JPH03107779A - Icテスタの計測用電源供給回路 - Google Patents
Icテスタの計測用電源供給回路Info
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- JPH03107779A JPH03107779A JP1244712A JP24471289A JPH03107779A JP H03107779 A JPH03107779 A JP H03107779A JP 1244712 A JP1244712 A JP 1244712A JP 24471289 A JP24471289 A JP 24471289A JP H03107779 A JPH03107779 A JP H03107779A
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、CUTの電流計測をする場合に、測定レン
ジのフルスケールよりも大きな過度電流が流れても、電
流クランプ領域に至らないように時間制御するとともに
、目的のレンジで精度よく電流計測ができるようにし、
さらに、任意の電流でクランプするという相反する動作
ができるICテスタの計測用電源供給回路についてのも
のである。
ジのフルスケールよりも大きな過度電流が流れても、電
流クランプ領域に至らないように時間制御するとともに
、目的のレンジで精度よく電流計測ができるようにし、
さらに、任意の電流でクランプするという相反する動作
ができるICテスタの計測用電源供給回路についてのも
のである。
[従来の技術]
次に、従来技術による構成図を第6図により説明する。
第6図のlはD/A変攬器、2と3は抵抗、4と5は演
算増幅器、6は電流リミッタ回路、7はレンジオーバー
検出回路、8は抵抗、9は電流検出回路、10はA /
D変換器、11はDUT、12はテストパターン発生
器である。
算増幅器、6は電流リミッタ回路、7はレンジオーバー
検出回路、8は抵抗、9は電流検出回路、10はA /
D変換器、11はDUT、12はテストパターン発生
器である。
抵抗2・3はDUTIIへの印加電圧V0を決定する電
圧設定用のレンジ抵抗、抵抗8は電流計測用のし〉・ジ
抵抗、電圧■1はD/A変換器1の出力、電圧■。は電
流検出回路9の出力、電流10はDUTIIに流れる電
流である。
圧設定用のレンジ抵抗、抵抗8は電流計測用のし〉・ジ
抵抗、電圧■1はD/A変換器1の出力、電圧■。は電
流検出回路9の出力、電流10はDUTIIに流れる電
流である。
また、レンジオーバー検出回路7の出力である信号Pと
信号Nは過電流であることを知らせるもので、それぞれ
電流10の流れる方向、すなわちフォース電流オーバー
またはシンク電流オーバーであることを示す。
信号Nは過電流であることを知らせるもので、それぞれ
電流10の流れる方向、すなわちフォース電流オーバー
またはシンク電流オーバーであることを示す。
次に、電流リミッタ回路6を第8図により説明する。
第8図の61は定電流源、62と63はトランジスタ、
64〜66は抵抗である。
64〜66は抵抗である。
定電流g61の電流をIs、I”ランジスタロ2のベー
ス・エミッタ間電圧をV□、抵抗64〜66の抵抗値を
それぞれR1、R2、R3、抵抗66を流れる電流をI
8とすると、第8図から次式が成立する。
ス・エミッタ間電圧をV□、抵抗64〜66の抵抗値を
それぞれR1、R2、R3、抵抗66を流れる電流をI
8とすると、第8図から次式が成立する。
VIlll= Ill XRt xR,/ (R1+R
2)・・・・・・・・・・・・・・・・−・・・・(1
)電圧V、gが約0.6VになるようなI。のとき、1
〜ランジスタロ2がオンとなり、電流クランプがかかる
。
2)・・・・・・・・・・・・・・・・−・・・・(1
)電圧V、gが約0.6VになるようなI。のとき、1
〜ランジスタロ2がオンとなり、電流クランプがかかる
。
そのときのトランジスタ63のベース電流I8は、次の
式(2)と式(3)を満たすように定まる。
式(2)と式(3)を満たすように定まる。
Ill =I6 X11rs+・・・・・・−・−・・
・・・・・・・・・・・・・・・・(2)I$=IC+
1.・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・(3)ここに、■。はトランジスタ62
のコレクタ電流、11t1はトランジスタ63の直流電
流増幅率である。
・・・・・・・・・・・・・・・・(2)I$=IC+
1.・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・(3)ここに、■。はトランジスタ62
のコレクタ電流、11t1はトランジスタ63の直流電
流増幅率である。
したがって、電流I8の値を制御するか、または電流I
Cを分流制御するか、またはトランジスタ62の電圧V
I1.を制御することによって、電流1、を制限すれば
、電流L!lを制限することができる。
Cを分流制御するか、またはトランジスタ62の電圧V
I1.を制御することによって、電流1、を制限すれば
、電流L!lを制限することができる。
次に、第8図の電流リミッタ回路6をP信号で制御する
回路の一例を第9図により説明する。
回路の一例を第9図により説明する。
第9図は第8図の要部だけを示したものであり、第8図
にトランジスタ67を追加したものである。
にトランジスタ67を追加したものである。
トランジスタ67は、トランジスタ62と等価な動きを
する。
する。
信号Pをトランジスタ67のベースに加えると、一定電
流である電流Isが1〜ランジスタロ7に分流し、抵抗
66を流れる電流IIIが制限される。
流である電流Isが1〜ランジスタロ7に分流し、抵抗
66を流れる電流IIIが制限される。
シンク電流オーバーを制御する信号Nについても、第8
図のようにコンプリメンタリ−回路となっているため、
シンク側の回路にトランジスタ67と同じ動作をするP
NPトランジスタを接続し、電流1.を制限させること
ができる。
図のようにコンプリメンタリ−回路となっているため、
シンク側の回路にトランジスタ67と同じ動作をするP
NPトランジスタを接続し、電流1.を制限させること
ができる。
信号Pと信号Nによって、電流リミッタ回路6が動作し
、電流クランプがかかる。
、電流クランプがかかる。
DUTIIに加えられる電圧V0は、
V O” R、、/ RA X V l・・・・・・
・・・・・・・・・・・・(4)であり、電圧■。は電
圧Vlを変えるが、または抵抗2の抵抗値RA、抵抗3
の抵抗値R8の比を電子スイッチ等で切換えることによ
って変えることができる。
・・・・・・・・・・・・(4)であり、電圧■。は電
圧Vlを変えるが、または抵抗2の抵抗値RA、抵抗3
の抵抗値R8の比を電子スイッチ等で切換えることによ
って変えることができる。
レンジオーバー検出回路7と電流検出回路9の入力端子
には共通に抵抗8が接続される。
には共通に抵抗8が接続される。
レンジオーバー検出回路7と電流検出回路9のそれぞれ
の入力端子に流れる電流は、電流10に対し無視できる
ように入力インピーダンスを高くしている。さらに、演
算増幅器4の子端子への電流も無視できる。
の入力端子に流れる電流は、電流10に対し無視できる
ように入力インピーダンスを高くしている。さらに、演
算増幅器4の子端子への電流も無視できる。
したがって、DLITLIに流れる電流10と抵抗8に
流れるzIK流は等しいので、DUTIIに流れる電流
10を測定するには、抵抗8の電圧降下り、XR,を測
定ずればよい。
流れるzIK流は等しいので、DUTIIに流れる電流
10を測定するには、抵抗8の電圧降下り、XR,を測
定ずればよい。
電流検出回路9は、i、XR,の電圧をA/D変換器1
0のフルスケール以内になるように変換する。すなわち
、電流検出回路9の出力電圧VCは、 ■。=K X I OX Rwr・・・・・−・・・・
・・・旧・・・・・・・・(5)ここに、K−増幅率 R,=既知の値を持つレンジ抵抗 この電圧■。をA/D変換することによって、電流10
を知ることができる。このとき、抵抗8の抵抗値R,が
一種類だけだと、電流10の値によってはオーバースケ
ールになるので、広範囲にわたる電流i。を測定できる
ように、抵抗8の抵抗値R,はリレーまたは電子スイッ
チ等で切換えて使えるように複数のレンジ抵抗を用意す
る。
0のフルスケール以内になるように変換する。すなわち
、電流検出回路9の出力電圧VCは、 ■。=K X I OX Rwr・・・・・−・・・・
・・・旧・・・・・・・・(5)ここに、K−増幅率 R,=既知の値を持つレンジ抵抗 この電圧■。をA/D変換することによって、電流10
を知ることができる。このとき、抵抗8の抵抗値R,が
一種類だけだと、電流10の値によってはオーバースケ
ールになるので、広範囲にわたる電流i。を測定できる
ように、抵抗8の抵抗値R,はリレーまたは電子スイッ
チ等で切換えて使えるように複数のレンジ抵抗を用意す
る。
また、レンジオーバー検出回路7はあるレンジ抵抗R,
を選択して測定したとき、レンジのフルスケールを越え
る電流10、すなわち式(5)からi、=Vc/ (K
xfl、)で示される電流以上が流れた場合、レンジオ
ーバー信号として信号Pまたは信号Nを出して電流リミ
ッタ回路6を動作させ、電流制限をする。
を選択して測定したとき、レンジのフルスケールを越え
る電流10、すなわち式(5)からi、=Vc/ (K
xfl、)で示される電流以上が流れた場合、レンジオ
ーバー信号として信号Pまたは信号Nを出して電流リミ
ッタ回路6を動作させ、電流制限をする。
[発明が解決しようとする課題]
第6図によれば、DLITIIのスタティックな直流電
流を測定することができる。しかし、メモリIC等の試
験では、DUTIIの他の端子にパターン発生器12か
らのパルス信号を加えた状態で、DUTIIの電流を測
定する。
流を測定することができる。しかし、メモリIC等の試
験では、DUTIIの他の端子にパターン発生器12か
らのパルス信号を加えた状態で、DUTIIの電流を測
定する。
DUTIIがCMO9等の場合は、テストパターンの変
化点で急激な電流変化がおき、目的としている測定レン
ジの数倍のパルス状の過渡電流が流れる。
化点で急激な電流変化がおき、目的としている測定レン
ジの数倍のパルス状の過渡電流が流れる。
次に、第6図の過渡電流の波形図を第7図ににり説明す
る。
る。
第7図は、電流10の変化を時間軸上で拡大1−で図式
化したものである。
化したものである。
第7図の測定電流imの場合は、測定レンジ21の範囲
内なので、測定レンジ21を選択して測定する。しかし
、過渡電流i。はレンジ21の範囲を越えてしまうので
、斜線部分の電流は第6図の電流リミッタ回路6でクラ
ンプされてしまい、DUTllに必要な電流を供給でき
なくなる。
内なので、測定レンジ21を選択して測定する。しかし
、過渡電流i。はレンジ21の範囲を越えてしまうので
、斜線部分の電流は第6図の電流リミッタ回路6でクラ
ンプされてしまい、DUTllに必要な電流を供給でき
なくなる。
逆に、過渡電流値をカバーできる測定レンジ22を選択
して測定すると、大きな測定レンジ22で低いレベルを
測定することになり、精度よく測定することができない
という問題がある。
して測定すると、大きな測定レンジ22で低いレベルを
測定することになり、精度よく測定することができない
という問題がある。
さらに、電流リミッタ回路6が動作するのは、レンジオ
ーバー検出回路7が動作したとき、すなわち、測定レン
ジの範囲を越える電流10が流れたときだけであり、測
定レンジ以内の任意の電流が流れたときは電流制限動作
に入るという要求に対応することができないという問題
がある。
ーバー検出回路7が動作したとき、すなわち、測定レン
ジの範囲を越える電流10が流れたときだけであり、測
定レンジ以内の任意の電流が流れたときは電流制限動作
に入るという要求に対応することができないという問題
がある。
この発明は、測定レンジを越えるパルス状の過渡電流が
流れても、フラング動作領域に入らないようにし、目的
の測定レンジで精度よく測定するICテスタの計測用電
源供給回路の提供を目的とする。
流れても、フラング動作領域に入らないようにし、目的
の測定レンジで精度よく測定するICテスタの計測用電
源供給回路の提供を目的とする。
また、測定レンジ以内であっても任意の電流値でDUT
llに流れる電流に制限を加えるという相反する要求を
どちらも解決する回路の提供を目的とする。
llに流れる電流に制限を加えるという相反する要求を
どちらも解決する回路の提供を目的とする。
[課題を解決するための手段]
この目的を達成するために、この発明では、電源の出力
電流に制限を加える電流リミッタ回路6と、電流リミッ
タ回路6の出力に直列に接続される抵抗8と、抵抗8に
流れる電流を検出して電圧に変換する電流検出回路9と
、電流検出口I!P19の出力電圧を平均化する不完全
積分器14と、不完全積分器14の入力電圧または出力
電圧を切り換えて取り出す切換器13と、切換器13の
出力を接続するAl1)変換器10と、不完全積分器1
4の出力電圧を第1の基準電圧P、、、と比較する第1
の比較器15と、第1の基準電圧P r*Eと極性が反
転した第2の基準電圧N1.、で不完全積分器14の出
力電圧を比較する第2の比較器16とを備え、抵抗8に
流れる電流をDUTIIに加え、第1の比較器15の出
力信号Pと第2の比較器16の出力信号Nで電流リミッ
タ回路6を制御する。
電流に制限を加える電流リミッタ回路6と、電流リミッ
タ回路6の出力に直列に接続される抵抗8と、抵抗8に
流れる電流を検出して電圧に変換する電流検出回路9と
、電流検出口I!P19の出力電圧を平均化する不完全
積分器14と、不完全積分器14の入力電圧または出力
電圧を切り換えて取り出す切換器13と、切換器13の
出力を接続するAl1)変換器10と、不完全積分器1
4の出力電圧を第1の基準電圧P、、、と比較する第1
の比較器15と、第1の基準電圧P r*Eと極性が反
転した第2の基準電圧N1.、で不完全積分器14の出
力電圧を比較する第2の比較器16とを備え、抵抗8に
流れる電流をDUTIIに加え、第1の比較器15の出
力信号Pと第2の比較器16の出力信号Nで電流リミッ
タ回路6を制御する。
次に、この発明によるICテスタの計測用電源供給回路
の構成図を第1図により説明する。
の構成図を第1図により説明する。
第1図の13は切換器、14は積分時定数がプログラマ
ブルな不完全積分器、15と16は比較器、17は反転
増幅器、18はD/A変換器であり、その他の部分は第
6図と同じものである。
ブルな不完全積分器、15と16は比較器、17は反転
増幅器、18はD/A変換器であり、その他の部分は第
6図と同じものである。
すなわち、第1図は第6図からレンジオーバー検出回路
7をとり、第6図に切換器13〜D/A変換器18を追
加したものである。
7をとり、第6図に切換器13〜D/A変換器18を追
加したものである。
電流検出回路9の出力は、不完全積分器14に入り、不
完全積分器14の出力は比較器15・16に入る。
完全積分器14の出力は比較器15・16に入る。
また、切換器13は、不完全積分器14の入力電圧また
は出力電圧を切り換えて取り出し、切換器13の出力は
A/D変換器10に接続される。
は出力電圧を切り換えて取り出し、切換器13の出力は
A/D変換器10に接続される。
D/A変換器18の出力は比較器15・16の基準電圧
となり、比較器16には反転増幅器17を介して供給さ
れる。
となり、比較器16には反転増幅器17を介して供給さ
れる。
比較器15の出力は信号Pとして電流リミッタ回路6に
加えられ、比較器16の出力は信号Nとして電流リミッ
タ回路6に加えられる。
加えられ、比較器16の出力は信号Nとして電流リミッ
タ回路6に加えられる。
[(e Jn ]
次に、不完全積分器14の動作を第2図と第3図を参照
して説明する。
して説明する。
第2図は、RCによる積分回路の例であり、入力電圧V
、のとき出力電圧VJである。
、のとき出力電圧VJである。
第3図は第2図の充放電波形図であり、CRが小さいと
きは曲線19になり、CRが大きいときは曲線20にな
る。
きは曲線19になり、CRが大きいときは曲線20にな
る。
電圧VCを不完全積分器14で積分したときの不完全積
分器14の出力電圧■、は、第2図と第3図のように変
化し、第4図の電圧■、の波形となる。
分器14の出力電圧■、は、第2図と第3図のように変
化し、第4図の電圧■、の波形となる。
不完全積分器14は、−次遅れ系の伝達関数をもち、第
2図に示すCR回路と等価である。第2図の入力に測定
しようとしている電流10と比例しているパルス状の電
圧■。を入力した場合の出力応答V、は第3図のように
変化する。
2図に示すCR回路と等価である。第2図の入力に測定
しようとしている電流10と比例しているパルス状の電
圧■。を入力した場合の出力応答V、は第3図のように
変化する。
入力電圧■。をCに充電しているときは、V1=Vc
(1−ε−”” ) −−−−・・・・−−−−−−
−(6)また、放電しているときは、 V、=Vc・ε−1/C″・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・(7)であり、よく知られた充
放電式で表される。
(1−ε−”” ) −−−−・・・・−−−−−−
−(6)また、放電しているときは、 V、=Vc・ε−1/C″・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・(7)であり、よく知られた充
放電式で表される。
ここで、第3図の電圧■。が存在する期間T以内に電圧
V、が電圧■。(7)最大値に達しないような時定数C
Rを選ぶ。
V、が電圧■。(7)最大値に達しないような時定数C
Rを選ぶ。
すなわち、VJ/VC<1、t=Tとして式(6)また
は式(7)からCRを決め、第4図で示すように測定レ
ンジ23以内になるように積分する。
は式(7)からCRを決め、第4図で示すように測定レ
ンジ23以内になるように積分する。
比較器15・16はそれぞれ電流10の流れる方向、す
なわちDUTIIに流れ込むフォース電流とDUTII
から吸い込むシンク電流のオーバー検出用として動作す
る。
なわちDUTIIに流れ込むフォース電流とDUTII
から吸い込むシンク電流のオーバー検出用として動作す
る。
比較器15の基準電圧P ratと、比較器16の基準
電圧N ratは、D/A変換器18から供給され、電
流測定レンジのフルスケールに等しいか、またはそれ以
下の値に設定される。比較器16の基1(11電圧N
ratは、反転増幅器17で基準電圧P retの極性
と反転した値となっている。
電圧N ratは、D/A変換器18から供給され、電
流測定レンジのフルスケールに等しいか、またはそれ以
下の値に設定される。比較器16の基1(11電圧N
ratは、反転増幅器17で基準電圧P retの極性
と反転した値となっている。
比較器15の出力電圧は信号Pとして電流リミッタ回路
6に加えられ、比較器16の出力電圧は信号Nとして電
流リミッタ回路6に加えられる。
6に加えられ、比較器16の出力電圧は信号Nとして電
流リミッタ回路6に加えられる。
電流検出回路9の出力電圧■。は、式(5)の関係で測
定する電流10に比例しており、第4図の電圧VCの波
形となる。
定する電流10に比例しており、第4図の電圧VCの波
形となる。
電圧■。の波形は、電流10の方向がDUTllに流れ
込むフォーシング電流のときを示し、第7図の電流10
と同様であり、電流10と読み替えても差しつかえない
。
込むフォーシング電流のときを示し、第7図の電流10
と同様であり、電流10と読み替えても差しつかえない
。
電圧vJは測定レンジ23の範囲内になるような時定数
CRで制御されており、あらかじめ設定されている比較
器15の基準電圧P、@f、すなわち第4図のレベル2
4まで達しない、したがって、比較器15・16は動作
せず、レンジオーバーの信号P・信号Nは出てこないの
で、電流リミッタ回路6も動作せず、DUTIIに必要
な電流が供給できる。
CRで制御されており、あらかじめ設定されている比較
器15の基準電圧P、@f、すなわち第4図のレベル2
4まで達しない、したがって、比較器15・16は動作
せず、レンジオーバーの信号P・信号Nは出てこないの
で、電流リミッタ回路6も動作せず、DUTIIに必要
な電流が供給できる。
第4図のように、測定レンジ23を越えるようなパルス
電流が流れても、その電流が供給できる上位のレンジか
ら測定電流レベルi、に最適なレンジに切換えることな
く、初めから目的のレンジで精度よく測定することがで
きる。このときは、切換器13は端子a側にして、電圧
■。をA/Dコンバータ10に接続しておく。
電流が流れても、その電流が供給できる上位のレンジか
ら測定電流レベルi、に最適なレンジに切換えることな
く、初めから目的のレンジで精度よく測定することがで
きる。このときは、切換器13は端子a側にして、電圧
■。をA/Dコンバータ10に接続しておく。
電流方向が違うシンク電流測定の場合は、電圧■cと電
圧V、の極性が反転し、コンパレータ16によって同じ
ような動作となる。
圧V、の極性が反転し、コンパレータ16によって同じ
ような動作となる。
次に、測定レンジ以内の任意の電流値でDUTllに流
れ込む、または吸い込む電流を制限したいときがあり、
このような場合は、コンパレータ15の基準電圧Pre
lsまたはコンパレータ16の基準電圧N refを第
4図のレベル24からレベル25まで下げることによっ
て電圧■、の斜線部をオーバー領域として検出すること
ができ、電流制限をすることができる。
れ込む、または吸い込む電流を制限したいときがあり、
このような場合は、コンパレータ15の基準電圧Pre
lsまたはコンパレータ16の基準電圧N refを第
4図のレベル24からレベル25まで下げることによっ
て電圧■、の斜線部をオーバー領域として検出すること
ができ、電流制限をすることができる。
さらに、第1図の回路によれば、第5図に示すようなパ
ルス電流を含めた平均電流の測定ができる。第5図のよ
うなパルス電流10が流れた場合、不完全積分器14に
よるパルス電流の充電時の電圧出力V、のT、経過後の
電圧をec、またecから放電時の゛r2経過後の電圧
をed、リップル電圧をe、とすると、式(6)から、 ec = e+ (1−e−” /C” ) ・==
=−=A81式(1)から、 e a =e c・ε−Tit /CR・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・(9)の関係が得られ、
リップル電圧e、は。
ルス電流を含めた平均電流の測定ができる。第5図のよ
うなパルス電流10が流れた場合、不完全積分器14に
よるパルス電流の充電時の電圧出力V、のT、経過後の
電圧をec、またecから放電時の゛r2経過後の電圧
をed、リップル電圧をe、とすると、式(6)から、 ec = e+ (1−e−” /C” ) ・==
=−=A81式(1)から、 e a =e c・ε−Tit /CR・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・(9)の関係が得られ、
リップル電圧e、は。
e、=eカーe、・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・(10)となり、パルス電流の継
続時間と許容できる平均電流のリップル電圧で不完全積
分器14の積分時定数CRを決定し、切換器13を端子
す開に切換え、不完全積分器14の出力電圧VJt−A
/D変換器10に接続することで電流10の平均を測定
することができる。
・・・・・・・・・・(10)となり、パルス電流の継
続時間と許容できる平均電流のリップル電圧で不完全積
分器14の積分時定数CRを決定し、切換器13を端子
す開に切換え、不完全積分器14の出力電圧VJt−A
/D変換器10に接続することで電流10の平均を測定
することができる。
また、第1図の比較器15の基準電圧P refと比較
器16の基準電圧N refは不完全積分器14の精分
出力■□より大きな極性の違うレベルにD/A変換器1
8で設定する。
器16の基準電圧N refは不完全積分器14の精分
出力■□より大きな極性の違うレベルにD/A変換器1
8で設定する。
このような状態では比較器15・16は動作せず、電流
リミッタ回路6を駆動する信号Pと信号Nは出てこない
。
リミッタ回路6を駆動する信号Pと信号Nは出てこない
。
[発明の効果]
この発明によれば、負荷電流を測定する場合、測定しよ
うとする電流の数倍、または測定レンジを越えるような
パルス状の過渡電流が流れても電流クランプがかからず
、さらに測定レンジを変更することなく測定電流のレベ
ルに最適なレンジを使用し精度よく測定することができ
る。
うとする電流の数倍、または測定レンジを越えるような
パルス状の過渡電流が流れても電流クランプがかからず
、さらに測定レンジを変更することなく測定電流のレベ
ルに最適なレンジを使用し精度よく測定することができ
る。
逆に、測定レンジ以内の任意の電流以上負荷には流れな
いように電流クランプをかけ、負荷電流に制限をかける
ことができる。
いように電流クランプをかけ、負荷電流に制限をかける
ことができる。
さらに、パルス電流の平均値を測定することができる。
第1図はこの発明によるICテスタの計測用電源供給回
路、°第2図と第3図は第1図の不完全積分器14の動
作説明図、第4図と第5図は第1図の動作説明用波形図
、第6図は従来技術による構成図、第7図は第6図の過
渡電流の波形図、第8図は電流リミッタ回路6の動作説
明図、第9図は第8図の電流リミッタ回路6をP信号で
制御する回路の一例を示す図である。 1・・・・・・D/A変換器、2・・・・・・抵抗、3
・・・・・・抵抗、4・・・・・・演算増幅器、5・・
・・・・演算増幅器、6・・・・・・電流リミッタ回路
、7・・・・・・レンジオーバー検出回路、8・・・・
・・抵抗、9・・・・・・電流検出回路、10・・・・
・−A/D変換器、11・・・・・・DUT、12・・
・・・・テストパターン発生器、13・・・・・・切換
器、14・・・・−・不完全精分器、15・・・・・・
比較器、16・・・・・・比較器、17・・・・・・反
転増幅器、18・・・・・・D/A変換器。 第 図 第 図 第 図 第 4 図 第 図
路、°第2図と第3図は第1図の不完全積分器14の動
作説明図、第4図と第5図は第1図の動作説明用波形図
、第6図は従来技術による構成図、第7図は第6図の過
渡電流の波形図、第8図は電流リミッタ回路6の動作説
明図、第9図は第8図の電流リミッタ回路6をP信号で
制御する回路の一例を示す図である。 1・・・・・・D/A変換器、2・・・・・・抵抗、3
・・・・・・抵抗、4・・・・・・演算増幅器、5・・
・・・・演算増幅器、6・・・・・・電流リミッタ回路
、7・・・・・・レンジオーバー検出回路、8・・・・
・・抵抗、9・・・・・・電流検出回路、10・・・・
・−A/D変換器、11・・・・・・DUT、12・・
・・・・テストパターン発生器、13・・・・・・切換
器、14・・・・−・不完全精分器、15・・・・・・
比較器、16・・・・・・比較器、17・・・・・・反
転増幅器、18・・・・・・D/A変換器。 第 図 第 図 第 図 第 4 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、電源の出力電流に制限を加える電流リミッタ回路(
6)と、 電流リミッタ回路(6)の出力に直列に接続される抵抗
(8)と、 抵抗(8)に流れる電流を検出して電圧に変換する電流
検出回路(9)と、 電流検出回路(9)の出力電圧を平均化する不完全積分
器(14)と、 不完全積分器(14)の入力電圧と出力電圧を切り換え
て取り出す切換器(13)と、 切換器(13)の出力を接続するA/D変換器(10)
と、 第1の基準電圧と不完全積分器(14)の出力電圧を比
較する第1の比較器(15)と、極性が第1の基準電圧
に対し反対の第2の基準電圧と不完全積分器(14)の
出力電圧を比較する第2の比較器(16)とを備え、 抵抗(8)に流れる電流をDUT(11)に加え、第1
の比較器(15)の出力信号Pと第2の比較器(16)
の出力信号Nで電流リミッタ回路(6)を制御すること
を特徴とするICテスタの計測用電源供給回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1244712A JPH0782065B2 (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | Icテスタの計測用電源供給回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1244712A JPH0782065B2 (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | Icテスタの計測用電源供給回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03107779A true JPH03107779A (ja) | 1991-05-08 |
JPH0782065B2 JPH0782065B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=17122797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1244712A Expired - Lifetime JPH0782065B2 (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | Icテスタの計測用電源供給回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0782065B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10059142B4 (de) * | 1999-11-30 | 2004-05-19 | Ando Electric Co., Ltd., Kawasaki | Strombegrenzungsapparat |
JP2006300728A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出用回路及び光検出器 |
JP2008298467A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Imv Corp | 基板検査装置 |
JP2019527981A (ja) * | 2016-08-02 | 2019-10-03 | アペックス マイクロテクノロジー インコーポレイテッドApex Microtechnology,Inc. | 選択可能な電流リミッタ回路 |
-
1989
- 1989-09-20 JP JP1244712A patent/JPH0782065B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10059142B4 (de) * | 1999-11-30 | 2004-05-19 | Ando Electric Co., Ltd., Kawasaki | Strombegrenzungsapparat |
JP2006300728A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出用回路及び光検出器 |
JP2008298467A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Imv Corp | 基板検査装置 |
JP2019527981A (ja) * | 2016-08-02 | 2019-10-03 | アペックス マイクロテクノロジー インコーポレイテッドApex Microtechnology,Inc. | 選択可能な電流リミッタ回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0782065B2 (ja) | 1995-09-06 |
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