JPH0291993U - - Google Patents

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JPH0291993U
JPH0291993U JP17094488U JP17094488U JPH0291993U JP H0291993 U JPH0291993 U JP H0291993U JP 17094488 U JP17094488 U JP 17094488U JP 17094488 U JP17094488 U JP 17094488U JP H0291993 U JPH0291993 U JP H0291993U
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JP
Japan
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moving
piezoelectric element
lifting table
clamper
actuator
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JP17094488U
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  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１〜５図は本考案の実施例を示しており、第
１図は全体構成を示す平面図、第２図は同じく正
面図、第３図は第１図のＡ−Ａ断面図、第４〜５
図はＸ，Ｙ方向アクチユエータを示しており、第
４図は第３図のＢ−Ｂ断面図、第５図は第４図の
Ｃ−Ｃ断面図、第６図はＳＴＭの１例を示す部分
切断斜視図、第７図はＳＴＭにより物質表面の微
細形状を測定した結果の１例を示す図である。 １：探針、２：微動装置、３：Ｘ方向圧電素子
、４：Ｙ方向圧電素子、５：Ｚ方向圧電素子、６
：基板、７：ダンパ、８：支持フレーム、９：上
板、１０：下板、１１：透孔、１２：ＳＴＭユニ
ツト、１３：昇降台、１４：ジヨイントロツド、
１４ａ：弾性変形部、１５：リフタ、１６：クラ
ンパ、１７：圧電素子、１８：移動台、１９：Ｘ
方向ガイドレール、２０：Ｙ方向ガイドレール、
２１：Ｘ方向アクチユエータ、２２：Ｙ方向アク
チユエータ、２３：ガイドブロツク、２４：ロー
ラ、２５：移動軸、２６：第一の圧電素子、２７
：第二の圧電素子、２８：第三の圧電素子、２９
：第一のクランパ、３０：第二のクランパ、３１
：Ｘ方向粗動機構、３２：Ｙ方向粗動機構、３３
：螺子杆、３４：ナツト、３５：摘み、３６：試
料台、３７：Ｘ方向変位板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 上面を高度の平担面とし、一部に試料台を設け
    た移動台と、圧電素子の伸縮に基づいてこの移動
    台をＸ方向に亙り水平移動させるＸ方向アクチユ
    エータと、圧電素子の伸縮に基づいて同移動台を
    Ｙ方向に亙り水平移動させるＹ方向アクチユエー
    タと、下面を高度の平担面とし、上方に精密測定
    器を支持した昇降台と、この昇降台を上昇させる
    上昇手段と、昇降台下降時に、この昇降台の下面
    を移動台の上面に押し付ける為のクランパとから
    成る精密位置決め台。
JP17094488U 1988-12-29 1988-12-29 Pending JPH0291993U (ja)

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JP17094488U JPH0291993U (ja) 1988-12-29 1988-12-29

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JP17094488U JPH0291993U (ja) 1988-12-29 1988-12-29

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JPH0291993U true JPH0291993U (ja) 1990-07-20

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ID=31462330

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