JPH0293545U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0293545U JPH0293545U JP330889U JP330889U JPH0293545U JP H0293545 U JPH0293545 U JP H0293545U JP 330889 U JP330889 U JP 330889U JP 330889 U JP330889 U JP 330889U JP H0293545 U JPH0293545 U JP H0293545U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- encoder
- plate
- side member
- coupling structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例で用いた板状バネの平
面図、第２図は実施例のモータとエンコーダとの
結合状態を示す断面図、第３図は板状バネの別の
切り欠き形成状態を示す平面図である。 ２……モータ、４……モータケース、８……モ
ータシヤフト、１０……エンコーダ、１２……エ
ンコーダケース、１４……エンコーダ本体、１８
……板バネ、２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，
２６ｅ，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ，２７
ｅ……切り欠き。
面図、第２図は実施例のモータとエンコーダとの
結合状態を示す断面図、第３図は板状バネの別の
切り欠き形成状態を示す平面図である。 ２……モータ、４……モータケース、８……モ
ータシヤフト、１０……エンコーダ、１２……エ
ンコーダケース、１４……エンコーダ本体、１８
……板バネ、２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，
２６ｅ，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ，２７
ｅ……切り欠き。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 モータの非回転側部材とそのモータの回転を検
出するエンコーダの非回転側部材とを板状のバネ
により結合するカツプリング構造において、 その板状のバネを、モータとエンコーダとの間
の所望振動伝達特性に応じた形状にすることを特
徴とするモータとエンコーダとのカツプリング構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989003308U JP2569775Y2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | エンコーダ本体の弾性支持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989003308U JP2569775Y2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | エンコーダ本体の弾性支持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0293545U true JPH0293545U (ja) | 1990-07-25 |
| JP2569775Y2 JP2569775Y2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=31204829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989003308U Expired - Lifetime JP2569775Y2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | エンコーダ本体の弾性支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2569775Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006313073A (ja) * | 2005-05-06 | 2006-11-16 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 冗長系回転検出器 |
| JP2022050211A (ja) * | 2020-09-17 | 2022-03-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 回転機構および基板処理装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4524678Y1 (ja) * | 1967-12-14 | 1970-09-28 | ||
| JPS56166517U (ja) * | 1980-05-14 | 1981-12-09 | ||
| JPS60196446A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-04 | Canon Inc | 振動体の取付構造 |
-
1989
- 1989-01-13 JP JP1989003308U patent/JP2569775Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4524678Y1 (ja) * | 1967-12-14 | 1970-09-28 | ||
| JPS56166517U (ja) * | 1980-05-14 | 1981-12-09 | ||
| JPS60196446A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-04 | Canon Inc | 振動体の取付構造 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006313073A (ja) * | 2005-05-06 | 2006-11-16 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 冗長系回転検出器 |
| JP2022050211A (ja) * | 2020-09-17 | 2022-03-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 回転機構および基板処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2569775Y2 (ja) | 1998-04-28 |