にすると非晶質合金膜の製膜性の
極度な低下を示す。メッキ浴中の次亜リン酸濃度がQ、
 3 mol / i’の時、合金中のリンの含有量は
15at%であり、特公昭63−10235号公報にお
ける合金中リン含有比率の限界である。
In particular, the pH value of the plating bath for electrodeposition with good film forming properties is 1.
It has been confirmed that a value of around 5 is best. In order to adjust the plating bath to this pH range, it was necessary to add a large amount of acid using hypophosphorous acid according to the prior art, Japanese Patent Publication No. 63-10235, but when using phosphorous acid in the present invention, There is no need to use large amounts of acid. The film formability of an amorphous alloy film is an important characteristic for forming an amorphous alloy into foil or tape, or depositing it on a conductor. Furthermore, film formability is closely related to magnetic properties, and thin films obtained from amorphous alloy films that are free of pinholes, cracks, etc. and have a glossy surface tend to have better soft magnetic properties. Since the method of the present invention uses phosphorous acid, it can be provided with such characteristics, and the pH of the plating bath can be adjusted at the same time. In addition, special public service No. 63-10235
In the method of the publication, the concentration of hypophosphorous acid in the plating bath was set to 0.3.
When the ratio is mol/1 or more, the film formability of the amorphous alloy film is extremely reduced. The hypophosphorous acid concentration in the plating bath is Q,
3 mol/i', the phosphorus content in the alloy is 15 at%, which is the limit of the phosphorus content ratio in the alloy in Japanese Patent Publication No. 63-10235.

これに対し本発明の方法ではメッキ浴中層リン酸濃度が
0.3 mol / I!以上でも得られる非晶質合金
膜の製膜性の低下は見られず、合金中のリンの含有量も
20%以上と非常に高いものも薄膜状に作ることができ
る。これにより得られる非晶質合金の結晶化温度も高く
することができ、熱的安定性においても優れ、磁気特性
改善のための熱処理を効果的に行なうことができる。
On the other hand, in the method of the present invention, the phosphoric acid concentration in the plating bath is 0.3 mol/I! Even with the above, no deterioration in the film formability of the amorphous alloy film obtained is observed, and even alloys with a very high phosphorus content of 20% or more can be made into thin films. The crystallization temperature of the resulting amorphous alloy can be increased, the thermal stability is also excellent, and heat treatment for improving magnetic properties can be effectively performed.

本発明の方法においては非晶質合金の膜厚は自由にコン
トロールすることができる。すなわち膜厚はメッキ時間
に依存する。メッキ時間を短く取ることにより、液体急
冷法では作製不可能な1(1−以下、逆に長く取ること
によって3001−以上の非晶質合金を得ることも可能
である。特に本発明による亜リン酸及び/又は亜リン酸
塩を用いる場合は、製膜性が非常に良く5μ以下の薄膜
も容易に単離し得られる。
In the method of the present invention, the film thickness of the amorphous alloy can be freely controlled. That is, the film thickness depends on the plating time. By shortening the plating time, it is possible to obtain an amorphous alloy of 1 (1- or less), which cannot be produced by the liquid quenching method, and conversely, by taking a longer plating time, it is also possible to obtain an amorphous alloy of 3001- or more. When an acid and/or a phosphite is used, the film forming property is very good, and a thin film of 5 μm or less can be easily isolated.

磁性材料の軟磁性特性、特に透磁率はその磁性体の磁歪
に大きく依存する。また、磁歪は一般に合金組成の関数
となっており、鉄−コバルト系においてはコバルト基の
合金が軟磁性特性に優れている。好ましくは合金中の鉄
およびコバルトの原子数比においてコバルトが80%以
上とくに90%以上の物がよい。さらに好ましくはコバ
ルト94%のものがよい。本発明の方法によれば、鉄お
よびコバルトを含有し、かつその原子数比においてコバ
ルトが90%以上で厚み10−以下の非晶質合金箔を容
易に作製することができることから、透磁率の優れたも
のが得られる。本発明者らの実験では、亜リン酸及び/
又は亜リン酸塩を用いる場合は、次亜リン酸を用いた場
合に比べ、透磁率が2倍程度高いことが判明した。
The soft magnetic properties of a magnetic material, particularly its magnetic permeability, are largely dependent on the magnetostriction of the magnetic material. Furthermore, magnetostriction is generally a function of alloy composition, and among iron-cobalt alloys, cobalt-based alloys have excellent soft magnetic properties. Preferably, the atomic ratio of iron and cobalt in the alloy is 80% or more, particularly 90% or more of cobalt. More preferably, it contains 94% cobalt. According to the method of the present invention, it is possible to easily produce an amorphous alloy foil containing iron and cobalt, in which the atomic ratio of cobalt is 90% or more and the thickness is 10 or less. You can get something excellent. In our experiments, phosphorous acid and/or
It has also been found that when phosphite is used, the magnetic permeability is about twice as high as when hypophosphorous acid is used.

本発明の非晶質合金は、目的の形状、大きさに切り出し
、用途に応じてそのままあるいは積層して用いることが
できる。例えば磁気ヘッドに用いる場合は10−以下の
箔状の非晶質合金を馬蹄形に切り出し、コイルを巻いて
作製できる。また、磁気増幅器用の磁気コアとして用い
る場合には、細長くスリットした非晶質合金箔をトロイ
ダル状に巻回し、作製することができる。また本発明の
製造方法によれば、銅、銀といった導電体上に直接メッ
キ法により非晶質合金箔を付着させることも容易である
。またその表面に導電層を形成させたプラスティックフ
ィルム上に電析することも可能である。このような支持
体を利用した場合、非晶質合金箔の厚みは、数10人ま
で薄くすることが原理的に可能である。急冷法の非晶質
合金に比べ格段に薄膜化したことにより、高周波領域で
の渦電流の発生を抑え、保磁力も低減することができる
The amorphous alloy of the present invention can be cut into a desired shape and size and used as it is or in a layered manner depending on the purpose. For example, when used in a magnetic head, it can be produced by cutting a foil-like amorphous alloy of 10- or less into a horseshoe shape and winding it into a coil. Furthermore, when used as a magnetic core for a magnetic amplifier, it can be produced by winding an amorphous alloy foil with long slits into a toroidal shape. Further, according to the manufacturing method of the present invention, it is easy to attach an amorphous alloy foil onto a conductor such as copper or silver by direct plating. It is also possible to electrodeposit on a plastic film on which a conductive layer is formed. When such a support is used, it is theoretically possible to reduce the thickness of the amorphous alloy foil to several tens of layers. By making the film much thinner than the amorphous alloy produced by the rapid cooling method, it is possible to suppress the generation of eddy currents in the high frequency range and reduce the coercive force.

さらにはスイッチングレギュレータ本体を大幅に小さく
することが期待できる。
Furthermore, it is expected that the switching regulator body can be made significantly smaller.

また本発明の方法はメッキ法であるため、任意の形状の
物体表面に薄膜状に高透磁性磁性材料をコーティング出
来るため、磁気シールド材としての用途も期待出来る。
Furthermore, since the method of the present invention is a plating method, it is possible to coat the surface of an object of any shape with a highly permeable magnetic material in the form of a thin film, so it can be expected to be used as a magnetic shielding material.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の製法によれば、軟磁性に優れ、従来の非晶質合
金に比べ薄く加工性が良好な非晶質合金箔が得られる。
According to the manufacturing method of the present invention, an amorphous alloy foil can be obtained which has excellent soft magnetism, is thinner than conventional amorphous alloys, and has good workability.

特に、次亜リン酸又は次亜リン酸塩を用いる場合に比べ
、次の特徴がある。
In particular, compared to the case of using hypophosphorous acid or hypophosphite, it has the following characteristics.

(1)多くのリンを合金中に製膜性良く含有することが
できる。
(1) A large amount of phosphorus can be contained in the alloy with good film forming properties.

(2)製膜性が非常に良く、薄膜化に有利である。(2) It has very good film forming properties and is advantageous for thinning the film.

(3)磁気特性に優れている。(3) Excellent magnetic properties.

〔実施例〕 以下、実施例によって説明する。〔Example〕 Examples will be explained below.

(実施例1) 非晶質合金膜Aの製膜 塩化鉄(I[) 11.9g/f、硫酸コバルト(II
)264、3 g / 1、亜すン酸3.3g/Lホウ
酸6.2g/lを含有する水溶液をpH1,3に調製し
、電流密度0.05A/ciにて電解析出を行った。な
お、電源は北斗電工部HCP−3018を使用した。
(Example 1) Film formation of amorphous alloy film A Iron chloride (I) 11.9 g/f, cobalt sulfate (II)
)264,3 g/1, an aqueous solution containing 3.3 g/L of sulfurous acid/6.2 g/L of boric acid was prepared to pH 1.3, and electrolytic deposition was performed at a current density of 0.05 A/ci. Ta. The power source used was HCP-3018 manufactured by Hokuto Electric Works.

メッキ浴の中に上記組成のメッキ水溶液をいれ、白金か
らなる対極と作用電極の間に電圧を印加して金属などを
作用極上に析出させる。作用電極表面は中心線表面粗さ
を0.IIs以下に鏡面仕上げを施し、さらに硬質クロ
ムメッキ仕上げしである。
An aqueous plating solution having the above composition is placed in a plating bath, and a voltage is applied between a counter electrode made of platinum and a working electrode to deposit metal etc. on the working electrode. The working electrode surface has a center line surface roughness of 0. It has a mirror finish below IIs and is further finished with hard chrome plating.

電析膜は直ちに剥離し、洗浄後乾燥する。The deposited film is immediately peeled off, washed and dried.

電析膜の膜厚は作用電極のメッキ液中の滞在時間に依存
し、7分の電析の後に得られた非晶質合金箔の厚みは7
μであった。また、ピンホールもなく柔軟性に優れた物
であった。
The thickness of the electrodeposited film depends on the residence time of the working electrode in the plating solution, and the thickness of the amorphous alloy foil obtained after 7 minutes of electrodeposition is 7.
It was μ. Moreover, it had no pinholes and had excellent flexibility.

試料の非品性の観察 非晶質合金AのX線解析チャートを図1に示す。Observation of sample quality An X-ray analysis chart of amorphous alloy A is shown in FIG.

第1図において、横軸は試料からのX線散乱角であり、
縦軸は散乱強度である。このように金属特有の結晶に基
づくピークはまったく見られず完全に非晶化している。
In Figure 1, the horizontal axis is the X-ray scattering angle from the sample,
The vertical axis is the scattering intensity. In this way, no peaks due to crystals peculiar to metals are observed, and the material is completely amorphous.

合金組成の測定 非晶質合金Aの硝酸5rd!に溶解し、蒸留水を加えて
1.00dとした。この液をICP発光分析装置(日本
ジャーレル・アッシュ製ICAP−575MK−n型)
によって定量分析した。その結果原子数比でFe :C
o :P=4.8 :83.2 :12.O(at%〉
の結果を得た。このときの鉄およびコバルトの含有原子
数比は約6:94である。
Measurement of alloy composition Nitric acid 5rd of amorphous alloy A! It was dissolved in water and distilled water was added to give a total concentration of 1.00 d. This liquid was collected using an ICP emission spectrometer (ICAP-575MK-n type manufactured by Jarrell Ash Japan).
Quantitative analysis was carried out by As a result, the atomic ratio is Fe:C
o:P=4.8:83.2:12. O(at%)
I got the result. The atomic ratio of iron and cobalt at this time is about 6:94.

(実施例2) イオンの定量分析 非晶質合金Aのメッキ浴と同様な組成浴に、更にヒドロ
キノン(還元剤)0.2g/fを添加した。
(Example 2) Quantitative analysis of ions To a bath having the same composition as the plating bath for amorphous alloy A, 0.2 g/f of hydroquinone (reducing agent) was further added.

このメッキ浴について■島津製作所製キャピラリ等速電
気泳動分析装置IP−3八り型でイオンの定量分析を行
った。このメッキ浴(a)と、このメッキ浴の電析後(
b)の結果を、表1に定量分析、第2図、第3図に測定
チャートで示す。結果から、このメッキ浴には次亜リン
酸及び3価の鉄イオンの存在しないことがわかる。
Regarding this plating bath, quantitative analysis of ions was carried out using a capillary isokinetic electrophoresis analyzer IP-3 model manufactured by Shimadzu Corporation. This plating bath (a) and after electrodeposition of this plating bath (
The results of b) are shown in quantitative analysis in Table 1 and measurement charts in FIGS. 2 and 3. The results show that this plating bath is free of hypophosphorous acid and trivalent iron ions.

以下余白 (実施例3) 非晶質合金膜Bの製膜 塩化鉄(II) 11.9g/f、硫酸コバルト(II
)264、3 g / 1、亜リン酸164g/i’ 
 (2mol/1ホウ酸6.2g/fおよびヒドロキノ
ン(還元剤)0.2g/f!を含有する水溶液をpfl
l、3に調整し、電流密度0.05A/catにて電析
を行った。電析時間は2分間で、約2μの薄膜を電極か
ら剥離した。
Blank space below (Example 3) Film production of amorphous alloy film B Iron (II) chloride 11.9 g/f, Cobalt (II) sulfate
) 264, 3 g/1, phosphorous acid 164 g/i'
(pfl
Electrodeposition was performed at a current density of 0.05 A/cat. The electrodeposition time was 2 minutes, and a thin film of approximately 2 μm was peeled off from the electrode.

ピンホールもなく柔軟性に優れた箔が得られた。A foil with excellent flexibility and no pinholes was obtained.

X線回折の結果から非晶質であることがわかった。The results of X-ray diffraction showed that it was amorphous.

得られた非晶質合金膜BをAと同様に定量分析した結果
、原子数比で Fe :Co :P=4.5 ニア5.2 :20.3
 (at%)の結果を得た。この時の鉄およびコバルト
の含有原子数比は約6:94であり、また非晶質合金膜
Aに比べ多くのリンを含んでいた。
As a result of quantitative analysis of the obtained amorphous alloy film B in the same manner as A, the atomic ratio was Fe:Co:P=4.5 near 5.2:20.3
(at%) results were obtained. The atomic ratio of iron and cobalt at this time was approximately 6:94, and the film contained more phosphorus than the amorphous alloy film A.

〈実施例4) 非晶質合金膜Cty)T!M膜 非晶質合金膜Bのメッキ浴へ硫酸ニッケル23.2g/
lとなるように添加して、同様の条件で電析を行った。
<Example 4) Amorphous alloy film Cty)T! Add 23.2 g of nickel sulfate to the plating bath for M film amorphous alloy film B.
1, and electrodeposition was performed under the same conditions.

得られたものの定量分析を行った結果、原子数比で Fe :Co :Ni :P=4J :69.1 :1
0.1 :16.5(at%) の結果を得た。
As a result of quantitative analysis of the obtained product, the atomic ratio was Fe:Co:Ni:P=4J:69.1:1
A result of 0.1:16.5 (at%) was obtained.

(実施例5) 非晶質合金膜りの製膜 塩化鉄(II) 11.9g/A、硫酸コバルト(II
)264.3g/j!、ホウ酸et、2g/It、及び
亜リン酸ナトリウム1.26.0 g / Rを含有す
る水溶液をpH1,3に調整し、電流密度0.05A/
cnfにて電析を行った。X線回折の結果、非晶質化し
ていた。定量分析の結果は、原子数比で Fe :Co :P=4.9 ニア8.1 :17.0
 (at%)の結果を得た。
(Example 5) Formation of amorphous alloy film Iron (II) chloride 11.9 g/A, cobalt (II) sulfate
)264.3g/j! , boric acid et, 2 g/It, and sodium phosphite 1.26.0 g/R were adjusted to pH 1.3, and the current density was 0.05 A/R.
Electrodeposition was performed using cnf. As a result of X-ray diffraction, it was found to be amorphous. The quantitative analysis results show that the atomic ratio is Fe:Co:P=4.9 near 8.1:17.0
(at%) results were obtained.

(比較例1) 塩化鉄(II) 11.9g/l、硫酸コバルト(II
)264、3 g / II 、ホウ酸6.2g/II
、及び次亜リン酸ナトリウム31.8g/j!  (0
,3mol/A)をpH1,3に調整し、電流密度0゜
05A/cafにて電析を行った。第4図に析出物の電
極上の表面写真を示す。
(Comparative Example 1) Iron(II) chloride 11.9g/l, cobalt(II) sulfate
) 264, 3 g/II, boric acid 6.2 g/II
, and sodium hypophosphite 31.8g/j! (0
, 3 mol/A) was adjusted to pH 1.3, and electrodeposition was performed at a current density of 0°05 A/caf. FIG. 4 shows a photograph of the surface of the deposit on the electrode.

製膜性が悪く単離した膜として取り出せなかった。Film forming properties were poor and it could not be taken out as an isolated film.

析出片を電極から剥ぎ取り、定量分析を行った結果原子
数比で Fe :Co :P=4,7 ニア5.8 :15.0
 (at%)の結果を得た。
The precipitated pieces were peeled off from the electrode and quantitatively analyzed. The atomic ratio was Fe:Co:P=4.7 near 5.8:15.0
(at%) results were obtained.

(比較例2) 非晶質合金膜Eの製膜 塩化鉄(旧11.9g/f、硫酸コバルト(II)26
4.3g/j!、ホウ酸6.2g/I!、及び次亜リン
酸ナトリウム10.6g/j!  (0,1mol/:
jりをpH1,3に調整し、電流密度0.05A/cr
lで電析を行った。電析時間は8分間で厚さ’7−の薄
膜を得た。
(Comparative Example 2) Film production of amorphous alloy film E Iron chloride (formerly 11.9 g/f, cobalt (II) sulfate) 26
4.3g/j! , boric acid 6.2g/I! , and sodium hypophosphite 10.6g/j! (0.1 mol/:
Adjust the pH to 1.3, and adjust the current density to 0.05A/cr.
Electrodeposition was performed with l. The electrodeposition time was 8 minutes, and a thin film with a thickness of '7' was obtained.

定量分析の結果、原子数比で Fe :Co :P=4.4 :84.1 :11.5
 (at%)であった。
As a result of quantitative analysis, the atomic ratio is Fe:Co:P=4.4:84.1:11.5
(at%).

(実施例6) 透磁率の測定 直径lOφ、長さ2cmの中空プラスチックボビン1に
0.2φのエナメル線で2次コイル3を内側に、1次コ
イル2を外側にそれぞれ80回巻いた。それを4個作威
し直列に配線した後、第5図のように配置した。また、
空芯の誘導起電力を消去するため別にコイルを巻いて配
線した。発振器(4)よりI KHzの交流電流を1次
コイルに流し、2次コイルの誘導起電力を電圧計(オシ
ロスコープ)5を用いて測定した。なお、透磁率は次式
により算出した。
(Example 6) Measurement of Magnetic Permeability A hollow plastic bobbin 1 with a diameter lOφ and a length of 2 cm was wound with 0.2φ enamelled wire 80 times each, with the secondary coil 3 being wound on the inside and the primary coil 2 being wound on the outside. After making four of them and wiring them in series, they were arranged as shown in Figure 5. Also,
In order to eliminate the induced electromotive force of the air core, a separate coil was wound and wired. An alternating current of I KHz was passed through the primary coil from an oscillator (4), and the induced electromotive force in the secondary coil was measured using a voltmeter (oscilloscope) 5. Note that the magnetic permeability was calculated using the following formula.

B μ=            (G/○e)ここで、H
:磁化力、B:磁束密度、μ:透磁率、N:コイル巻数
(80X4) 、I : 1次コイル電流、L:磁路長
(12cm) 、E : 2次コイル誘起電圧(ピーク
値)、f:周波数(1000Hz) 、A :試料断面
積(CIII〉 試料6は、非晶質合金膜AおよびEについて巾5III
I11、長さ4cmに切断し、窒素雰囲気中で200℃
、5分間熱処理した。この試料4枚をプラスチックボビ
ンにそれぞれ挿入し、閉磁路を形成するように端を重ね
合せた。
B μ= (G/○e) where, H
: magnetizing force, B: magnetic flux density, μ: magnetic permeability, N: number of coil turns (80x4), I: primary coil current, L: magnetic path length (12 cm), E: secondary coil induced voltage (peak value), f: Frequency (1000Hz), A: Sample cross-sectional area (CIII) Sample 6 has a width of 5III for amorphous alloy films A and E.
I11, cut into lengths of 4 cm, and heated at 200°C in a nitrogen atmosphere.
, heat treated for 5 minutes. These four samples were each inserted into a plastic bobbin, and the ends were overlapped to form a closed magnetic path.

結果を表2に示す。亜リン酸を用いた非晶質合金膜Aは
透磁率が高い。
The results are shown in Table 2. Amorphous alloy film A using phosphorous acid has high magnetic permeability.

表2Table 2

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は実施例1非晶質合金AのX線回折チャート、 第2図及び第3図は実施例4の電析後(b)のキャピラ
リ等速電気泳動チャート (それぞれ亜リン酸の分析及
び鉄、コバルトの分析)、第4図は次亜リン酸ナトリウ
ムを用いたメッキ浴からの電析表面の金属組織写真、 第5図は透磁率測定回路の模式図である。 1・・・ボビン、      2・・・1次コイル、3
・・・2次コイル、   4・・・発振器、5・・・電
圧計、      6・・・試料。 非晶質合金AのX線回折チャート 第1図 とく
Figure 1 is an X-ray diffraction chart of amorphous alloy A in Example 1. Figures 2 and 3 are capillary isokinetic electrophoresis charts (b) after electrodeposition in Example 4 (each analysis of phosphorous acid). Fig. 4 is a photograph of the metallographic structure of the electrodeposited surface from a plating bath using sodium hypophosphite, and Fig. 5 is a schematic diagram of the magnetic permeability measurement circuit. 1... Bobbin, 2... Primary coil, 3
... Secondary coil, 4... Oscillator, 5... Voltmeter, 6... Sample. Figure 1: X-ray diffraction chart of amorphous alloy A

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、少なくとも2価のコバルトイオン、2価の鉄イオン
、及び亜リン酸及び/又は亜リン酸塩を含む酸性メッキ
浴にて電析し、Fe/(Co+Fe)が0.1〜20a
t%、P含有量3〜30at%を主成分とする非晶質合
金を電析することを特徴とする非晶質合金の製法。 2、メッキ浴として還元剤又は錯化剤の少なくとも1種
を含むメッキ浴を用いる請求項第1項記載の非晶質合金
の製法。
[Claims] 1. Electrodeposited in an acidic plating bath containing at least divalent cobalt ions, divalent iron ions, and phosphorous acid and/or phosphite, and Fe/(Co+Fe) is 0. .1~20a
A method for producing an amorphous alloy, which comprises electrodepositing an amorphous alloy having a P content of 3 to 30 at% as a main component. 2. The method for producing an amorphous alloy according to claim 1, wherein the plating bath contains at least one of a reducing agent and a complexing agent.
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