JPH0285770A - 平行板誘電分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は平行板電極を使用することにより試料の誘電特
性を分析する装置に関する。

［従来の技術および発明が解決しようとする問題点］ 試料の誘電特性を温度の関数として測定することにより
試料の物理的特性および化学的特性に関する貴重な情報
が得られることはよく知られている。このような測定は
、多年の間、試料を平行板電極の間に配置し、これらの
電極の一方（すなわち、励発電極）に電気信号を印加し
かつ他方の電極（すなわち、応答電極）からの電気信号
を測定することにより行われてきた。

次の方程式が使用される。

Ｃ±ｅ、θ’Ａ／ｄ 式中、 Ｃ−キャパシタンス ｅｏ−自由空間の誘電率（定数） ｅ′−（測定される）試料の誘電率 へ−平行板応答電極の面積 ｄ−励起電極板と応答電極板との間の距離平行板電極の
面積および励起電極と応答電極との間の距離が知られて
いれば、キャパシタンスを測定することにより試料の誘
電率（ｅ′）を容易に算出することができる。しかしな
がら、これらの測定を行うときに起こる共通のジレンマ
は電極板の間の距離を正確に測定することである。これ
は、大部分の測定が温度の関数としてなされかつ試料の
寸法が測定が進行するにつれて変化することに起因して
いる。しかしながら、この事実にもかかわらず、従来技
術の平行板誘電分析装置は、通常、電極間の距離を室温
における試料の厚さであると想定してきた。したがって
、材料が温度の関数として膨脹収縮するにつれて、次の
係数による測定値の誤差が生ずる。

ある場合には、この誤差は材料の熟膨脹係数（ある程度
の精度で知られていると想定する）の余裕をみておくこ
とにより補正される。しかし、材料がそのガラス転移温
度を通過するときにＣＴＥが変化するので、これは正確
な修正にはならない。また、ＣＴＥは試料にゼロの力を
作用するので、これは固体試料の誘電率の測定を行う場
合に実際的ではない。

すべての既知の装置は、当初、試料に一定の力を加えて
そのモード（一定の力）において実験を行うかまたは電
極板の間隔を設定して実験中その間隔を一定に保つ（一
定の距離に保つ）ようになっている。高温において一定
の力を加えるモードにおいては、試料が融解するときに
２個の電極板が接触して短絡し、その実験が早目に終了
する。定距離モードにおいては、試料が融解すれば、実
験は同様に早目に終了する。

慣用の平行板ｌ！誘電分析装置関する別の一つの重要な
実際の問題は、現在の分析装置が鋼板または金めっきし
た金属板を使用することから発生している。試料は、そ
のガラス転移温度Ｔ。

（重要な温度）を通った後、流れ始め、そして冷却する
につれて、高度に磨かれかつ精密仕上げされた電極板に
粘着する。したがって、試料を掻き取るために、装置か
ら電極板を多数回取り外さなければならない。その後、
次の実験のための電極板の平行度を保証するために、電
極板を再研削しなければならない。これはコスト高の多
大な時間を要する作業になる。一つの一般に普及してい
る代わりの方法は試料の除去を容易にするために薄い剥
離フィルム（すなわち、テフロン、フルオロカーボン重
合体）を使用することである。しかしながら、このフィ
ルムは誘電特性の測定に影響をおよぼしかつ実験温度を
テフロン剥離フィルムの融点よりも低い温度に制限する
。（単一板誘電分析装置においては、金の導体を備えた
セラミックセンサが使用される。情報開示記事のマイク
ロメツト（Ｍｉｃｒｏｍａｔ）製品の文献−マイクロメ
ツト・オイメトリックシステムＩＩ　（Ｍｉｃｒｏｍｅ
ｔ　Ｅｕｍｅｔｒｉｃ　Ｓｙｓｔｅｍ　ＩＩ　）の微小
誘電率測定器に使用されるオプション５−６０二機能セ
ラミックセンサ参照） 誘電率の測定は温度の関数として通常監視しなければな
らないので、試料の温度の正確な測定もまた重要である
。平行板誘電率測定装置においては、代表的には、熱電
対が試料の端縁および電極板に可能な限り接近して接触
しないように配置されかつ試料温度が熱電対のは度であ
ると想定される。（熱電対上で試料を融解させると、実
験後に熱電対の広範囲の清掃まｊ；は処分が必要になる
。）しかし、この温度測定は試料の温度を直接に測定す
るのと同様に正確ではないことは明らかである。（単一
板誘電分析装置においては、電極に熱ダイオードを組み
込むことが知られている。情報開示記事のマイクロメツ
ト製品の文献−マイクロメツ［・・オイメトリックシス
テム■の微小誘電率測定器に使用されるオプションＳ−
１積分回路誘電センサ参照） 電極を試料と常に接触させるために試料が膨脹収縮しま
たは融解するにつれて電極間の間隔を変更することがで
きる誘電分析装置が必要である。分析装置は、電極間の
間隔を変更するときに、電極間の間隔と関係無く誘電率
の計算が正確になるように電極間の距離を検出すること
も可能でなければならない。電極の表面が損傷したとき
に容易に取り換えられる電極を有する誘電分析装置もま
た必要である。最後に、試料の正確な温度を指示する誘
電分析装置が必要になる。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は次の装置を備えｌこ試料の誘電特性を温度の関
数として測定する平行板電極を使用した改良された装置
を提供するものである。

（ａ）電極間の変化する距離を正確に測定する距離セン
サ、例えば、線形電圧差動変圧器（ＬＤＶＴ）および電
極を位置決めするために距離センサに応答する装置。

（ｂ）試料に作用した力を測定する力変換器および電極
間の間隔を変更することにより所望の力を与えるために
力変換器に応答する装置。

（ｃ）表面に導体を接着させたセラミック基体からなる
厚手フィルム技術を使用して製造された使い棄て電極。

（ｄ）電極の一方に組み込まれた温度センサ、例えば、
電極の一方の表面に施された金属ストリップおよび該金
属ストリップの両端の抵抗を測定する装置。

〔実施例および作用］ さて、第１図について述べると、この誘電分析装置は固
定励起電極（２）と、励起電極（２）の上方に配置され
た可動応答電極（３）とを含む。電極（２）、（３）は
相互に平行に配置されかつそれらの間に試料（１）を受
け入れるようになっている。

励起電極（２）に電気信号が送られる。この電気信号は
試料（１）を通って応答電極（３）中に送られる。その
後、電極（３）からの出力信号が中央処理装置（ＣＰＵ
Ｘ７）に送られる。

励起電極（２）は加熱装置（１１）と接触している。

誘電特性を温度の関数として計算するために、加熱装置
（１１）が試料の温度を変更するために使用される。フ
ンピユータ（８）には、熱的方法がプログラムされてい
る。コンピュータ（８）はＣＰｕ（７）に指令を与える
。次に、ｃｐｕ（７）は加熱装置（１１）を制御する。

試料の温度は励起電圧（２）に適用される温度センサ（
６）により測定される。

温度センサ（６）からの信号は温度を計算するためにＣ
ＰＩＪ（７）に送られ、そしてこのデータはその後デー
タを記憶しかつさらに分析するためにコンピュータ（８
）に送られる。

試料の温度が変化するにつれて、試料の厚さがその熱膨
張係数の関数として変化する。これにより、電極間の距
離を変更することができる。

試料の誘電特性の計算は電極間の正しい距離を知ること
ができるか否かにより左右されるので、この誘電分析装
置は電極間の距離を測定するための距離センサ（４）を
含む。距離センサ（４）はＣＰＵ（７）に信号を送る。

ＣＰＩＩ（７）はこの信号を使用して電極間の距離を測
定する。その後、ＣＰＵ（７）は、試料の誘電特性を計
算するために、励起電極（２）への入力信号、応答電極
（３）からの出力信号および応答電極（３）の表面積と
共にこの距離の計算値を使用する。その後、試料の誘電
特性に関するデータは、データの記憶および分析のため
にコンピュータ（８）に送られる。

そのうえ、モータ（９）を使用して応答電極（３）を上
下動することにより電極間の間隔を変更する指令をＣＰ
ＬＩ（？）に送るようにプログラムすることができる。

この特徴は、もしも試料が融解すれば電極が相互に接触
せず、実検を早目に終了することを保証するために重要
である。

この誘電分析装置は、電極が試料と常に接触することを
保証するために、力変換器（５）を含む。

力変換器（５）は応答電極（３）により試料に作用した
力を測定する。力変換器（５）はＣＰＵ（７）に信号を
送る。ＣＰＵ（７）において、信号が処理されて試料に
力が加えられる。コンピュータ（８）（↓モータ（９）
を使用して応答電極（３）を上下動することにより試料
に所望の力を与えるためにＣＰＵ（７）に指令するよう
にプログラムすることができる。

コンピュータ（８）は、通常の状態の下では、試料の厚
さが温度の関数として変化ずろときに電極が試料と接触
していることを保証するために、最小の一定の力を試料
に作用させた状態で作動するようにＣＰｔ１（７）に指
令するようにプログラムされている。しかしながら、コ
ンピュータ（８）はまたある最小の電極間隔において一
定の力を作用させるモードが無効になるようにプログラ
ムすることができる。これはもしも試料が融解すれば電
極が相互に接触せず、したがって短絡しないことを保証
する。

誘電率測定装置の好ましい実施例は第２図に示しである
。鋼製のディスク形の固定ベース（２１）が水平面内に
配置され、かつ該ベースの上面には等しい長さの３個の
鋼製の垂直柱（２５ａ）、（２５ｂ）および（２５ｃ）
が取り付けられている。柱（２５ａ）、（２５ｂ）、（
２５ｃ）はベース（２１）の周囲のまわリニ構戊されテ
ィる。鋼製柱（２５ａ）、（２５ｂ）、（２５ｃ）の頂
部は上側ベース（２６）にボルトで留められている。上
側ベース（２６）もまたベース（２Ｉ）に平行に配置さ
れたスチールディスクである。

ベース（２１）の上面には、モータ（９ａ）がボルトに
より留められている。モータ（９ａ）の円筒体の軸線に
沿ってシャフト（２３）が配置されている。

シャフト（２３）の下端部はスチールディスクであるプ
レート（２４）と連結されている。当業者に明らかであ
るように、多数の異なる型式のモータを使用することが
できる。本発明の好ましい実施例においＣは、モータ（
９ａ）はイースタン・エアφデバインス（Ｅａｓｔｅｒ
ｎ　Ａｉｒ　Ｄｅｖｉｃｅｓ）により製造された永久磁
石ステッピング直流電動機、ＥＡＤサイズ４、モデル番
号ＬＡ３４ＡＧＫ〜９である。プレート（２４）は水平
面内に配置され、かつその上面には等しい長さの鋼製の
３個の垂直柱（２７ａ）、（２７ｂ）および（’２７　
ｃ　）がボルトにより留められている。鋼製の垂直柱（
２７ａ）、（２７ｂ）、（２７ｃ）はベース（２１）お
よびＥ側ベース（２６）の軸受（２９）を貫通している
。柱（２７ａ）、（２７′Ｄ）および（２７ｃ）の頂部
は上側のプレート（２８）にボルトで留められている。

プレート（２８）もまた平行な平面内に配置されたスチ
ールディスクである。

モータ（９ａ）が作動するときに、シャフト（２３）が
上下動してそれによりプレート（２４）および上側プレ
ート（２８）を上下動する。

上側ベース（２６）の上面には、加熱装置（ｌｌａ）が
取り付けられている。加熱装置（ｌｌａ）は試料を加熱
するために使用されかつ付属したサポートを有する炉か
らなっている。当業者に明らかであるように、多数の異
なる型式の炉を使用することができよう。本発明の好ま
しい実施例においては、炉はマイカで被覆されたインコ
ネルヒータである。加熱装置（ｌｌａ）の上面には、ブ
ロック（４２）が接触して取り付けられている。ブロッ
ク（４２）は黄銅製であることが好ましくかつ励起電極
のプラットホームの役目をする。ブロック（４２）は励
起電極を所定位置に保持するようなサイズのくぼみ（４
３）を有するボウル形の支持部材である。（この器械は
くぼみ（４３）が交互に嵌合した単一面電極を保持する
ために使用されるように使用することもできる。） 上側プレー１−　（２８）の底面はラムユニット（３２
）を摺動可能に受け入れるように形成されたチャンネル
（３１）を有している。ラム（３２）は応答電極（３ａ
）を取外し可能に保持するように設計されたセラミック
ハウジングである。ラムユニット（３２）はまＩ；励起
電極（２ａ）および応答電極（３ａ）用の電気接点と、
温度センサとを含む。ラム（３２）の側部には、垂直プ
ランジャ（３４）が取り付けられかつ外方に延び、その
後下方に延びている。

ラムユニット（３２）については、以下にさらに詳細に
説明する。

応答電極（３ａ）と励起電極（２ａ）との間の距離を決
定する装置が設けられている。ブロック（４２）、加熱
装置（ｌｌａ）および上側ベース（２６）はプランジャ
（３４）の真下に線形電圧差動変圧器（ＬＶＤＴ）（７
７）が配置されるようなサイズに形成されかつ配置され
た凹部を含む。ラムユニット（３２）が応答電極（３ａ
）を試料と接触させる位置に下降されるときに、プラン
ジャ（３４）がＬＶＤＴ（７７）の鉄心に取り付けられ
たばね負荷された鋼環（７１）を押し下げる。ＬＶＤＴ
（７７）は従来技術において良く知られているＬＶＤＴ
と同様に動作する。ばね負荷された鋼環（ハ）はプラン
ジャ（３４）により押し下げられかつその鉄心はＬＶＤ
Ｔコイルを通して移動する。

ＬＶＤＴコイルは移動鉄心に対してその位置が固定され
ている。これにより応答電極と励発電極との間の距離を
非常に正確に決定することができる。本発明の好ましい
実施例のＬＶＤＴはトランス・チック・インコーホレー
テッド（Ｔｒａｎｓ−ＴｅｋＩｎｃ、）により製造され
た型式ＴＲＡＮＳ　ＴＥＫ　ＡＣ−ＡＣ＃　０２９１−
００００である。

プレート（２４）は力変換器（６１）を含む。本願に使
用される当業者に知られている多数の型式の力変換器が
ある。本発明の好ましい実施例において、力変換器はリ
ビア（Ｒｅｖｅｒｅ）モデルＦＴ３０−４０の型式の２
個のソリッドステートひずみ計力変換器の端部を締めつ
ける２個のスチールブロックを含む。両方の力センサの
他方の端部はモータのシャ７　ト（２３）に強固に固定
されたブロック中に締めつけられている。この構造によ
りモータ（９ａ）がプレート（２４）に作用する力を正
確に測定することができる。ラムユニット（３２）が試
料と接触するときに、測定される力は試料に作用する力
と等しい。

ラムユニット（３２）の下側には、応答電極（３ａ）が
取外し可能に連結されている。応答電極（３ａ）（第４
図および第６図参照）は表面に適用された金の導体（５
１）の薄い丸い層を有する薄い正方形のセラミックのウ
ニ７ア一支持体（３３）を備えている。ガードリング（
５２）が金の導体（５１）を囲繞している。ガードリン
グ（５１）は金の導体（５１）を基本的に囲繞するが導
体（５１）と接触していないセラミック支持体（３３）
に適用された金の第２の薄い円形の同心状の層である。

（ガードリングはこの技術分野によく知られかつ応答電
極（３ａ）が受けた信号がフリンジ磁界（ｆｒｉｎｇｉ
ｎｇｆ　１ｅｌｄ）により影響をうけないことを保証す
るために使用される。応答電極（３ａ）は正方形の対向
した隅部のセラミックウニ７アーを完全に貫通して延び
る２個の金めっきされた穴（５３ａ）および（５３ｂ）
を有している。これらの金めっきされた穴（５３ａ）、
（５３ｂ）は電気接点としてまた応答電極（３ａ）を所
定位置に保持するために使用される浸械的なグリップの
ための受容体として使用される。金めっきされた穴（５
３ａ）は薄い金のストリップ（５５）を介して金の導体
（５１）と電気的に接触している。ガードリング（５２
）は金の導体（５１）とガードリング（５２）との間に
電気的な接続がなされないように金のストリップ（５５
）のまわりで「破断」されている。金めっきされた穴（
５３ｂ）はガードリング（５２）と交差しており、した
がって、穴（５３ｂ）はガードリング（５２）と電気的
に接触している。

励起電極（２ａ）　（第５図および第７図参照）は表面
に施された薄い丸い金の層（１０２）を有する薄い正方
形のセラミックウニ７アーである。励起を極（２ａ）は
ブロック（４２）のくぼみ（４３）内に金の導体（１０
２）が対向するように配置される。したがって、励起電
極（２ａ）は所定位置に容易に配置されまたは除去され
る。金の導体（１０２）は金のストリップ（１０７）を
介して接点と電気的に接触している。また、セラミック
ウニ７アー（１０１）の表面には金属ストリップ（１０
４）が適用されている。金属ストリップ（１０４）は金
の導体（１０２）の外側のまわりに半円形をなしてしか
も金の導体（１０２）と接触しないように延びた好ま１
．＜はプラチナで構成されたストリップである。金属ス
トリップ（１０４）の端末の位置には、電気接点（１０
５ａ）および（１０５ｂ）が配置されている。金属スト
リップ（１０４）は抵抗温度素子の役目をする。

金属の抵抗を測定することにより金属の温度を決定する
ことができることは良く知られている原理である。金属
ストリップ（１０４）が試料と直接に接触しているので
、試料の非常に正確な温度の読みが得られる。

励起電圧および応答電極は両方共当業者に良く知られた
厚手フィルムハイブリッド技術（スクリーン印刷された
導体層）を使用して製造される。

第３図は上側プレート（２８）、ラムユニット（３２）
、応答電極（３ａ）、試料（１）、励起電極（２ａ）、
ブロック（４２）、炉（ｌｌａ）および上側ベース（２
６）の横断面を示している。１１″：、等電＆（２ａ）
はブロック（４２）＋７）　＜ぼみ（４３）内に着座し
ている。試料は励発電極（２ａ）の上面上に配置されて
いる。応答電極（３ａ）は試料の上面と接触してかつラ
ムユニット（３２）に取外し可能に取り付けられている
。

ラムユニット（３２）への応答電極（３ａ）の取付けお
よび取外しは固定ピン（１５０）および可動ピン（１５
１）を使用して行われる。これらのピン（１５０）、（
１５１）はｔｉｔｆ！１．的なグリップおよび電気接点
の両方の役目をする。ピン（１５０）、（１５１）は応
答電極（３ａ）の金めっきされた穴（５３ａ）および（
５３ｂ）中に嵌合するようなサイズに形成されかつ隔置
されている。ピン（１５０）は穴（５３ａ）内に挿入さ
れかつピン（＋５１）は穴（５３ｂ）内に挿入されてい
る。固定ピン（１５０）はラムユニット（３２）の凹部
内に着座している。可動ピン（１５１）はピボットねじ
（１５３）によりラムユニット（３２）に枢着された回
転ハウジング（１５２）内に着座している。第３図には
、ピボットねじ（１５３）の一方のみを示しである。

回転ハウジング（１５２）はピボットねじ（１５３）の
まわりの回転ハウジング１こ逆時計回りの力を作用する
ばねピン（１５５）を含む。これにより、穴（５３ｂ）
の内面を把持しかつ応答電極（３ａ）を所定位置に保持
する逆時計回りの力がピン（１５１）に作用する。応答
電極（３ａ）を釈放するために、回転ハウジング（１５
２）の上側の露出した部分に矢印（１００）で示すよう
に圧力を作用させる。この圧力はばねピン（１５５）が
作用する力と反対に作用して回転ハウジング（１５２）
およびピン（１５１）を時計回りに回転させる。ピン（
１５１）の回転により応答電極（３ａ）がピン（１５０
）およびピン（１５１）からすべり落ちることが可能に
なる。

励起電極（２ａ）　（第５図および第７図に示した）は
ブロック（４２）のくぼみ（４３）内に着座している。

導体（１０２）を励起しかつプラチナストリップ（１０
４）の両端間の抵抗を測定するために必要な電気信号が
第８図に示すように電気ポーゴーピン（１６１）、（１
６２）および（１６３）により受信される。

第３図では、ピン（１６３）のみを示しである。これら
のピンはラムユニット（３２）のセラミックハウジング
内に着座させた共通のばね負荷された電気ポーゴーピン
である。ピン（１６１）、（１６２）および（＋６３）
はラムユニット（３２）を下降させたときにピンが励起
電極（２ａ）上の表面上のそれらのそれぞれの電気接点
（１０５ａ）、（１０５ｂ）および（１，０３）と接触
するように配置されている。ピン（１６１）は電気接点
（１０５ｂ）と接触し、ピン（１６２）は電気接点（１
０３）と接触し、かつピン（１６３）は電気接点（１０
５ａ）と接触している。

［装置の操作１ ラムユニット（３２）は最初に器械から切り離される。

回転ハウジング（１５２）が（第３図に示すように）時
計回りに回転するように圧力を加えたときにピン（１５
０）および（１５１）を穴（５３ａ）および（５３ｂ）
に通してすべらせることにより、応答ｔ［（３ａ）がラ
ムユニット（３２）に取り付けられる。ばね負荷された
回転ハウジングを釈放すると、応答電極（３ａ）が［グ
リップコされて金の導体（５１）が下向きの状態で所定
位置に保持される。

その後、ラムユニット（３２）をチャンネル（３１）内
にすべらせることによりラムユニット（３２）が上側プ
レート（２８）に固定される。その後、ラムユニット（
３２）はちょうねじ（１５８）を締めつけることにより
強固に捕捉される。励起電極（２ａ）は金の導体（１０
２）およびプラチナのＲＴＤ（１０４）が上向きの状態
でブロック（４２）のくぼみ（４３）内に配置される。

このときに、校生が開始される。モータ（９ａ）が駆動
を開始してラムユニット（３２）を励起電極（２ａ）に
向かって移動する。ポーゴーピン（１６１）、（１６２
）および（１６３）が電気接点（１０５ｂ）、（１０３
）および（１０５ａ）とそれぞれ電気的に接続する。モ
ータ（９ａ）は電極（２ａ）および（３ａ）が相互に接
触するまで駆動し続ける。この点において、ＬＶＤＴ校
正は０．０ミリメートルに設定される。モータ（９ａ）
の回転方向が逆になり、ラムユニット（３２）が上方に
移動して装置からすべての機械的なバツクラツシをなく
す。この点において、ＬＶＤＴが読み取られ、その後、
所定数のモータのステップが計数されながら、ラムユニ
ツ）　（３２）が再び上方に移動する。その後、別のＬ
ＶＤＴの校正が読み取られる。モータの親ねじのピッチ
および駆動したステップの数を知ることにより、理論的
な移動距離を算出することができる。ＬＶＤＴの二点校
正が完了しかつコンピュータ（８）に記憶される。

ＬＶＤＴの利得が判明すると、モータ（９ａ）はラムユ
ニツ）　（３２）を選択された電極間の距離まで下方に
駆動する。そのときに、励起電極（２ａ）に正弦波電圧
が印加される。その結果応答電極（３ａ）において発生
する電流が監視される。乾燥空気の誘電特性が判明する
と、誘電率の測定の！こめに電極が校正される。同時に
、グラチナストリツプ（１０４）の抵抗が測定されかつ
校正される。

（炉ブロックの温度が炉ブロック内に埋設された熱電対
を介して求められると、ＲＴＤが熱電対の温度に対して
校正される。）すべての校正値が記憶された後、ラムユ
ニット（３２）が全開位置まで移動する。その後、関係
する試料が励起電極（２ａ）上に配置される。一定の力
を加えまたは一定の間隔を保った状態での実験が選択さ
れる。

閾値（最小値／最大値）が決定されかつコンピュータ（
８）にプログラムされる。熱的方法がコンピュータ（８
）にプログラムされる。実験の開始準備が完了する。

そのとき、ラムユニット（３２）が選択された力または
間隔に基づいて移動しかつ加熱装置（ｌｌａ）の熱的方
法と共に試料のキャパシタンスの測定を開始する。実験
が進行するにつれて、フンピユータ（８）が力および間
隔を動的に監視しかつモータ（９ａ）をそれに応じて駆
動してオペレータにより選択されたパラメータを維持す
る。

キャパシタンスを測定することにより、試料（ｅ′）の
誘電率を次の方程式を用いて容易に算出することができ
る。

Ｃネｅ。ｅ’Ａｄ 式中、 Ｃ±キャパシタンス ｅｏ＝自由空間の誘電率（定数） ｅ／−（測定される）試料の誘電率 へ−平行板応答電極の面積 ｄ−励起電極板と応答電極板との間の距離以上、本発明
の詳細な説明したが、本発明はさらに次の実施態様によ
ってこれを要約して示すことができる。

１）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
置であり、励起ｔ８ｉに入力された電気信号が試料を通
過して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それに
より入力電気信号および出力電気信号を測定することに
より、電極間の距離および応答″電極の面積を知ること
で試料の誘電特性を算出することができるようにした試
料の誘電特性測定装置において、 （ａ）電極間の距離を測定する距離センサおよび電極を
相対的に位置決めするために距離センサに応答する装置
と、 （ｂ）前記試料に加えられた力を測定する力変換器およ
び電極間の間隔を変更するために前記力変換器に応答す
る装置とを含み、（ｃ）前記電極は導体がそれに施され
ているセラミックサブストレートからなり、さらに、 （ｄ）前記温度センサは前記電極の一方に施されている
金属ストリップと前記金属ストリップの両端間の抵抗を
測定する装置とからなることを特徴とする試料の誘電特
性を測定する装置。

２）前記距離センサが線形電圧差動変圧器である前項１
）記載の誘電分析装置。

３）前記力変換器が能動（ａｃｔｉｖｅ）全ブリッジひ
ずみ計である請求項２記載の誘電分析装置。

４）電極間の間隔を変更することにより所望の力を与え
るように力変換器に応答する装置が（ａ）中央処理装置
と、 （ｂ）コンピュータと、 （Ｃ）モータと を備え、前記力変換器が処理しかつ前記の所望の力と比
較するために信号を中央処理装置に送り、中央処理装置
がモータに電極間の間隔を相応して変更するように指令
しかつ処理されたデータをコンピュータに送って記憶す
るようになった前項３）記載の誘電分析装置。

５）電極を位置決めするために距離センサに応答する装
置が （ａ）前記中央処理装置と、 （ｂ）前記主コンピユータと、 （ｃ）前記モータと を備え、前記距離センサが処理しがっ所望の電極間隔と
比較するために信号を中央処理装置に送り、その後中央
処理装置がモータに電極間の間隔を相応して変更するよ
うに指令しかつ処理されたデータをコンピュータに送っ
て記憶するようになった前項４）記載の誘電分析装置。

６）コンピュータが電極間の間隔および力に対して閉じ
たループ制御を行うようにプログラムされた前項５）記
載の誘電分析装置。

７）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることで
試料の誘電特性を算出することができるようにしｔ；試
料の誘電特性を測定する装置に使用されるようになった
電極において、導体が接着されたセラミックサブストレ
ートを備えたことを特徴とする電極。

８）＠度センサを含む請求項７記載の電極。

９）前記温度センサがセラミックサブストレートの表面
に接着された金属ストリップおよび前記金属ストリップ
の両端間の抵抗を測定する装置である前項８）記載の電
極。

１０）　　前記金属ストリップが本質的にプラチナから
なる前項９）記載の電極。

１１）　　試料を間に受け入れるようになった励起電極
および応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を
調節するために位置決め可能であり、さらに、試料の温
度を検出するようになった温度センサと、励起電極に入
力電気信号を送る装置と、出力信号を発生するために応
答電極と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定
する装置であり、励起電極に入力された電気信号が試料
を通過して応答電極中に入り、出力電気信号になり、そ
れにより入力電気信号および出力電気信号を測定す５５
ことにより、電極間の距離および応答電極の表面積を知
ることにより試料の誘電特性を算出することができるよ
うにした試料の誘電特性を測定する装置において、電極
間の距離を検出する距離センサと、電極を位置決めする
ために距離センサに応答する装置とを備えたことを特徴
とする試料の誘電特性を測定する装置。

１２）　　試料を間に受け入れるようになった励起電極
および応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を
調節するために位置決め可能であり、さらに、試料の温
度を検出するようになった温度センサと、励起電極に入
力電気信号を送る装置と、出力信号を発生するために応
答電極と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定
する装置であり、励起電極に入力された電気信号が試料
を通過して応答電極中に入り、出力電気信号になり、そ
れにより入力電気信号および出力電気信号を測定するこ
とにより、電極間の距離および応答電極の表面積を知る
ことで試料の誘電特性を算出することができるようにし
た試料の誘電特性を測定する装置において、試料に作用
した力を測定する力変換器と、電極間の間隔を変更する
ことにより所望の力を与えるように力変換器に応答する
装置とを備えＩ−ことを特徴とする試料の誘電特性を測
定する装置。

１３）　　試料を間に受け入れるようになった励発電極
および応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を
調節するために位置決め可能であり、さらに、試料の温
度を検出するようになった温度センサと、励起電極に入
力電気信号を送る装置と、出力信号を発生するために応
答電極と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定
する装置であり、励起電極に入力された電気信号が試料
を通過して応答電極中に入り、出力電気信号になり、そ
れにより入力電気信号および出力電気信号を測定するこ
とにより、電極間の距離および応答電極の表面積を知る
ことで試料の誘電特性を算出することができるようにし
ｔ；試料の誘電特性を測定する装置において、前記電極
が導体が適用されたセラミック支持体からなる試料の誘
電特性を測定する装置。

１４）　　試料を間に受け入れるようになった励発電極
および応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を
測定するために位置決め可能であり、さらに、試料の温
度を検出するようになった温度センサと、励起電極に入
力電気信号を送る装置と、出力信号を発生するために応
答電極と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定
する装置であり、励起電極に入力された電気信号が試料
を通過して応答電極中に入り、出力電気信号になり、そ
れにより入力電気信号および出力電気信号を測定するこ
とにより、電極間の距離および応答電極の表面積を知る
ことにより試料の誘電特性を算出することができるよう
にした試料の誘電特性を測定する装置において、温度セ
ンサが電極の一方の表面に適用された金属ストリップお
よび前記金属ストリップの両端間の抵抗を測定する装置
であることを特徴とする試料の誘電特性を測定する装置
。

【図面の簡単な説明】

第１図は誘電分析装置の略図、第２図は内部を示すため
に諸部分を破断した誘電分析装置の斜視図、第３図は誘
電分析装置のラムユニットの拡大一部欠載垂直断面図、
第４図は第３図を４−４線から見た応答電極の底部の平
面図、第５図は第３図を５−５線から見た励起電極の頂
部の平面図、第６図は第４図を６−６線に沿って裁った
応答電極の断面図、第７図は第５図を７−７線に沿って
裁った励起電極の断面図、第８図は第３図を平面８−８
に沿って見た第３図の誘電分析装置の一部欠載側面図で
あって、その後方の構造をより明瞭に示すためにブロッ
ク（４２）の最も近い壁部を破断して示した図である。 （１）・・・試料、（２）・・・励起電極、（３）・・
・応答電極、（４）・・・距離センサ、（５）・・・力
変換器、（６）・・・温度センサ、（７）・・・中央処
理装置、（８）・・・コンピュータ、（９）・・・モー
タ、（１１）・・・加熱装置、（９ａ）・・・モータ、
（ｌｌａ）・・・加熱装置、（２ａ）・・・励起電極、
（３ａ）・・・応答電極、（３２）・・ラムユニット、
（３３）・・・ウニ７アーサブストレート、（５１）・
・・導体、（５２）・・・ガードリング、（５３ａ）、
（５３ｂ）−穴、（５５）　・・・ストリップ、（７７
）・・・変圧器、（１０１）・・・ウェファ−１（１０
２）・・・金の層、（１０３）・・・接点、（１０４）
・・・金属ストリップ、（１０５ａ）、（１０５ｂ）−
接点、（１０７）−ｘ　＋−リップ、（１５０）、（１
５１）・・・ピン、（１５２）・・・回転ハウジング、
（１６１）、（１６２）、（１６３）・・・ボーゴーピ
ン。 特許出願人　　イー・アイ・デュポン・ド・ネモアース
・アンド・コンパニー 代　理　人　　弁理士　高　　木　　千　　嘉　　。 外２名 甲　　　だａ　　　　ｉ 忌 Ｆｉｇ、　３ ｒｔｒｒ Ｆｉｇ、８ 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 平成１年特許願第１４８５６０号 ２、発明の名称 平行板誘電分析装置 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住所　アメリカ合衆国プラウエア州つイルミントン、マ
ーケットストリート１００７ 名称　イー・アイ・デュポン・ド・不モアース・アンド
・コンパニー ４、代理人 住所　東京都千代田区麹町３丁目２番地（相互第一ビル
）電話　（２６１）２０２２ 氏名　　（９１７３）　　　高　　　木　　　千　　　
嘉へ１．□ハ゛、（外２名） ７、補正の内容 願書に最初に添付した明細書の浄書・別紙のとおり（内
容に変更なし）。 以　　上 手続補正音 平成１年９月１３日 特許庁長官　　吉　１）文　毅　　殿 ■、事件の表示 平成１年特許願第１４８５６０号 ２、発明の名称 平行板誘電分析装置 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住所　アメリカ合衆国プラウエア州つイルミントン、マ
ーケットストリート１００７ 名称　イー・アイ・デュポン・ド・ネモアース・アンド
・コンノくニー ４、代理人 ５、補正命令の日付　（自発） ７、補正の内容 １）特許請求の範囲を別紙のとおり補正します。 ２）第８頁第１行の「誘電特性」を「誘電特性」と補正
します。 ３）第１Ｏ頁第３行の「熱膨張係数」の後にｒ　（ＣＴ
Ｅ）Ｊを加入します。 ４）同頁第８〜９行の「試料にゼロの力を作用するので
、」を「試料に力を作用しないと仮定するので、」と補
正します。 ５）第１２頁末行の「同様に正確では」を「同程度の正
確さは」と補正します。 ６）第１４頁第１２行の「基体」を「サブストレート」
と補正します。 ７）第２４頁第１行のｒ　（５１）Ｊをｒ　（５２）Ｊ
と補正します。 ８）第２６頁第４行の「温度素子」の後にｒ　（ＲＴＤ
）　Ｊを加入します。 ９）第３０頁第７行の「ちょうねじ」を「蝶ねじ」゛と
補正します。 １０）　　同頁第１２行および末社の「校正」を「較正
」と補正します。 １１）　　第３１頁第７行、第１０行および末社の「校
正」を「較正」と補正します。 １２）　　第３２頁第１行および第４行（２ケ所）の「
校正」を「較正」と補正します。 １３）　　第３４頁第９行の「面積」を「表面積」と補
正します。 １４）　　第３５頁第１１行の「請求項」を「前項」と
補正します。 １５）　　第３８頁第１行の「請求項」を「前項」と補
正します。 １６）　　第４１頁第１１行の「測定」を「調節」と補
正します。 １７）　　第４２頁第９行と第１Ｏ行との間に以下の記
載を加入します。 「１５）試料を間に受け入れるようになった励起電極お
よび応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調
節するために位置決め可能であり、さらに、試料の温度
を検出するようになった温度センサと、励起電極に入力
電気信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答
電極と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定す
る装置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を
通過して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それ
により入力電気信号および出力電気信号を測定すること
により、電極間の距離および応答電極の表面積を知るこ
とで試料の誘電特性を算出することができるようにした
試料の誘電特性測定装置において、該応答電極はこれを
電気的に接触させ、かつ機械的にグリップするために作
用するビンを使用して可動ラムユニットに脱着出来るよ
うに取付けられていることを特徴とする試料の誘電特性
測定装置。 １６）可能ラムユニットは断熱性が高く、非電導性の材
料からなることを特徴とする前項１５）に記載の装置。 １７）試料を間に受け入れるようになった励起電極およ
び応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節
するために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を
検出するようになった温度センサと、励起電極に入力電
気信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電
極と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する
装置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通
過して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それに
より入力電気信号および出力電気信号を測定することに
より、電極間の距離および応答電極の表面積を知ること
で試料の誘電特性を算出することができ　するようにし
た試料の誘電特性測定装置において、励起電極への入力
電気信号はバネ負荷された電気的接触用ピンを通って送
られることを特徴とする試料の誘電特性測定装置。」 以　　上 ２、特許請求の範囲 ■）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることで
試料の誘電特性を算出することができるようにした試料
の誘電特性測定装置において、 （ａ）電極間の距離を測定する距離センサおよび電極を
相対的に位置決めするために距離センサに応答する装置
と、 （ｂ）前記試料に加えられた力を測定する力変換器およ
び電極間の間隔を変更するために前記力変換器に応答す
る装置とを含み、（ｃ）前記電極は導体がそれに施され
ているセラミックサブストレートからなり、さらに、 （ｄ）前記温度センサは前記電極の一方に施されている
金属ストリップと前記金属ストリップの両端間の抵抗を
測定する装置とからなることを特徴とする試料の誘電特
性を測定する装置。 ２）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
と接続されＩ；装置とを含む試料の誘電特性を測定する
装置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通
過して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それに
より入力電気信号および出力電気信号を測定することに
より、電極間の距離および応答電極の表面積を知ること
で試料の誘電特性を算出することができるようにした試
料の誘電特性を測定する装置に使用されるようになった
電極において、導体が接着されたセラミックサブストレ
ートを備えたことを特徴とする電極。 ３）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
出するようになっｔ；温度センサと、励起電極に入力電
気信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電
極と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する
装置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通
過して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それに
より入力電気信号および出力電気信号を測定することに
より、電極間の距離および応答電極の表面積を知ること
により試料の誘電特性を算出することができるようにし
た試料の誘電特性を測定する装置において、電極間の距
離を検出する距離センサと、電極を位置決めするために
距離センサに応答する装置とを備えたことを特徴とする
試料の誘電特性を測定する装置。 ４）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることで
試料の誘電特性を算出することができるようにした試料
の誘電特性を測定する装置において、試料に作用した力
を測定する力変換器と、電極間の間隔を変更することに
より所望の力を与えるように力変換器に応答する装置と
を備えたことを特徴とする試料の誘電特性を測定する装
置。 ５）試料を間に受け入れるようになった励発電極および
応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
り、電極間の距離むよび応答電極の表面積を知ることで
試料の誘電特性を算出することができるようにした試料
の誘電特性を測定する装置において、前記電極が導体が
適用されたセラミック支持体からなる試料の誘電特性を
測定する装置。 ６）試料を間に受け入れるようになった励発電極および
応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を！！す
るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることに
より試料の誘電特性を算出することができるようにした
試料の誘電特性を測定する装置において、温度センサが
電極の一方の表面に適用された金属ストリップおよび前
記金属ストリップの両端間の抵抗を測定する装置である
ことを特徴とする試料の誘電特性を測定する装置。 ７）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
出するようになった温度センナと、励起電極に入力電気
信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることで
試料の誘電特性を算出することができるようにした試料
の誘電特性測定装置において、該応答電極はこれを電気
的に接触させ、かつ機械的にグリップするために作用す
るピンを使用して可動ラムユニットに脱着出来るように
取付けられていることを特徴とする試料の誘電特性測定
装置。 ８）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることで
試料の誘電特性を算出することができるようにした試料
の誘電特性測定装置において、励起電極への入力電気信
号はバネ負荷された電気的接触用ビンを通って送られる
ことを特徴とする試料の誘電特性測定装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
   応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
   るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
   出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
   信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
   と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
   置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
   して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
   り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
   り、電極間の距離および応答電極の面積を知ることで試
   料の誘電特性を算出することができるようにした試料の
   誘電特性測定装置において、 （ａ）電極間の距離を測定する距離センサおよび電極を
   相対的に位置決めするために距離センサに応答する装置
   と、 （ｂ）前記試料に加えられた力を測定する力変換器およ
   び電極間の間隔を変更するために前記力変換器に応答す
   る装置とを含み、 （ｃ）前記電極は導体がそれに施されているセラミック
   サブストレートからなり、さら に、 （ｄ）前記温度センサは前記電極の一方に施されている
   金属ストリップと前記金属ストリップの両端間の抵抗を
   測定する装置とからなることを特徴とする試料の誘電特
   性を測定する装置。 ２）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
   応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
   るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
   出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
   信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
   と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
   置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
   して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
   り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
   り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることで
   試料の誘電特性を算出することができるようにした試料
   の誘電特性を測定する装置に使用されるようになった電
   極において、導体が接着されたセラミックサブストレー
   トを備えたことを特徴とする電極。 ３）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
   応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
   るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
   出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
   信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
   と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
   置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
   して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
   り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
   り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることに
   より試料の誘電特性を算出することができるようにした
   試料の誘電特性を測定する装置において、電極間の距離
   を検出する距離センサと、電極を位置決めするために距
   離センサに応答する装置とを備えたことを特徴とする試
   料の誘電特性を測定する装置。 ４）試料を間に受け入れるようになった励起電極および
   応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
   るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
   出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
   信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
   と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
   置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
   して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
   り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
   り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることで
   試料の誘電特性を算出することができるようにした試料
   の誘電特性を測定する装置において、試料に作用した力
   を測定する力変換器と、電極間の間隔を変更することに
   より所望の力を与えるように力変換器に応答する装置と
   を備えたことを特徴とする試料の誘電特性を測定する装
   置。 ５）試料を間に受け入れるようになった励発電極および
   応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を調節す
   るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
   出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
   信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
   と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
   置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
   して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
   り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
   り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることで
   試料の誘電特性を算出することができるようにした試料
   の誘電特性を測定する装置において、前記電極が導体が
   適用されたセラミック支持体からなる試料の誘電特性を
   測定する装置。 ６）試料を間に受け入れるようになった励発電極および
   応答電極を含み、前記電極はそれらの間の距離を測定す
   るために位置決め可能であり、さらに、試料の温度を検
   出するようになった温度センサと、励起電極に入力電気
   信号を送る装置と、出力信号を発生するために応答電極
   と接続された装置とを含む試料の誘電特性を測定する装
   置であり、励起電極に入力された電気信号が試料を通過
   して応答電極中に入り、出力電気信号になり、それによ
   り入力電気信号および出力電気信号を測定することによ
   り、電極間の距離および応答電極の表面積を知ることに
   より試料の誘電特性を算出することができるようにした
   試料の誘電特性を測定する装置において、温度センサが
   電極の一方の表面に適用された金属ストリップおよび前
   記金属ストリップの両端間の抵抗を測定する装置である
   ことを特徴とする試料の誘電特性を測定する装置。