JPH0424009U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図から第３図はこの考案の一実施例を示す
もので第１図は一部を断面にして示す正面図、第
２図は第１図の上部の平面図、第３図は第１図の
Ａ−Ａ線矢視図である。 １……ターンテーブル、２……試料台、２ａ…
…試料、７……第１駆動機、９……顕微鏡、１０
……ピエゾアクチエータ、１０ａ……探針、１１
，１２……第１、第２のスライドテーブル、１３
……第２駆動機、１５……第３駆動機、２０、２
１……マイクロメータヘツド。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 第１駆動機により駆動されるターンテーブルと
   、このターンテーブル上に載置された試料台と、
   前記ターンテーブルの上方に配設された台上にタ
   ーンテーブルの中心の延長線分に対して対称に配
   置された顕微鏡及び探針部と、この顕微鏡及び探
   針部が前記台上にてそれぞれ別々に移動自在に取
   り付けられた一対のスライドテーブルと、これら
   スライドテーブルに設けられ、スライドテーブル
   を別々に微調整する一対の微調整機構と前記台を
   上・下方向に移動せしめる上・下駆動機構とを備
   えたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡の微
   細位置決め装置。