JPH03104409A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
弾性表面波デバイスInfo
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- JPH03104409A JPH03104409A JP24087089A JP24087089A JPH03104409A JP H03104409 A JPH03104409 A JP H03104409A JP 24087089 A JP24087089 A JP 24087089A JP 24087089 A JP24087089 A JP 24087089A JP H03104409 A JPH03104409 A JP H03104409A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3421—Leaded components
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
概要
伝送装置のタイミング波抽出用フィルタ等に用いられる
弾性表面波デバイスに関し、 回路基板に実装したときに特性変化を生じることがなく
、しかも、上記実装が容易な弾性表面波デバイスの提供
を目的とし、 圧電結晶からなるチップ上にトランスデューサと外部接
続用のリード電極とを形成し、上記チップのトランスデ
ンーサ及びリード電極が形成された面に上記チップと同
一素材からなるキャップを上記リード電極の端部が露出
するように密封剤を用いて封着し、上記リード電極の露
出端部のそれぞれに、回路基板に半田付け固定するため
の弾性変形可能な金属リードを固着して構戒する。
弾性表面波デバイスに関し、 回路基板に実装したときに特性変化を生じることがなく
、しかも、上記実装が容易な弾性表面波デバイスの提供
を目的とし、 圧電結晶からなるチップ上にトランスデューサと外部接
続用のリード電極とを形成し、上記チップのトランスデ
ンーサ及びリード電極が形成された面に上記チップと同
一素材からなるキャップを上記リード電極の端部が露出
するように密封剤を用いて封着し、上記リード電極の露
出端部のそれぞれに、回路基板に半田付け固定するため
の弾性変形可能な金属リードを固着して構戒する。
産業上の利用分野
本発明は伝送装置のタイミング波抽出用フィルタ等に用
いられる弾性表面波デバイスに関する。
いられる弾性表面波デバイスに関する。
弾性表面波デバイスは、例えば高速伝送装置におけるタ
イミング波抽出用フィルタやバンドバスフィルタを実現
するために使用される。この種の弾性表面波デバイスは
、弾性表面波を伝播する圧電結晶からなるチップを備え
、このチップの固有振動を積極的に利用して、フィルタ
機能等が生じるようにされているので、弾性表面波デバ
イスを実装するに際しては、チップの固有振動が阻害さ
れないように格別の注意を要する。
イミング波抽出用フィルタやバンドバスフィルタを実現
するために使用される。この種の弾性表面波デバイスは
、弾性表面波を伝播する圧電結晶からなるチップを備え
、このチップの固有振動を積極的に利用して、フィルタ
機能等が生じるようにされているので、弾性表面波デバ
イスを実装するに際しては、チップの固有振動が阻害さ
れないように格別の注意を要する。
従来の技術
第5図は弾性表面波デバイスの一例(弾性表面波フィル
タ)を示す図である。弾性表面波素子4は水晶等の圧電
結晶からなるチップ1の表面にそれぞれ一対の櫛形状の
電極をインターディジタル状に組み合わせて入力側の正
規形インターディジタルトランスデューサ(舅下rI
DTJという。)2と出力側のIDT3とを形成して構
或されている。人力側のIDT2から電気信号を入力す
ると、電極の間隔等に応じた弾性表面波が発生し、チッ
プ1の表面を伝搬して出力側のIDT3に到達し、ここ
で再び電気信号に変換される。この場合、電極パターン
の設計を工夫することにより、電気信号から音響信号へ
変換するとき、あるいはその逆変換のとき任意のフィル
タ特性とすることができる。
タ)を示す図である。弾性表面波素子4は水晶等の圧電
結晶からなるチップ1の表面にそれぞれ一対の櫛形状の
電極をインターディジタル状に組み合わせて入力側の正
規形インターディジタルトランスデューサ(舅下rI
DTJという。)2と出力側のIDT3とを形成して構
或されている。人力側のIDT2から電気信号を入力す
ると、電極の間隔等に応じた弾性表面波が発生し、チッ
プ1の表面を伝搬して出力側のIDT3に到達し、ここ
で再び電気信号に変換される。この場合、電極パターン
の設計を工夫することにより、電気信号から音響信号へ
変換するとき、あるいはその逆変換のとき任意のフィル
タ特性とすることができる。
このような弾性表面波素子4は、チップ1の表面を弾性
表面波が伝搬するため、その表面の状況、例えば、ゴミ
、湿気等の付着に敏感に影響し、素子特性が変化する。
表面波が伝搬するため、その表面の状況、例えば、ゴミ
、湿気等の付着に敏感に影響し、素子特性が変化する。
このため、弾性表面波素子4は、図に示すようにベース
5に搭載され、外部接続端子6ヘリード線7で接続した
のち、キャップ8で密封される。
5に搭載され、外部接続端子6ヘリード線7で接続した
のち、キャップ8で密封される。
然し、上記密封構造であると、高周波化を実現しようと
する場合、リード線7の浮遊インダクタンスや外部接続
端子6の浮遊容量の影響が大きくなり、周波数特性が劣
化する。また、気密容器にガラス封止した外部接続端子
を設ける必要があるので、機能部分である圧電チップの
大きさに対して気密容器が大きくなる。
する場合、リード線7の浮遊インダクタンスや外部接続
端子6の浮遊容量の影響が大きくなり、周波数特性が劣
化する。また、気密容器にガラス封止した外部接続端子
を設ける必要があるので、機能部分である圧電チップの
大きさに対して気密容器が大きくなる。
そこで、周波数特性が良好で、且つ、小型化に適した弾
性表面波デバイスとして、第6図に示したような構造の
ものが開発された。同図(a)は弾性表面波デバイスの
分解斜視図、同図(b)はそのIDT長手方向に沿った
断面図である、この改良された弾性表面波デバイスは、
圧電結晶からなるチップ10上にIDT12.13と外
部接続用のリード電極14とを一体に形成し、チップ1
0のIDT12.18及びリード電極14が形戊された
面にチップ10と同一素材からなるキャップ4を外リー
ド電極14が部分的に露出するように密封剤15を用い
て封着して構或されている。
性表面波デバイスとして、第6図に示したような構造の
ものが開発された。同図(a)は弾性表面波デバイスの
分解斜視図、同図(b)はそのIDT長手方向に沿った
断面図である、この改良された弾性表面波デバイスは、
圧電結晶からなるチップ10上にIDT12.13と外
部接続用のリード電極14とを一体に形成し、チップ1
0のIDT12.18及びリード電極14が形戊された
面にチップ10と同一素材からなるキャップ4を外リー
ド電極14が部分的に露出するように密封剤15を用い
て封着して構或されている。
発明が解決しようとする課題
第6図に示した改良された従来の弾性表面波デバイスを
回路基板に実装するに際して、その固有振動を利用する
チップ10を直接回路基板に固着したり、或いは、外部
接続用のリード電極14をチップの底面側にまで延設し
て通常のりフロー法により半田付け実装したりすると、
チップの線熱膨張係数と回路基板の線熱膨張係数との間
に無視することができない差があることから、この弾性
表面波デバイスを実装してなる回路装僧の使用中の温度
変化によりチップに弾性的な歪みが生じ、この弾性表面
波デバイスの周波数特性等の特性が変化するという問題
が生じる。
回路基板に実装するに際して、その固有振動を利用する
チップ10を直接回路基板に固着したり、或いは、外部
接続用のリード電極14をチップの底面側にまで延設し
て通常のりフロー法により半田付け実装したりすると、
チップの線熱膨張係数と回路基板の線熱膨張係数との間
に無視することができない差があることから、この弾性
表面波デバイスを実装してなる回路装僧の使用中の温度
変化によりチップに弾性的な歪みが生じ、この弾性表面
波デバイスの周波数特性等の特性が変化するという問題
が生じる。
この問題に対して従来は第7図に示すようにして対処し
ていた。同図(a)に示す実装方法では、チップ10を
回路基板16に固着するに際して、接着剤をチップ10
の底面全面に塗布せずに、その一方の縁邪にのみ接着剤
17を塗布しておくようにし、リード電極についてはボ
ンディングヮイヤ18により回路基板16の導体パター
ンに電気的に接続する。この実装方法によると、線熱膨
張係数差に起因する歪みがチップ1oの一部にだけしか
生じないので、使用中の特性変化は生じにくいが、部分
的に塗布された接着剤17は、回路基板16へのチップ
10の押付力の大きさによっては容易に拡がってしまい
特性変化の抑制が十分でなくなることがある。よって、
この方法による場合には、接着面積の制御等が煩雑であ
り、実装作業が容易でない。一方、同図Q))に示す方
法では、同図(a)に示した方法と同様の方法によりチ
ップ10をキャリア19に実装しておき、このキャリア
に実装された形で提供されるデバイスを、接着面積の制
御を行うことなしに回路基板16に接着固定するように
している。この方法による場合、同図(a)の方法と同
様に実装が容易でないばかりでなく、回路装置の小型化
を妨げてしまう。
ていた。同図(a)に示す実装方法では、チップ10を
回路基板16に固着するに際して、接着剤をチップ10
の底面全面に塗布せずに、その一方の縁邪にのみ接着剤
17を塗布しておくようにし、リード電極についてはボ
ンディングヮイヤ18により回路基板16の導体パター
ンに電気的に接続する。この実装方法によると、線熱膨
張係数差に起因する歪みがチップ1oの一部にだけしか
生じないので、使用中の特性変化は生じにくいが、部分
的に塗布された接着剤17は、回路基板16へのチップ
10の押付力の大きさによっては容易に拡がってしまい
特性変化の抑制が十分でなくなることがある。よって、
この方法による場合には、接着面積の制御等が煩雑であ
り、実装作業が容易でない。一方、同図Q))に示す方
法では、同図(a)に示した方法と同様の方法によりチ
ップ10をキャリア19に実装しておき、このキャリア
に実装された形で提供されるデバイスを、接着面積の制
御を行うことなしに回路基板16に接着固定するように
している。この方法による場合、同図(a)の方法と同
様に実装が容易でないばかりでなく、回路装置の小型化
を妨げてしまう。
本発明はこのような技術的課題に鑑みて創作されたもの
で、回路基板に実装したときに特性変化を生じることが
なく、しかも上記実装が容易な弾性表面波デバイスの提
供を目的としている。
で、回路基板に実装したときに特性変化を生じることが
なく、しかも上記実装が容易な弾性表面波デバイスの提
供を目的としている。
課題を解決するための手段
上述した技術的課題を解決するためになされた本発明の
弾性表面波デバイスは、圧電結晶からなるチップ上にト
ランスデューサと外部接続用のリード電極とを形成し、
上記チップのトランスデューサ及びリード電極が形成さ
れた面に上記チップと同一素材からなるキャップを上記
リード電極の端部が露出するように密封剤を用いて封着
し、上記リード電極の露出端部のそれぞれに、回路基板
に半田付け固定するための弾性変形可能な金属リードを
固着して構或される。
弾性表面波デバイスは、圧電結晶からなるチップ上にト
ランスデューサと外部接続用のリード電極とを形成し、
上記チップのトランスデューサ及びリード電極が形成さ
れた面に上記チップと同一素材からなるキャップを上記
リード電極の端部が露出するように密封剤を用いて封着
し、上記リード電極の露出端部のそれぞれに、回路基板
に半田付け固定するための弾性変形可能な金属リードを
固着して構或される。
作 用
上記本発明の構或によれば、外部接続用のリード電極の
露出端部のそれぞれに金属リードを固着しているので、
この金属リードを回路基板に半田付け固定することによ
って、リード電極と外部回路との電気的な接続がなされ
、同時にこの弾性表面波デバイスの回路基板への機械的
な固定がなされる。この場合、従来のように接着面積の
制御等を行う必要がないので、実装作業が容易になる。
露出端部のそれぞれに金属リードを固着しているので、
この金属リードを回路基板に半田付け固定することによ
って、リード電極と外部回路との電気的な接続がなされ
、同時にこの弾性表面波デバイスの回路基板への機械的
な固定がなされる。この場合、従来のように接着面積の
制御等を行う必要がないので、実装作業が容易になる。
また、本発明の構或においては、弾性変形可能な金属リ
ードを用いているので、デバイス実装後に温度変化が与
えられたとしても、線熱膨張係数差に起因する歪みはほ
とんど金属リードにおける弾性変形として生じるので、
チップが歪むことによる特性変化が抑制される。
ードを用いているので、デバイス実装後に温度変化が与
えられたとしても、線熱膨張係数差に起因する歪みはほ
とんど金属リードにおける弾性変形として生じるので、
チップが歪むことによる特性変化が抑制される。
実 施 例
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明の実施例を示す弾性表面波デバイスの斜
視図、第2図はその分解斜視図(金属リードは図示せず
〉である。
視図、第2図はその分解斜視図(金属リードは図示せず
〉である。
22は水晶等の圧電結晶を平板状に形成してなるチップ
であり、24はチップ22と同一の素材をチップ22よ
りも一回り小さく平板状に形成してなるキャップである
。チップ22上には、入力用のIDT26と出力用のI
DT28を形成し、IDT26の外部接続用の2本の信
号リード電極3Ga及びIDT28の外部接続用の2本
の信号リード電極30aをチップ22の縁部にまで延び
るように形成しておく。30bは接地リード電極であり
、IDT26.28に近接してIDT26,28及び信
号リード電極30aを取り囲むようにチップ32上に形
成されている。IDT26.28、信号リード電極30
a及び接地リード電極30bは蒸着やスパッタリング法
により同時に形戒することができる。
であり、24はチップ22と同一の素材をチップ22よ
りも一回り小さく平板状に形成してなるキャップである
。チップ22上には、入力用のIDT26と出力用のI
DT28を形成し、IDT26の外部接続用の2本の信
号リード電極3Ga及びIDT28の外部接続用の2本
の信号リード電極30aをチップ22の縁部にまで延び
るように形成しておく。30bは接地リード電極であり
、IDT26.28に近接してIDT26,28及び信
号リード電極30aを取り囲むようにチップ32上に形
成されている。IDT26.28、信号リード電極30
a及び接地リード電極30bは蒸着やスパッタリング法
により同時に形戒することができる。
一方、キャップ24の下面側には、その外周部に密封剤
34として、低融点ガラス微粉末をバインダに混合して
なるフリットをスクリーン印刷等により塗布しておく。
34として、低融点ガラス微粉末をバインダに混合して
なるフリットをスクリーン印刷等により塗布しておく。
そして、キャップ24の密封剤34を塗布した面を、チ
ップ22のIDT等が形成されている面にその縁部が表
出するように対向させて重ね合わせ、加熱して密封剤3
4を溶融させて、チップ22にキャップ24を封着して
いる。郭或した空間にはN2等の不活性ガスを封入して
おいても良い。
ップ22のIDT等が形成されている面にその縁部が表
出するように対向させて重ね合わせ、加熱して密封剤3
4を溶融させて、チップ22にキャップ24を封着して
いる。郭或した空間にはN2等の不活性ガスを封入して
おいても良い。
32は平板状の金属片を段差状に折り曲げて形成される
弾性変形可能な金属リードであり、この金属リード32
は、チップ22の縁部に沿うようにその一端側を溶接や
ボンディングにより第1図において斜線を施して図示さ
れるリード電極30(信号リード電極30a及び接地リ
ード電極30b)の露出端部に固着されている。金属リ
ード32はこの実施例では正方形のチップ22の4辺に
それぞれ4つずつ設けられている。
弾性変形可能な金属リードであり、この金属リード32
は、チップ22の縁部に沿うようにその一端側を溶接や
ボンディングにより第1図において斜線を施して図示さ
れるリード電極30(信号リード電極30a及び接地リ
ード電極30b)の露出端部に固着されている。金属リ
ード32はこの実施例では正方形のチップ22の4辺に
それぞれ4つずつ設けられている。
このように構或された弾性表面彼デバイスにあっては、
圧電結晶からなるチップ22のIDT等を形成した面を
チップ22と同一素材のキャップ24で密封しているの
で、両者の線熱膨張係数の違いによる歪みが生じること
はない。また、リード電極30をチップ22上に直接形
成しているので、この部分の浮遊インダクタンスや浮遊
容量は十分小さい。よって、このデバイスは高周波にお
いても特性が劣化することがない。
圧電結晶からなるチップ22のIDT等を形成した面を
チップ22と同一素材のキャップ24で密封しているの
で、両者の線熱膨張係数の違いによる歪みが生じること
はない。また、リード電極30をチップ22上に直接形
成しているので、この部分の浮遊インダクタンスや浮遊
容量は十分小さい。よって、このデバイスは高周波にお
いても特性が劣化することがない。
第3図を参照すると、上記構或の弾性表面波デバイスを
回路基板16に実装した状態が示されている。金属リー
ド32を回路基板16上の図示しない導体パターンに半
田36を用いて表面実装したものである。金属リード3
2を半田付けすることによって、このデバイスの機械的
な固定及び電気的な接続がなされるから、従来のように
機械的な固定を行うための接着剤の使用が不要になる。
回路基板16に実装した状態が示されている。金属リー
ド32を回路基板16上の図示しない導体パターンに半
田36を用いて表面実装したものである。金属リード3
2を半田付けすることによって、このデバイスの機械的
な固定及び電気的な接続がなされるから、従来のように
機械的な固定を行うための接着剤の使用が不要になる。
例えばこの実装状態で温度変化が与えられて、チップ2
2と回路基板16とが異なる量で膨張又は収縮したとす
ると、段差状に折り曲げられた金属リード32が弾性変
形するが、その弾性力によってはチップ22にはほとん
ど歪みが生じないので、温度に応じて特性が変化するこ
とが防止される。
2と回路基板16とが異なる量で膨張又は収縮したとす
ると、段差状に折り曲げられた金属リード32が弾性変
形するが、その弾性力によってはチップ22にはほとん
ど歪みが生じないので、温度に応じて特性が変化するこ
とが防止される。
また、このような実装構造によると、IDTと外部回路
との接続は浮遊インダクタンスや浮遊容量が小さいリー
ド電極及び金属リードによりなされるので、従来のよう
にボンディングワイヤを用いていた場合と比較して、高
速特性が良好になる。
との接続は浮遊インダクタンスや浮遊容量が小さいリー
ド電極及び金属リードによりなされるので、従来のよう
にボンディングワイヤを用いていた場合と比較して、高
速特性が良好になる。
さらに、本実施例では、第2図に示すように、接地リー
ド電極30bをIDT26,28間に設けているので、
クロストークが減少し、しかも、この接地リード電極3
0bのシールド作用によってS/N特性が向上する。
ド電極30bをIDT26,28間に設けているので、
クロストークが減少し、しかも、この接地リード電極3
0bのシールド作用によってS/N特性が向上する。
この実施例では、チップ22の4辺の全てに金属リード
32を設けているが、機械的な固定力が十分な場合には
、対向する2辺のみに金属リード32を設けるようにし
ても良い。金属リード32は予め段差状に折り曲げられ
たものをリード電極30に固着することができるが、こ
の場合製造作業の自動化は比較的困難であるから、第4
図に示すようにして対処することができる。
32を設けているが、機械的な固定力が十分な場合には
、対向する2辺のみに金属リード32を設けるようにし
ても良い。金属リード32は予め段差状に折り曲げられ
たものをリード電極30に固着することができるが、こ
の場合製造作業の自動化は比較的困難であるから、第4
図に示すようにして対処することができる。
第4図は、弾性表面波デバイスの製造工程の一部と実装
工程とを自動化ラインにおけるいわゆるT A B(T
ape Aoutamated Bonding)
装置により回路基板に実装する場合の、デバイスのテー
プへの装着状態を示している。樹脂フィルム等からなる
テープ38の開口部の所定位置に予め段差加工されてい
ない金属リード32′を蒸着しており、この状態で金属
リード32′のリード電極30への固着を一括して行い
、回路基板の所定位置にこのデバイスを位置させた後に
、プレス機等を用いて、金属リード32′をテープ38
から剥離するとともに、チップ22及び図示しない回路
基板にそって段差状に変形させるものである。38aは
テープ送り用の孔である。このように、本実施例は、発
明の構或に金属リードが含まれている点に着目して、デ
バイスの製造及び実装の自動化を図ったものである。
工程とを自動化ラインにおけるいわゆるT A B(T
ape Aoutamated Bonding)
装置により回路基板に実装する場合の、デバイスのテー
プへの装着状態を示している。樹脂フィルム等からなる
テープ38の開口部の所定位置に予め段差加工されてい
ない金属リード32′を蒸着しており、この状態で金属
リード32′のリード電極30への固着を一括して行い
、回路基板の所定位置にこのデバイスを位置させた後に
、プレス機等を用いて、金属リード32′をテープ38
から剥離するとともに、チップ22及び図示しない回路
基板にそって段差状に変形させるものである。38aは
テープ送り用の孔である。このように、本実施例は、発
明の構或に金属リードが含まれている点に着目して、デ
バイスの製造及び実装の自動化を図ったものである。
なお、以上の実施例ではトランスデューサが製造性が良
好でエネルギー変換効率が高いIDTであるとして本発
明を説明したが、トランスデューサはIDT以外のトラ
ンスデューサであっても良い。
好でエネルギー変換効率が高いIDTであるとして本発
明を説明したが、トランスデューサはIDT以外のトラ
ンスデューサであっても良い。
発明の効果
以上説明したように、本発明によれば、回路基板に実装
したときに特性変化が生じることがなく、しかも、実装
が容易な弾性表面波デバイスの提供か可能になるという
効果を奏する。
したときに特性変化が生じることがなく、しかも、実装
が容易な弾性表面波デバイスの提供か可能になるという
効果を奏する。
第1図は本発明の実施例を示す弾性表面波デバイスの斜
視図、 第2図はその分解斜視図、 第3図は弾性表面波デバイスを回路基板に実装した状態
を示す正面図、 第4図は弾性表面波デバイスの実装をTAB装置による
場合の、デバイスをテープに装着した状態を示す斜視図
、 第5図及び第6図は従来技術の説明図、第7図は従来の
弾性表面波デバイスの実装方法の説明図である。 22・・・チップ、 24・・・キャップ、2
6.28・・・IDT, 30・・・リード電極、
30a・・・信号リード電極、 30b・・・接地リード電極、 32・・・金属リード、 34・・・密封剤。
視図、 第2図はその分解斜視図、 第3図は弾性表面波デバイスを回路基板に実装した状態
を示す正面図、 第4図は弾性表面波デバイスの実装をTAB装置による
場合の、デバイスをテープに装着した状態を示す斜視図
、 第5図及び第6図は従来技術の説明図、第7図は従来の
弾性表面波デバイスの実装方法の説明図である。 22・・・チップ、 24・・・キャップ、2
6.28・・・IDT, 30・・・リード電極、
30a・・・信号リード電極、 30b・・・接地リード電極、 32・・・金属リード、 34・・・密封剤。
Claims (2)
- (1)圧電結晶からなるチップ(22)上にトランスデ
ューサ(26,28)と外部接続用のリード電極(30
)とを形成し、 上記チップ(22)のトランスデューサ(26,28)
及びリード電極(30)が形成された面に上記チップ(
22)と同一素材からなるキャップ(24)を上記リー
ド電極(30)の端部が露出するように密封剤(34)
を用いて封着し、 上記リード電極(30)の露出端部のそれぞれに、回路
基板に半田付け固定するための弾性変形可能な金属リー
ド(32)を固着したことを特徴とする弾性表面波デバ
イス。 - (2)上記リード電極(30)が上記トランスデューサ
(26,28)に導通する信号リード電極(30a)と
上記トランスデューサ(26,28)近傍の上記チップ
(22)上に形成された接地リード電極(30b)とで
あることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバ
イス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24087089A JPH03104409A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 弾性表面波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24087089A JPH03104409A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 弾性表面波デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03104409A true JPH03104409A (ja) | 1991-05-01 |
Family
ID=17065924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24087089A Pending JPH03104409A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 弾性表面波デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03104409A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6446316B1 (en) * | 1994-05-02 | 2002-09-10 | Siemens Matsushita Components Gmbh & Co. Kg | Method for producing an encapsulation for a SAW component operating with surface acoustic waves |
EP1684423A1 (en) * | 2005-01-17 | 2006-07-26 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave chip, surface acoustic wave device, and manufacturing method for implementing the same |
JP2013520898A (ja) * | 2010-02-22 | 2013-06-06 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | クロストークが補償されたミクロ音響フィルタ、および補償をする方法 |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP24087089A patent/JPH03104409A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6446316B1 (en) * | 1994-05-02 | 2002-09-10 | Siemens Matsushita Components Gmbh & Co. Kg | Method for producing an encapsulation for a SAW component operating with surface acoustic waves |
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KR100744382B1 (ko) * | 2005-01-17 | 2007-07-30 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 탄성 표면파 칩 및 탄성 표면파 장치 및 탄성 표면파장치의 제조 방법 |
US7554242B2 (en) | 2005-01-17 | 2009-06-30 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave chip, surface acoustic wave device, and manufacturing method for implementing the same |
JP2013520898A (ja) * | 2010-02-22 | 2013-06-06 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | クロストークが補償されたミクロ音響フィルタ、および補償をする方法 |
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