JPH0293061A - 熱吸収膜の製造方法 - Google Patents
熱吸収膜の製造方法Info
- Publication number
- JPH0293061A JPH0293061A JP24399188A JP24399188A JPH0293061A JP H0293061 A JPH0293061 A JP H0293061A JP 24399188 A JP24399188 A JP 24399188A JP 24399188 A JP24399188 A JP 24399188A JP H0293061 A JPH0293061 A JP H0293061A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- absorbing film
- film
- vapor
- aluminum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 12
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims description 10
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910000914 Mn alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 5
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空中で熱伝導材表面に熱吸収性の蒸着膜を
形成する熱吸収膜の製造方法に関するものである。
形成する熱吸収膜の製造方法に関するものである。
（従来の技術）
熱吸収膜はカラー受像管・ソーラー管等各種用途に用い
られるか、ここではカラー受像管のパネルの場合を具体
例として説明する。
られるか、ここではカラー受像管のパネルの場合を具体
例として説明する。
カラー受像管においては、パネルの内面に蛍光面を杉成
し、その上にアルミの膜を蒸着してメタルバック電極を
形成後、以下のような方法でアルミＡ着脱上に黒色膜を
形成して、電子ビームの衝突によつて加熱されるシャド
ウマスクからの熱射を吸収するようにし、これによりシ
ャドウマスクがさらに加熱されてドーミング現象が生ず
るのを防止しようとしている。
し、その上にアルミの膜を蒸着してメタルバック電極を
形成後、以下のような方法でアルミＡ着脱上に黒色膜を
形成して、電子ビームの衝突によつて加熱されるシャド
ウマスクからの熱射を吸収するようにし、これによりシ
ャドウマスクがさらに加熱されてドーミング現象が生ず
るのを防止しようとしている。
その方法としては、パネルのアルミ蒸着膜形成後、黒鉛
を溶剤に溶かしてスプレー塗布して黒鉛膜を付着させた
り、アルミ蒸着後に蒸着時より高い粘性流の範囲の圧力
で再度アルミニウムを蒸着し黒化膜を形成していた。ま
た、アルミ蒸着後、バリウム、マグネシウム又はシリコ
ン等を蒸着し、黒化膜を得る方法もある（時開ＩＶ］６
２−１４０３３５号公報参照）。
を溶剤に溶かしてスプレー塗布して黒鉛膜を付着させた
り、アルミ蒸着後に蒸着時より高い粘性流の範囲の圧力
で再度アルミニウムを蒸着し黒化膜を形成していた。ま
た、アルミ蒸着後、バリウム、マグネシウム又はシリコ
ン等を蒸着し、黒化膜を得る方法もある（時開ＩＶ］６
２−１４０３３５号公報参照）。
（９，明が解決しようとする課Ｍ）
上記従来技術においては次のような問題があつた。
黒鉛で黒化膜を形成する方法では、黒鉛は真空ｆｉ、着
の方法では蒸気圧が低いのて蒸着による膜形成が出来に
くい、また黒鉛を溶剤にとかしてスプレーする方法では
剥離し易く良質な膜を得ることか難しい。
の方法では蒸気圧が低いのて蒸着による膜形成が出来に
くい、また黒鉛を溶剤にとかしてスプレーする方法では
剥離し易く良質な膜を得ることか難しい。
このほか黒鉛膜ではガスの吸着性が大きく、真空中でガ
スを放出し易いので、カラー受像管の場合、高真空維持
に不利である。
スを放出し易いので、カラー受像管の場合、高真空維持
に不利である。
一方、アルミ蒸着膜形成後マグネシウムやバリウムの膜
を形成する場合は、これら金属は活性であるためパネル
内の圧力や残留ガス強度（水分濃度、酸素濃度など）を
十分精ｒに管理しないと。
を形成する場合は、これら金属は活性であるためパネル
内の圧力や残留ガス強度（水分濃度、酸素濃度など）を
十分精ｒに管理しないと。
安定した黒化膜は得難く、また膜形成後にパネルをフリ
ットにより接着する工程で酸化が進み改質が変化してし
まうという問題もある。
ットにより接着する工程で酸化が進み改質が変化してし
まうという問題もある。
シリコンを使用する場合は、黒色の膜が得られるといわ
れているか、Ｓ、の蒸気圧が比較的低いので高温の蒸発
源か必要となり技術上不利であるまた、パネルのフリッ
ト接着工程ではＳ ｔ Ｏｔになり易く、一方Ｓ、０□
は透明になるので膜の黒色度が変化してしまうこととな
る。
れているか、Ｓ、の蒸気圧が比較的低いので高温の蒸発
源か必要となり技術上不利であるまた、パネルのフリッ
ト接着工程ではＳ ｔ Ｏｔになり易く、一方Ｓ、０□
は透明になるので膜の黒色度が変化してしまうこととな
る。
（課題を解決するための手段）
本発明は、熱伝導材に、マンガンとアルミニウムも１ノ
〈はスズとの合金又はマンガンとアルミニウムもしくは
スズの混合物を厚着物質として蒸着を行い、熱吸収膜を
形成するようにしたものであこれは、マユ／ガンの次の
ような特性を利用したものである。すなわち、マンガン
の酸化物は、ＭｎＯか緑色であるが、Ｍｎ＝ ０４ 、
Ｍｎ、Ｏ。
〈はスズとの合金又はマンガンとアルミニウムもしくは
スズの混合物を厚着物質として蒸着を行い、熱吸収膜を
形成するようにしたものであこれは、マユ／ガンの次の
ような特性を利用したものである。すなわち、マンガン
の酸化物は、ＭｎＯか緑色であるが、Ｍｎ＝ ０４ 、
Ｍｎ、Ｏ。
Ｍ ｎ Ｏ１はいずれも黒色であり、黒色になる条件の
酸ヨ社の含有範囲か極めて広いため、圧力・処理時間・
＃素濃度等の外理条件が変化しても、酸化物の黒色度が
極めて変わりにくいのである。
酸ヨ社の含有範囲か極めて広いため、圧力・処理時間・
＃素濃度等の外理条件が変化しても、酸化物の黒色度が
極めて変わりにくいのである。
（発明の実施例）
本発明の実施例を第１図を用いて説明する。
カラー受Ｓ管の場合は、第１ ＋ｇのように、ガラス板
上に蛍光部３を形成した後１０−’〜１Ｏ−ＩＩＴｏｒ
ｒの真空状態でＵＡ／Ｊ＜ １ノないヒーターにより林
状のアルミニウムを加熱蒸発させてアルミ膜４を蒸着形
成した後に、そのままの真空状態で、抵抗加熱体７によ
り、熱吸収膜材６（マンガンとアルミニウム又はスズの
混合物や合金）を加熱して蒸発させ、マンガンとアルミ
ニウム又はスズ合金の蒸着膜を形成することになる。
上に蛍光部３を形成した後１０−’〜１Ｏ−ＩＩＴｏｒ
ｒの真空状態でＵＡ／Ｊ＜ １ノないヒーターにより林
状のアルミニウムを加熱蒸発させてアルミ膜４を蒸着形
成した後に、そのままの真空状態で、抵抗加熱体７によ
り、熱吸収膜材６（マンガンとアルミニウム又はスズの
混合物や合金）を加熱して蒸発させ、マンガンとアルミ
ニウム又はスズ合金の蒸着膜を形成することになる。
この場合２以上の蒸発源を設け、そのうち少なくとも１
つにマンカンを入れ、他にアルミニウム等の火種金属な
スれて蒸発させてもよい。
つにマンカンを入れ、他にアルミニウム等の火種金属な
スれて蒸発させてもよい。
（発明の効果）
未発明によれば以下のような効果がある。
・真空中の吸熱９ｆＪ果を必要とするブラウン管のパネ
ル部に使用する熱吸収膜工程が、Ｊ′ｉ！２．Ｂ条件が
ｌＯ−’ＴｏｒｒからＩ Ｏ−’Ｔ ｏ ｒ ｒの広い
圧力範囲で処理時間も数秒から数１００秒という精密調
御の必要ない条件で形成でき、また雰囲気中の＃素や木
の濃度か変化しても安定に良質の膜形成が行える。
ル部に使用する熱吸収膜工程が、Ｊ′ｉ！２．Ｂ条件が
ｌＯ−’ＴｏｒｒからＩ Ｏ−’Ｔ ｏ ｒ ｒの広い
圧力範囲で処理時間も数秒から数１００秒という精密調
御の必要ない条件で形成でき、また雰囲気中の＃素や木
の濃度か変化しても安定に良質の膜形成が行える。
・アルミニウム！３蒸着等のまえ工程の後そのままの真
空状態で熱吸収膜が形成できる。
空状態で熱吸収膜が形成できる。
・本発明の方法て形成されるマンガンを含む蒸−ｎ膜は
黒色味を帯びる。これはマンガンの活性によって真空槽
内の木を含む残留放出ガスとの醸化現象である。なお形
成後にフリット炉（カラー受像の大気圧すなわち酸化雰
囲気で行われるため熱吸収膜の黒色からの変化があ）て
はならない、この工程で酸化保護膜を形成しアルミニウ
ム又はスズが加わることによって更に変色をさまたげる
効果がある。
黒色味を帯びる。これはマンガンの活性によって真空槽
内の木を含む残留放出ガスとの醸化現象である。なお形
成後にフリット炉（カラー受像の大気圧すなわち酸化雰
囲気で行われるため熱吸収膜の黒色からの変化があ）て
はならない、この工程で酸化保護膜を形成しアルミニウ
ム又はスズが加わることによって更に変色をさまたげる
効果がある。
・しかも、マンガンは、ガス吸着性が低いので形成され
た膜は、その後の真空工程においてガス放出による問題
を生じない。
た膜は、その後の真空工程においてガス放出による問題
を生じない。
・請求項２の方法では、Ｅ記の効果に加え、マンガンに
他の金属を混ぜて膜形成を行うとき１合金や金属の混合
物を作成する必要がないという効果がある。
他の金属を混ぜて膜形成を行うとき１合金や金属の混合
物を作成する必要がないという効果がある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、マンガンとアルミニウムもしくはスズとの合金、又
はマンガンとアルミニウムもしくはスズとの粉末混合物
を蒸発させて熱伝導材表面に蒸着させて熱吸収膜を形成
することを特徴とする熱吸収膜の製造方法。 ２、マンガンを１蒸発源から蒸発させ、アルミニウム又
はスズを他の蒸発源から蒸発させて、マンガンを含む熱
吸収膜を蒸着形成する請求項１記載の熱吸収膜の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24399188A JPH0718001B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 熱吸収膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24399188A JPH0718001B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 熱吸収膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0293061A true JPH0293061A (ja) | 1990-04-03 |
| JPH0718001B2 JPH0718001B2 (ja) | 1995-03-01 |
Family
ID=17112088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24399188A Expired - Fee Related JPH0718001B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 熱吸収膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718001B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007113112A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Samsung Sdi Co Ltd | 薄膜蒸着装置及びそれを用いた薄膜蒸着方法 |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP24399188A patent/JPH0718001B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007113112A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Samsung Sdi Co Ltd | 薄膜蒸着装置及びそれを用いた薄膜蒸着方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0718001B2 (ja) | 1995-03-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0067470B1 (en) | Display tube and method of manufacturing a display screen for such a display tube | |
| US4009409A (en) | Fast warmup cathode and method of making same | |
| JPH0293061A (ja) | 熱吸収膜の製造方法 | |
| JPH0317930A (ja) | カラーブラウン管の製造方法 | |
| JPH0275132A (ja) | シャドウマスク形カラー陰極線管 | |
| US3764367A (en) | Television picture tube having an electron scattering prevention film | |
| US2980550A (en) | Evaporated phosphor screen | |
| JPS6210269A (ja) | 真空蒸着装置及び薄膜の製造方法 | |
| JP2977659B2 (ja) | シャドーマスクのアンチドーミング材の蒸着方法 | |
| JP2865902B2 (ja) | シャドーマスクの熱変形を最小化するためのカラーブラウン管製造方法 | |
| US6428840B2 (en) | Method of producing cathode ray tube and method of forming films | |
| US3179835A (en) | Pickup tube having a cesiated photocathode and a substantially leakagefree target, and method of making the same | |
| US1869342A (en) | Photo-electric tube | |
| JPH04253141A (ja) | 表示管 | |
| JPH11213884A (ja) | カラー陰極線管の製造方法 | |
| JPH026185B2 (ja) | ||
| KR950001746B1 (ko) | 음극선관 및 그 제조방법 | |
| JPH0641729A (ja) | 蒸着用材料 | |
| US1869379A (en) | Emulsions and materials, methods and processes for the preparation thereof | |
| JPH0644892A (ja) | 熱陰極構体 | |
| JP2003217450A (ja) | 陰極線管の製造方法 | |
| JPS6215733A (ja) | カラ−受像管の製造方法 | |
| JPH0246621A (ja) | カラー陰極線管の製造方法 | |
| JPS60200441A (ja) | カラ−受像管 | |
| JPH04249848A (ja) | 表示用真空管 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |