JPH0281408U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0281408U JPH0281408U JP16103088U JP16103088U JPH0281408U JP H0281408 U JPH0281408 U JP H0281408U JP 16103088 U JP16103088 U JP 16103088U JP 16103088 U JP16103088 U JP 16103088U JP H0281408 U JPH0281408 U JP H0281408U
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- JP
- Japan
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- light
- reflected light
- laser
- transmitted light
- beam splitter
- Prior art date
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- Granted
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案に係るレーザ干渉測定装置を使
用した変位測定システムの原理図、第２図は本考
案に係るレーザ干渉測定装置の光学系の説明図、
第３図は従来のレーザ干渉測定装置を使用した変
位測定システムの原理図である。 １０……レーザ光、１２……第１のビームスプ
リツタ、１４……第２のビームスプリツタ、１６
……第３のビームスプリツタ、１８……光電変換
部、２０……第１の透過光、２２……第１の反射
光、２０Ａ……反射透過光、２０Ａ′……第２の
透過光、２０Ａ″……第２の反射光、５４……可
動反射鏡。
用した変位測定システムの原理図、第２図は本考
案に係るレーザ干渉測定装置の光学系の説明図、
第３図は従来のレーザ干渉測定装置を使用した変
位測定システムの原理図である。 １０……レーザ光、１２……第１のビームスプ
リツタ、１４……第２のビームスプリツタ、１６
……第３のビームスプリツタ、１８……光電変換
部、２０……第１の透過光、２２……第１の反射
光、２０Ａ……反射透過光、２０Ａ′……第２の
透過光、２０Ａ″……第２の反射光、５４……可
動反射鏡。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 レーザ光を発射するレーザ光源と、 該レーザ光の光軸上に配設され該レーザ光を第
１の透過光とこれに直交する第１の反射光とに分
割する第１のビームスプリツタと、 被測定物に設置され分割された第１の透過光を
反射させる可動反射鏡と、 前記可動反射鏡から反射された第１の透過光が
入射し該第１の透過光を第２の透過光とこれに直
交する第２の反射光とに分割する第２のビームス
プリツタと、 第１の反射光と第２の反射光とが入射し、第１
の反射光と第２の反射光とを干渉させる第３のビ
ームスプリツタと、 からなることを特徴とするレーザ干渉測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16103088U JPH067291Y2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | レーザ干渉測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16103088U JPH067291Y2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | レーザ干渉測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281408U true JPH0281408U (ja) | 1990-06-22 |
| JPH067291Y2 JPH067291Y2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=31443619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16103088U Expired - Lifetime JPH067291Y2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | レーザ干渉測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067291Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-12 JP JP16103088U patent/JPH067291Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH067291Y2 (ja) | 1994-02-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |