JPH02139039U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02139039U JPH02139039U JP4632689U JP4632689U JPH02139039U JP H02139039 U JPH02139039 U JP H02139039U JP 4632689 U JP4632689 U JP 4632689U JP 4632689 U JP4632689 U JP 4632689U JP H02139039 U JPH02139039 U JP H02139039U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis slide
- slide
- axis
- drive device
- driving forces
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
Description
第１図はこの考案に係るＸＹテーブルの平面図
、第２図はその縦断正面図、第３図は他の例を示
す縦断正面図、第４図はＹ軸スライドにおけるコ
ンプライアンスの周波数特性を示す図、第５図は
Ｙ軸スライドにおける駆動力の作用を模式的に示
す図、第６図は従来構造を示す図である。 １……Ｘ軸スライド、２……Ｙ軸スライド、３
……ステージ、４……スライド駆動装置、５……
ステージ駆動装置、８……位置検出器、１１……
Ｘ軸スライド、１２……Ｙ軸スライド、１３……
ステージ、１４……リニアモータ、１５……補助
リニアモータ、１６……位置検出器。
、第２図はその縦断正面図、第３図は他の例を示
す縦断正面図、第４図はＹ軸スライドにおけるコ
ンプライアンスの周波数特性を示す図、第５図は
Ｙ軸スライドにおける駆動力の作用を模式的に示
す図、第６図は従来構造を示す図である。 １……Ｘ軸スライド、２……Ｙ軸スライド、３
……ステージ、４……スライド駆動装置、５……
ステージ駆動装置、８……位置検出器、１１……
Ｘ軸スライド、１２……Ｙ軸スライド、１３……
ステージ、１４……リニアモータ、１５……補助
リニアモータ、１６……位置検出器。
Claims (1)
- Ｘ軸スライド上にその軸に直交するＹ軸スライ
ドを移動可能に取付け、このＹ軸スライド上にス
テージを移動可能に支持し、上記Ｘ軸スライドに
沿つてＹ軸スライドを駆動するスライド駆動装置
を設けたＸＹテーブルにおいて、上記スライド駆
動装置からＹ軸スライドの両端部に作用する駆動
力をそれぞれＦ１，Ｆ２、その各駆動力の作用点
からＹ軸スライドの重心位置までの距離をそれぞ
れｌ１，ｌ２とした場合、上記駆動力Ｆ１，Ｆ２
が、Ｆ１×ｌ１＝Ｆ２×ｌ２の関係をもつて設定
されていることを特徴とするＸＹテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4632689U JPH02139039U (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4632689U JPH02139039U (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02139039U true JPH02139039U (ja) | 1990-11-20 |
Family
ID=31561311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4632689U Pending JPH02139039U (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02139039U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007173264A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Tanaka Seiki Kk | 多軸巻線機 |
| JP2014036449A (ja) * | 2012-08-07 | 2014-02-24 | Panasonic Corp | 同期駆動装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6215445B2 (ja) * | 1980-10-31 | 1987-04-07 | Furukawa Electric Co Ltd |
-
1989
- 1989-04-20 JP JP4632689U patent/JPH02139039U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6215445B2 (ja) * | 1980-10-31 | 1987-04-07 | Furukawa Electric Co Ltd |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007173264A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Tanaka Seiki Kk | 多軸巻線機 |
| JP2014036449A (ja) * | 2012-08-07 | 2014-02-24 | Panasonic Corp | 同期駆動装置 |