JPH0293538A - マスクカセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、高集積半導体回路素子の製造等のための露光
用マスクを収納する容器に関する。

［従来の技術］ 従来、マスク（レチクルを含む）を収納する容器として
は、例えばマスクを保管する専用ケースであって必要な
時は簡易的に密閉された状態から取り出すものが考えら
れている。また、この専用ケース中でマスクが摺動する
のを防ぐために、マスクの外周を圧縮バネの力で押圧す
る方式が考えられている。

その他に、マスクを垂直にたてた状態で保管する収納容
器（マスクカセット）として、第４図に示すようなもの
が提案されている。

同図において、ＣＭはカセット本体、ＭＳはマスクが載
置されるステージ、ＸＭは収納されているマスク、ＣＣ
はカセットカバー　ＣＲはカセット本体ＣＭとカセット
カバーＣＣとを結合し解除する機構、Ｓｔ、Ｓ２は耐外
圧仕様にするためのシール材、Ｃｖはバルブである。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上述したマスクの専用ケースはマスク１
枚を収納するものであり、複数枚のマスクを垂直にたて
た状態で保管するものではない。

また、第４図に示すマスクカセットは取出し収納の際に
カセット本体ＣＭとカセットカバーｃｃとを−々離す必
要があり、取出し収納が簡単とはいいがたい。

本発明は、上述の従来形における問題点に鑑み、以下に
示す条件をすべて満足するようなマスクカセットを提供
することを目的とする。

（１）マスクカセット内に複数枚のマスクを保管するこ
とができ、マスクの取出し収納が簡単であること。

（２）マスクカセット内で、マスクは所定位置に高精度
に位置決めされていること。

（３）マスクを垂直にたてた状態で保管するマスクカセ
ットにおいて、マスクの落下防止対策が施されているこ
と。

［課題を解決するための手段および作用］上記の目的を
達成するため、本発明に係るマスクカセットは、マスク
を垂直に載置するマスクホルダにマスクを石ｎ気的に吸
着保持するチャック手段を設け、またマスクをマスクカ
セットに挿入する際にマスクの外縁に突当たってマスク
を所定位置に設置する位置決め手段と、マスクの外縁を
把持する手段とを設けることとしている。

これにより、マスクをマスクカセットに挿入する際には
、位置決め手段により所定位置に位置決めすることがで
き、その後はチャック手段および把持手段により磁気的
および機械的にマスクを吸着保持ならびに把持できる。

また、簡易な構成であるので、複数枚のマスクを収納で
きるようなマスクカセットを構成するのも容易である。

［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係るマスクカセットの構
成を示す。説明のため、１つのマスクホルダに係る部分
のみ図示し、不要な部分は省略した。第２図は、第１図
のマスクホルダ部分をＡ方向から見た側面および一部断
面区である。また、第３図は、第１図のマスクホルダ部
分をＢ方向から見た正面図であり、マスクフレームの交
換状態を示す図である。

これらの図において、１は多数枚のマスクを収納するマ
スクカセット、２はマスクのマスクフレーム５を鉛直に
吸着保持するチャック手段を備えたマスクホルダ、３は
突当て方式によりマスクフレーム５をマスクカセット１
の中の所定の位置に位置決めするためのＶブロック、４
は■ブロック３にマスクフレーム５を押しつける可動片
である。可動片４は収納したマスクフレーム５の落下防
止の機能をも果す。

第２図を参照して、マスクホルダ２の詳細を説明する。

同図において、６はマスクフレーム５が非磁性体の場合
にマスクフレーム５に埋め込まれる磁性体、７は可動片
４を回転させるためのロータリーソレノイド、８はマス
クフレーム５を吸着保持するためにマスクホルダ２に固
定された永久磁石、９は永久磁石８の磁束に対して逆の
磁束を発生させるためのソレノイドコイル、１０はソレ
ノイドコイル９へ励ｂｎ電流を流すためのリード線であ
る。

上記構成において、マスクフレーム５をマスクホルダ２
に近づけると永久６ｉ１石８の磁束はマスクフレーム５
を介して磁路を形成し、これによりマスクはマスクホル
ダ２に吸着保持される。なお、マスクフレーム５が磁性
体で構成されていない場合は、マスクフレーム５に埋め
込まれた磁性体６により磁路が形成され、これによりマ
スクがマスクホルダ２に吸着保持される。マスクがマス
クホルダ２に吸着保持される際には、マスクフレーム５
がＶブロック３に突き当たりながら位置決めされるので
、マスクは高精度に吸着保持されることとなる。

マスクホルダ２からマスクを外すときは、リード線１０
を介してソレノイドコイル９を励磁し、永久磁石８の磁
束を瞬間的に打ち消せばよい。これにより、マスクフレ
ーム５は永久磁石８による吸着保持から開放される。

なお、このマスクフレーム５は磁気的手段により垂直に
吸着保持されているが、ロータリソレノイド７によって
可動片４を駆動しマスクフレーム５の外縁を押圧するこ
とにより、落下防止およびＶブロック３への確実な突当
てが実現される。

第３図は、上記構成のマスクカセット１中のマスクホル
ダ２に対しマスクを取出しまたは収納する際の状態を示
している。同図において、１１はマスクを搬送するマス
クハンドである。

まず、マスクフレーム５をマスクフレーム２に取付ける
シーケンスを説明する。まず、マスクハンド１１により
ハンドリングされるマスクフレーム５がマスクホルダ２
に載置される前に、永久磁石８の磁束をソレノイドコイ
ル９でキャンセルして吸着力をなくしておく。さらに、
可動片４を第３図の破線で示す位置から実線で示す位置
へと移動しておく。これにより、マスクフレーム５がマ
スクホルダ２へ衝撃を伴つて吸着されるのを防ぐことが
できる。また、マスクホルダ２へのマスクハンド１１の
進入は妨げられることがなくなる。

次に、マスクフレーム５とマスクホルダ２とのギャップ
がほぼゼロとなった所で、ソレノイドコイル９への通電
を止めて永久磁石８によりマスクフレーム５の吸着保持
を行なう。そして、マスクハンド１１をマスクホルダ２
上から退避する。その後、可動片４をロータリーソレノ
イド７により駆動し、マスクフレーム５の外縁を押して
マスクを確実に固定する。以上でマスクの収納が完了し
た。

また、マスクをマスクホルダ２から取外すシーケンスは
、上記したシーケンスを逆にすればよい。すなわち、ま
ず可動片４を駆動して実線で示す位置で待機させ、マス
クハンド１１でマスクフレーム５を把持する。その後、
ソレノイドコイル９を励磁して永久磁石８の吸着力を打
ち消し、マスクを把持したままマスクハンド１１を引き
出す。このハンドリング終了後、ソレノイドコイル９へ
の通電をやめる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、マスクカセット
内のマスクホルダにマグネットチャック、位置決めＶブ
ロックおよび押え金を備えているので、以下のような効
果がある。

（１）マスクの取出し収納が簡単であり、マスクを高精
度に位置決め保持することができる。

（２）マスクが垂直の状態であっても確実な保持が可能
である。

（３）保持手段に永久磁石を使っているため、エネルギ
ーを供給する必要がない。また、停電時においてもマス
クが落下する危険がない。

（４）構成が簡単であり、複数枚のマスクを収納するよ
う構成することも容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係るマスクカセットの構
成図、 第２図は、第１図のマスクホルダ部分をＡ方向から見た
側面および一部断面図、 第３図は、第１図のマスクホルダ部分をＢ方向から見た
正面図、 第４図は、従来のマスクカセットを示す斜視図である。 ：可動片、 ：マスクフレーム、 ６ｎ性体、 二ロータリーソレノイド、 ：永久磁石、 ：ソレノイドコイル、 ０：リード線、 １：マスクハンド。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも１枚の露光用マスクを収納するマスク
   カセットであって、 該マスクを垂直に載置するマスクホルダと、該マスクホ
   ルダに設けられた、マスクを磁気的に吸着保持するチャ
   ック手段と、 マスクの外縁に対する突当て方式により、マスクを所定
   位置に設置する位置決め手段と、 マスクの外縁を把持する手段とを 具備することを特徴とするマスクカセット。