JPH0290078U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0290078U JPH0290078U JP16872788U JP16872788U JPH0290078U JP H0290078 U JPH0290078 U JP H0290078U JP 16872788 U JP16872788 U JP 16872788U JP 16872788 U JP16872788 U JP 16872788U JP H0290078 U JPH0290078 U JP H0290078U
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- JP
- Japan
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- ceramic
- ceramic structure
- bonded
- solid
- plate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 10
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
Description
第１図は本考案のセラミツク製構造体を利用し
たＸ―Ｙテーブルの摸式斜視図、第２図は同セラ
ミツク製構造体の斜視図、第３図は従来のＸ―Ｙ
テーブルの一部切欠き斜視図である。 （符号の説明）、３，４……セラミツク製構造
体、５……セラミツク製板材、６……セラミツク
製棒材。
たＸ―Ｙテーブルの摸式斜視図、第２図は同セラ
ミツク製構造体の斜視図、第３図は従来のＸ―Ｙ
テーブルの一部切欠き斜視図である。 （符号の説明）、３，４……セラミツク製構造
体、５……セラミツク製板材、６……セラミツク
製棒材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 断面が円形若しくは多角形で且つ中空又は中
実のセラミツク製棒材と、セラミツク製板材とを
相互に接合固定し平板状に構成した平面移動を伴
う加工装置用セラミツク製構造体。 ２ 上記棒材と板材の各々の接合面を清浄にし、
これらを重ね合せ、再焼結温度近くまで加熱し、
固相拡散によつて相互に接合して成る請求項１記
載のセラミツク製構造体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16872788U JPH0290078U (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16872788U JPH0290078U (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0290078U true JPH0290078U (ja) | 1990-07-17 |
Family
ID=31458159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16872788U Pending JPH0290078U (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0290078U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010008197A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Shimadzu Corp | 基板検査装置用ステージ |
| JP2017071549A (ja) * | 2012-03-22 | 2017-04-13 | サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド | 長尺チューブ構造体 |
| JP2017081816A (ja) * | 2012-03-22 | 2017-05-18 | サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド | 焼結結合されたセラミック物品 |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP16872788U patent/JPH0290078U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010008197A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Shimadzu Corp | 基板検査装置用ステージ |
| JP2017071549A (ja) * | 2012-03-22 | 2017-04-13 | サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド | 長尺チューブ構造体 |
| JP2017081816A (ja) * | 2012-03-22 | 2017-05-18 | サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド | 焼結結合されたセラミック物品 |
| JP2019023158A (ja) * | 2012-03-22 | 2019-02-14 | サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス，インコーポレイティド | 長尺チューブ構造体 |