JPS6437686U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6437686U JPS6437686U JP13098087U JP13098087U JPS6437686U JP S6437686 U JPS6437686 U JP S6437686U JP 13098087 U JP13098087 U JP 13098087U JP 13098087 U JP13098087 U JP 13098087U JP S6437686 U JPS6437686 U JP S6437686U
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- JP
- Japan
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- conical
- sample
- detection unit
- tip
- counting device
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第1図は本考案の電子計数装置における電子検
出部の一実施例を示した断面図、第2,3図は第
1図の実施例による計測状態の説明図、第4図は
従来例を示した説明図である。 1:電子検出部、2:試料、3:光ビーム、4
:光源装置、6:試料台、10:検出部本体、1
1:外カバー、12:蓋、13:回路収納部、1
4,15:絶縁部材、16:陽極、17:陽極ロ
ツド、18:絶縁チユーブ、19:外部電極筒、
20:トツプカバー、22:ビス、22:カソー
ド電極筒、23:検出窓、24:第1のグリツド
電極、25:第2のグリツド電極。
出部の一実施例を示した断面図、第2,3図は第
1図の実施例による計測状態の説明図、第4図は
従来例を示した説明図である。 1:電子検出部、2:試料、3:光ビーム、4
:光源装置、6:試料台、10:検出部本体、1
1:外カバー、12:蓋、13:回路収納部、1
4,15:絶縁部材、16:陽極、17:陽極ロ
ツド、18:絶縁チユーブ、19:外部電極筒、
20:トツプカバー、22:ビス、22:カソー
ド電極筒、23:検出窓、24:第1のグリツド
電極、25:第2のグリツド電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 試料に光を照射し、該試料から放出される電子
を電子検出部先端の検出窓から導入して電子数を
計数する電子計数装置に於いて、 前記電子検出部の先端を円錐形に絞り込むと共
に、該円錐絞り込み部を構成する絶縁部材を接地
接続したことを特徴とする電子計数装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13098087U JPH0526549Y2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13098087U JPH0526549Y2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6437686U true JPS6437686U (ja) | 1989-03-07 |
JPH0526549Y2 JPH0526549Y2 (ja) | 1993-07-05 |
Family
ID=31386628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13098087U Expired - Lifetime JPH0526549Y2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0526549Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-08-28 JP JP13098087U patent/JPH0526549Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0526549Y2 (ja) | 1993-07-05 |
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