JPH027829Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体製造に用いられるフオトマスク
ブランク、マスク用ガラス基板等の収納に用いて
好適な板状物用収納ケースに関し、特に寸法サイ
ズの異なる少なくとも２種類の板状物に対して共
通使用し得るように改良したものである。

〔従来の技術〕

従来、フオトマスクブランク等の基板（板状
物）を収納し運搬する収納ケースとしては第４図
に示すものが知られている。すなわち、１は複数
枚のフオトマスクブランク２を略垂直な状態でそ
の厚み方向に所定の間隔をおいて収納する収納ケ
ースで、この収納ケース１は対向する左右一対の
側板３，４と、これらの側板３，４を互いに連結
する例えば４本の連結棒５，６，７，８と、前記
側板３，４間に支架され、各フオトマスクブラン
ク２をその厚み方向に所定の間隔をおいて保持し
前後方向（幅方向）および左右方向（厚み方向）
の移動を規制する、例えば４本の保持兼移動規制
部材９，１０，１１，１２とを備え、前記４本の
連結棒５，６，７，８のうち下部に配設された前
後一対の連結棒７，８は前記各フオトマスクブラ
ンク２の下端面を支持する支持部材としての機能
を有している。

前記各保持兼移動規制部材９，１０，１１，１
２としては、例えば第５図に示すように周面にＶ
字状の溝１４が多数形成されることにより算盤珠
を一連に並べた形状の棒状体とか、あるいはまた
第６図に示すようにフオトマスクブランク２の側
端面と対向する内側面に鋸歯状の凹凸１５を連続
的に形成した板体が使用され、各溝１４にフオト
マスクブランク２が上方よりそれぞれ挿入され、
これによつて前後、左右方向の移動を規制防止し
ている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかるに、かかる従来の収納ケースにおいては
互いに対向する保持兼移動規制部材９と１０およ
び１１と１２の間隔が一定しているため、寸法サ
イズの異なつたフオトマスクブランクに対して共
通に使用できないという不都合があつた。そのた
め、各種寸法サイズに応じた収納ケースを準備し
ているが、そうするとケース自体の種類が増加
し、その保管、管理が面倒であつた。

また、ケース自体の種類を減らすため前記移動
規制部材９と１０および１１と１２の間隔をフオ
トマスクブランク２の寸法サイズにあわせて変え
るようにしたものも知られているが、この場合に
はその都度止めねじを緩めたり締つけたりする必
要があるため移動規制部材の移動調整作業が煩し
いという不都合があつた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案に係る板状物用収納ケースは上述したよ
うな問題を解決すべくなされたもので、互いに対
向する一対の枠体と、これら一対の枠体の上部、
中間部および下部をそれぞれ連結する一対の第
１、第２支持棒および少なくとも１本の第３支持
棒とを備え、前記一対の第１支持棒の対向面には
第１板状物の左右両側端部を支持する第１側端部
保持溝がそれぞれ形成され、前記一対の第２支持
棒は前記一対の第１支持棒よりも間隔が狭く、ま
たその上面には前記第１の板状物の下端部を支持
する第１下端部保持溝がそれぞれ形成され、かつ
対向面には前記第１の板状物よりも寸法サイズの
小さい第２の板状物の左右両側端部を支持する第
２側端部保持溝がそれぞれ形成され、前記第３支
持棒の上面には前記第２の板状物の下端部を支持
する第２下端部保持溝が形成されているものであ
る。

〔作用〕

本考案においては第２支持棒に第１の板状物の
下端部を支持する第１下端部保持溝と、第２の板
状物の側端部を支持する第２側端部保持溝を設け
ているので、寸法サイズの異なる第１および第２
の板状物に対して共通に使用することが可能とな
る。

〔実施例〕

以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

第１図は本考案に係る板状物用収納ケースの一
実施例を示す一部省略斜視図、第２図は第１図
−線拡大断面図、第３図は支持棒の要部拡大平
面図である。これらの図において、全体を符号２
０で示す収納ケースは本実施例の場合、後述する
構成部材の全てが耐熱、耐食性に優れ、かつ熱膨
脹係数の小さい材料、例えば石英ガラス（軟化点
1500℃以上、熱膨脹係数５〜６×10^-7cm／℃）に
よつて形成されている。石英ガラスを使用した理
由は、フオトマスクブランク２を熱処理装置や拡
散炉等に入れて所望の処理を行う際、収納ケース
２０の熱膨脹を少なくし、前記フオトマスクブラ
ンク２への悪影響を防止するためである。

また、本実施例においては寸法サイズの異なつ
た３種類（例、５，４，３インチ）のフオトマス
クブランク２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃに対して共通に
使用し得るように構成した収納ケース２０の例を
示す。

さて、前記収納ケース２０は、略逆台形状に形
成され、フオトマスクブランク２の板厚方向に所
定の間隔を保つて対向する一対の枠体２１，２２
と、これら一対の枠体２１，２２の上部、中間部
および下部をそれぞれ連結する一対の第１、第２
および第３支持棒２３，２３Ａ，２３Ｂ，２４，
２４Ａ，２４Ｂ，２５，２５Ａ，２５Ｂと、前記
一対の枠体２１，２２の上面両側部に上方から着
脱自在に載置される一対の第４支持棒２６，２６
Ａ，２６Ｂとで概ね構成されている。

一方の枠体２１は、下方のものほど長さが短か
くなる３本の水平なバー２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ
と、これら３本のバー２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの
各端を一連に連結する一対の傾斜バー２１Ｄ，２
１Ｅとを有し、これら全てのバー２１Ａ〜２１Ｅ
は丸棒状体からなり、互いに溶接によつて一体的
に接合されている。また、最上位のバー２１Ａの
外側面、すなわち枠体２２に対向する面と反対側
の面の両端寄りには一対の突起２８Ａ，２８Ｂが
一体的に突設され、さらに枠体２１の中間部には
両端が中間のバー２１Ｂと傾斜バー２１Ｄ，２１
Ｅとの接合部に接合された平面視略コの字状の取
手２９が一体的に設けられている。突起２８Ａ，
２８Ｂおよび取手２９も溶接によつて取付けられ
ている。

他方の枠体２２は３本の水平なバー２２Ａ，２
２Ｂ，２２Ｃと、これら３本のバー２２Ａ，２２
Ｂ，２２Ｃの各端を一連に連結する一対の傾斜バ
ー２２Ｄ，２２Ｅとで前記一方の枠体２１と同一
形状に形成されている。但し、この枠体２２は最
上位のバー２２Ａの外側面両端寄りに一対の突起
３１Ａ，３１Ｂが一体的に突設されているだけ
で、取手を備えていない。

前記一対の第１支持棒２３Ａ，２３Ｂは５イン
チのフオトマスクブランク（第１の板状体）２Ａ
の左右両側端部を支持するもので、該第１支持棒
の両端部が前記各枠体２１，２２の上側角部、す
なわちバー２１Ａと傾斜バー２１Ｄ，２１Ｅとの
接合部およびバー２２Ａと傾斜バー２２Ｄ，２２
Ｅとの接合部にそれぞれ接合されることにより互
いに平行に対向し、その対向面、すなわち内側面
が櫛歯状に形成されることにより、多数の第１側
端部保持溝３４，３５と隔壁３６，３７が所定の
間隔をおいて交互に、かつ溝同士が対向するよう
に設けられている。したがつて、隔壁３６と３７
も互いに対向している。また、各隔壁３６，３７
の先端部は第３図に示すようにフオトマスクブラ
ンク２Ａの挿入を容易にするため、平面視略Ｖ字
状に尖り、前記第１側端部保持溝３４，３５の開
口部側溝幅を広くしている。このような先端部形
状はバーナーで隔壁３６，３７を加熱、軟化させ
て成形することにより容易に形成され得るもので
ある。第１側端部保持溝３４，３５はバイトによ
る切削加工によつて形成される。なお、一対の第
１支持棒２３Ａ，２３Ｂは丸棒状体からなり、前
記第１側端部保持溝３４，３５および隔壁３６，
３７を形成した後前記枠体２１，２２に接合され
る。また、各第１支持棒２３Ａ，２３Ｂは枠体２
１，２２間の間隔より長く形成されることによ
り、その両端部が各枠体２１，２２の前後に突出
し、その端面が前記突起２８Ａ，２８Ｂおよび３
１Ａ，３１Ｂの先端面とそれぞれほぼ同一平面を
形成している。

前記一対の第２支持棒２４Ａ，２４Ｂは５イン
チおよび４インチのフオトマスクブランク２Ａ，
２Ｂの下端部および３インチのフオトマスクブラ
ンク２Ｃ（第２の板状体）の左右両側端部を支持
するもので、該第２支持棒２４Ａ，２４Ｂの両端
部が前記各枠体２１，２２の中間部で、バー２１
Ｂと傾斜バー２１Ｄ，２１Ｅとの接合部およびバ
ー２２Ｂと傾斜バー２２Ｄ，２２Ｅとの接合部に
それぞれ接合されることにより互いに平行に対向
し、その上面には前述したと同様の方法により多
数の第１下端部保持溝４０，４１と隔壁４２，４
３が交互に形成され、また対向面にも多数の第２
側端部保持溝４５，４６と隔壁４７，４８が形成
されている。一方の第２支持棒２４Ａの第１下端
部保持溝４０と第２側端部保持溝４５および隔壁
４２と４７はそれぞれ連続して形成され、前記第
１支持棒２３Ａの第１側端部保持溝３４と隔壁３
６にそれぞれ対応している。同様にもう一方の第
２支持棒２４Ｂの第１下端部保持溝４１と第２側
端部保持溝４６および隔壁４３と４８もそれぞれ
連続して形成され、前記第１支持棒２３Ｂの第１
側端部保持溝３５と隔壁３７にそれぞれ対応して
いる。

前記一対の第３支持棒２５Ａ，２５Ｂは３イン
チのフオトマスクブランク２Ｃの下端部を支持す
るもので、その両端部が前記各枠体２１，２２の
下端両側部にそれぞれ接合されることにより互い
に平行に対向し、その上面には同じく上述したと
同様の方法により多数の第２下端部保持溝５０，
５１と隔壁５２，５３が交互に形成されている。
第２下端部保持溝５０，５１も、第１、第２側端
部保持溝３４，３５，４５，４６および第１下端
部保持溝４０，４１に対応して形成されている。

前記一対の第４支持棒２６Ａ，２６Ｂは４イン
チのフオトマスクブランク（第３の板状物）２Ｂ
の左右両側端部を支持するもので、その対向面に
は上述したと同様の方法により多数の第３側端部
保持溝５６，５７と隔壁５８，５９が交互に形成
されている。また、各第４支持棒２６Ａ，２６Ｂ
の下面は、バー２１Ａ，２２Ａ上での安定性をは
かるため全長に亘つて平担面に形成され、かつ両
端部にはそれぞれ下方を指向する係止部６０〜６
３の上端が接合されている。これらの係止部６０
〜６３は、前記バー２３Ａの両端部と突起２８
Ａ，３１Ａとの間の空間およびバー２３Ｂの両端
部と突起２８Ｂ，３１Ｂとの間の空間６４〜６７
に上方からそれぞれ挿入される。この場合、各第
４支持棒２６Ａ，２６Ｂは熱膨脹を考慮して僅か
ではあるが前後、左右方向の移動を許容されてい
る。なお、前記第３側端部保持溝５６，５７も前
記第１、第２側端部保持溝３４，３５，４５，４
６および第１、第２下端部保持溝４０，４１，５
０，５１と対応している。

このような構成からなる収納ケース２０におい
て、第２図に示すように５インチのフオトマスク
ブランク２Ａの収納時には一対の第１支持棒２３
Ａ，２３Ｂの第１側端部保持溝３４，３５と一対
の第２支持棒２４Ａ，２４Ｂの第１下端部保持溝
４０，４１が使用され、また４インチのフオトマ
スクブランク２Ｂの収納時には一対の第４支持棒
２６Ａ，２６Ｂの第３側端部保持溝５６，５７と
前記一対の第２支持棒２４Ａ，２４Ｂの第１下端
部保持溝４０，４１が、そして３インチのフオト
マスクブランク２Ｃの収納時には前記一対の第２
支持棒２４Ａ，２４Ｂの第２側端部保持溝４５，
４６と一対の第３支持棒２５Ａ，２５Ｂの第２下
端部保持溝５０，５１が使用され、もつて寸法サ
イズの異なる３種類のフオトマスクブランク２，
２Ａ，２Ｂ，２Ｃの収納を可能にしている。フオ
トマスクブランク２の収納に際しては、収納ケー
ス２０の上方より所定の側端部保持溝に沿つてほ
ぼ垂直に挿入される。５インチおよび３インチの
フオトマスクブランク２Ａ，２Ｃの収納時におい
て、一対の第４支持棒２６Ａ，２６Ｂは何ら機能
せず、不要とされる。

なお、上記実施例は３インチのフオトマスクブ
ランク２Ｃの下端部を支持する第３支持棒２５を
左右一対の支持棒２５Ａ，２５Ｂで構成したが、
本考案はこれに何ら特定されるものではなく、基
本的には１本でよい。

また、上記実施例は丸棒状体からなる石英ガラ
スで収納ケース２０を形成したが、これに限らず
金属等によつて形成してもよいことは勿論であ
る。

さらに、上記実施例は方形のフオトマスクブラ
ンク２を収納する場合について説明したが、円形
のフオトマスクブランクにもそのまま適用し得る
ものである。加えて、フオトマスクブランクに限
らず寸法サイズの異なる各種板状物にそのまま実
施し得るものである。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案に係る板状物用収納
ケースは、第１の板状物の左右両側端部を支持す
る一対の第１支持棒と、第２の板状物の下端部を
支持する第３支持棒との間に、一対の第２支持棒
を配置し、この第２支持棒の上面に前記第１の板
状物の下端部を支持する第１下端部保持溝を設
け、内側面に前記第２板状物の側端部を支持する
第２側端部保持溝を設けたので、寸法サイズの異
なる２種類の板状物に対して共通に使用でき、従
来のように支持棒を寸法サイズに応じて移動させ
たりあるいはケース自体を交換する必要がなく、
その経済的効果は大である。また、各支持棒に保
持溝を形成するだけでよいので、構造も従来構造
と同様簡単である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す一部省略斜視
図、第２図は第１図−線拡大断面図、第３図
は支持棒の要部拡大平面図、第４図は収納ケース
の従来例を示す斜視図、第５図および第６図は保
持兼移動規制部材の一例をそれぞれ示す図であ
る。 ２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ……フオトマスクブラン
ク、２０……収納ケース、２１，２２……枠体、
２３……第１支持棒、２４……第２支持棒、２５
……第３支持棒、２６……第４支持棒、３４，３
５……第１側端部保持溝、４０，４１……第１下
端部保持溝、４５，４６……第２側端部保持溝、
５０，５１……第２下端部保持溝、５６，５７…
…第３側端部保持溝。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 互いに対向する一対の枠体と、これら一対の枠
   体の上部、中間部および下部をそれぞれ連結する
   一対の第１、第２支持棒および少なくとも１本の
   第３支持棒とを備え、前記一対の第１支持棒の対
   向面には第１の板状物の左右両側端部を支持する
   第１側端部保持溝がそれぞれ形成され、前記一対
   の第２支持棒は前記一対の第１支持棒よりも間隔
   が狭く、またその上面には前記第１の板状物の下
   端部を支持する第１下端部保持溝がそれぞれ形成
   され、かつ対向面には前記第１の板状物よりも寸
   法サイズの小さい第２の板状物の左右両側端部を
   支持する第２側端部保持溝がそれぞれ形成され、
   前記第３支持棒の上面には前記第２の板状物の下
   端部を支持する第２下端部保持溝が形成されてい
   ることを特徴とする板状物用収納ケース。