JPH0282870U - - Google Patents
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- JPH0282870U JPH0282870U JP16278188U JP16278188U JPH0282870U JP H0282870 U JPH0282870 U JP H0282870U JP 16278188 U JP16278188 U JP 16278188U JP 16278188 U JP16278188 U JP 16278188U JP H0282870 U JPH0282870 U JP H0282870U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- ion source
- electric path
- high voltage
- ion
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 8
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図はこの考案の一実施例の説明図、第２図
は従来例の説明図である。 １……加速管、２……電源装置、３，３′……
磁性体、４……電路、１０……イオン源。
は従来例の説明図である。 １……加速管、２……電源装置、３，３′……
磁性体、４……電路、１０……イオン源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) イオンを発生するイオン源と、イオンを加
速する加速管と、この加速管に高電圧を供給する
電路を有する電源装置と、前記電路を中心に貫通
させたサージインピーダンスの要素となるギヤツ
プ付きリング状の磁性体とを備えたイオン注入装
置のサージ電流抑制装置。 (2) 前記電源装置は、高電圧電源とイオン源電
源ラツクとを有し、前記電路は前記高電圧電源を
前記イオン源電源ラツクに接続するブツシングと
前記イオン源電源ラツクに接続されて前記加速管
およびイオン源に接続される配線ダクトとを有し
、さらに前記磁性体は前記電路を構成する前記ブ
ツシングおよび前記配線ダクトの少なくともいず
れか一方に設けられている請求項(1)記載のイオ
ン注入装置のサージ電流抑制装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16278188U JPH0282870U (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16278188U JPH0282870U (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0282870U true JPH0282870U (ja) | 1990-06-27 |
Family
ID=31446921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16278188U Pending JPH0282870U (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0282870U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT513899B1 (de) * | 2013-01-15 | 2015-02-15 | Siemens Ag Oesterreich | Passagierschienenfahrzeug |
-
1988
- 1988-12-15 JP JP16278188U patent/JPH0282870U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT513899B1 (de) * | 2013-01-15 | 2015-02-15 | Siemens Ag Oesterreich | Passagierschienenfahrzeug |
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