JPS633137U - - Google Patents

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JPS633137U
JPS633137U JP9536786U JP9536786U JPS633137U JP S633137 U JPS633137 U JP S633137U JP 9536786 U JP9536786 U JP 9536786U JP 9536786 U JP9536786 U JP 9536786U JP S633137 U JPS633137 U JP S633137U
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【図面の簡単な説明】
第1図は本考案による半導体ウエハ熱処理用石
英ボートの一実施例を示す斜視図、第2図は第1
図における棧材の構造を示す二面図、第3図は第
1図における支持板の構造を示す二面図、第4図
は従来の半導体ウエハ熱処理用石英ボートを示す
斜視図、第5図は第4図において棧部に加わる応
力の方向を示す説明図である。 1:半導体ウエハ、7:半導体ウエハ熱処理用
石英ボート、8a,8b:支持板、9a,9b:
棧材、10a,10b:補助棧部、12a,12
b,14a,14b:取付部、15a,15b,
16a,16b:嵌着部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 所定の間隔で固定された少なくとも2個の支持
    板と、 外周面に沿つて一周するウエハ搭載溝を軸方向
    に多数平行に形成した2本の棧材とを備え、 この2本の棧材の少なくとも両端部を三角柱状
    、四角柱状または多角柱状の取付部とし、 かつこの取付部と適合する形状で上面を解放し
    た嵌着部を前記支持板の各々に形成して、 前記取付部を嵌着部に嵌合させることにより2
    本の棧材が互いに平行でかつ回転不可能な状態に
    支持板に保持されるようにしたことを特徴とする
    半導体ウエハ熱処理用石英ボート。
JP9536786U 1986-06-24 1986-06-24 Pending JPS633137U (ja)

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JPS633137U true JPS633137U (ja) 1988-01-11

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