JPH03104900U - - Google Patents

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JPH03104900U
JPH03104900U JP1059590U JP1059590U JPH03104900U JP H03104900 U JPH03104900 U JP H03104900U JP 1059590 U JP1059590 U JP 1059590U JP 1059590 U JP1059590 U JP 1059590U JP H03104900 U JPH03104900 U JP H03104900U
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electron beam
irradiation
treated
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chamber
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例である電子線照射装
置の概略断面図、第２図はその装置におけるター
ミナルの概略断面図、第３図は本実施例の電子線
照射装置を用いて、シート状の被処理物Ａに電子
線を照射する場合の概略構成図、第４図は本実施
例の変形例を示す図、第５図は従来の電子線照射
装置の概略断面図、第６図はその装置におけるタ
ーミナルの概略断面図、第７図は４組のフイラメ
ントとガン構造体を設けたその装置の概略断面図
、第８図は２つの加速管を並行に設けたその装置
の概略断面図である。 １……フイラメント、２……ガン構造体、３ａ
，３ｂ……グリツド、４ａ，４ｂ……開口部、１
０……電子線発生部、１１……ターミナル、１２
……加速管、２０……照射室、２１……照射空間
、３０……照射窓部、３１ａ，３１ｂ……窓箔、
３２……窓枠構造体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. カーテン状の電子線を発生する電子線発生部と
    、被処理物に前記電子線を照射する照射室と、前
    記電子線発生部内の真空雰囲気と前記照射室内の
    不活性雰囲気とを仕切ると共に電子線を前記照射
    室内に取り出す照射窓部とを有する電子線照射装
    置において、前記照射窓部を複数個設け、前記電
    子線発生部内の電子線が複数の前記照射窓部を介
    して前記照射室内の被処理物に照射されるように
    構成したことを特徴とする電子線照射装置。
JP1059590U 1990-02-07 1990-02-07 Pending JPH03104900U (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006220125A (ja) * 2005-02-14 2006-08-24 Maruzen Electric Co Ltd ファン付照明装置
JP2007051996A (ja) * 2005-08-19 2007-03-01 Ngk Insulators Ltd 電子線照射装置
WO2012101823A1 (ja) * 2011-01-28 2012-08-02 三菱電機株式会社 サーキュレータ

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