JPH0287118A - 液晶表示パネルの製造方法 - Google Patents

液晶表示パネルの製造方法

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JPH0287118A
JPH0287118A JP63238332A JP23833288A JPH0287118A JP H0287118 A JPH0287118 A JP H0287118A JP 63238332 A JP63238332 A JP 63238332A JP 23833288 A JP23833288 A JP 23833288A JP H0287118 A JPH0287118 A JP H0287118A
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JP
Japan
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substrate
liquid crystal
spacers
tft
path line
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JP63238332A
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English (en)
Inventor
Kazutaka Hanaoka
一孝 花岡
Takeshi Kamata
豪 鎌田
Yoshiro Koike
善郎 小池
Seiji Tanuma
清治 田沼
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔(既  要〕 薄膜トランジスタ(T P T)を用いたアクティブマ
トリックス型のフルカラー液晶表示パネルの製造方法に
関し、 複数のスペーサが散布されたTPT基板上のバスライン
やTFT上に点在されているスペーサに関係なく、表示
電極上に点在されたスペーサだけでTPT基板と対向基
板間に均一な液晶充填間隙を精度良く形成することを目
的とし、 バスラインと薄膜トランジスタ及び表示電極が形成され
、その表面に配向膜が形成された一方の基板上に、液晶
充填間隙を規定する複数個のスペーサを介してカラーフ
ィルタ、共通透明電極及び配向膜が形成された他方の基
板を対向配置する液晶表示パネルの製造において、前記
他方の基板のカラーフィルタ上に透明樹脂層を形成し、
該透明樹脂層の前記一方の基板上のバスライン及び薄膜
トランジスタと対応する位置に、該バスラインの線幅及
び薄膜トランジスタの面積に等しいか、それより広く、
そしてそれらの高さに等しいか、それより深い形状の溝
を形成し、その表面に共通透明電極と配向膜を形成し、
かかる他方の基板を、液晶充填間隙を規定する複数個の
スペーサを散布した前記一方の基板上に対向配置して、
当該側基板間に液晶充填間隙を形成する構成とする。
〔産業上の利用分野〕
本発明は液晶表示パネルの製造方法に係り、特に薄膜ト
ランジスタを画素の駆動に用いたアクティブマトリック
ス型のフルカラー液晶表示パネルの液晶充填間隙を精度
よく均一に形成する方法に関するものである。
液晶表示パネルでは表示品質に影響する液晶充填間隙の
均一化が要求されるが、薄膜トランジスタを用いたアク
ティブマトリックス型のフルカラー液晶表示パネルにお
いては液晶充填間隙を構成する一対の基板の内の一方の
基板面が、スキャンバスライン、データバスライン及び
薄膜トランジスタ(T P T)等の形成により凹凸面
となっている関係上、該一対の基板間に液晶充填間隙を
均一に設けるために介在させるスペーサの配設方法が煩
雑となり、該液晶充填間隙が不均一になる傾向にある。
このため、そのような液晶充填間隙を精度よく均一に形
成することができる製造方法が必要とされる。
〔従来の技術〕
従来のアクティブマトリックス型のフルカラー液晶表示
パネルは、第2図の分解斜視図に示すように、例えば一
方の透明ガラス基板2上にマトリックス状に配置された
液晶セルを構成する複数の表示電極3及びTPT4に対
して、その行方向と列方向に表示駆動用のスキャンバス
ライン5とデータバスライン6とが図示しない絶縁膜を
介して形成されたTPT基板1上に、図示しない液晶充
填間隙を規定する複数個のスペーサ(図示せず)を介し
て他方の透明ガラス基板9上に前記複数の表示電極3と
対応するR、G、Bのカラーフィルタ10と共通透明電
極11とが形成された他方の対向基板8を対向配置する
と共に、その対向間隙間に液晶を充填して、各表示電極
3と共通透明電極11との間に液晶セルを構成している
上記した液晶充填間隙を設ける方法としては、前記一方
のTPT基板lの表面上に球形状、または短ファイバ状
のスペーサ7を均一に散布した後、そのスペーサ7を介
して他方の対向基板8を対向配置し、加圧した状態でこ
れら両基板1.8の周囲を液晶注入口を残して気密にシ
ールすることによって設けている。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところで前記した液晶表示パネルにおける一方のTPT
基板1の表面は、第3図の要部平面図及びそのA−A’
切断線に沿った第4図の断面図で示すように一方の透明
ガラス基板2上にマトリックス状に配置された表示電極
3、TPT (薄膜トランジスタ)4、表示駆動用のデ
ータバスライン6及び図示しないスキャンバスライン等
の形成により凹凸面となっている。
このため、第5図に示すようにそのようなTPT基板1
の表面上に液晶充填間隙を規定する複数個の球形状、ま
たは短ファイバ状のスペーサ7を散布した場合、該スペ
ーサ7は液晶セルを構成する所要の各表示電極3上のみ
ならず、データバスライン6、図示しないスキャンバス
ライン及びTFTd上にも点在される。
従って、このようにスペーサ7が散布された一方のTP
T基板1上に前記他方の対向基板8を対向配置すると、
データバスライン6、図示しないスキャンバスラインや
TFTd上に点在するスペーサ7のみが該他方の対向基
板8の対向面に当接し、加圧シール時の重圧がそれらの
スペーサ7のみに付加されるため、データバスライン6
やTFT4が押圧されて変形し、動作不良を起こす恐れ
があると共に、これら側基板1.8間に形成される間隙
が大きく変動し、必要とする液晶充填間隙12が精度良
く得られないといった問題がある。
なお、第3図の要部平面図、第4図及び第5図の断面図
においてTPT基板1及び対向基板8の最上面には、実
質的にそれぞれ配向膜が形成されているが、問題点の説
明を明確にするために省略している。
このような問題はTPT基板1の各表示電極3上のみに
スペーサ7を選択的に散布することによって容易に解決
されるが、そのようなスペーサ7の散布方法は工程が複
雑となるといった欠点があった。
本発明は上記した従来の欠点に鑑み、複数のスペーサが
散布されたTPT基板上のバスラインやTFT上に点在
されているスペーサに関係なく、表示電極上に点在され
たスペーサだけでTPT基板と対向基板間に均一な液晶
充填間隙を精度良く形成し得る新規な液晶表示パネルの
製造方法を提供することを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段] 本発明は上記した目的を達成するため、バスラインと薄
膜トランジスタ及び表示電極が形成され、その表面に配
向膜が被覆された一方の基板上に、液晶充填間隙を規定
する複数個のスペーサを介してカラーフィルタ、共通透
明電極及び配向膜が形成された他方の基板を対向配置す
る液晶表示パネルの製造において、前記他方の基板のカ
ラーフィルタ上に透明樹脂層を形成し、該透明樹脂層の
前記一方の基板上のバスライン及び薄膜トランジスタと
対応する位置に、該バスラインの線幅及び薄膜トランジ
スタの面積に等しいか、それより広く、そしてそれらの
高さに等しいか、それより深い形状の溝を形成し、その
表面に共通透明電極と配向膜を形成し、かかる他方の基
板を、液晶充填間隙を規定する複数個のスペーサを散布
した前記一方の基板上に対向配置して、当該側基板間に
液晶充填間隙を形成するようにする。
〔作 用〕
本発明の液晶表示パネルの製造方法では、他方の基板の
カラーフィルタ上に形成した透明樹脂層の前記一方の基
板のバスライン及び薄膜トランジスタと対応する位置に
、該バスラインの線幅及び薄膜トランジスタの面積に等
しいか、それより広く、そしてそれらの高さに等しいか
、それより深い形状の溝を形成し、その表面に共通透明
電極と配向膜を形成した構成とすることにより、かかる
他方の基板を、液晶充填間隙を規定する複数個のスペー
サを散布した前記一方の基板上に対向配置した際に、バ
スライン及び薄膜トランジスタ上に点在するスペーサは
対向する他方の基板に設けた溝によって当該基板面に当
接することが避けられる。従って、従来の如きTPTや
各バスラインがスペーサにより押し潰されることがなく
なり、液晶セルとなる表示電極面に点在するスペーサの
みの介在により前記側基板間に均一な液晶充填間隙を精
度よく形成することができる。
〔実施例〕
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。
第1図(a)〜(d)は本発明に係るアクティブマトリ
ックス型のフルカラー液晶表示パネルの製造方法の一実
施例を工程順に示す要部断面図である。
先ず従来と同様に例えば透明ガラス基板2上にマトリッ
クス状に配置された複数の表示電極3及びTPT4に対
して、その行方向と列方向に表示駆動用のデータバスラ
イン6と図示しないスキャンバスラインとが形成され、
更にその表面に配向膜13が配設された一方のTPT基
板1と、液晶充填間隙27を規定するスペーサ7を介し
て対向配置する他方の対向基板21としては、第1図(
a)に示すように他方の透明ガラス基板9に前記複数の
表示電極3と対応するようにR(赤)、G(緑)、B(
青)からなる1〜1.5μmの膜厚のカラーフィルタ1
oを形成し、その表面に3μm程度の厚さの透明な硬質
ポリイミドからなる樹脂層22を形成する。
そしてその樹脂層22上の前記一方の基板1上の図示し
ないスキャンバスラインとデータバスライン6及びTP
T4と対応する位置に、該スキャンバスライン、データ
バスライン6及びTPT4の線幅(20μm)及び面積
(30u m X 50 u m)と同等、或いは同等
よりも周囲が5〜10μm大きい開口部を有するレジス
ト膜23をフォトリソグラフィ法により形成する。
次に第1図(b)に示すように前記開口部を有するレジ
スト膜23をマスクにして該樹脂層22を周知のドライ
エツチング法等により、前記スキャンバスライン、デー
タバスライン6及びTPT4の高さ(1μm)に相当す
る深さよりも0.5μm程度深くエツチングして1.5
μmの深さの溝24を形成する。
次に第1図(C)に示すように溝24が形成された前記
樹脂層22上の用済みのレジスト膜23を除去した後、
かかる樹脂層22上にそれぞれ0.1omの膜厚の共通
透明電極25と配向膜26を形成することにより構成す
る。
その後、このような構成の対向基板21を、第1図(d
)に示すように、複数の表示電極3、TPT4と図示し
ないスキャンバスライン、データバスライン6及び配向
膜13が順に形成されたTPT基板1上に散布にされた
例えば直径が5μmのスペーサ7を介して前記溝24と
TPT4及び図示しないスキャンバスライン、データバ
スライン6とが対応するように対向配置し、加圧した状
態でその周囲を気密にシールすることにより、TPT4
及び図示しないスキャンバスライン、データバスライン
6上に点在するスペーサ7は対向する対向基板21に設
けた溝24によってその基板21面に当接することが回
避される。従って、該スペーサ7によりTPT4やデー
タバスライン6等が押し潰されることもなく、これら側
基板1.21間に液晶充填間隙27が均一に形成され、
その間隙精度が著しく向上する。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明に係る液晶表示
パネルの製造方法によれば、TPT基板上に散布された
複数のスペーサがバスラインやTPT上に点在されるこ
とがあっても、それらのスペーサは対向する他方の基板
に設けた溝によって当該基板面に当接することが回避さ
れるので、それらのスペーサにより加圧シール時にTP
Tや各バスラインが押し潰されることもな(なり、表示
電極上に点在されるスペーサのみによりTPT基板と対
向基板間に均一な液晶充填間隙を精度良く形成すること
が可能となり、当該液晶表示パネルの間隙精度が著しく
向上する等、優れた効果が発揮される。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)〜(d)は本発明に係るアクティブマトリ
ックス型のフルカラー液晶表示パネル の製造方法の一実施例を工程順に示す 要部断面図、 第2図は従来のアクティブマトリックス型のフルカラー
液晶表示パネルを説明するた めの分解斜視図、 第3図は従来のアクティブマトリックス型のフルカラー
液晶表示パネルにおけるTP T基板を示す要部平面図、 第4図は第3図に示すA−A’切断線に沿った断面図、 第5図は従来のアクティブマトリックス型のフルカラー
液液晶表示パネルの問題点を 説明するための要部断面図である。 第1図(a)〜(d)において、 1はTPT基板、2は一方の透明ガラス基板、3は表示
電極、4はTPT、6はデータバスライン、7はスペー
サ、9は他方の透明ガラス基板、1oはカラーフィルタ
、13.26は配向膜、21は対向基板、22は樹脂層
、23はレジスト膜、24は溝、25は共通透明電極、
27は液晶充填間隙をそれぞれ示す。 小茫聰汝轟摩ン礼6製遭ズを鳴、有彩p瞼図第1図 第 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 バスライン(6)と薄膜トランジスタ(4)及び表示電
    極(3)が形成され、その表面に配向膜(13)が形成
    された一方の基板(1)上に、液晶充填間隙(27)を
    規定する複数個のスペーサ(7)を介してカラーフィル
    タ(10)、共通透明電極(25)及び配向膜(26)
    が形成された他方の基板(21)を対向配置する液晶表
    示パネルの製造において、 上記他方の基板(21)のカラーフィルタ(10)上に
    透明樹脂層(22)を形成し、該透明樹脂層(22)の
    前記一方の基板(1)上のバスライン(6)及び薄膜ト
    ランジスタ(4)と対応する位置に、該バスライン(6
    )の線幅及び薄膜トランジスタ(4)の面積に等しいか
    、それより広く、そしてそれらの高さに等しいか、それ
    より深い形状の溝(24)を形成し、その表面に共通透
    明電極(25)と配向膜(26)を形成し、かかる他方
    の基板(21)を、液晶充填間隙(27)を規定する複
    数個のスペーサ(7)を散布した前記一方の基板(1)
    上に対向配置して、当該両基板(1、21)間に液晶充
    填間隙を形成することを特徴とする液晶表示パネルの製
    造方法。
JP63238332A 1988-09-22 1988-09-22 液晶表示パネルの製造方法 Pending JPH0287118A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6204907B1 (en) 1995-09-27 2001-03-20 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device and manufacturing method thereof
JP2009075394A (ja) * 2007-09-21 2009-04-09 Seiko Epson Corp 電気光学装置及びこれを備えた電子機器
US9534633B2 (en) 2012-11-05 2017-01-03 Ntn Corporation Double-row rolling bearing

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