JPH03115960A - 目視検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、目視検査装置に関し、特に、検査対象の目視
を行う場合に、目視検査対象の観測画像の画像入力手順
と観測者の検査手順とを独立させて、検査能率を向上さ
せた目視検査装置に関するものである。

〔従来の技術〕

−１〜 従来から製品検査の自動化は進められているが、最終的
には、検査項目の一つとして、目視検査は欠かせない。

目視検査では、通常、被検査物（検査対象）を１人の観
察者が観測して、良否の判定を行なっている。

このため、一つの被検査物（被検物）に複数の観甜点が
ある場合、観測者は視野を被検物の各観測点に順次移動
し、それぞれの場所での良否を判定する。

〔発明が解決しようとする課題〕

したがって、このような複数の観測点がある被検物の検
査を行う場合、ＷＡ測者は観測点ごとに異なる判定基準
を用意し、判定しなければならないため、思考の切り替
えにある時間を要し、また。

観測点間の移動期間中は判定作業が中断される。

また、複数の検査員（ｌ１８１’１者）により検査を行
う場合においては、同様の検査を並行して行なうため、
処理量は人数に比例し増加するだけである。

また、一般的には、製造装置の稼動時に検査を行うため
に、検査員がついていなければならず。

製造装置あるいは検査員のいずれかの一方の都合が悪く
なると、他方もそれに合せて停止せざるをえず、装置の
稼働および検査の双方を停止させなければならないとい
う問題があった。

本発明の目的は、目視検査を行う場合に、検査員にとっ
て都合のいい状態の時刻、観測画面数、順序を選択して
、被検物の目視検査を行えるようにして、検査能率を向
上させることができる目視査装置を提供することにある
。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明の目視検査装置は、
検査対象を複数の観測画像として入力する画像入力装置
と、該画像入力装置により入力した検査対象の複数の観
測画像を記憶する画像記憶装置と、複数の表示装置と１
画像記憶装置に記憶した複数の観測画像を観測者に適し
た状態の時刻。

観測画面数、順序に編集して複数の表示装置に表示する
制御装置とを備えることを特徴とする９〔作用〕 前述した手段によれば、目視検査装置には、画像入力装
置と、画像記憶装置と、複数の表示装置と、制御装置と
が備えられる。

画像入力装置は、検査対象を複数の観測画像として入力
し１画像記憶装置に、画像入力装置からより入力した検
査対象の複数の観測画像を記憶する。そして、制御装置
が、画像記憶装置に記憶した複数の観測画像を観測者に
適した状態の時刻。

観測画面数、順序に編集して複数の表示装置に表示する
制御を行う。

この目視検査装置により、観測者（検査員）が被検物の
目視検査を行う場合、検査すべき部分を観測画像として
入力し、−旦、画像記憶装置に畜ねえ、複数の表示装置
に個別に任意の時間に任意の観測画像を表示し、目視検
査を行う。

このように、検査対象の画像情報をそのまま検査員が判
断するのではなく、検査員の判断しやすい願番、表示時
間に再構成することによって検査＝３ 員の心理的負担を軽減し、複数の表示装置に独立に検査
画像を表示することにより複数の検査員が分担して同時
に検査を進められる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体的に説明す
る。

第１図は、本発明の一実施例にかかる目視検査装置の構
成を示すブロック図である。第１図において、１はステ
ージ、２は被検物、３は画像入力装置、４は画像記憶装
置、５は表示装置、６は制御装置である。ステージ１は
、被検物２をのせ、画像観測装置３の視野に被検物２に
おける観測位置が入るように移動するためのものであり
１例えば、ＸＹ子テーブルどが用いられる。ステージ１
は制御装置６により制御される。

被検物２がステージ１に載置され、その観測位置の位置
決めが制御装置１からの制御で行われると１画像入力装
置３が被検物２の観測画像を取り込み、観測画像は画像
記憶装置４に格納される。

この被検物２の所定の観測位置の観測画像の取込一 ＝４ および格納は、制御装置６よりステージ１および画像入
力装置３を制御して、被検物２の観測位置を順次に換え
て行い、複数の観測画像を順次に取り込み格納する。画
像記憶装置４に格納された複数の観測画像は、また、制
御装置６の制御により、観測者に適した状態の時刻１Ｍ
測画面数、順序に編集されて、画像記憶装置４から読み
出され、複数の表示装置５にそれぞれ表示される。この
ように制御装置６は、被検物の観測画像の画像入力から
表示までを制御する。

すなわち、検査員がこの目視検査装置を用いて目視検査
を行う場合、制御装置６に対して指示を与えて、制御装
置６の制御によりステージ１を動かし、検査箇所を画像
入力し１画像記憶装置４に記憶させる。この入力作業は
ステージ１の移動量の少ない順などの、画像入力の能率
の高い順で行う。この場合、検査員は、検査順、目視の
やり易さ順などは意識しなくてよい。

一方、画像記憶装置４に記憶された検査物の観測画像は
、種類２倍率、コントラストなど検査員にとって理解し
やすいように編集して再構成し、複数の表示装Ｗ５にそ
れぞれ送り出す。検査員はあらかじめ各検査画像に対す
る判断基準を頭の中に描いてかく必要があるが１例えば
、第２番目の表示装置は、同じ種類のｌ１ｉｌ！画像の
みを表示することにすれば、検査員は目視検査を行う場
合にも判断基準の意識を変える変化の度合を少なくして
検査を行うことができる。

また、複数の表示装置に対して、各検査員が別々の種類
の観測画像の目視検査を受けもって検査すれば、単に並
列処理による時間短縮のみならず。

１人あたりの検査すべき画像の種類が減少し、心理的切
替えの度合が減少し、検査能率を向上させることができ
る。

更にまた、夜間に自動的に被検物の観測画像を画像記憶
装置に記憶しておき１日中の平常の勤務時間に検査する
こと等により、目視検査が勤務形態、装置保守等の時間
的制約から解放され、目視検査のためのコストが大幅に
削減できる。

このように、目視検査において、被検物の観測画像で全
く異なる種類の画像が連続する場合には、検査員は判断
基準の意識の切り替えに時間を要し、心理的疲労も大き
いが１本実施例の目視検査装置によれば、上述のように
目視検査の観測画像の表示順序を検査員の都合により任
意に再構成できるので、検査員の作業能率が向上する。

次に１本実施例にかかる目視検査装置を用いて、ＬＳＩ
チップの目視検査を行う場合の具体例を説明する。

第２図は、被検物のＬＳＩチップの目視検査位置を例示
した平面図であり、また、第３図は、目視検査装置を用
いて検査を行う場合の検査スケジュールを示すタイムチ
ャー１−である。

被検物のＬＳＩチップ１０の表面には、第２図において
、破線の丸印を付加した数字の位置で示すように、被検
物のＬＳＩチップ１０には、目視検査位置が、■トラン
ジスタのゲート部、■トランジスタのスルーホール部、
■配線段差部、■トランジスタのゲート部、■トランジ
スタのスルーホール部、■配線段差部、■トランジスタ
のゲート部。

■トランジスタのスルーホール部、および■配線段差部
の９箇所の目視検査位置があり、それぞれに図示するよ
うに分布しているものとする。検査物の各検査位置の観
測画像を取り込む時は、機械的なステージ１の移動を行
うため、移動量が少ない方が効率が良い。したがって、
第２図に示すように観測すべき検査位置が分布ししてい
る場合には、画像入力装置３では、第３図のタイムチャ
ートに示すように、各々の観測検査位置を■、■。

■、■、■、■、■、■、■の順で、各々のタイミング
ｔｌ、ｔ２．・・・、ｔ９で取り込み、画像記憶装！４
に格納する。一方、検査員は、同一の種類の検査を行う
方が判断基準の混乱が少なく、検査を行う効率が高いの
で、例えば、検査員Ａは■。

■、および■の位置のトランジスタゲート部の検査を行
うこととし、検査員Ｂは■、■、および■の位置のトラ
ンジスタのスルーホール部の検査を行うこととし、また
、検査員Ｃは■、■、および■の配線段差部の検査を行
うこととして、各検査員が同一種類の検査を行うように
して、それぞれの内容の種類に応じて検査員に対応した
振り分けを行う。これにより、各検査員は同一種類の検
査を行えば良いので効率が高くなり、更には、検査する
ｆＲ測両画像入力操作の効率と検査員による検査の効率
を両立できる。

第４図は、本発明にかかる目視検査装置の他の実施例の
構成を示すブロック図である。第４図において、１はス
テージ、２は被検物、３は画像入力装置である。これら
は、第１図で説明したものと同様な装置である。また、
２４は分配先切替器、２５は画像記憶装置、２６は表示
装置である。この第４図の実施例では、複数の画像記憶
装置２５が設けられ、画像入力装置３からの観測画像の
データが分配先切替器２４を介して選択されて複数の画
像記憶装置！２５に加えられ、それぞれの画像記憶装置
２５に格納される。そして、それぞれに対応する複数の
表示装置ｔ２６に観測画像が表示される。なお、図示し
ていないが、第１図の目視検査装置と同様に、第４図の
目視検査装置にも、各装置を制御する制御装置が設けら
れ、この制御装置の制御により、１０ 一連の制御が行われる。

この制御動作の概略を説明すると、まず、ステージ１に
被検物２が載置され、観測位置が視野に入るようにステ
〜ジエが移動されて、画像入力装置３が観測画像を入力
する。このとき、分配先切替器２４は、画像入力装置３
からの観８（り画像のデータを予め設定された観測者向
けに選択的に分配して、対応する画像記憶装置２５に送
出する。分配先切替器２４から送出された観測画像デー
タは、画像記憶装置２５に格納され、表示装置２６に表
示される。

このように、目視検査装置では、ステージ１を移動させ
、観測点を順次に画像入力装置２の視野に入れ、画像入
力し１分配先切替器２４によって各々の画像記憶装置２
５に分配して記憶させる。記憶された検査位置の観測画
像は表示装置２６に表示される。複数の表示装置２６に
は、それぞれに検査員を配置され、各検査員が表示装置
に表示された観測画像を目視し、目視検査を実施する。

分配先切替器２４の動作は、１人の観測に同一観測点の
みを見せる場合、また、全観測者に同じ画像を見せる場
合、更にまた、両者を混合した場合のいずれかを予め選
択して設定しておき、設定したその選択内容に応じて切
替の制御を行う。この実施例では、特に、複数の表示装
置に対して、それぞれに画像記憶装置を設けているため
、ある表示装置でＭ測画像の表示中にも７次の観測点の
入力作業登並行して進められ、検査時間が有効に使われ
る。

以上、本発明を実施例にもとづき具体的に説明したが、
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であること
は言うまでもない。

〔発明の効果〕

以」−１説明したように、本発明の目視検査装置によれ
ば、製品の目視検査を行う場合、目視検査位置において
、観測画像の入力作業と検査作業とを、画像記憶装置を
介して連結するため、両作業を独立して行うことができ
る。これにより、それぞれの作業が、他方に制約をうけ
ないで効率的に手順よく進めることができる。また、検
査作業は複数の表示装置で分担して進められることがで
き。

１ 検査処理能力を高めることができる。

更にまた、１人の観測者（検査員）には同一の観測点し
か見えないようにできるため、観測者は単一の判定基準
を頭に描いて検査すればよく、判定の効率が向上する。

また、同一の画面を複数の観測者に検査させることで、
観測者のミスによる誤判定を低減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例にかかる目視検査装置の構
成を示すブロック図、 第２図は、被検物のＬＳＩチップの目視検査位置を例示
した平面図。 第３図は、目視検査装置を用いて検査を行う場合の検査
スケジュールを示すタイムチャート、第４図は、本発明
にかかる目視検査装置の他の実施例の構成を示すブロッ
ク図である。 図中、１・・・ステージ、２・・・被検物、３・・・画
像入力装置、４・・・画像記憶装置、５・・表示装置、
６−・・制御装置、１０・・・ＬＳＩチップ、２４・・
分配先切替器、２５・・・画像記憶装置、２６・・・表
示装置。 １３ ２

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）検査対象を複数の観測画像として入力する画像入
   力装置と、該画像入力装置により入力した検査対象の複
   数の観測画像を記憶する画像記憶装置と、複数の表示装
   置と、画像記憶装置に記憶した複数の観測画像を観測者
   に適した状態の時刻、観測画面数、順序に編集して複数
   の表示装置に表示する制御装置とを備えることを特徴と
   する目視検査装置。