JPH0276252A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
- Publication number
- JPH0276252A JPH0276252A JP22660588A JP22660588A JPH0276252A JP H0276252 A JPH0276252 A JP H0276252A JP 22660588 A JP22660588 A JP 22660588A JP 22660588 A JP22660588 A JP 22660588A JP H0276252 A JPH0276252 A JP H0276252A
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- JP
- Japan
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- circuit
- output terminal
- whose
- wiring
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は半導体集積回路装置に係り、特にバイポーラ・
CMOS回路による高性能な論理回路を実現するのに好
適な半導体集積回路装置に関する。
CMOS回路による高性能な論理回路を実現するのに好
適な半導体集積回路装置に関する。
[従来の技術]
バイポーラ・CMO5(以下BiCMO5と呼ぶ)LS
Iにおいて、負荷条件によりCMOS回路とBiCMO
S回路とを使い分ける技術が日経エレクトロニクス19
86.12.15 (no。
Iにおいて、負荷条件によりCMOS回路とBiCMO
S回路とを使い分ける技術が日経エレクトロニクス19
86.12.15 (no。
410)p138に示されている。この回路の例として
第2図〜第4図に示す回路が考えられており、ここでは
2NANDの例を示している。第2図、第3図はそれぞ
れBiCMOS回路1.BiCMOS回路2であり、第
4図がCMOS回路である。ココテ、vIi〜vI22
は入力、V 01〜V OZ 1は出力、P1〜P22
はpMOsトランジスタ、N1〜N22はnMOShラ
ンジスタ、Q1〜Q11はNPN型バイポーラトランジ
スタである。
第2図〜第4図に示す回路が考えられており、ここでは
2NANDの例を示している。第2図、第3図はそれぞ
れBiCMOS回路1.BiCMOS回路2であり、第
4図がCMOS回路である。ココテ、vIi〜vI22
は入力、V 01〜V OZ 1は出力、P1〜P22
はpMOsトランジスタ、N1〜N22はnMOShラ
ンジスタ、Q1〜Q11はNPN型バイポーラトランジ
スタである。
これらの回路はいずれも公知であるので、その動作の説
明は省略する。第5図には各回路の遅延時間の負荷容量
依存性を示す。現在、MO8論理LSIでは電源電圧5
Vが使用されており、(b)に示すようにBiCMOS
回路1はBiCMOS回路2よりも負荷容量に関係なく
高速である。また、BiCMOS回路1とCMOS回路
は負荷容量CL、oのときに遅延時間が等しくなってお
り、負荷容量がCLoより小さいときはCMOS回路を
、負荷容量がCLoより大きいときはBiCMOS回路
1を選択すれば最も高速なLSIを作ることができる。
明は省略する。第5図には各回路の遅延時間の負荷容量
依存性を示す。現在、MO8論理LSIでは電源電圧5
Vが使用されており、(b)に示すようにBiCMOS
回路1はBiCMOS回路2よりも負荷容量に関係なく
高速である。また、BiCMOS回路1とCMOS回路
は負荷容量CL、oのときに遅延時間が等しくなってお
り、負荷容量がCLoより小さいときはCMOS回路を
、負荷容量がCLoより大きいときはBiCMOS回路
1を選択すれば最も高速なLSIを作ることができる。
[発明が解決しようとする課題]
BiCMOSLSIでは消費電力、信頼性等の問題から
低電源電圧化の傾向にあり、上記の方法では以下の2つ
の問題がある。
低電源電圧化の傾向にあり、上記の方法では以下の2つ
の問題がある。
まず第1に、アイ・イー・イー・イー、インタナシミナ
ル・エレクトロン・デバイス・ミーティング、論文番号
2.8.1987年12月、第838頁から第840頁
(IEEE、IEDM、2゜8、DEC,1987,p
p838−840) に論じられているように、BiC
MO5回路は電rX電圧が低くなると、出力振幅の電源
電圧に対する相対値が小さくなるために、特に軽負荷で
CMOS回路に対してのスピードのメリットが小さくな
る。
ル・エレクトロン・デバイス・ミーティング、論文番号
2.8.1987年12月、第838頁から第840頁
(IEEE、IEDM、2゜8、DEC,1987,p
p838−840) に論じられているように、BiC
MO5回路は電rX電圧が低くなると、出力振幅の電源
電圧に対する相対値が小さくなるために、特に軽負荷で
CMOS回路に対してのスピードのメリットが小さくな
る。
第2に、第2図のBiCMOS回路1のように。
最終段にバイポーラトランジスタをトーテムポール型で
用いる回路では、出力振幅はVBE”VDD−VBEで
ある(VBEはバイポーラトランジスタのペース・エミ
ッ、り間型圧、vDDは電源電圧)。これに対して、B
iCMOS回路2の出力ti幅はO〜VDD VBE
である。Vapが一定であることから、低電源電圧化し
た場合、BiCMOS回路1の電fA電圧に対する出力
振幅の相対値は、BiCM○S回路2に比べて小さくな
る。
用いる回路では、出力振幅はVBE”VDD−VBEで
ある(VBEはバイポーラトランジスタのペース・エミ
ッ、り間型圧、vDDは電源電圧)。これに対して、B
iCMOS回路2の出力ti幅はO〜VDD VBE
である。Vapが一定であることから、低電源電圧化し
た場合、BiCMOS回路1の電fA電圧に対する出力
振幅の相対値は、BiCM○S回路2に比べて小さくな
る。
また、BiCMOS回路の出力端子にCMOS回路や抵
抗素子を接続して出力振幅を0=Vooとすることも可
能であるが、バイポーラトランジスタのドライバビイリ
ティのある範囲は依然としてVaE=VDD−VBEま
たはO−Van −VBEテあるので、上記の結果は変
わらない。
抗素子を接続して出力振幅を0=Vooとすることも可
能であるが、バイポーラトランジスタのドライバビイリ
ティのある範囲は依然としてVaE=VDD−VBEま
たはO−Van −VBEテあるので、上記の結果は変
わらない。
以上のことから、第5図(a)に示すように電源電圧3
.3vでは、電源電圧5VのときよりもCMOS回路が
BiCMOS1回路より高速な領域が拡大する(CL、
<CL、)。また、BiCM○S回路2がB1CMOS
回路1よりも高速な領域が発生し、電源電圧5Vのとき
のようにBiCM○S回路1と0M08回路だけでは、
デバイス性能を十分に生かした設計を行えなくなる。
.3vでは、電源電圧5VのときよりもCMOS回路が
BiCMOS1回路より高速な領域が拡大する(CL、
<CL、)。また、BiCM○S回路2がB1CMOS
回路1よりも高速な領域が発生し、電源電圧5Vのとき
のようにBiCM○S回路1と0M08回路だけでは、
デバイス性能を十分に生かした設計を行えなくなる。
本発明の目的は、デバイス性能を十分に生かした設計を
行い、高性能な半導体集積回路を提供することにある。
行い、高性能な半導体集積回路を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的は、LSIのレイアウト情報に基づき負荷容量
を求め、その負荷に応じて高速な回路を選択することに
より領域される。すなわち、本発明の半導体集積回路装
置は、コレクタが第1の電源に、エミッタが出力端子に
接続された第1のNPN型バイポーラ・トランジスタ及
びコレクタが上記出力端子に、エミッタが第2の電源に
接続された第2のNPN型バイポーラ・トランジスタを
含む第1のバイポーラ・CMOS回路と、コレクタが第
1の電源に、エミッタが出力端子に接続されたNPN型
バイポーラ・トランジスタ及びドレインが出力端子に、
ソースが第2の電源に接続されたnMOSトランジスタ
を含む第2のバイポーラ・CMOS回路が混在する。本
発明の半導体集積回路装置は、第1の電源と第2の電源
の電位差の絶対値が4.5V以下である場合に、特に有
効である。
を求め、その負荷に応じて高速な回路を選択することに
より領域される。すなわち、本発明の半導体集積回路装
置は、コレクタが第1の電源に、エミッタが出力端子に
接続された第1のNPN型バイポーラ・トランジスタ及
びコレクタが上記出力端子に、エミッタが第2の電源に
接続された第2のNPN型バイポーラ・トランジスタを
含む第1のバイポーラ・CMOS回路と、コレクタが第
1の電源に、エミッタが出力端子に接続されたNPN型
バイポーラ・トランジスタ及びドレインが出力端子に、
ソースが第2の電源に接続されたnMOSトランジスタ
を含む第2のバイポーラ・CMOS回路が混在する。本
発明の半導体集積回路装置は、第1の電源と第2の電源
の電位差の絶対値が4.5V以下である場合に、特に有
効である。
[作用コ
最初に、0M08回路、第1のB i CMOS回路又
は第2のBiCMOS回路からなる特定のセルを用いて
LSIのレイアウトを行い、この結果に基づいて負荷容
量の計算を行う。次に、各セルの負荷容量に応じて遅延
時間が最小の回路を選択し、セルを入れ替える。これに
より、第1のBiCMOS回路と第2のBiCMOS回
路とを混在させ、デバイス性能を十分を生かした高性能
な半導体集積回路装置が得られる。
は第2のBiCMOS回路からなる特定のセルを用いて
LSIのレイアウトを行い、この結果に基づいて負荷容
量の計算を行う。次に、各セルの負荷容量に応じて遅延
時間が最小の回路を選択し、セルを入れ替える。これに
より、第1のBiCMOS回路と第2のBiCMOS回
路とを混在させ、デバイス性能を十分を生かした高性能
な半導体集積回路装置が得られる。
また、ブロック内では第2のBiCMOS回路を、ブロ
ック間では第1のBiCMOS回路を使用するように予
め決めておき、第1のBiCM○S回路と第2のBiC
MOS回路とを混在させてレイアウトすることによって
も、LSIの高性能化が可能である。
ック間では第1のBiCMOS回路を使用するように予
め決めておき、第1のBiCM○S回路と第2のBiC
MOS回路とを混在させてレイアウトすることによって
も、LSIの高性能化が可能である。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を説明する。第1図(b)は半
導体集積回路装置(LSI)の内部領域の一部分である
。図をわかりやすくするために(a)の論理図を主とし
、概略的に示しである。
導体集積回路装置(LSI)の内部領域の一部分である
。図をわかりやすくするために(a)の論理図を主とし
、概略的に示しである。
図中、1,2は2NANDセル、C3IC4はセル間の
配線8,9の配線容量と配線8,9に接続するゲートの
入力容量からなる負荷容量である。また、3,4は論理
回路セル、配線5〜9は横方向が第1層配線、縦方向が
第2層配線である。10は種々の機能を持つ論理セルを
並べたセル列であり、20は第1層配線と第2層配線を
接続するスルーホース、30は第1層配線とセルの入力
端子であるゲート電極を接続するコンタクト、40はセ
ル列に電源を供給する電源配線である。
配線8,9の配線容量と配線8,9に接続するゲートの
入力容量からなる負荷容量である。また、3,4は論理
回路セル、配線5〜9は横方向が第1層配線、縦方向が
第2層配線である。10は種々の機能を持つ論理セルを
並べたセル列であり、20は第1層配線と第2層配線を
接続するスルーホース、30は第1層配線とセルの入力
端子であるゲート電極を接続するコンタクト、40はセ
ル列に電源を供給する電源配線である。
まず始めに、予めレイアウト設計された第2〜4図のい
ずれかの論理セルを配置し、セル間の配線を行う。次に
、セルに接続された配線の長さを計算し配線容量Cwを
、配線に接続されるセル調ベゲートの入力容量C8をそ
れぞれ求める。CwとCiをそれぞれ求める。CWとC
1の和が負荷容量CLである。このようにして求めたC
Lが第5図(a)のどこに位置するかで遅延時間が最小
となる回路が決定できる0例えば、第1図(b)では2
NANDセル1の出力には短い配線8が接続され、さら
に2NANDセルの入力となっている。
ずれかの論理セルを配置し、セル間の配線を行う。次に
、セルに接続された配線の長さを計算し配線容量Cwを
、配線に接続されるセル調ベゲートの入力容量C8をそ
れぞれ求める。CwとCiをそれぞれ求める。CWとC
1の和が負荷容量CLである。このようにして求めたC
Lが第5図(a)のどこに位置するかで遅延時間が最小
となる回路が決定できる0例えば、第1図(b)では2
NANDセル1の出力には短い配線8が接続され、さら
に2NANDセルの入力となっている。
従って、2NANDセル1の負荷容量C1は配線8の配
線容量と2NANDセル2の入力容量の和である。一方
、2NANDセル2の出力には長い配線9と論理回路セ
ル3,4が接続されている。
線容量と2NANDセル2の入力容量の和である。一方
、2NANDセル2の出力には長い配線9と論理回路セ
ル3,4が接続されている。
従って、2NANDセル2の負荷容量C4は配線9の配
線容量と論理回路3,4の入力容量となる。
線容量と論理回路3,4の入力容量となる。
そこで、負荷容量C,,C,が
Ct、工< C3< CL 3HC4> CL 3の関
係にあるとき、2NANDセル1にはBiCMOS回路
2を、2NANDセル2にはBiCM○S回路1を配置
することになる。
係にあるとき、2NANDセル1にはBiCMOS回路
2を、2NANDセル2にはBiCM○S回路1を配置
することになる。
以上、2NANDの場合について説明したが、他のNO
Rやフリップフロップ等の論理回路についても同様にセ
ルの選択配置を行う。また、同−論理セルの入力、出力
端子位置、セルサイズを揃えておけば、選択されたセル
に置き替えるだけで配線の修正等は不要であり、レイア
ウト設計を完了する。さらに、最初のレイアウト、セル
の選択、変更等のそれぞれが自動化可能であり、短期間
で高性能なLSIの設計が可能である。
Rやフリップフロップ等の論理回路についても同様にセ
ルの選択配置を行う。また、同−論理セルの入力、出力
端子位置、セルサイズを揃えておけば、選択されたセル
に置き替えるだけで配線の修正等は不要であり、レイア
ウト設計を完了する。さらに、最初のレイアウト、セル
の選択、変更等のそれぞれが自動化可能であり、短期間
で高性能なLSIの設計が可能である。
第3図、第4図のBiCMOS回路に限らず、遅延時間
の負荷容量依存性の異なる回路を用意しておけば、同様
な設計が行える。例えば、第3図。
の負荷容量依存性の異なる回路を用意しておけば、同様
な設計が行える。例えば、第3図。
第4図においてバイポーラトランジスタのベースの電荷
を引き抜(nMOsトランジスタを抵抗素子とする回路
等、種々を考えられるが、これらの回路を適当に組合せ
て使用すればよい。
を引き抜(nMOsトランジスタを抵抗素子とする回路
等、種々を考えられるが、これらの回路を適当に組合せ
て使用すればよい。
LSIの集積度が高くなると、LSIの内部を複数の論
理ブロックに分割し、まず、各論理ブロックの設計を行
い、次にLSI上にこの論理ブロックを配置し、ブロッ
ク間の配線をするという階層設計を行う場合が多い、第
6図は、このように設計されたLSIの概略図である。
理ブロックに分割し、まず、各論理ブロックの設計を行
い、次にLSI上にこの論理ブロックを配置し、ブロッ
ク間の配線をするという階層設計を行う場合が多い、第
6図は、このように設計されたLSIの概略図である。
51〜56は論理回路、57.58は信号配線、101
がLSI、102が入出力回路やボンディング・パッド
等からなる周辺領域、103は内部領域、104は論理
ブロック、105は論理ブロック104間の配線と、論
理ブロック104と周辺領域102との間の配線からな
る配線領域である。このような階層設計の場合でも、論
理ブロック104の配置配線、およびブロック間の配線
後、前述のように各セルの選択を行えばよい。また、一
般に、ブロック内の配線の負荷は小さく、ブロック間の
配線の負荷は大きいことから、ブロック内の配線を駆動
する回路にはBiCMOS回路2を、ブロック間の配線
を駆動する回路にはBiCMO5回路1を使用するよう
にしてもよい6すなわち、第6図のようにブロック内の
論理回路51には比較的短い配線57が接続されており
、この配線57に接続される論理回路の数も少ないので
、BiCM○S回路2を配置する。一方、論理回路53
に接続される配線58は長い上に配線58に接続される
論理回路の数も多くなっているので、BiCMOS回路
を配置する。このように経験的に負荷容量の大きさがあ
る程度わかっている場合、全ての論理回路について負荷
容量を計算する必要はなく、予め採用する回路を選択し
ておくことができる。
がLSI、102が入出力回路やボンディング・パッド
等からなる周辺領域、103は内部領域、104は論理
ブロック、105は論理ブロック104間の配線と、論
理ブロック104と周辺領域102との間の配線からな
る配線領域である。このような階層設計の場合でも、論
理ブロック104の配置配線、およびブロック間の配線
後、前述のように各セルの選択を行えばよい。また、一
般に、ブロック内の配線の負荷は小さく、ブロック間の
配線の負荷は大きいことから、ブロック内の配線を駆動
する回路にはBiCMOS回路2を、ブロック間の配線
を駆動する回路にはBiCMO5回路1を使用するよう
にしてもよい6すなわち、第6図のようにブロック内の
論理回路51には比較的短い配線57が接続されており
、この配線57に接続される論理回路の数も少ないので
、BiCM○S回路2を配置する。一方、論理回路53
に接続される配線58は長い上に配線58に接続される
論理回路の数も多くなっているので、BiCMOS回路
を配置する。このように経験的に負荷容量の大きさがあ
る程度わかっている場合、全ての論理回路について負荷
容量を計算する必要はなく、予め採用する回路を選択し
ておくことができる。
このような方法で設計したLSIの場合でも、工数は従
来とほぼ同様でありながら、十分高性能なLSIの設計
が可能である。
来とほぼ同様でありながら、十分高性能なLSIの設計
が可能である。
[発明の効果]
本発明によれば、LSIのセルフレイアウトに基づき負
荷容量を求め、これを駆動するのに最適な回路を選択配
置し、BiCMOS回路1とBiCMOS回路2を混在
させたので、その結果、デバイス性能を十分に生かした
高性能なLSIを得ることかできる。
荷容量を求め、これを駆動するのに最適な回路を選択配
置し、BiCMOS回路1とBiCMOS回路2を混在
させたので、その結果、デバイス性能を十分に生かした
高性能なLSIを得ることかできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例の半導体集積回路装置の内
部領域の一部分の概略図、第2図は本発明で用いる第1
のBiCMOS回路1の回路図、第3図は本発明で用い
る第2のB i CMOS回路2の回路図、第4図は本
発明で用いるCMOS回路の回路図、第5図(、)は電
源電圧が5■のときの各回路の遅延時間の負荷依存性を
示す図、第5図(b)は電源電圧が3.3Vのときの各
回路の遅延時間の負荷依存性を示す図、第6図は階層設
計した場合のLSI全体の構成を示す概略図である。 1.2・・・・・・2NANDセル、3,4・・・・・
・論理回路セル、C,、C4・・・・・・負荷容量、5
〜9・・・・・・配線、10・・・・・・セル列、20
・・・・・・スルーホール、30・・・・・・コンタク
ト、40・・・・・・電源配線、Vsl〜■1□2・・
・・・・入力、■01〜V o z□・・・・・・出力
、P1〜P22・・・・・・pMoSトランジスタ、N
1〜N22・・・・・・nMOSトランジスタ、Q1〜
Qll・・・・・・NPN型バイポーラ・トランジスタ
、51〜56・・・・・・論理回路、57.58・・・
・・・信号配線、101・・・・・・LSI、102・
・・・・・周辺領域、103・・・・・・内部領域、1
04・・・・・・論理ブロック、105・・・・・・配
線領域。 84CMt)S”EJ発7 第2目 B、: C?fりβNN2 23目 第?目 (呻/(j囁寛渓3.グ こLo 貢2后岑刊1CムCb)質遅4!
、圧りγ 第夕囚
部領域の一部分の概略図、第2図は本発明で用いる第1
のBiCMOS回路1の回路図、第3図は本発明で用い
る第2のB i CMOS回路2の回路図、第4図は本
発明で用いるCMOS回路の回路図、第5図(、)は電
源電圧が5■のときの各回路の遅延時間の負荷依存性を
示す図、第5図(b)は電源電圧が3.3Vのときの各
回路の遅延時間の負荷依存性を示す図、第6図は階層設
計した場合のLSI全体の構成を示す概略図である。 1.2・・・・・・2NANDセル、3,4・・・・・
・論理回路セル、C,、C4・・・・・・負荷容量、5
〜9・・・・・・配線、10・・・・・・セル列、20
・・・・・・スルーホール、30・・・・・・コンタク
ト、40・・・・・・電源配線、Vsl〜■1□2・・
・・・・入力、■01〜V o z□・・・・・・出力
、P1〜P22・・・・・・pMoSトランジスタ、N
1〜N22・・・・・・nMOSトランジスタ、Q1〜
Qll・・・・・・NPN型バイポーラ・トランジスタ
、51〜56・・・・・・論理回路、57.58・・・
・・・信号配線、101・・・・・・LSI、102・
・・・・・周辺領域、103・・・・・・内部領域、1
04・・・・・・論理ブロック、105・・・・・・配
線領域。 84CMt)S”EJ発7 第2目 B、: C?fりβNN2 23目 第?目 (呻/(j囁寛渓3.グ こLo 貢2后岑刊1CムCb)質遅4!
、圧りγ 第夕囚
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、バイポーラ・トランジスタとMOS・トランジスタ
からなる論理回路セルを含む半導体集積回路装置におい
て、コレクタが第1の電源に、エミッタが出力端子に接
続された第1のNPN型バイポーラ・トランジスタ及び
コレクタが上記出力端子に、エミッタが第2の電源に接
続された第2のNPN型バイポーラ・トランジスタを含
む第1のバイポーラ・CMOS回路と、コレクタが第1
の電源に、エミッタが出力端子に接続されたNPN型バ
イポーラ・トランジスタ及びドレインが出力端子に、ソ
ースが第2の電源に接続されたnMOSトランジスタを
含む第2のバイポーラ・CMOS回路が混在することを
特徴とする半導体集積回路装置。 2、上記第1の電源と第2の電源の電位差の絶対値が4
.5V以下であることを特徴とする請求項1記載の半導
体集積回路装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22660588A JPH0276252A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22660588A JPH0276252A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 半導体集積回路装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0276252A true JPH0276252A (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=16847817
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22660588A Pending JPH0276252A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0276252A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4861315B2 (ja) * | 2004-06-30 | 2012-01-25 | ツェットエフ、フリードリッヒスハーフェン、アクチエンゲゼルシャフト | 油供給装置 |
-
1988
- 1988-09-12 JP JP22660588A patent/JPH0276252A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4861315B2 (ja) * | 2004-06-30 | 2012-01-25 | ツェットエフ、フリードリッヒスハーフェン、アクチエンゲゼルシャフト | 油供給装置 |
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