JPH029563A - 角型Cuブロックの製造方法 - Google Patents
角型Cuブロックの製造方法Info
- Publication number
- JPH029563A JPH029563A JP14502888A JP14502888A JPH029563A JP H029563 A JPH029563 A JP H029563A JP 14502888 A JP14502888 A JP 14502888A JP 14502888 A JP14502888 A JP 14502888A JP H029563 A JPH029563 A JP H029563A
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- Pending
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 11
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 241000252233 Cyprinus carpio Species 0.000 description 1
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- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体レーザーのヒートシンク、半導体ター
ミナルチップ等に用いる角型Cuブロックの製造方法に
関する。
ミナルチップ等に用いる角型Cuブロックの製造方法に
関する。
(従来の技術)
従来、上記用途の角型Cuブロックを製造するには、第
2図に示す如く角型Cu線lを基盤2上に横一列に並べ
てワイヤーソー(図示省略)により所定の長さに切断し
て角型Cuブロック3を得ていた。
2図に示す如く角型Cu線lを基盤2上に横一列に並べ
てワイヤーソー(図示省略)により所定の長さに切断し
て角型Cuブロック3を得ていた。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、上記の角型Cuブロックの製造方法では、角
型Cu線1の切断終了間際の押圧力の影響により、ぼり
ゃだれが生じて、形状、寸法精度、が悪(、半導体に正
しく装着できない角型Cuブロック3が作られる。また
上記の如く角型Cu線1を基盤2上に横一列に並べる為
、作業蛎率が悪かった。
型Cu線1の切断終了間際の押圧力の影響により、ぼり
ゃだれが生じて、形状、寸法精度、が悪(、半導体に正
しく装着できない角型Cuブロック3が作られる。また
上記の如く角型Cu線1を基盤2上に横一列に並べる為
、作業蛎率が悪かった。
(発明の目的)
本発明は上記課題を解決すべくなされたもので、ぼりゃ
だれが生ぜず、形状、寸法精度の良い角型Cuブロック
を作業効率良く製造できる方法を提供することを目的と
するものである。
だれが生ぜず、形状、寸法精度の良い角型Cuブロック
を作業効率良く製造できる方法を提供することを目的と
するものである。
(課題を解決するための手段)
上記課題を解決するための本発明の角型Cuブロックの
製造方法は、上面に直角の谷と山が連続する波形溝を形
成した基盤の前記波形溝に、角型Cu線を挿入配列し、
さらにその上方に角型Cu線の角を上下左右に向けた上
、各角型Cu線を噛み合わせ乍らピラミッド状に積み重
ね、然る後積み重ねた角型Cu線を所定の長さでもって
長手方向に順次ワイヤーソー切断して角型Cuブロック
を作ることを特徴とするものである。
製造方法は、上面に直角の谷と山が連続する波形溝を形
成した基盤の前記波形溝に、角型Cu線を挿入配列し、
さらにその上方に角型Cu線の角を上下左右に向けた上
、各角型Cu線を噛み合わせ乍らピラミッド状に積み重
ね、然る後積み重ねた角型Cu線を所定の長さでもって
長手方向に順次ワイヤーソー切断して角型Cuブロック
を作ることを特徴とするものである。
(作用)
上記の本発明の角型Cuブロックの製造方法では、角型
Cu線の角を上下左右に向けた上、各角型Cu線を噛み
合わせ乍らピラミッド状に積み重ねるので、各角型Cu
線は正しく位置決めの上、容易に積み重ねられる。そし
てワイヤーソーにより切断した際、切断終了時の押圧力
が角型Cu線の角にかかるため、ぼりゃだれが発生しな
いものである。なお基盤の材質をCuとすると切断が同
材質のCu基盤へと続く為、切断負荷が変わらず更に良
好なものである。従って、形状、寸法精度の良い角型C
uブロックが得られる。さらに前述の如く角型Cu線の
位置決め積み重ねが容易なことと相俟って1回の切断で
得られる角型Cuブロックの個数が大幅に増加するので
、作業効率が良く、生産性が向上する。
Cu線の角を上下左右に向けた上、各角型Cu線を噛み
合わせ乍らピラミッド状に積み重ねるので、各角型Cu
線は正しく位置決めの上、容易に積み重ねられる。そし
てワイヤーソーにより切断した際、切断終了時の押圧力
が角型Cu線の角にかかるため、ぼりゃだれが発生しな
いものである。なお基盤の材質をCuとすると切断が同
材質のCu基盤へと続く為、切断負荷が変わらず更に良
好なものである。従って、形状、寸法精度の良い角型C
uブロックが得られる。さらに前述の如く角型Cu線の
位置決め積み重ねが容易なことと相俟って1回の切断で
得られる角型Cuブロックの個数が大幅に増加するので
、作業効率が良く、生産性が向上する。
(実施例)
本発明の角型Cuブロックの製造方法の一実施例を第り
図によって説明すると、上面に深さ1.414順の直角
の谷10が5個と直角の山11が4個交互に連続する波
形溝I2を形成した幅50mm、長さ1100a、厚さ
151nIllのCu基盤■3の前記波形溝I2に、−
辺2m111、長さ120mmの断面方形の角型Cu線
14を5本挿入配列し、さらにその上方に角型Cu線1
4の角を上下左右に向けた上、各角型Cu線14を噛み
合わせた乍らピラミッド状に積み重ね、然る後積み重ね
た角型Cu線14を長さ2.65mmづつ長手方向に順
次ワイヤーソー(図示省略)により切断して、縦2鮒、
横20111.高さ2,65uの角型Cuブロック15
を得た。
図によって説明すると、上面に深さ1.414順の直角
の谷10が5個と直角の山11が4個交互に連続する波
形溝I2を形成した幅50mm、長さ1100a、厚さ
151nIllのCu基盤■3の前記波形溝I2に、−
辺2m111、長さ120mmの断面方形の角型Cu線
14を5本挿入配列し、さらにその上方に角型Cu線1
4の角を上下左右に向けた上、各角型Cu線14を噛み
合わせた乍らピラミッド状に積み重ね、然る後積み重ね
た角型Cu線14を長さ2.65mmづつ長手方向に順
次ワイヤーソー(図示省略)により切断して、縦2鮒、
横20111.高さ2,65uの角型Cuブロック15
を得た。
一方、従来例として上記実施例の角型Cu線と同じ角型
Cualを第2図に示されるCuより成る基盤2上に横
一列に5本並べてワイヤーソー(図示省略)により長さ
2.650111づつ長手方向に順次切断して、実施例
と同じ寸法の角型Cuブロック3を得た。
Cualを第2図に示されるCuより成る基盤2上に横
一列に5本並べてワイヤーソー(図示省略)により長さ
2.650111づつ長手方向に順次切断して、実施例
と同じ寸法の角型Cuブロック3を得た。
こうして得た実施例及び従来例の角型Cuブロック81
000個について品質検査した処、従来例の角型Cuブ
ロックには0.05mm以上のぼりが生じた不良品が2
8個もあったのに対し、実施例の角型Cuブロックには
そのような不良品は皆無であった。
000個について品質検査した処、従来例の角型Cuブ
ロックには0.05mm以上のぼりが生じた不良品が2
8個もあったのに対し、実施例の角型Cuブロックには
そのような不良品は皆無であった。
(発明の効果)
以上の説明で判るように本発明の角型Cuブロックの製
造方法によれば、ぼりゃだれが生ぜず、形状、寸法精度
の良い品質良好な角型Cuブロックを得ることができる
。また多数の角型Cu線の位置決め積み重ねが容易で、
しかも1回の切断で得られる角型Cuブロックの個数が
大幅に増加するので作業効率が良く、生産性が向上する
等の効果を奏する。
造方法によれば、ぼりゃだれが生ぜず、形状、寸法精度
の良い品質良好な角型Cuブロックを得ることができる
。また多数の角型Cu線の位置決め積み重ねが容易で、
しかも1回の切断で得られる角型Cuブロックの個数が
大幅に増加するので作業効率が良く、生産性が向上する
等の効果を奏する。
第1ryJは本発明の角型Cuブロックの製造方法を示
す斜視図、第2図は従来の角型Cuブロックの製造方法
を示す斜視図である。
す斜視図、第2図は従来の角型Cuブロックの製造方法
を示す斜視図である。
Claims (1)
- 1、上面に直角の谷と山が連続する波形溝を形成した基
盤の前記波形溝に、角型Cu線を挿入配列し、さらにそ
の上方に角型Cu線の角を上下左右に向けた上、各角型
Cu線を噛み合わせ乍らピラミッド状に積み重ね、然る
後積み重ねた角型Cu線を所定の長さでもって長手方向
に順次切断して角型Cuブロックを作ることを特徴とす
る角型Cuブロックの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14502888A JPH029563A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 角型Cuブロックの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14502888A JPH029563A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 角型Cuブロックの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH029563A true JPH029563A (ja) | 1990-01-12 |
Family
ID=15375748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14502888A Pending JPH029563A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 角型Cuブロックの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH029563A (ja) |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP14502888A patent/JPH029563A/ja active Pending
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