JPS6437686U - - Google Patents

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JPS6437686U
JPS6437686U JP13098087U JP13098087U JPS6437686U JP S6437686 U JPS6437686 U JP S6437686U JP 13098087 U JP13098087 U JP 13098087U JP 13098087 U JP13098087 U JP 13098087U JP S6437686 U JPS6437686 U JP S6437686U
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Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の電子計数装置における電子検
出部の一実施例を示した断面図、第2,3図は第
1図の実施例による計測状態の説明図、第4図は
従来例を示した説明図である。 1:電子検出部、2:試料、3:光ビーム、4
:光源装置、6:試料台、10:検出部本体、1
1:外カバー、12:蓋、13:回路収納部、1
4,15:絶縁部材、16:陽極、17:陽極ロ
ツド、18:絶縁チユーブ、19:外部電極筒、
20:トツプカバー、22:ビス、22:カソー
ド電極筒、23:検出窓、24:第1のグリツド
電極、25:第2のグリツド電極。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 試料に光を照射し、該試料から放出される電子
    を電子検出部先端の検出窓から導入して電子数を
    計数する電子計数装置に於いて、 前記電子検出部の先端を円錐形に絞り込むと共
    に、該円錐絞り込み部を構成する絶縁部材を接地
    接続したことを特徴とする電子計数装置。
JP13098087U 1987-08-28 1987-08-28 Expired - Lifetime JPH0526549Y2 (ja)

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JP13098087U JPH0526549Y2 (ja) 1987-08-28 1987-08-28

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Publication Number Publication Date
JPS6437686U true JPS6437686U (ja) 1989-03-07
JPH0526549Y2 JPH0526549Y2 (ja) 1993-07-05

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ID=31386628

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JPH0526549Y2 (ja) 1993-07-05

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