JPH03103980A - マスタスレーブ型マルチプロセッサシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［概要］ 半導体チップのマスクパターンを図形処理するマスクス
レーブ型マルチプロセッサシステムに関し、 既存のソフトウエア資産を利用してマスクパターンの図
形処理を高速に行なうことができるようにすることを目
的とし、 １つのマスタコンピュータと、該マスタコンピュータと
データの送受を行なう複数のスレーブコンピュータとを
備え、該マスタコンピュータは、各分割領域の図形デー
タ量が略等しくなるようにマスクパターンを分割し、そ
の１つの分割領域と該分割領域の境界周辺領域とを合わ
せた分担領域の図形データを１つの該スレーブコンピュ
ータへ送信し、各該スレーブコンピュータは、互いに独
立ニ、該マスタコンピュータから受信した図形データを
処理し、その処理結果を該マスタコンピュータへ送信し
、該マスタコンピュータは、該スレーブコンピュータか
ら受信した処理結果のうち重複する部分を取捨選択して
重複のない全処理結果を得るをように構或する。

［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体チップのマスクパターンを図形処理す
るマスタスレーブ型マルチプロセッサシステムに関する
。

［従来の技術］ ＬＳＩの設計では、回路設計の後にマスクパターン設計
が行なわれる。このマスクパターンについてデザインル
ールチェック等のレイアウト検証が行なわれた後、露光
装置制御用データが生或される。これらレイアウト検証
や露光装置制御用データの生或は、汎用の大型計算機で
マスクパターンを図形処理することにより行なわれる。

しかし、近年のＬＳＩの高集積化に伴い、データ量が増
大してこの図形処理時間が長くなり、汎用大型計算機の
高速化では対応できなくなりつつある。そこで、並列計
算機でこのような図形処理を行なう必要がある。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、一般の並列計算機は既存のソフトウェア資産
を利用できないので、並列計算機専用のソフトウエアを
新たに開発しなければならい。また、その機能の追加変
更の際にも、汎用計算機による処理との統一をとるのが
容易でない。したがって、開発及び保守に手間が掛かり
すぎ、一般の並列計算機の利用は実用的でない。

本発明の目的は、このような問題点に鑑み、既存のソフ
トウエア資産を利用でき、かつ、マスクパターンの図形
処理を高速に行なうことができるマスクスレーブ型マル
チプロセッサシステムを提供することにある。

３ ［課題を解決するための手段］ 第１図は本発明の原理構或を示す。

図中、１０はマスタコンピュータであり、１６ｌ〜１６
Ｎはマスタコンピュータ１０とデータの送受を行なうス
レーブコンピュータである。

マスタコンピュータ１０は、各分割領域の図形データ量
が略等しくなるようにマスクパターンを分割し（１０ａ
）、その１つの分割領域と該分割領域の境界周辺領域と
を合わせた分担領域の図形データを１つのスレーブコン
ピュータ１６ｉへ送信する（１　０　ｂ）。

各スレーブコンピュータ１６ｉ（ｉ＝１〜Ｎ）は、この
図形データを受信し（１　６　ａ）　、互いに独立に図
形処理し（１　６　ｂ）　、その処理結果をマスタコン
ピュータ１０へ送信する（１６ｃ）。

マスタコンピュータ１０は、この処理結果を受信し（１
０ｃ）、重複する部分を取捨選択して重複のない全処理
結果を得る（１０ｄ）。

４ ［作用］ 本発明によれば、次の理由により、効率よく高速処理を
行なうことができる。

（１）各分担領域の図形データがスレーブコンピュータ
１６１〜１６Ｎにより並列に処理される。

（２〉各分担領域には境界周辺領域も含まれているので
、各スレーブコンピュータは他のスレーブコンピュータ
と何等データの送受を行なうことなく互いに独立に、分
割領域の処理を誤りなく行なうことができる。

（３）各分担領域内の図形データ量は略等しいので、各
スレーブコンピュータの図形処理時間はほぼ同一となる
。

また、上記（２）により、既存のソフトウエア資産を利
用することができる。

［実施例］ 以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。

第２図はマスクスレーブ型マルチブロ゛セッサシステム
のハードウェア構或を示し、第３図はその外観を示す。

このマルチプロセッサシステムは、半導体チップのマス
クパターンを図形処理するためのものである。

マスタコンピュータＩＯは、例えば一般のワークステー
ションにより構或される。このマスタコンピュータ１０
には、処理対象であるマスクパターンデータが格納され
た外部記憶装置１２Ａ及び処理結果を格納するための外
部記憶装置１２Ｂが接続されている。また、マスタコン
ピュータ１０には、バス１４を介してパラレルプロセッ
サ１６が接続されている。このパラレルプロセッサ１６
は、同一構或のＮ個のスレーブコンピュータ１６１〜１
６Ｎからなり、バスｌ４により互いに並列接続されてい
る。各スレーブコンピュータ１６１〜１６Ｎには、同一
の図形処理プログラムが格納されている。このプログラ
ムは従来のものを利用することができる。

第４図（Ａ）はマスタコンピュータ１０の処理手順を示
し、同図（Ｂ）はスレーブコンピュータ１６ｉ（ｉ−＝
１〜Ｎ）の処理手順を示す。以下、第５図乃至第７図を
参照してこれらの処理手順を説明する。

（５０）マスタコンピュータ１０は、外部記憶装置１２
Ａからマスクパターンデータを読み込み、（５１）各分
割領域の図形データ量が略等しくなるようにマスクパタ
ーンデータをＮ分割する。

この分割は、例えば第５図に示す如く行なう。すなわち
、マスクパターン２０を構或する各図形をＸＹ直交座標
系上の１点で表し、Ｘ軸を幅Δの階級に分割し、各階級
に属する点の個数（頻度）を求める。全点数をＴとする
と、各領域の点数がＴ／Ｎ１／２になるようにＸ軸を分
割する。同様に、Ｙ軸を幅Δの階級に分割し、各階級に
属する点の個数（＠度）を求め、各領域の点数がＴ／Ｎ
”２になるようにＹ軸を分割する。第５図はＮ＝３６の
場合を示す。図中、各面積Ａ１〜Ａ６、Ｂ１〜Ｂ６は全
て同一である。

第６図はマスクパターン２０を簡略化し、９分割した場
合を示す。ｘ１、Ｘ２、ＹＩ及びＹ２は７ 分割線であり、これら分割線上にも図形が存在する。マ
スクパターンの図形処理においては、例えば、分割領域
２２内の境界線付近の図形Ｐ．とその隣の分担領域の境
界線付近の図形Ｐ２について、第７図に示すような図形
処理を行う場合がある。

すなわち、図形Ｐ．　　Ｐ．の各中心位置を変えずに、
図形Ｐ１、Ｐ２を所定倍太らせ、両図形の論理和をとっ
た図形Ｐ，を生或処理する場合がある。

また、第６図に示す図形Ｐ１とＰ２の間隔がデザインル
ール違反でないかどうかをチェックする場合がある。

したがって、各分割領域の図形処理を行う場合、隣合う
分割領域の境界線付近の図形データも必要となる。そこ
で、各分割領域２２１について、境界線外側の一定幅の
領域を境界周辺領域２４１とし、分割領域２２ｉ＝！：
境界周辺領域２４１とを合わせた領域を分担領域２６ｉ
とする。

（５２）次に、マスタコンピュータＩＯは、１つの分担
領域２６】の位置及びサイズをスレーブコンピュータ１
６１に対し送信する。

８ （６０）スレーブコンピュータ１６ｉは、自己に送信さ
れる分担領域２６ｉの位置及びサイズを受信し、記憶す
る。

（５３）マスタコンピュータ１０は続いて、この分担領
域２６１のパターンデータをスレーブコンピュータ１６
１へ送信し、 （６１）スレーブコンピュータ１６１はこれを受信する
。

上記ステップ５２、５３、６０、６ｌの処理はｉ＝１−
Ｎについて順次行なわれる。

（６２）各スレーブコンピュータ１６１はプログラムに
従って自己の担当する分担領域２６ｉの図形処理を行う
。

したがって、各分担領域２６ｉのパターンデータが並列
に処理され、各分担領域を順次処理する場合に比し処理
時間を大幅に短縮することができる。

また、各分担領域２６ｉには境界周辺領域２４ｌも含ま
れているので、各スレーブコンピュータは他のスレーブ
コンピュータと何等データの送受を行なうことなく互い
に独立に、分割領域２２１の処理を誤りなく行なうこと
ができる。

さらに、各分担領域２６１内の図形量は略等しいので、
各スレーブコンピュータ１６１の図Ｊｌ理時間はほぼ同
一となる。

（６３）分担領域２６ｉの図形処理を終えたスレーブコ
ンピュータ１６ｉは、マスタコンピュータ１０に対し送
信要求をし、これが受け付けられると、ステップ６０で
受信した担当分担領域２６ｌの位置及びサイズを送信し
た後、処理結果をマスタコンピュータ１０へ送信する。

（５４）マスタコンピュータ１ｏはこの処理結果を受信
する。全てのスレーブコンピュータ１６ｌ〜１６Ｎから
の受信が終了すると、 （５５）境界周辺領域２４ｉを設けたことにより重複し
ているデータの取捨選択を行い、多重データをｌつのデ
ータにする。

（５６）次にマスタコンピュータ１０は、重複のない全
処理結果をマスクパターン２０の図形処理結果として外
部記憶装置１２Ｂに供給して保存させる。

なお、本発明には外にも種々の変形例が含まれる。

例えば、上記実施例ではスレーブコンピュータの数とマ
スクパターン分割数とが等しい場合を説明したが、スレ
ーブコンピュータの数を１つ少なくし、マスタコンピュ
ータ■０にも分担領域を割り当て、第４図（Ａ＞のステ
ップ５３と５４の間においてその図形処理を行なわせる
ようにしてもよい。

［発明の効果］ 以上説明した如く、本発明に係るマスクスレーブ型マル
チプロセッサシステムでは、略等しい図形データ量の各
分担領域の図形データを複数のスレーブコンピュータに
より、他のスレーブコンピュータと何等データの送受を
行なうことなく互いに独立に処理を行なうので、既存の
ソフトウエア資産を利用して効率よく高速処理を行なう
ことができるという優れた効果を奏し、ＬＳＩの開発期
１１ 間短縮に寄与するところが大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るマスタスレーブ型マルチプロセッ
サシステムの原理構或を示すブロック図である。 第２図乃至第７図は本発明の一実施例に係り、第２図は
マスクスレーブ型マルチプロセッサシステムのハードウ
ェア構或図、 第３図はマスタスレーブ型マルチプロセッサシステムの
外観図、 第４図（Ａ）はマスタコンピュータの処理手順を示すフ
ローチャート、第４図（Ｂ）はスレーブコンピュータの
処理手順を示すフローチャート、第５図はマスクパター
ンデータ分割法説明図、第６図は簡略化したマスクパタ
ーンの分割領域と境界周辺領域の関係を示す図、 第７図は分割線付近の図形処理説明図である。 １２ 図中、 １０はマスタコンピュータ １２Ａ，１２Ｂは外部記憶装置 １６はパラレルプロセッサ １６１〜１６Ｎはスレーブコンピュータ２０はマスクパ
ターン ２２ｉは分割領域 ２４ｉは境界周辺領域 ２６ｉは分担領域 ａ ２０：マスクパターン ２２ド分割領域 ２４１：境界周辺領域 ２６ｊ　：分担領域 ＰＬ，Ｐ２　：図形 Ｘｉ，Ｘ２，Ｙｌ，Ｙ２　：分割線 特開平３ １０３９８０（８）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １つのマスタコンピュータ（１０）と、該マスタコンピ
   ュータとデータの送受を行なう複数のスレーブコンピュ
   ータ（１６１〜１６Ｎ）とを備え、該マスタコンピュー
   タは、各分割領域の図形データ量が略等しくなるように
   マスクパターンを分割し（１０ａ）、その１つの分割領
   域と該分割領域の境界周辺領域とを合わせた分担領域の
   図形データを１つの該スレーブコンピュータへ送信し（
   １０ｂ）、 各該スレーブコンピュータは、互いに独立に、該マスタ
   コンピュータから受信した図形データを処理し（１６ａ
   、１６ｂ）、その処理結果を該マスタコンピュータへ送
   信し（１６ｃ）、 該マスタコンピュータは、該スレーブコンピュータから
   受信した処理結果のうち重複する部分を取捨選択して重
   複のない全処理結果を得る（１０ｃ、１０ｄ）ことを特
   徴とするマスタスレーブ型マルチプロセッサシステム。