JPH03106455A - 窒化珪素質のポット - Google Patents
窒化珪素質のポットInfo
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- JPH03106455A JPH03106455A JP1240859A JP24085989A JPH03106455A JP H03106455 A JPH03106455 A JP H03106455A JP 1240859 A JP1240859 A JP 1240859A JP 24085989 A JP24085989 A JP 24085989A JP H03106455 A JPH03106455 A JP H03106455A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Crushing And Grinding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利川分野］
本発明は、例えば高品位のセラミックス微粉の製造に際
して、粉砕に用いるボットミルに関する。
して、粉砕に用いるボットミルに関する。
［従来の技術］
第１図は，例えば高品位のセラミックス微粉の製造に用
いられているポットミルの例を示す図である．ポットミ
ルはポット１とボール２と回転架台３で構成されている
。ポットｌ内にボール２と被粉砕物６とを神人し、蓋ｌ
′を閉めて，矢印４方向に回転、している回転架台３（
３’）上に、例えば横向きに載れすると、ポットｌが回
転して被粉砕物６はポットＩの内壁やボール２によって
打たれて，微粉となる。
いられているポットミルの例を示す図である．ポットミ
ルはポット１とボール２と回転架台３で構成されている
。ポットｌ内にボール２と被粉砕物６とを神人し、蓋ｌ
′を閉めて，矢印４方向に回転、している回転架台３（
３’）上に、例えば横向きに載れすると、ポットｌが回
転して被粉砕物６はポットＩの内壁やボール２によって
打たれて，微粉となる。
例えば高品位のセラミックス微粉のｌｌ造では、アルミ
ナ製や窒化珪素製のポットやボールが使用されている。
ナ製や窒化珪素製のポットやボールが使用されている。
アルミナ製や室化珪素製のボールは、例えば静水圧成形
を用いて製造すると，緻密質で耐摩耗性のよいものが得
られる。一方アルミナ製や窒化珪素製のポットは，寸法
が大きくまた形状が複雑なため，泥漿成形法で製造され
る事が多い。
を用いて製造すると，緻密質で耐摩耗性のよいものが得
られる。一方アルミナ製や窒化珪素製のポットは，寸法
が大きくまた形状が複雑なため，泥漿成形法で製造され
る事が多い。
しかし泥凝戒形法で製造した、従来のアルミナ製や窒化
珪素製のポットは、使用中の摩耗量が大きく、また衝撃
で内面に欠け疵や剥落疵が発生し易いという問題点があ
った。
珪素製のポットは、使用中の摩耗量が大きく、また衝撃
で内面に欠け疵や剥落疵が発生し易いという問題点があ
った。
特願平１−１１０３７８号は，複合セラミックス製品に
関する発明で、本願出願人が行った特許出願である．本
発明者等は，特願平１−１１０３７８号の複合セラミッ
クスを更に研究した結果，耐摩耗性が優れかつ衝撃にも
強い本発明のポットを発明するに至った。
関する発明で、本願出願人が行った特許出願である．本
発明者等は，特願平１−１１０３７８号の複合セラミッ
クスを更に研究した結果，耐摩耗性が優れかつ衝撃にも
強い本発明のポットを発明するに至った。
［発明が解決しようとする課題］
即ち本発明は、常圧で成形、焼結して製造するポットで
、かつ耐摩耗性や衝撃靭性に優れたポットを提偶するも
のである。
、かつ耐摩耗性や衝撃靭性に優れたポットを提偶するも
のである。
本発明のポットは、常圧で成形．焼結して製造するため
，例えばホットプレス法や旧Ｐ法に比べて，簡易な設備
でかつ安価にｍ造する事ができる．また耐摩耗性や衝撃
靭性が優れているため、長期間に亘って使用する事がで
きる。
，例えばホットプレス法や旧Ｐ法に比べて，簡易な設備
でかつ安価にｍ造する事ができる．また耐摩耗性や衝撃
靭性が優れているため、長期間に亘って使用する事がで
きる。
ｃｉａｗｉを解決するための手段および作用］本発明は
、相対密度が９０％以上で，マトリックスが窒化珪素の
，セラミックスのポットである．窒化珪素質のセラミッ
クスは，炭化珪素質のセラミックスよりも衝撃靭性が優
れている．またアルミナ質のセラミックスよりも耐摩耗
性が優れている．従って室化珪索質のセラミックス製の
ポットは，炭化珪素貿やアルミナ質のポットに比べて，
衝撃靭性と耐摩耗性の両特性を兼ね備えている．しかし
相対密度が９０％未満では、窒化珪素質のポットは緻密
度が不十分で，使用中に欠け疵や剥落疵が発生し易く，
またボール２や被粉砕物６と擦れ合うと摩耗し易い．従
って本発明のポットの相対密度は９０％以上とする。
、相対密度が９０％以上で，マトリックスが窒化珪素の
，セラミックスのポットである．窒化珪素質のセラミッ
クスは，炭化珪素質のセラミックスよりも衝撃靭性が優
れている．またアルミナ質のセラミックスよりも耐摩耗
性が優れている．従って室化珪索質のセラミックス製の
ポットは，炭化珪素貿やアルミナ質のポットに比べて，
衝撃靭性と耐摩耗性の両特性を兼ね備えている．しかし
相対密度が９０％未満では、窒化珪素質のポットは緻密
度が不十分で，使用中に欠け疵や剥落疵が発生し易く，
またボール２や被粉砕物６と擦れ合うと摩耗し易い．従
って本発明のポットの相対密度は９０％以上とする。
本発明では，窒化珪素質のポットの衝撃靭性や耐摩耗性
を更に向上させるために，炭化珪素のウィスカ一を室化
珪索のマトリックス中に分散し複合せしめる。炭化珪素
のウィスカーは極めて高強度で，例えば１０〜２０重量
％を窒化珪素のマトリックス中に分散複合せしめると，
ポットの靭性や耐摩耗姓は大幅に向上する．炭化珪素の
ウィスカ一としては、例えば直径が０．１〜１μで長さ
が５〜１００μの炭化珪素の短繊維が使用できる。
を更に向上させるために，炭化珪素のウィスカ一を室化
珪索のマトリックス中に分散し複合せしめる。炭化珪素
のウィスカーは極めて高強度で，例えば１０〜２０重量
％を窒化珪素のマトリックス中に分散複合せしめると，
ポットの靭性や耐摩耗姓は大幅に向上する．炭化珪素の
ウィスカ一としては、例えば直径が０．１〜１μで長さ
が５〜１００μの炭化珪素の短繊維が使用できる。
本発明では．窒化珪素質のポットの衝撃靭性や耐冷耗性
を、更に一躬向上させるために、分敗し複合せしめた炭
化珪素のウィスカ一の向きを制御する。本発明では、炭
化珪素のウィスカーは、ポットの内面から外面に至る全
肉厚に亘って、ポットの内面と略平行にかつ２次元にラ
ンダｔ１な向きに分散して、室化珪素のマトリックス中
に配されている．第２図はウィスカーの向きを説明する
図で，第２図（Ａ）は観察部位を説明する図、第２図（
ｌ】）は第２図（Ａ）のａ１ｂ１Ｃ１ｄ．断面の拡大説
明図、第２図（Ｃ）は第２図（Ａ）の８２ ｂ！ ｃ，
ｄｌ１面を展開拡大した説明図である．本発明のポッ
トにおいては、炭化珪素のウィスカ−７は，第２図（Ｂ
）に見られる如く、ポットの内面から外面に至る全肉ノ
リに丘ってポットの内面と略平行にマトリックス８中に
配向されている．また第２図（Ｃ）に見られる如く，ウ
ィスカ−７は２次元にはランダムな向きに分散して、窒
化珪素のマトリックス８中に配されている． 本発明ではポットの内面では、第２図（Ｃ）の如く、炭
化珪素のウィスカ−７が２次元にランダムに分布して，
網状の骨格を形威している．ボール２や被粉砕物６はこ
の網状の骨格と擦れ合うが、網状の骨格は硬質で摩耗し
難い炭化珪素のウィスカ−７で形成されているため，窒
化珪素のマトリックス８を保護して、ボール２や被粉砕
物６との擦れ合いによる摩耗を防止している．また炭化
珪素のウィスカ−７は脆いが、靭性に優れた窒化珪素の
マトリックス８が，炭化珪素のウイスカ−７が損傷しあ
るいは剥落することがないように支持しているために，
ボール２や被粉砕物６がポットの内壁に繰返し打ちつけ
られても、ポットの内面には欠け疵や剥落疵が発生し難
い。
を、更に一躬向上させるために、分敗し複合せしめた炭
化珪素のウィスカ一の向きを制御する。本発明では、炭
化珪素のウィスカーは、ポットの内面から外面に至る全
肉厚に亘って、ポットの内面と略平行にかつ２次元にラ
ンダｔ１な向きに分散して、室化珪素のマトリックス中
に配されている．第２図はウィスカーの向きを説明する
図で，第２図（Ａ）は観察部位を説明する図、第２図（
ｌ】）は第２図（Ａ）のａ１ｂ１Ｃ１ｄ．断面の拡大説
明図、第２図（Ｃ）は第２図（Ａ）の８２ ｂ！ ｃ，
ｄｌ１面を展開拡大した説明図である．本発明のポッ
トにおいては、炭化珪素のウィスカ−７は，第２図（Ｂ
）に見られる如く、ポットの内面から外面に至る全肉ノ
リに丘ってポットの内面と略平行にマトリックス８中に
配向されている．また第２図（Ｃ）に見られる如く，ウ
ィスカ−７は２次元にはランダムな向きに分散して、窒
化珪素のマトリックス８中に配されている． 本発明ではポットの内面では、第２図（Ｃ）の如く、炭
化珪素のウィスカ−７が２次元にランダムに分布して，
網状の骨格を形威している．ボール２や被粉砕物６はこ
の網状の骨格と擦れ合うが、網状の骨格は硬質で摩耗し
難い炭化珪素のウィスカ−７で形成されているため，窒
化珪素のマトリックス８を保護して、ボール２や被粉砕
物６との擦れ合いによる摩耗を防止している．また炭化
珪素のウィスカ−７は脆いが、靭性に優れた窒化珪素の
マトリックス８が，炭化珪素のウイスカ−７が損傷しあ
るいは剥落することがないように支持しているために，
ボール２や被粉砕物６がポットの内壁に繰返し打ちつけ
られても、ポットの内面には欠け疵や剥落疵が発生し難
い。
本発明のポットの製造方法の例を以下に説明する．本発
明では平均粒径が約１μの窒化珪素粉と、窒化珪素粉の
１０〜２０重量％の直径が約１μで長さが約１００μの
炭化珪素ウィスカーと、窒化珪素粉の約１５重斌％のコ
ージェライト系焼結助剤とを、分散剤を加えた水と混練
して、粘度が３．０ポイズ以下の泥漿とする．本発明で
泥漿の粘度とはＪＩＳＺ ８８０９による粘度計校正用
標準液で校正された，回転型粘度計で測定した粘度をい
う。泥漿の粘度は、例えば窒化珪素粉の粒度や分散媒の
添加量やＰｌ＋を調整して３．０ポイズ以下とする．粘
度を３．０ボイズ以下に調整した泥漿は、石膏型に注入
し、着肉せしめ、残余の泥Ｊｌｌｌｔを徘泥して相対密
度が６０％以上のグリーン成形体とする．このグリーン
或形体では、炭化珪素のウィスカーは、グリーン成形体
の内面から外面に至る全肉厚に豆って，グリーン或形体
の内面と略平行にかつ２次元にランダムに配向して分散
されている。このグリーン成形体は乾燥し更に焼結する
が，グリーン或形体の相対密度が６０％以上で密度が高
いために，焼結して得られるポットの密度も相対密度で
９０％以上で、緻密なセラミックスのポットとなる。ま
た焼結に際してはウィスカ一の配向が変わらないため，
焼結して得られたポットに分散されているウィスカーは
、ポットの内面から外面に肇る全肉厚に亘って、第２図
ＣＢ）の如くにポットの内面と略平行に，かつ第２図（
Ｃ）の如くに２次元にランダムに配向して分散されてい
る． 本発明者等の知見によると，例えば粘度が１０ポイズの
泥漿を用いると、ウィスカーは２次元にランダムに配向
しないため第２図の如くには配向されないで，３次元に
ランダムな向きに配向したグリーン成形体となるが、炭
化珪素のウィスカ一を３次元にランダムな向きに配向さ
せると，相対密度が６０％以上のグリーン成形体が得ら
れない．第３図はウィスカ一が３次元にランダムな向き
に配向した例を示す図である．゜ ウィスカ一が３次元にランダムな向きに配向し，密度が
６０％未満のグリーン成形体は，焼結しても相対密度が
９０％以上の維密質なポットとはならないし，また焼結
に際してはウィスカ一の配向が変わらないため、焼結し
て得られたポットに分散されているウィスカーは、ポッ
トの内而と３次元にランダムな向きに配向されて、耐摩
耗性や靭性の改舛効果が少ない． また粘度が３ボイズ以上の例えば約５ポイズの泥漿を用
いると、グリーン成形体の相対密度が６０％以上で、ま
たウィスカ一の配向が一見したところ第２図と同様のポ
ットが得られる。しかし粘度が約５ボイズの泥漿を用い
て製造したこのポットは、グリーン成形体を焼成する際
の肉厚方向の収縮にばらつきが大きく，焼成後の複合セ
ラミックスには多数のミクロクランクが観察される．こ
の多数のミクロクラックが発生したポットは、耐摩耗性
や靭性が不十分である． 本発明で，粘度が３．０ポイズ以下の泥漿で製造した相
対密度が６０％以上のグリーン戒形体は、例えば１気圧
の室素雰囲気炉中で１７００℃で３時間焼成するが、焼
成に際しては肉厚方向の収縮が均一でミクロクラックの
発生が防止されている．以上の工程を経て、相対密度が
９０％以上で，かつ炭化珪素のウィスカ一が窒化珪素の
マトリックスにポットの内面から外面に菓る全肉厚に亘
ってポットの内而と略平行に，例えばポットの内面との
傾斜が３０度以下に配向されかつ２次元にランダムな向
きに分敗して複合され、更にミクロクラックの発生が防
止されたポットが得られるが，このポットは十分な耐摩
耗性と靭性を備えている。
明では平均粒径が約１μの窒化珪素粉と、窒化珪素粉の
１０〜２０重量％の直径が約１μで長さが約１００μの
炭化珪素ウィスカーと、窒化珪素粉の約１５重斌％のコ
ージェライト系焼結助剤とを、分散剤を加えた水と混練
して、粘度が３．０ポイズ以下の泥漿とする．本発明で
泥漿の粘度とはＪＩＳＺ ８８０９による粘度計校正用
標準液で校正された，回転型粘度計で測定した粘度をい
う。泥漿の粘度は、例えば窒化珪素粉の粒度や分散媒の
添加量やＰｌ＋を調整して３．０ポイズ以下とする．粘
度を３．０ボイズ以下に調整した泥漿は、石膏型に注入
し、着肉せしめ、残余の泥Ｊｌｌｌｔを徘泥して相対密
度が６０％以上のグリーン成形体とする．このグリーン
或形体では、炭化珪素のウィスカーは、グリーン成形体
の内面から外面に至る全肉厚に豆って，グリーン或形体
の内面と略平行にかつ２次元にランダムに配向して分散
されている。このグリーン成形体は乾燥し更に焼結する
が，グリーン或形体の相対密度が６０％以上で密度が高
いために，焼結して得られるポットの密度も相対密度で
９０％以上で、緻密なセラミックスのポットとなる。ま
た焼結に際してはウィスカ一の配向が変わらないため，
焼結して得られたポットに分散されているウィスカーは
、ポットの内面から外面に肇る全肉厚に亘って、第２図
ＣＢ）の如くにポットの内面と略平行に，かつ第２図（
Ｃ）の如くに２次元にランダムに配向して分散されてい
る． 本発明者等の知見によると，例えば粘度が１０ポイズの
泥漿を用いると、ウィスカーは２次元にランダムに配向
しないため第２図の如くには配向されないで，３次元に
ランダムな向きに配向したグリーン成形体となるが、炭
化珪素のウィスカ一を３次元にランダムな向きに配向さ
せると，相対密度が６０％以上のグリーン成形体が得ら
れない．第３図はウィスカ一が３次元にランダムな向き
に配向した例を示す図である．゜ ウィスカ一が３次元にランダムな向きに配向し，密度が
６０％未満のグリーン成形体は，焼結しても相対密度が
９０％以上の維密質なポットとはならないし，また焼結
に際してはウィスカ一の配向が変わらないため、焼結し
て得られたポットに分散されているウィスカーは、ポッ
トの内而と３次元にランダムな向きに配向されて、耐摩
耗性や靭性の改舛効果が少ない． また粘度が３ボイズ以上の例えば約５ポイズの泥漿を用
いると、グリーン成形体の相対密度が６０％以上で、ま
たウィスカ一の配向が一見したところ第２図と同様のポ
ットが得られる。しかし粘度が約５ボイズの泥漿を用い
て製造したこのポットは、グリーン成形体を焼成する際
の肉厚方向の収縮にばらつきが大きく，焼成後の複合セ
ラミックスには多数のミクロクランクが観察される．こ
の多数のミクロクラックが発生したポットは、耐摩耗性
や靭性が不十分である． 本発明で，粘度が３．０ポイズ以下の泥漿で製造した相
対密度が６０％以上のグリーン戒形体は、例えば１気圧
の室素雰囲気炉中で１７００℃で３時間焼成するが、焼
成に際しては肉厚方向の収縮が均一でミクロクラックの
発生が防止されている．以上の工程を経て、相対密度が
９０％以上で，かつ炭化珪素のウィスカ一が窒化珪素の
マトリックスにポットの内面から外面に菓る全肉厚に亘
ってポットの内而と略平行に，例えばポットの内面との
傾斜が３０度以下に配向されかつ２次元にランダムな向
きに分敗して複合され、更にミクロクラックの発生が防
止されたポットが得られるが，このポットは十分な耐摩
耗性と靭性を備えている。
［実施例］
１）本発明者等は、第ｌ表に示したＮｏｌ〜Ｎｏ４のポ
ットを作成した．各ポットは何れも内径７０ｍｌｌ＊円
筒部高さ１１０ｍｓ＋である。高強度の室化珪素ボール
（直径１０ｏ＋ｍ）を各ポットにそれぞれ２００個宛装
入し，１００ｒｐｍで５００時間同転させた．その後ポ
ット内の内容物を全量取り出して，使用前のポットの重
量から使用後のポットの重量を差し引きして、第１表に
摩耗量として示した． 第ｌ表でＮｏｌは本発明の，窒化珪素に炭化珪素のウィ
スカーを配したポットであるが、使用した泥漿の粘度を
３．０ポイズ以下としたため、ウィスヵーはポットの内
面に略平行にがっ２次元にランダムに配向して分散複合
され，また焼結密度は９６％で緻′ＩＰｉ質であった．
第１表の摩耗址の欄にみられる如く、このポットの耐摩
耗性は，比較例であるＮｏ２〜Ｎｏ４に比べて顕著に優
れていた．第１表でＮｏ２は、窒化珪素に炭化珪素のウ
ィスヵ一を配したポットであるが，粘度の高い泥漿を用
いたために、ウィスヵーは３次元にランダムに配向し、
焼結密度も低い．このために摩耗量はＮｏｌに比べて大
きい． 第１表でＮｏ３は、従来の室化珪素質ポットと同質であ
るが，摩耗量は本発明のＮｏｌに比べて大きい．第１表
でＮｏ４は，従来のアルミナ質ボットと同質であるが，
摩耗量は矢張り大きい．以上の如く、第 ｌ 表 ●ｌ：コージェライト系助剤 ●２ ： Ｓ １０オ系助剤 本発明のポットであるＮｏｌは、耐摩耗性が極めて優れ
ていた． ２）本発明者等は、第１表のＮｏｌ， Ｎｏ３， Ｎｏ
４と同じポットで使用前のものを、縦↓こ２分割し，ポ
ットの内面を測定面としてその耐摩耗性と．ＷＲＩＦ！
靭性を調べた．第２表でＮｏｌｌは本発明のポットで第
１表のＮｏｌに相応する．またＮｏｌ３はウィスカ一を
複合しない従来の例で，第１表のＮｏ３に相応する．ま
たＮｏｌ４はアルミナ質のポットの例で，第１表のＮｏ
４に相応する．第２表で耐摩耗性は硬質の窒化珪素のビ
ンをポットの軸方向に移動するビンオンディスク法によ
るもので、アルミナ試験片を１００とした場合の相対値
を示した。第２表で衝撃靭性は、直径２５一ｍのアルミ
ナ質ボールを落下させる測定方法による結果である． 第２表にみられる如く、本発明のＮｏｌｌは、Ｎｏｌ３
やＮｏｌ４に比べて、耐摩耗性も衝撃靭性も極めて優れ
ていた。
ットを作成した．各ポットは何れも内径７０ｍｌｌ＊円
筒部高さ１１０ｍｓ＋である。高強度の室化珪素ボール
（直径１０ｏ＋ｍ）を各ポットにそれぞれ２００個宛装
入し，１００ｒｐｍで５００時間同転させた．その後ポ
ット内の内容物を全量取り出して，使用前のポットの重
量から使用後のポットの重量を差し引きして、第１表に
摩耗量として示した． 第ｌ表でＮｏｌは本発明の，窒化珪素に炭化珪素のウィ
スカーを配したポットであるが、使用した泥漿の粘度を
３．０ポイズ以下としたため、ウィスヵーはポットの内
面に略平行にがっ２次元にランダムに配向して分散複合
され，また焼結密度は９６％で緻′ＩＰｉ質であった．
第１表の摩耗址の欄にみられる如く、このポットの耐摩
耗性は，比較例であるＮｏ２〜Ｎｏ４に比べて顕著に優
れていた．第１表でＮｏ２は、窒化珪素に炭化珪素のウ
ィスヵ一を配したポットであるが，粘度の高い泥漿を用
いたために、ウィスヵーは３次元にランダムに配向し、
焼結密度も低い．このために摩耗量はＮｏｌに比べて大
きい． 第１表でＮｏ３は、従来の室化珪素質ポットと同質であ
るが，摩耗量は本発明のＮｏｌに比べて大きい．第１表
でＮｏ４は，従来のアルミナ質ボットと同質であるが，
摩耗量は矢張り大きい．以上の如く、第 ｌ 表 ●ｌ：コージェライト系助剤 ●２ ： Ｓ １０オ系助剤 本発明のポットであるＮｏｌは、耐摩耗性が極めて優れ
ていた． ２）本発明者等は、第１表のＮｏｌ， Ｎｏ３， Ｎｏ
４と同じポットで使用前のものを、縦↓こ２分割し，ポ
ットの内面を測定面としてその耐摩耗性と．ＷＲＩＦ！
靭性を調べた．第２表でＮｏｌｌは本発明のポットで第
１表のＮｏｌに相応する．またＮｏｌ３はウィスカ一を
複合しない従来の例で，第１表のＮｏ３に相応する．ま
たＮｏｌ４はアルミナ質のポットの例で，第１表のＮｏ
４に相応する．第２表で耐摩耗性は硬質の窒化珪素のビ
ンをポットの軸方向に移動するビンオンディスク法によ
るもので、アルミナ試験片を１００とした場合の相対値
を示した。第２表で衝撃靭性は、直径２５一ｍのアルミ
ナ質ボールを落下させる測定方法による結果である． 第２表にみられる如く、本発明のＮｏｌｌは、Ｎｏｌ３
やＮｏｌ４に比べて、耐摩耗性も衝撃靭性も極めて優れ
ていた。
第 ２ 表
●２：ＳｉＯ２系助剤
【発明の効果］
本発明のポットは、従来のセラミックス製のポットに比
べて耐摩耗性と衝撃靭性に優れているため、本発明のポ
ットを用いて，例えば高品位のセラミックス微粉を製造
すると，ポットの寿命が長く，また不純物の含有量が少
ない高品位のセラミックス微粉が得られる． 本発明のポットは泥漿訪込法で製造するため，形状が複
維であっても，簡易な設備で安価に製造する事ができる
．
べて耐摩耗性と衝撃靭性に優れているため、本発明のポ
ットを用いて，例えば高品位のセラミックス微粉を製造
すると，ポットの寿命が長く，また不純物の含有量が少
ない高品位のセラミックス微粉が得られる． 本発明のポットは泥漿訪込法で製造するため，形状が複
維であっても，簡易な設備で安価に製造する事ができる
．
第１図は，高品位のセラミックス微粉の製造に用いられ
ているポットミルの例を示す図、第２図は，本発明のポ
ットにおけるウイスカ一の向きを説明する図、 第３図は，ウィスカ一が３次元にランダムに配向した例
の説明図 である． 第１図 （Ａ） （Ｂ） （Ｃ）
ているポットミルの例を示す図、第２図は，本発明のポ
ットにおけるウイスカ一の向きを説明する図、 第３図は，ウィスカ一が３次元にランダムに配向した例
の説明図 である． 第１図 （Ａ） （Ｂ） （Ｃ）
Claims (1)
- 相対密度が９０％以上で、かつ炭化珪素のウィスカー
を窒化珪素のマトリックスにポットの内面から外面に至
る全肉厚に亘ってポットの内面と略平行にかつ２次元に
ランダムな向きに分散複合せしめたポットであって、粘
度が３．０ポイズ以下の泥漿を用いて常圧で成形、焼結
されていることを特徴とする窒化珪素質のポット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1240859A JPH03106455A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 窒化珪素質のポット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1240859A JPH03106455A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 窒化珪素質のポット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03106455A true JPH03106455A (ja) | 1991-05-07 |
Family
ID=17065772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1240859A Pending JPH03106455A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 窒化珪素質のポット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03106455A (ja) |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP1240859A patent/JPH03106455A/ja active Pending
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