JPH03108239A - 電子ビームの光軸調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 この発明は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、電子ビーム
テスタ等の電子ビーム利用機器に好適な電子ビームの光
軸調整装置に関し、 走査範囲を逐次更新しつつその中で電子ビームを走査し
ながらビーム強度検出器の出力に基いて理想光軸位置を
捕捉し、これと一致するように電子ビーム軸を自動修正
するようにした電子ビームの光軸修正装置において、装
置運転開始時の初期走査範囲から理想光軸位置が逸脱し
、これにより理想光軸位置を見失うことを防止すること
を目的とし、 運転開始時にあっては前回運転時の光軸修正量を基準に
設定された初期走査範囲内において電子ビームの光軸を
自動走査しつつ理想光軸位置に配置されたビーム強度検
出器がピーク強度を検出するのに基いて最適光軸修正量
を求めて光軸修正を行う一方、運転開始から運転終了ま
での途中期間にあっては前回修正時の光軸修正量を基準
に設定された走査範囲内において電子ビームの光軸を自
動走査しつつ理想光軸位置に配置されたビーム強度検出
器がピーク強度を検出するのに基いて最適光軸修正量を
求めて光軸修正を行う動作を適当なタイミングで繰り返
す電子ビームの光軸調整装置において、前記運転開始時
に求められた最適光軸修正量を少なくとも次回の運転開
始時まで記憶保持させる開始時修正量記憶手段と、前記
運転開始時における初期走査範囲の設定を、前記記憶保
持されている前回運転開始時の最適光軸修正量を基準と
して行う初期走査範囲設定手段と、を備えて構成する。

〔産業上の利用分野〕

この発明は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、電子ビーム
テスタ等の電子ビーム利用機器に好適な電子ビームの光
軸調整装置に関する。

本出願人により先に提案された自動光軸調整装！（特願
昭６３−２０７３９７号）においては、走査範囲を逐次
更新しつつその中で電子ビームを走査しながらビーム強
度検出器の出力に基いて理想光軸位置を捕捉し、これと
一致するように電子ビーム軸を自動修正している。

このような自動光軸修正制御を円滑に行うためには、電
子ビーム利用機器の運転開始直後より初期走査範囲内に
おいて理想光軸位置が確実に捕捉されねばならない。

そのため、初期走査範囲の設定にあたっては理想光軸位
置が確実に含まれるように慎重な配慮が要望されている
。

〔従来の技術〕

本出願人は、先に、特願昭６３−２０７３９３号に斧い
て、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、電子ビームテスタ等
の電子ビーム利用機器に好適な電子ビームの光軸調整装
置を提案している。

この・装置においては、走査範囲を逐次更新しつつその
中で電子ビームを走査しながらビーム強度検出器（ファ
ラデーカップ等）の出力に基いて理想光軸位置を捕捉し
、これと一致するように電子ビーム軸を自動修正してい
る。

すなわち、運転開始時にあっては前回運転時の光軸修正
量を基準に設定されたチルト（光軸傾き量）及びシフト
（光軸平行移動量）の各初期走査範囲内において電子ビ
ームの光軸を自動走査しつつ理想光軸位置に配置された
ビーム強度検出器がピーク強度を検出するのに基いて最
適光軸修正量を求めて光軸修正を行う。

一方、運転開始から運転終了までの途中期間にあっては
前回修正時の光軸修正量を基準に設定されたチルト及び
シフトの各走査範囲内において電子ビームの光軸を自動
走査しつつ理想光軸位置に配置されたビーム強度検出器
がピーク強度を検出するのに基いて最適光軸修正量を求
めて光軸修正を行う動作を適当なタイミングで繰り返す
。

かかる先の提案の自動光軸修正装置によれば、装置運転
開始のたびにその都度手動により電子ビームの光軸修正
を行わざるを得なかった従来例に比べて運転開始をスム
ーズに行わせるせることができ、また運転開始後に電子
銃、電子レンズ、偏向コイル等の電子ビーム照射機構が
熱的安定状態に至る間における光軸のずれ、あるいは装
置内部の汚れに対する帯電による光軸ずれをも確実に修
正することができる。

ところで、このような自動光軸修正制御を円滑に行うた
めには、電子ビーム利用機器の運転開始直後より初期走
査範囲内において理想光軸位置が確実に捕捉されねばな
らない。

そこで、先の提案装置の場合には、第１０図に示される
方法により、初期走査範囲の設定を行つている。

尚、図はチルトに関する初期走査範囲の設定を示すもの
であり、座標（ＡＴＸ　　、、ＡＴＹ、、）−１ で示されるものは本日の運転開始時における光軸チルト
修正量、座標（ＡＴＸ　　　、ＡＴＶ　　　’１７−１
　　　　７−＋ で示されるものは前日の運転終了時における光軸チルト
修正量、ΔＡＴＸは一±Ｘ方向の走査幅（定数）、ΔＡ
ＴＹは±Ｙ力方向走査幅（定数）である。

図から明らかなように、先の提案装置の場合には、前日
の（前回のと同意）運転終了時における光軸チルト修正
量（ＡＴＹ　　　、ＡＴＶ　　　’）を７−１　　　　
７−１ 装置に記憶させておき、これを中心としかつＸ方向走査
幅（２×ΔＡＴＸ）及びＹ方向走査幅（２×ΔＡＴＹ）
の範囲として初期走査範囲を設定するようになっている
。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、第１１図に示されるように、光軸修正量
の値は電子銃、電子レンズ、偏向コイル等の電子ビーム
照射機構が熱的な安定状態に達する間において比較的大
きく変動する。

尚、第１１図（ａ）は昨日（ｙ）の光軸修正量の変動を
、また第１１図（ｂ）は本日（１）の光軸修正量の変動
をそれぞれ示すものであり、添字（−１）は運転開始時
の値を、また添字（−１）は運転終了時の値を示してい
る。

従って、第１０図に示されるように、本日の運転開始時
における光軸修正量の値（ＡＴＸ、、。

ＡＴＶ　　、）が前日の運転終了時における光軸修− 正量の値（ＡＴＸ　　　、ＡＴＶ　　　）から大きく１
−ｆｆ−！ 掛は離れていた場合には、図中破線の長方形で示される
本日の初期走査範囲内に本日の運転開始時における光軸
修正量の値（ＡＴＸ、、。

ＡＴＹ　　、）、すなわち理想光軸位置が含まれな（−
１ くなり、そのため理想光軸位置を見失いこれを捕捉でき
な（なる。

このようにして理想光軸位置を見失うと、再度初期走査
範囲を設定し直す等により理想光軸位置の捕捉に努める
こととなるが、これにはかなりの時間が掛り、甚だしき
場合には理想光軸位置が捕捉できなくなって、光軸修正
不能に陥ると言う問題点があった。

この発明は、上述の問題点に鑑みなされたものであり、
その目的とするところは走査範囲を逐次更新しつつその
中で電子ビームを走査しながらビーム強度検出器の出力
に基いて理想光軸位置を捕捉し、これと一致するように
電子ビーム軸を自動修正するようにした電子ビームの光
軸修正装置において、装置運転開始時の初期走査範囲か
ら理想光軸位置が逸脱し、これにより理想光軸位置を見
失うことを防止することにある。

〔発明が解決しようとする課題〕

第１図の原理説明図を参照しながら本発明の詳細な説明
する。

同図において、光軸修正量生成及び最適修正量検出手段
１００は、運転開始時にあっては前回運転時の光軸修正
量を基準に設定された初期走査範囲内において光軸修正
器１０２を制御して電子ビームの光軸１０１を自動走査
しつつ理想光軸１０３の位置に配置されたビーム強度検
出器１０４がピーク強度を検出するのに基いて最適光軸
修正量を求めて光軸修正を行う一方、運転開始から運転
終了までの途中期間にあっては前回修正時の光軸修正量
を基準に設定された走査範囲内において電子ビームの光
軸１０１を自動走査しつつ理想光軸１０３の位置に配置
されたビーム強度検出器１０４がピーク強度を検出する
のに基いて最適光軸修正量を求めて光軸修正を行う動作
を適当なタイミングで繰り返すものである。尚、図にお
いて、１０５は電子銃を示す。

以上の基本的な構成を基礎として、本発明では新たに次
のような構成要件を備えている。

すなわち、開始時修正量記憶手段１０６では、前記運転
開始時に求められた最適光軸修正量を少なくとも次回の
運転開始時まで記憶保持させるようになっている。

また、終了時修正量記憶手段１０７では、前記運転終了
時に求められている最適光軸修正量を少なくとも次回の
運転開始時まで記憶保持させるようになっている。

更に、初期走査範囲設定手段１０８では、前記運転開始
時における初期走査範囲の設定を、前記記憶保持されて
いる前回運転開始時の最適光軸修正量を基準として行う
ようになっている。

尚、初期走査範囲設定手段１０８では、前記記憶保持さ
れている前回運転開始時の最適光軸修正量を基準とし、
かつ前記記憶保持されている前回運転終了時の最適光軸
修正量との偏差を考慮して初期走査範囲の設定を行うこ
とが好ましい。

〔作用〕

このような構成によれば、初期走査範囲の設定は前記記
憶保持されている前回運転開始時の最適光軸修正量を基
準として行なわれる。

ここで、第１１図に示されるように、光軸修正量の変動
を昨日と本日とで比較すると、運転開始時と運転終了時
との間では１日のうちでも大差が見られるものの、運転
開始時だけに着目すれば昨日と本日とでは大差はみられ
ない。

従って、初期走査範囲の設定を前記記憶保持されている
「前回運転開始時」の最適光軸修正量を基準として行え
ば、運転開始時における理想光軸位置は必ず初期走査範
囲内に含まれることとなり、理想光軸位置を見失うこと
はなくなる。

また、この際、初期走査範囲の設定を、前記記憶保持さ
れている前回運転開始時の最適光軸修正量を基準とし、
かつ前記記憶保持されている前回運転終了時の最適光軸
修正量との偏差を考慮して行うようにすれば、前回の運
転終了時から今回の運転開始時までにあまり時間が経過
していない場合であっても、理想光軸位置を見失うこと
はなくなる。

更に、前回運転開始時の最適光軸修正量は逐次更新され
て行くから、装置内の汚れに対する帯電により徐々に光
軸がずれる場合にもこれによく追従することができる。

〔実施例〕

第２図は本発明を電子ビームテスタに応用した場合にお
ける実施例の全体構成を示す模式図である。

同図に示されるように、この電子ビームテスタは鏡胴部
１ａと試料室部１ｂとを有する真空チャンバ１を備えて
いる。

鏡胴部１ａ内の上部には、その発射方向を下方へ向けた
状態で電子銃２が取り付けられており、この電子銃の発
射方向前方には図示しないが電子レンズ、偏向コイル等
の電子ビーム照射機構が設けられている。

これら電子ビーム照射機構の更に前方（図では下方）に
は、上段コイル対３ａと下段コイル対３ｂとからなるビ
ーム軸修正器３が配置されており、このビーム軸修正器
３により後述するように、電子ビームのチルト修正及び
シフト修正が行われるようになっている。

上段コイル対３ａ及び下段コイル対３ｂは、それぞれ水
平面内において直交する２方向の磁界を発生させる一対
の電磁コイルで構成されており、これらのコイルは後述
するように、チルトモードとシフトモードとからなる２
種類のモードにより駆動されるようになっている。

これらのモードを概念的に説明すれば、チルトモードの
場合には上段コイル対３ａによる偏向量と下段コイル対
３ｂによる偏向量との差を操作して電子ビームのチルト
修正量を理想光軸のチルト修正量に一致させる動作が行
われ、シフトモードの場合には上段コイル対３ａによる
偏向量と下段コイル対３ｂによる偏向量との差を固定し
たまま両偏向量を操作して電子ビームのシフト修正量を
理想光軸のシフト修正量に一致させる動作が行われる。

今仮に、理想光軸をＰｌ、電子ビームの光軸をＰ２とし
て両者が完全に一致した状態を第３図（ａ）の状態とす
れば、光軸修正の過程においては、・先ず第３図（ｂ）
に示されるようにチルト修正のみが行われ、次いでその
チルト修正結果を基礎として第３図（Ｃ）に示されるよ
うにシフト修正が行われる。

鏡胴部１ａの下部において理想光軸の通過位置には、電
子ビーム強度検出器として機能するファラデーカップ４
が配置されており、このファラデーカップ４は図中矢印
５に示されるように、理想光軸位置に対して出没自在に
支持されており、電子ビームテスタの運転中は電子ビー
ムの通過を邪魔しない位置に退避可能となっている。

試料室部１ｂの底部には、テスト対象となるＬＳＩ製品
７を載置するためのステージ６が設けられており、ＬＳ
Ｉ製品７はこのステージ６上に充電部（テスト用パッド
等）を上向きにして取り付けられるようになっている。

また、ステージ６の上方には、図示しないが、ＬＳＩ製
品の充電部に対する電子ビーム照射により生じた二次電
子像を捕えるための機構が配置されている。

制御回路８は所謂マイクロコンピュータで構成されてお
り、電子ビームテスタにおける本来のテスト動作のほか
、本発明の要部である光軸修正動作を統括制御す−るも
のである。

以上の構成において本来のテスト動作中においては、電
子銃２から発射される電子ビームがＬＳＩ製品７の充電
部に照射され、その際に生じた二次電子像が観測される
ことにより、所謂電子ビームプロービングによるＬＳＩ
動作テストが行われる。

次に、第４図〜第９図を参照しながら光軸修正動作につ
いて詳細な説明を行う。

第４図に運転開始時における光軸修正処理のフローチャ
ートを示す。尚、このフローチャートは電子ビームテス
タの例えば運転開始スイッチの操作により、あるいは所
定の修正指令スイッチの操作等により自動的に起動され
る。

第４図の処理が開始されると、先ず検出器据付処理が実
行され、ファラデーカップ４は図示しない駆動機構の作
用により、理想光軸の通過位置へと自動的に運ばれ、そ
の位置に据え付けられ（ステップ４０１）、その後本発
明の要部である初期走査範囲設定処理への移行が行われ
る。

第５図に初期走査範囲設定処理のフローチャートを示す
。

同図に示されるように、初期走査範囲設定処理では、先
ず、後述する運転開始時の最適光軸修正量登録処理（第
４図ステップ４１０〜４１３）で記憶された昨日（前回
と同意）の運転開始時における光軸最適シフト量（ＡＴ
Ｘ　　、、ＡＴＹ　　、）Ｙ−Ｉ　　　　　　　　　　
　！− 及び光軸最適チルト量（ＡＳＸ　　、、ＡＳＹ　　、）
！−Ｉ　　　　　　　　　　　７− を本日（今回と同意）の運転開始時における光軸最適シ
フト量（ＡＴＸ　　、、ＡＴＶ　　、）及び光１−＋　
　　　　　　　　　　　ｔ−＋軸最適チルト量（ＡＳＸ
　　、、ＡＳＹ　　、）としｔ−＋　　　　　　　　　
　　１ て置き換えることにより、本日の運転開始時における光
軸最適修正量は前日の運転開始時における光軸最適修正
量と同一であるものとの推定を行う（ステップ５０１〜
５０４）。

尚、この推定の確かなことは、既に第１１図（ａ）、（
ｂ）を参照しながら説明した通りである。

次いで、このようにして推定される本日運転開始時の光
軸最適修正量（ＡＴＸ　　、、ＡＴＹ。

−１ ＡＳＸ　　、、ＡＳＹ　　、）と後述する運転終了時１
−１　　　　　　　　　　１−１ の最適光軸修正量登録処理（第８図ステップ８０１〜８
０４）で記憶された昨日（前回と同意）の運転終了時に
おける光軸最適修正量（ＡＴＸ　　　、ＡＴＹ　　　、
ＡＳＸ、、。

７−１　　　　７−＋ ＡＳＹ　　　）との偏差の絶対値に適当な定数に−１ （Ｋ≧１．０）を乗することにより、初期走査範囲Ａの
中心に対する走査幅（ΔＡＴＸ、ΔＡＴＹ。

ΔＡＳＸ、　　ΔＡＳＹ）をそれぞれ求める（ステップ
５０５〜５０８）。

次いで、このようにして求められたデータ（ＡＴＸ　　
、、ＡＴＶ　　、、ＡＳＸ、、。

７−Ｉ　　　　　　　　　　Ｆ−１ ＡＳＹ　　、及びΔＡＴＸ、ΔＡＴＹ、ΔＡＳＸ。

−１ ΔＡＳＹ）を用いて、第９図に示されるように、昨日の
運転開始時における光軸最適修正量ＡＴＸ　　、、ＡＴ
Ｖ　　、、ＡＳＸ、、。

マー１　　　　　　　　　７−１ ＡＳＹ、（実質的にＡＴＸ　　、、ＡＴＹｌ−、。

！−１１−１ ＡＳＸ　　、、ＡＳＹ　　、と同一）を中心とし、１−
１　　　　　　　　　　１−１ かつ走査幅（２×ΔＡＴＸ、２ＸＡＡＴＹ。

２×ΔＡＳＸ、２ＸΔＡＳＹ）の範囲を初期走査範囲Ａ
として決定しくステップ５０９）、以後実際の光軸最適
修正量を探査する処理（第４図ステップ４０３〜４０８
）へと移行する。

尚、第９図においては、説明の便宜上チルトＸ方向につ
いての初期走査範囲のみを示すが、シフトＸ方向の初期
走査範囲についても同様である。

この探査処理では、前記の手順で決定された初期走査範
囲Ａ内において電子ビームを走査しつつ、理想光軸位置
に配置されたビーム強度検出用のファラデーカップ４が
ピーク強度を検出するのに基いて光軸最適修正量を求め
る所謂ループ処理を、チルトＸＹ及びシフトＸＹのいず
れの方向についても検出されるピーク強度が一定値に集
束するまで繰り返す（ステップ４０３〜４０８）。

この際実行されるループ処理の内容は、走査方向がチル
トＸ方向、チルトＹ方向、シフトＸ方向、シフトＹ方向
と異なるだけで他は内容的には同一であるから、代表と
してチルトＸ方向のループ処理を第６図に示す。

チルトＸ方向のループ処理が開始されると、チルトＸ方
向の走査範囲初期値ＡＴＸ　　の設定処理（ステップ６
０１）、ビーム強度（ビーム電流ＥＢＩ）の測定処理（
ステップ６０２）及び最大ビーム強度（ＥＢＩｍａｘ）
の仮登録処理（ステップ６０３）をイニシャル処理とし
て実行した後、以後最大ビーム強度（ＥＢＩｍａｘ）及
びそのときの光軸チルト量（ＡＴＸｍａｘ）の探査処理
（ステップ６０４〜６１１）へと移行する。

この探査処理においては、光軸チルト量（Ａ　Ｔ　Ｘ）
を単位量（Δ）だけ増加する毎に（ステップ６０４）、
測定されるビーム強度（ＥＢＩ）をそれまでの最大ビー
ム強度（ＥＢＩｍａｘ）と比較しつつ（ステップ６０５
．６０６）、必要に応じて最大ビーム強度（ＥＢＩｍａ
ｘ）及びそのときの光軸チルト量（ＡＴＸ）を更新する
処理（ステップ６０７〜６０９）を、光軸チルト量（Ａ
　Ｔ　Ｘ）が最終値（ＡＴＸｅ）に達するまで繰り返す
（ステップ６１０）。

そして、光軸チルト量（ＡＴＸ）が初期走査範囲の最終
値（ＡＴＸｅ）に達したならば（ステップ６１０ＹＥＳ
）、その時点における最大ビーム強度の光軸チルト量（
ＡＴＸｍａｘ）を光軸最適チルト量として仮登録しくス
テップ６１１）、ＡＴＸループ処理（ステップ７０３）
を完了する。

以後、同様にして、ＡＴＶループ処理（ステップ７０４
）　、ＡＳＸループ処理（ステップ７０５）　、ＡＳＹ
ループ処理（ステップ７０６）が実行される毎に集束計
算が行われ（ステップ７０７）、チルトＸＹ及びシフト
ＸＹの各方向について最大ビーム強度が一定値に集束す
ることを条件として（ステップ４０８ＹＥＳ）、その時
点で仮登録されている各方向の光軸修正量（Ａ　Ｔ　Ｘ
。

ＡＴＶ、ＡＳＸ、ＡＳＹ）が最適光軸修正量として確定
する。

このようにして、最適光軸修正量が確定したならば（ス
テップ４０８ＹＥＳ）、テスト開始のために検出器除去
処理によりファラデーカップ４を理想光軸位置から退避
させた後（ステップ４０９）、本発明の要部である運転
開始時の最適光軸修正量登録処理（ステップ４１０〜４
１３）へと移行する。

この運転開始時の最適光軸修正量登録処理では、以上に
より求められた最適光軸修正量（Ａ　Ｔ　Ｘ。

ＡＴＹ、ＡＳＸ、ＡＳＹ）を昨日（前回と同意）の運転
開始時における最適光軸修正量（ＡＴＸ　　　・ＡＴＹ
　　　・ＡＳＸ。

７−１　　　　　　　　　　７−１ ＡＳＹ　　、）として登録する処理が行われ（ステ！− ツブ４１０〜４１３）、前述したように、これらの値は
次回の運転開始時における初期走査範囲設定処理（第４
図ステップ４０２）で利用される。

このようにして、第４図の処理が全て完了すると、電子
ビームテスタ本来の処理への復帰が行われ、ＬＳＩ製品
の電子ビームプロービングによるテストが行われる。

以後、電子ビームの光軸は運転時間の経過とともに電磁
コイルの熱による特性変化等により変位し、徐々に理想
光軸位置から外れて行くことになるが、この運転中の光
軸変位は第７図に示されるように、時間Ｔ毎に自動修正
される。

すなわち、運転開始後時間Ｔが経過する毎に、タイマ割
り込みによって第７図に示される光軸修正処理が行われ
る。

この運転開始後の光軸修正処理の内容は、光軸最適修正
量の登録処理（ステップ４１０〜４１３）が存在しない
こと及び走査範囲設定処理（ステップ７０２）が相違す
ることを除き、第４図に示される運転開始時の光軸修正
処理とほぼ同様である。

すなわち、この運転開始後の光軸修正処理における走査
範囲設定処理（ステップ７０２）では、前回修正時（運
転開始時または前回のタイマ割り込み時）の光軸最適修
正量（ＡＴＸ、ＡＴＹ。

ＡＳＸ、ＡＳＹ）を基準として走査範囲の再設定を行う
。

以後、この再設定後の走査範囲内において、電子ビーム
の光軸を自動走査しつつ理想光軸位置に配置されたビー
ム強度検出器がピーク強度を検出するのに基いて最適光
軸修正量を求めて光軸修正を行う（ステップ７０３〜７
０８）。

このようにして、運転中の光軸ずれが時間Ｔ毎に修正さ
れる結果、光軸最適修正量（ＡＴＸ。

ＡＴＹ、ＡＳＸ、ＡＳＹ）の値も時間とともに変動する
。

次いで、ＬＳＩテストが終了して電子ビームテスタの運
転終了操作を行うと、第８図に示されるように、本発明
の要部である運転終了時の修正量登録処理が行われる。

この運転終了時の修正量登録処理では、その時点で記憶
されている光軸最適修正量（ＡＴＸ、ＡＴ　Ｖ、　Ａ　
Ｓ　Ｘ、　　Ａ　Ｓ　Ｙ）を昨日（前回と同意）の運転
終了時における光軸最適修正量（ＡＴＸ、−、。

ＡＴＶ　　　、ＡＳＸ　　　、ＡＳＹ　　　）として登
７−Ｉ　　　　　　　　Ｙ−１７−＋ 録する処理が行われ（ステップ８０１〜８０４）、前述
したように、これらの値は次回の運転開始時における初
期走査範囲設定処理（第４図ステップ４０２）で利用さ
れる。

以上の実施例によれば、昨日（前回と同意）の運転開始
時における光軸最適修正量（ＡＴＸ　　、。

−１ ＡＴＶ　　、、ＡＳＸ　　、、ＡＳＹ　　、）を中心と
７−１　　　　　　　　　　７−１　　　　　　　　　
　７−１し、かつ走査幅（２ＸΔＡＴＸ、２ＸΔＡＴＹ
。

２×ΔＡＳＸ、２ｘΔＡＳＹ）の範囲を初期走査範囲Ａ
としているため（ステップ５０１〜５０９）、仮に前回
の運転終了時から今回の運転開始時までにあまり時間が
経過していない場合、すなわち電子ビームテスタが冷め
切っていない場合であっても、理想光軸位置は常に初期
走査範囲内に含まれることとなり、これにより運転開始
時に理想光軸位置を見失い光軸修正不能に陥る等の虞を
未然に防止することができる。

尚、以上の説明では前回の運転開始時における光軸最適
修正量それ自体を基準として初期走査範囲の設定を行っ
たが、前回の運転開始時における光軸最適修正量に対し
て特定の値を加減算した値を基準として初期走査範囲の
設定を行っても同様な作用効果を得ることができる。

〔発明の効果〕

以上の説明で明らかなように、この発明によれば走査範
囲を逐次更新しつつその中で電子ビームを走査しながら
ビーム強度検出器の出力に基いて理想光軸位置を捕捉し
、これと一致するように電子ビーム軸を自動修正するよ
うにした電子ビームの光軸修正装置において、装置運転
開始時の初期走査範囲内から理想光軸位置が逸脱し、こ
れにより理想光軸位置を見失なって光軸修正不能に陥る
等の虞を未然に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理説明図、 第２図は実施例の全体構成を示す模式図、第３図は光軸
修正原理を示す図、 第４図は運転開始時の光軸修正フローを示す図、第５図
は初期走査範囲の設定フローを示す図、第６図は光軸チ
ルト修正のループ処理フローを示す図、 第７図は運転開始後の光軸修正フローを示す図、第８図
は運転終了時の修正量登録フローを示す図、 第９図は本発明における初期走査範囲の例を示す図、 第１０図は従来法における初期走査範囲の例を示す図、 第１１図は光軸修正量の変動を昨日と本日とで比較して
示す図である。 １００・・・光軸修正量生成及び最適修正量検出手段 １０１・・・電子ビームの光軸 ２・・・光軸修正器 ３・・・理想光軸 ４・・・ビーム強度検出器 ５・・・電子銃 ６・・・開始時修正量記憶手段 ７・・・終了時修正量記憶手段 ８・・・初期走査範囲設定手段

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、運転開始時にあっては前回運転時の光軸修正量を基
   準に設定された初期走査範囲内において電子ビームの光
   軸（１０１）を自動走査しつつ理想光軸位置（１０３）
   に配置されたビーム強度検出器（１０４）がピーク強度
   を検出するのに基いて最適光軸修正量を求めて光軸修正
   を行う一方、運転開始から運転終了までの途中期間にあ
   っては前回修正時の光軸修正量を基準に設定された走査
   範囲内において電子ビームの光軸（１０１）を自動走査
   しつつ理想光軸位置（１０３）に配置されたビーム強度
   検出器（１０４）がピーク強度を検出するのに基いて最
   適光軸修正量を求めて光軸修正を行う動作を適当なタイ
   ミングで繰り返す電子ビームの光軸調整装置において、 前記運転開始時に求められた最適光軸修正量を少なくと
   も次回の運転開始時まで記憶保持させる開始時修正量記
   憶手段（１０６）と、 前記運転開始時における初期走査範囲（Ａ）の設定を、
   前記記憶保持されている前回運転開始時の最適光軸修正
   量（ＡＴＸ＿ｙ＿−＿ｉＡＴＹ＿ｙ＿−＿ｉ、ＡＳＸ＿
   ｙ＿−＿ｉ、ＡＳＹ＿ｙ＿−＿ｉ）を基準として行う初
   期走査範囲設定手段（１０８）と、 を具備することを特徴とする電子ビームの光軸調整装置
   。 ２、前記運転終了時に求められている最適光軸修正量を
   少なくとも次回の運転開始時まで記憶保持させる終了時
   修正量記憶手段（１０７）を設け、 前記初期走査範囲設定手段（１０８）では、前記記憶保
   持されている前回運転開始時の最適光軸修正量（ＡＴＸ
   ＿ｙ＿−＿ｉ、ＡＴＹ＿ｙ＿−＿ｉ、ＡＳＸ＿ｙ＿−＿
   ｉ、ＡＳＹ＿ｙ＿−＿ｉ）を基準とし、かつ前記記憶保
   持されている前回運転終了時の最適光軸修正量 （ＡＴＸ＿ｙ＿−＿ｆ、ＡＴＹ＿ｙ＿−＿ｆ、ＡＳＸ＿
   ｙ＿−＿ｆ、ＡＳＹ＿ｙ＿−＿ｆ）との偏差を考慮して
   初期走査範囲（Ａ）の設定を行うことを特徴とする請求
   項１記載の電子ビームの光軸調整装置。