JPH028057A - 液体噴射記録ヘッド - Google Patents
液体噴射記録ヘッドInfo
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- JPH028057A JPH028057A JP15795988A JP15795988A JPH028057A JP H028057 A JPH028057 A JP H028057A JP 15795988 A JP15795988 A JP 15795988A JP 15795988 A JP15795988 A JP 15795988A JP H028057 A JPH028057 A JP H028057A
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- resistor layer
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- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
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- B41J2/14072—Electrical connections, e.g. details on electrodes, connecting the chip to the outside...
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野）
本発明は、液体噴射記録ヘッドに関し、詳しくは記録液
を噴射して飛翔的液滴を形成し、記録を行なう液体噴射
記録ヘッドに関する。
を噴射して飛翔的液滴を形成し、記録を行なう液体噴射
記録ヘッドに関する。
インクジェット記録装置（液体噴射記録装置）は、記録
時における騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さく
、かつ高速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定着と
いう特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点におい
て最近関心を集めている。
時における騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さく
、かつ高速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定着と
いう特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点におい
て最近関心を集めている。
その中でも、例えば特開昭５４−５１８３７号公報、ド
イツ公開（ＤＯＬＳ）第２８４３０６４号公報に記載さ
れである液体噴射記録方式は、熱エネルギーを液体に作
用させて、液滴吐出の為の原動力を得るという点におい
て、他の液体噴射記録方式とは、異なる特徴を有してい
る。
イツ公開（ＤＯＬＳ）第２８４３０６４号公報に記載さ
れである液体噴射記録方式は、熱エネルギーを液体に作
用させて、液滴吐出の為の原動力を得るという点におい
て、他の液体噴射記録方式とは、異なる特徴を有してい
る。
即ち、上記の公報に開示されている記録方式では、熱エ
ネルギーの作用を受けた記録液が急峻な体積の増大を伴
う状態変化を起こし、その状態変化に基づく作用力によ
って、記録ヘッド先端のオリフィスから液体が吐出され
、飛翔的液滴が形成されて、その液滴を被記録部材に付
着させることにより記録が行なわれる。
ネルギーの作用を受けた記録液が急峻な体積の増大を伴
う状態変化を起こし、その状態変化に基づく作用力によ
って、記録ヘッド先端のオリフィスから液体が吐出され
、飛翔的液滴が形成されて、その液滴を被記録部材に付
着させることにより記録が行なわれる。
殊に、ＤＯＬＳ第２８４３０６４号公報に開示されてい
る液体噴射記録方式は、所謂ｄｒｏｐ−ａｎ ｄｅｍａ
ｎｄ記録法に極めて有効に適用されるばかりでなく、記
録ヘッド部をｆｕｌｌ １ｉｎｅタイプで高密度マルチ
オリフィス化された記録ヘッドとして容易に具現化出来
るので、高解像度、高品質の画像を高速で得られれると
いう特徴を有している。
る液体噴射記録方式は、所謂ｄｒｏｐ−ａｎ ｄｅｍａ
ｎｄ記録法に極めて有効に適用されるばかりでなく、記
録ヘッド部をｆｕｌｌ １ｉｎｅタイプで高密度マルチ
オリフィス化された記録ヘッドとして容易に具現化出来
るので、高解像度、高品質の画像を高速で得られれると
いう特徴を有している。
ところで、このような高密度マルチオリフィス化された
記録ヘッドの特徴を最大限に活用する道として例えばＡ
４版紙を記録ヘッドを走査することなく記録することが
可能ないわゆる固定式一体型フルマルチヘッドの具現化
を挙げることができる。
記録ヘッドの特徴を最大限に活用する道として例えばＡ
４版紙を記録ヘッドを走査することなく記録することが
可能ないわゆる固定式一体型フルマルチヘッドの具現化
を挙げることができる。
いま上述の記録方式に用いられる従来の記録へットにお
ける発熱抵抗体および電極の構成の２例を第３Ａ図およ
び第３Ｂ図にそれぞれ示す。
ける発熱抵抗体および電極の構成の２例を第３Ａ図およ
び第３Ｂ図にそれぞれ示す。
これらの図において、１０１は発熱抵抗体、１０２は個
別電極、１０３は共通電極である。そこで、これらのよ
うな構成によってへ４版の短手方向２０８ｍｍ幅に１ｍ
ｍ当り１６ノズルの記録ヘッドを同一基板上に作成しよ
うとすると、ノズルの数が２０８Ｘ１６＝３３２８本に
ものぼり発熱抵抗体１０１およびその両側の電極の数も
同数必要となる。また従来の構成では、その電極１０２
や１０３が導体の薄膜を同一プロセスで成膜する工程に
よって得られるため例えば八λの５０００人の膜ではそ
のシート抵抗が０．０７Ω／口となり第３八図のような
電極構成とした場合、上述のような高密度配線を行うと
配線抵抗が１００Ω以上となり電気的な損失が非常に大
きい。
別電極、１０３は共通電極である。そこで、これらのよ
うな構成によってへ４版の短手方向２０８ｍｍ幅に１ｍ
ｍ当り１６ノズルの記録ヘッドを同一基板上に作成しよ
うとすると、ノズルの数が２０８Ｘ１６＝３３２８本に
ものぼり発熱抵抗体１０１およびその両側の電極の数も
同数必要となる。また従来の構成では、その電極１０２
や１０３が導体の薄膜を同一プロセスで成膜する工程に
よって得られるため例えば八λの５０００人の膜ではそ
のシート抵抗が０．０７Ω／口となり第３八図のような
電極構成とした場合、上述のような高密度配線を行うと
配線抵抗が１００Ω以上となり電気的な損失が非常に大
きい。
しかも、２０Ｂａｍ幅に渡って、無欠陥に均一に製造す
ることは高度な製造技術を要する。
ることは高度な製造技術を要する。
また、第３Ｂ図のような電極構成にすると、実装密度お
よび配線抵抗は第３Ａ図に比べ半分でよいが、共通電極
１０３が薄膜状でしかも２０８ｍｍにも及ぶため、その
両端間の抵抗を小さくしなければ電位勾配が生してしま
う。薄膜プロセスで電極を形成する以上、電極の面積を
広げたいことになるがノズルの構成等からそれは困難で
ある。
よび配線抵抗は第３Ａ図に比べ半分でよいが、共通電極
１０３が薄膜状でしかも２０８ｍｍにも及ぶため、その
両端間の抵抗を小さくしなければ電位勾配が生してしま
う。薄膜プロセスで電極を形成する以上、電極の面積を
広げたいことになるがノズルの構成等からそれは困難で
ある。
〔発明が解決しようとする課題］
すなわち、上述したように従来の構成では基材の一生面
上に電極と発熱抵抗体とを薄膜の積層技術によって形成
するので、膜厚や面積が制限されることから配線抵抗が
大きくなり電気的損失の増大を招く等技術上程々な課題
があった。
上に電極と発熱抵抗体とを薄膜の積層技術によって形成
するので、膜厚や面積が制限されることから配線抵抗が
大きくなり電気的損失の増大を招く等技術上程々な課題
があった。
本発明の目的は、上述したような従来の問題点を解決す
べく、十分な高密度で抵抗の少ない電極配線が可能であ
り、発熱抵抗体の構成が容易な液体噴射記録ヘッドを提
供することにある。
べく、十分な高密度で抵抗の少ない電極配線が可能であ
り、発熱抵抗体の構成が容易な液体噴射記録ヘッドを提
供することにある。
〔課題を解決するための手段］
かかる目的を達成するために、本発明は、選択的に記録
液を吐出させて飛翔的液滴を発生させる複数のオリフィ
スと、複数のオリフィスのそれぞれに連通する複数の液
路と、上下の基材間において複数の液路を仕切る仕切壁
と、複数の液路のそれぞれに配設され、飛翔的液滴を形
成するための熱エネルギーを発生する電気熱変換体とを
有する液体噴射記録ヘッドにおいて、複数の液路におけ
る仕切壁の表面に発熱抵抗層を配設し、上下の基材の複
数の液路に接するそれぞれの一方の面に個別電極を配設
し、他方の面に共通電極を配設し、共通電極および個別
電極を発熱抵抗層に接続して電気熱変換体を構成したこ
とを特徴とするものである。
液を吐出させて飛翔的液滴を発生させる複数のオリフィ
スと、複数のオリフィスのそれぞれに連通する複数の液
路と、上下の基材間において複数の液路を仕切る仕切壁
と、複数の液路のそれぞれに配設され、飛翔的液滴を形
成するための熱エネルギーを発生する電気熱変換体とを
有する液体噴射記録ヘッドにおいて、複数の液路におけ
る仕切壁の表面に発熱抵抗層を配設し、上下の基材の複
数の液路に接するそれぞれの一方の面に個別電極を配設
し、他方の面に共通電極を配設し、共通電極および個別
電極を発熱抵抗層に接続して電気熱変換体を構成したこ
とを特徴とするものである。
〔作 用］
本発明によれば、液路を形成している仕切壁の表面に電
気熱変換体構成のための発熱抵抗層を設けるようになし
、一方、これら仕切壁の上下に設ける基材の内面に沿っ
て個別電極および共通電極を配設し、その個別電極およ
び共通電極を発熱抵抗層に接続するようにしたので、そ
れぞれの電極に十分な幅を持たせることによって、電気
的損失を抑制することができ、また、上記仕切壁の少な
くとも発熱抵抗層形成面に傾斜を持たせるようにするこ
とによって蒸着等による発熱抵抗層の形成を容易ならし
めることができる。
気熱変換体構成のための発熱抵抗層を設けるようになし
、一方、これら仕切壁の上下に設ける基材の内面に沿っ
て個別電極および共通電極を配設し、その個別電極およ
び共通電極を発熱抵抗層に接続するようにしたので、そ
れぞれの電極に十分な幅を持たせることによって、電気
的損失を抑制することができ、また、上記仕切壁の少な
くとも発熱抵抗層形成面に傾斜を持たせるようにするこ
とによって蒸着等による発熱抵抗層の形成を容易ならし
めることができる。
（実施例〕
以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳細かつ具体
的に説明する。
的に説明する。
第１Δ図および第１８図は本発明の一実施例を示す。こ
こで、 ２０１は絶縁材料による基体、 ２０２は基体
２０１上に取付けられる同じく絶縁材料の上部基板であ
って、本例の場合、基体２０１には図示のような梯形型
をなす仕切壁２０３と仕切壁２０３間に逆梯形をなす液
路２０４ とが形成される。２０５は液路２０４の底面
に成膜技術で形成された個別電極、また、２０６は上記
基板２０２の下面側に同じく成膜技術で形成された共通
電極であり、基体２０１の側では液路２０４に個別電極
２０５を形成した上で、複数の仕切壁２０３および液路
２０４にまたがってその表面に発熱抵抗層２０７が形成
され、このような状態とした上基体２０１上に上部基板
２０２が接合され、その液路２０４の先端部にオリフィ
ス２０８が形成される。
こで、 ２０１は絶縁材料による基体、 ２０２は基体
２０１上に取付けられる同じく絶縁材料の上部基板であ
って、本例の場合、基体２０１には図示のような梯形型
をなす仕切壁２０３と仕切壁２０３間に逆梯形をなす液
路２０４ とが形成される。２０５は液路２０４の底面
に成膜技術で形成された個別電極、また、２０６は上記
基板２０２の下面側に同じく成膜技術で形成された共通
電極であり、基体２０１の側では液路２０４に個別電極
２０５を形成した上で、複数の仕切壁２０３および液路
２０４にまたがってその表面に発熱抵抗層２０７が形成
され、このような状態とした上基体２０１上に上部基板
２０２が接合され、その液路２０４の先端部にオリフィ
ス２０８が形成される。
このように構成した液体噴射記録ヘッドでは、液路２０
４に記録液が送給された状態で個別電極２０５に選択的
に電気信号が供給されると、発熱抵抗層２０７が発熱す
ることによって、これに接する記録液に気泡が発生し、
その体積変化に伴ってオリフィス２０８から記録液を飛
翔的液滴となして吐出させ、記録シート上に着弾させて
記録を実施することができる。
４に記録液が送給された状態で個別電極２０５に選択的
に電気信号が供給されると、発熱抵抗層２０７が発熱す
ることによって、これに接する記録液に気泡が発生し、
その体積変化に伴ってオリフィス２０８から記録液を飛
翔的液滴となして吐出させ、記録シート上に着弾させて
記録を実施することができる。
第２図は本発明の他の実施例を示す。本例は発ｐＪ、Ｈ
抵抗層２０７を仕切壁２０３の片側の壁にのみ配置する
ようにしたもので、従い、仕切壁２０３の発熱抵抗層２
０７が設けられない方の壁は傾斜させず、切り立ったま
まの形状にしである。ただし、仕切壁２０３および液路
２０４の断面形状を第１Ｂ図に示すような形態に保った
まま、その片側の仕切壁面たけに発熱抵抗層を設けるよ
うにしてもよいことは勿論であるが、このように構成す
ることにより先に述べた実施例に比してその供給信号の
電流値を低くすることができる。
抵抗層２０７を仕切壁２０３の片側の壁にのみ配置する
ようにしたもので、従い、仕切壁２０３の発熱抵抗層２
０７が設けられない方の壁は傾斜させず、切り立ったま
まの形状にしである。ただし、仕切壁２０３および液路
２０４の断面形状を第１Ｂ図に示すような形態に保った
まま、その片側の仕切壁面たけに発熱抵抗層を設けるよ
うにしてもよいことは勿論であるが、このように構成す
ることにより先に述べた実施例に比してその供給信号の
電流値を低くすることができる。
以上説明してきたように、本発明によれば、液路を仕切
っている仕切壁の表面に発熱抵抗層を設け、これらの仕
切壁と共に液路を形成している上下の基材内面に沿って
その一方に複数の上記発熱抵抗層に接続される共通電極
を、また他方に個別電極を設けて、個別電極を個々の液
路において上記の発熱抵抗層に接続するようにしたので
、電極形成にあたり膜厚や面積に対する制約が大幅に緩
和されることによって配線抵抗による電気的損失を抑制
することができ、また、仕切壁の壁面に傾斜を持たせる
ことによって成膜技術による製法をし易くし、更にまた
、発熱抵抗層を帯状に形成することによって電気熱変換
体間のアライメントを容易とする効果が得られる。
っている仕切壁の表面に発熱抵抗層を設け、これらの仕
切壁と共に液路を形成している上下の基材内面に沿って
その一方に複数の上記発熱抵抗層に接続される共通電極
を、また他方に個別電極を設けて、個別電極を個々の液
路において上記の発熱抵抗層に接続するようにしたので
、電極形成にあたり膜厚や面積に対する制約が大幅に緩
和されることによって配線抵抗による電気的損失を抑制
することができ、また、仕切壁の壁面に傾斜を持たせる
ことによって成膜技術による製法をし易くし、更にまた
、発熱抵抗層を帯状に形成することによって電気熱変換
体間のアライメントを容易とする効果が得られる。
第１Ａ図は本発明液体噴射記録ヘッドの構成の一例を示
す斜視図、 第１Ｂ図は第１Ａ図の八−Ａ線断面図、第２図は本発明
の他の実施例の構成を示す断面図、 第３Ａ図および第３Ｂ図は従来の液体噴射記録ヘッドに
おける発熱抵抗体およびその電極の異なる配誼態杆をそ
れぞれ示す上面図である。 ２０１・・・基体、 ２０２・・・上部基板、 ２０３・・・仕切壁、 ２０４ ・・・Ｙ夜路、 ２０５・・・個別電極、 ２０６・・・共通電極、 ２０７・・・発熱抵抗層、 ２０８・・・オリフィス。 潴Ｉへ口のＡ−Ａ牟東材面圓 第１Ｂ図 本メー日月０化０テ蓋洲孔ブ列り町面国第２図
す斜視図、 第１Ｂ図は第１Ａ図の八−Ａ線断面図、第２図は本発明
の他の実施例の構成を示す断面図、 第３Ａ図および第３Ｂ図は従来の液体噴射記録ヘッドに
おける発熱抵抗体およびその電極の異なる配誼態杆をそ
れぞれ示す上面図である。 ２０１・・・基体、 ２０２・・・上部基板、 ２０３・・・仕切壁、 ２０４ ・・・Ｙ夜路、 ２０５・・・個別電極、 ２０６・・・共通電極、 ２０７・・・発熱抵抗層、 ２０８・・・オリフィス。 潴Ｉへ口のＡ−Ａ牟東材面圓 第１Ｂ図 本メー日月０化０テ蓋洲孔ブ列り町面国第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）選択的に記録液を吐出させて飛翔的液滴を発生させ
る複数のオリフィスと、該複数のオリフィスのそれぞれ
に連通する複数の液路と、上下の基材間において前記複
数の液路を仕切る仕切壁と、前記複数の液路のそれぞれ
に配設され、前記飛翔的液滴を形成するための熱エネル
ギーを発生する電気熱変換体とを有する液体噴射記録ヘ
ッドにおいて、 前記複数の液路における前記仕切壁の表面に発熱抵抗層
を配設し、 前記上下の基材の前記複数の液路に接するそれぞれの一
方の面に個別電極を配設し、他方の面に共通電極を配設
し、 該共通電極および前記個別電極を前記発熱抵抗層に接続
して前記電気熱変換体を構成したことを特徴とする液体
噴射記録ヘッド。 ２）特許請求の範囲第１項記載の液体噴射記録ヘッドに
おいて、前記仕切壁は前記液路と直角な方向に傾斜した
部分を有することを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15795988A JPH028057A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 液体噴射記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15795988A JPH028057A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 液体噴射記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH028057A true JPH028057A (ja) | 1990-01-11 |
Family
ID=15661196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15795988A Pending JPH028057A (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 液体噴射記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH028057A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1946929A3 (en) * | 2007-01-18 | 2009-03-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ink-jet Print Head and Method for Manufacturing the Same |
-
1988
- 1988-06-28 JP JP15795988A patent/JPH028057A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1946929A3 (en) * | 2007-01-18 | 2009-03-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ink-jet Print Head and Method for Manufacturing the Same |
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