JPH0287643A - 半導体ウェーハ試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体ウェーハの試験装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に被試験半導体ウェーハは、機能を有するＩＣチッ
プとＩＣチップから得られる特性以外の特性データをウ
ェーハ全面にわたって均一に調査するために、モニタチ
ップをＩＣチップと対にしてウェーハ全面に配置してい
る。

第３図は従来の半導体ウェーハ試験装置の一例の平面模
式図、第４図は第３図の動作を説明するための流れ図で
ある。

第３図に示すようにウェーハ１ａは、第■行第Ｊ列のＩ
Ｃチップ２１Ｊとモニタチップ３１Ｊの隣接対であるチ
ップ対５１Ｊを含む５列と、それに平行な同一パターン
を複数個有している。

プローバは、モニタ識別抵抗Ｒの両端パッド４Ａ　、４
［１を含むモニタチップ３１Ｊの全パッド、又はＩＣ識
別抵抵抗の両端パッド４．．４ｔ、を含むＩＣチップ２
＋、、＋の全パッドに同時に接触する複数の探針７を設
けたプローブカード６Ａを有していた。

各チップの試験は、まず抵抗値Ｒまたはｒを識別した後
に、プローブカード６、に接続されている試験部中に予
め記憶されているプログラムにより制御されていた。

ここで、ＩＣチップ２１Ｊとモニタチップ３ＩＪはパッ
ド配列が同一であるので、プローブカード６ａは共用さ
れている。

こうしておけばプローブカード６３は１枚ですむので経
済的であるし、いちいちＩＣ又はモニタチップに対して
交換する手間も除けるので効率的である。

第４図に示すようにウェーハ１ａの試験は、予め記憶し
であるＩＣチップ用、モニタチップ用のプログラムを用
いる前にチップ識別抵抗の抵抗値を測定して、この抵抗
値により例えば５００ΩのときＩＣチップ２１Ｊで、５
にΩのときモニタチップ３１Ｊであると判断して、それ
に対応したそれぞれのプログラムを用いて試験するよう
になっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の半導体ウェーハ試験装置は、ＩＣチップ
かモニタチップかの判断手段としてテストプログラム及
びチップレイアウトの工夫が必要である。

このため判断結果に対応しておのおののテストプログラ
ムにジャンプするという煩雑さがあり、また両チップ上
に識別抵抗やパッドなどの余分なレイアウトスペースを
必要とし小形化に反するという問題があった。

また、識別抵抗Ｒ又はｒの製造バラツキにより誤判定さ
れる恐れもあった。

さらに、プローブカードはチップ対のＩＣチップとモニ
タチップと別々に対応して全チップの試験を行うので、
プローブカードの移動等の時間が多くかかるという問題
があった。

本発明の目的は、テストプログラムが簡単で試験時間の
短い半導体ウェーハの試験装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の半導体ウェーハ試験装置は、複数のパッドを有
するＩＣチップと前記パッドと同一の配列のパッドを有
するモニタチップとの隣接対を配列した被試験半導体ウ
ェーハの前記パッドに探針を接触する１０−ブカードと
、該プローブカードに接続する試験部に記憶されている
プログラムによって前記ＩＣ及びモニタの両チップを試
験する半導体ウェーハ試験装置において、前記プログラ
ムカードが前記隣接対の全パッドに同時に接触する探針
を有し、かつ前記プログラムが前記隣接対の前記両チッ
プの同時試験内容を記憶して構成されている。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例の平面模式図、第２図は第１
図の動作を説明するための各部の流れ図である。

第１図に示すように、ウェーハ１は識別抵抗Ｒ，ｒを省
いてパッド４．．４ｂ及び４Ａ、４ｂ間のチップ内部に
別の機能を付加したことが異る意思外は第３図の従来の
ウェーハ１ａと同一である。

またプローブカード６は、ＩＣチップ２１Ｊ及びモニタ
チップ３１Ｊのチップ対５１Ｊの全バットに同時に接触
する探針７を有することが第３図の従来のプローブカー
ド６１と異っている。

プローブカード６に接続する試験部に予め記憶されてい
るプログラムはＩＣチップ２１ｊ及びモニタチップ３１
Ｊの両方の試験を行うよう設定されている。

第２図に示すように、半導体ウェーハ１の試験はまず、
モニタチップ３ＩＪに関するテストを行ない、ＩＣチッ
プ２１Ｊと異るモニタ特性データを収集し、しかるのち
にＩＣチップ２１Ｊのテストを行ない、不良チップであ
ればイン力でマーキングを行ない、次にプローブカード
６を下のチップ対５１１＋ｌ）Ｊに移動する。

もちろんこのモニタチップ３２．とｊＣチップ２１」の
テスト順序は逆にしても本質的に変わることはない。

ＩＣチップの良品ペレット発生率（Ｐ／Ｗという）及び
モニタチップのデータ収集が完了しなならば、モニタチ
ップおよびマーキングされた不良品のＩＣチップと良品
のＩＣチップを選別する。

以上に説明した本実施例では、イン力はＩＣチップを対
象にしたために、モニタチップには何のマーキングもさ
れないが、モニタチップを対象に追加しても良い。

なお本実施例では、プローブカード６はＩＣチップとモ
ニターチップの両方のチップに同時に接触するような構
造となっているので、両方のチップの境界線８周辺のパ
ッド４ｃには探針７が接触出来ないので、レイアウト設
計時に予め考慮しておく。

本実施例によれば、識別抵抗Ｒ，ｒの代りにチップ機能
を追加したが、従来と同一のチップ機能にしてパッド４
Ａ、４Ｂ及び４．．４ｂ対応チップ面積を省いて小形に
できる。

また、プローブカード６はチップ対に対して移動し、チ
ップ識別を不要とするために試験時間が１０〜２０％低
減出来る。

なお、本実施例では、両チップに外観上の相異はないが
、両チップにチップ識別模様を付加してもよい。

〔発明の効果〕

以上の説明で明らかなように本発明は、ＩＣチップとモ
ニタチップよりなるチップ対の両方のチップに対し、１
つのプローブカードで同時に接触し、両方のチップのテ
スト内容を記述した１つのテストプログラムを用いて同
時に試験することにより、プログラム上の煩雑さも無く
すという効果がある。

さらにチップ移動時間が半減しかつチップ識別に要する
時間だけ短縮されるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の平面模式図、第２図は第１
図の動作を説明するための各部の流れ図、第３図は従来
の半導体ウェーハ試験装置の一例の平面模式図、第４図
は第３図の動作を説明するための流れ図である。 １・・・ウェーハ　２１Ｊ・・・第ｉ行第ｊ列のＩＣチ
ップ、３１．・・・第ｉ行第ｊ列のモニタチップ、４・
・・パッド、５．、・・・第ｉ行第ｊ列のチップ対、６
・・・プローブカード、７・・・探針。 代理人　弁理士　　内　原　　晋 ５乙Ｉ　チッフ゛対 第１図 ｓＩＪチ、ブ対

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数のパッドを有するＩＣチップと前記パッドと同一の
   配列のパッドを有するモニタチップとの隣接対を配列し
   た被試験半導体ウェーハの前記パッドに探針を接触する
   プローブカードと、該プローブカードに接続する試験部
   に記憶されているプログラムによって前記ＩＣ及びモニ
   タの両チップを試験する半導体ウェーハ試験装置におい
   て、前記プログラムカードが前記隣接対の全パッドに同
   時に接触する探針を有し、かつ前記プログラムが前記隣
   接対の前記両チップの同時試験内容を記憶することを特
   徴とする半導体ウェーハ試験装置。