JPH027585A - Ｃｏ↓２レーザ装置 - Google Patents
Ｃｏ↓２レーザ装置Info
- Publication number
- JPH027585A JPH027585A JP63158388A JP15838888A JPH027585A JP H027585 A JPH027585 A JP H027585A JP 63158388 A JP63158388 A JP 63158388A JP 15838888 A JP15838888 A JP 15838888A JP H027585 A JPH027585 A JP H027585A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge tube
- laser
- diameter
- mirror
- effective diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 62
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 3
- 101150039167 Bex3 gene Proteins 0.000 abstract 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 235000011389 fruit/vegetable juice Nutrition 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Surgery Devices (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は加工用や医療用などに用いられるＣＯ２レーザ
装置に関するものである。
装置に関するものである。
従来の技術
第７図に従来のＣＯ２レーザ装置の概略図を示す、この
高速ガス流タイプのＣ０２レーザ装置においては、２対
のリング状の内部電ｖｆ！２１を有してＣＯ２レーザを
励起発振する直線円筒形状の放電管２２の両端部側およ
び中央部側に、３通路を有したＥ字形の循環縁ｉ？８２
３を接続して、ＣＯ２を含むガスからなるし゛−ザ媒質
を、循環経路２３の中央通路に設けたルーツブロア２４
により矢印で示すように循環させている。循環経路２３
には、ルーツブロア２４の他に、この循環系内を一定圧
力に保持する真空ポンプ２５と、放電により発生した熱
を冷却するガスクーラ２６と、ルーツブロア２４の圧縮
熱を冷却するガスクーラ２７とが組込まれている。
高速ガス流タイプのＣ０２レーザ装置においては、２対
のリング状の内部電ｖｆ！２１を有してＣＯ２レーザを
励起発振する直線円筒形状の放電管２２の両端部側およ
び中央部側に、３通路を有したＥ字形の循環縁ｉ？８２
３を接続して、ＣＯ２を含むガスからなるし゛−ザ媒質
を、循環経路２３の中央通路に設けたルーツブロア２４
により矢印で示すように循環させている。循環経路２３
には、ルーツブロア２４の他に、この循環系内を一定圧
力に保持する真空ポンプ２５と、放電により発生した熱
を冷却するガスクーラ２６と、ルーツブロア２４の圧縮
熱を冷却するガスクーラ２７とが組込まれている。
このように構成された高速ガス流タイプの００２レーザ
装置より得られるレーザ光は放電管２２の一端に設けら
れた終段鏡（全反射鏡が多い）２８とこれに対向して放
電管２２の他ｎ１に設けられた部分透過鏡２９との間で
光増幅される。このレーザ光のパワーの強度分布を示す
横モード’４５Ｉｌｉは、第９図に示されるような回折
損失とフレネル数Ｎにａ２ よって示され、フレネル数ＮはＮ−丁７丁の式で表わさ
れる。ここで、ｄは終段鏡２８と部分透過鏡２９との間
の距離、λはレーザ光の波長、ａは放電管２２内のビー
ム径であり、このビーム径は一般に放電管２２の内径に
比例しており、この内径に大きく彩管される。第９図に
おいてＳはシングルモード、Ｍはマルチモードである。
装置より得られるレーザ光は放電管２２の一端に設けら
れた終段鏡（全反射鏡が多い）２８とこれに対向して放
電管２２の他ｎ１に設けられた部分透過鏡２９との間で
光増幅される。このレーザ光のパワーの強度分布を示す
横モード’４５Ｉｌｉは、第９図に示されるような回折
損失とフレネル数Ｎにａ２ よって示され、フレネル数ＮはＮ−丁７丁の式で表わさ
れる。ここで、ｄは終段鏡２８と部分透過鏡２９との間
の距離、λはレーザ光の波長、ａは放電管２２内のビー
ム径であり、このビーム径は一般に放電管２２の内径に
比例しており、この内径に大きく彩管される。第９図に
おいてＳはシングルモード、Ｍはマルチモードである。
加工の切断などにふされしい横モード特性はシングルモ
ードを用いたものであるが、このシングルモードをより
多く得るためには、終段鏡２８と部分透過鏡２９との間
の距離が既に決まっている場合、放電管２２の内径を小
さくしてシングルモードＳの回折損失Ｘを小さくし、マ
ルチモードＭの回折損失ｙを大きくする必要があり、第
９図においてフレネル数Ｎがｎとなる所定点で、マルチ
モードＭの回折損失ｙがシングルモードＳの回折損失Ｘ
より大きくなって、なおかつ十分なエネルギーを有する
シングルモードＳが得られる。
ードを用いたものであるが、このシングルモードをより
多く得るためには、終段鏡２８と部分透過鏡２９との間
の距離が既に決まっている場合、放電管２２の内径を小
さくしてシングルモードＳの回折損失Ｘを小さくし、マ
ルチモードＭの回折損失ｙを大きくする必要があり、第
９図においてフレネル数Ｎがｎとなる所定点で、マルチ
モードＭの回折損失ｙがシングルモードＳの回折損失Ｘ
より大きくなって、なおかつ十分なエネルギーを有する
シングルモードＳが得られる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、この種のＣＯ２レーザ装置によれば、放
電管２２の内径を小さくすると、循環経路２３から放電
管２２への接続部において流路抵抗が大きくなって、循
環経路２３におけるレーザ媒質の入口箇所のガス圧力Ｐ
１と循環経路２３におけるレーザ媒質の出口箇所のガス
圧力Ｐ２との差圧力が大きくなる。レーザ媒質のガスを
循環させているルーツブロア２４では差圧力とガスを送
出す流量能力とは第１０図に示すような特性があるため
、差圧力がｂからＣに大きくなるとルーツブロア２４の
流星能力がｅからｆに低下してレーザ出力が低下する問
題を有していた。
電管２２の内径を小さくすると、循環経路２３から放電
管２２への接続部において流路抵抗が大きくなって、循
環経路２３におけるレーザ媒質の入口箇所のガス圧力Ｐ
１と循環経路２３におけるレーザ媒質の出口箇所のガス
圧力Ｐ２との差圧力が大きくなる。レーザ媒質のガスを
循環させているルーツブロア２４では差圧力とガスを送
出す流量能力とは第１０図に示すような特性があるため
、差圧力がｂからＣに大きくなるとルーツブロア２４の
流星能力がｅからｆに低下してレーザ出力が低下する問
題を有していた。
本発明は上記問題を解決するもので、シングルモードを
より多く得ることができ、かつレーザ出力が低下するこ
とのないＣＯ２レーザ装置を提供することを目的とする
ものである。
より多く得ることができ、かつレーザ出力が低下するこ
とのないＣＯ２レーザ装置を提供することを目的とする
ものである。
課題を解決するための手段
上記問題を解決するために本発明の００２レーザ装置は
、放電管とこの放電管に接続した循環経路との中で炭酸
ガスレーザＩＪＸ質を高速に循環させながら、前記炭酸
ガスレーザＩＪ！、′０を前記放電管内で放電励起して
レーザ発振さぜ、レーザ光を部分透過鏡より取出ずＣＯ
２レーザ装置であって、前記部分透過鏡およびこれに対
向する終端位置の終段鎚の少なくとも一方の有効径をレ
ーザ光のシングルモード化に必要な有効径と同一にし、
かつ前記放電管の管径を前記有効径よりも大きくして放
電管と循環経路との間のガス流路抵抗を小さくしたもの
である。
、放電管とこの放電管に接続した循環経路との中で炭酸
ガスレーザＩＪＸ質を高速に循環させながら、前記炭酸
ガスレーザＩＪ！、′０を前記放電管内で放電励起して
レーザ発振さぜ、レーザ光を部分透過鏡より取出ずＣＯ
２レーザ装置であって、前記部分透過鏡およびこれに対
向する終端位置の終段鎚の少なくとも一方の有効径をレ
ーザ光のシングルモード化に必要な有効径と同一にし、
かつ前記放電管の管径を前記有効径よりも大きくして放
電管と循環経路との間のガス流路抵抗を小さくしたもの
である。
また、本発明の他のＣ０２レーザ装置は、放電管とこの
放電管に接続した循環経路との中で炭酸ガスレーザａ質
を高速に循環させながら、前記炭酸ガスレーザ媒質を前
記放電管内で放電励起してレーザ発振させ、レーザ光を
部分透過鏡より取出ずＣＯ２レーザ装置であって、前記
部分透過鏡とこれに対向する終端位置の終段鏡との間に
、シングルモード化に必要な有効径と同径の孔部を有す
る泪切り部材を配設し、かつ前記放電管の管径を前記有
効径よりも大きくして放電管と循環経路との間のガス流
路抵抗を小さくしたものである。
放電管に接続した循環経路との中で炭酸ガスレーザａ質
を高速に循環させながら、前記炭酸ガスレーザ媒質を前
記放電管内で放電励起してレーザ発振させ、レーザ光を
部分透過鏡より取出ずＣＯ２レーザ装置であって、前記
部分透過鏡とこれに対向する終端位置の終段鏡との間に
、シングルモード化に必要な有効径と同径の孔部を有す
る泪切り部材を配設し、かつ前記放電管の管径を前記有
効径よりも大きくして放電管と循環経路との間のガス流
路抵抗を小さくしたものである。
作用
上記組成により、部分透過鏡および終段鏡の少なくとも
一方の有効径をレーザ光のシングルモード化に必要な有
効径と同一としたのでシングルモードをより多く得るこ
とができ、また放電管の径を変更可能となる。この状態
で放電管の径を大きくしたので、放電管と循環経路との
接続箇所に発生ずる流路抵抗を小さく抑えることができ
、十分なレーザ出力を得ることができる。
一方の有効径をレーザ光のシングルモード化に必要な有
効径と同一としたのでシングルモードをより多く得るこ
とができ、また放電管の径を変更可能となる。この状態
で放電管の径を大きくしたので、放電管と循環経路との
接続箇所に発生ずる流路抵抗を小さく抑えることができ
、十分なレーザ出力を得ることができる。
また、瀬切り部材を設けたＣＯ２レーザ装置では、瀬切
り部材の孔部をレーザ光のシングルモード化に必要な有
効径と同一としたのでシングルモードをより多く得るこ
とができるとともに放電管の径を変更可能となる。この
状態で放電管の径を大きくしたので、上記ＣＯ２レーザ
装置と同様な作用効果が得られる。
り部材の孔部をレーザ光のシングルモード化に必要な有
効径と同一としたのでシングルモードをより多く得るこ
とができるとともに放電管の径を変更可能となる。この
状態で放電管の径を大きくしたので、上記ＣＯ２レーザ
装置と同様な作用効果が得られる。
実施例
以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第１図は本発明の一実施例を示ずＣＯ２レーザ装置の概
略図、第２図および第３図はそれぞれ同ＣＯ２レーザ装
；ｊの要部拡大図である。この高速ガス流タイプのＣＯ
２レーザ装置において、循環経路３、ルーツブロア４、
真空ポンプ５およびガスクーラ６．７は従来のＣ０２レ
ーザ装置と同じ構成であるため、その説明は省略する。
略図、第２図および第３図はそれぞれ同ＣＯ２レーザ装
；ｊの要部拡大図である。この高速ガス流タイプのＣＯ
２レーザ装置において、循環経路３、ルーツブロア４、
真空ポンプ５およびガスクーラ６．７は従来のＣ０２レ
ーザ装置と同じ構成であるため、その説明は省略する。
直線円筒形状の放電管２は、その内径が循環経路３の内
径とほぼ同一となるように大きく広げられている。
径とほぼ同一となるように大きく広げられている。
放電管２の両端部側および中火部側には、第２図に示す
ように、放電管２と同径の内部な極１がそれぞれ配設さ
れている。また放電管２の一端部には全反射１塁が多く
用いられているＰ：段３Ａ８が、また他端部には部分透
過鏡９がそれぞれ配設され、これらは対向されている。
ように、放電管２と同径の内部な極１がそれぞれ配設さ
れている。また放電管２の一端部には全反射１塁が多く
用いられているＰ：段３Ａ８が、また他端部には部分透
過鏡９がそれぞれ配設され、これらは対向されている。
ここで、部分透過鏡９は中央の円板部９ａのみが部分透
過鏡としての役目を果たし、周囲のリング形状部９ｂは
この円板部９ａを支持するだけで部分透過鏡の役目は果
たさない、そして、円板部９ａの直径は、終段銀８と部
分透過鏡９との間の距離との関係からほぼシングルモー
ドが得られる寸法に設定されている。
過鏡としての役目を果たし、周囲のリング形状部９ｂは
この円板部９ａを支持するだけで部分透過鏡の役目は果
たさない、そして、円板部９ａの直径は、終段銀８と部
分透過鏡９との間の距離との関係からほぼシングルモー
ドが得られる寸法に設定されている。
また、図示しないが終段銀８も同様な構成とされている
。
。
上記構成により、放電管２と循環ｖＩ！銘３との中で炭
酸ガスレーザ媒質はツールブロア４により、第１図に矢
印で示すように、高速に循環され°、この炭酸ガスレー
ザ媒質は放電管２の中で放電励起され、これによりレー
ザ光が発振し、このレーザ光は部分透過鏡９より外部に
取出される。このとき、部分透過′ＪＡ９および終段銀
８の有効径をレーザ光のシングルモード化に必要な有効
径と同一としたのて゛シングルモードをより多く得るこ
とができ、また放電管２の径を変更可能となる。このよ
うな状態で放電管２の内径を循環経路３の内径とほぼ同
一となるように大きく広げているので放電管２と循環経
路３との接続箇所に発生する流路抵抗を小さく抑えるこ
とができ、循環経路３におけるレーザ媒質の入口側箇所
の圧力Ｐ１と出口側箇所の圧力Ｐ２どの差（差圧力）も
ほぼ０となり、ルーツブロア４の流址能力が烈大限に発
揮されて十分なレーザ出力を得ることができる。
酸ガスレーザ媒質はツールブロア４により、第１図に矢
印で示すように、高速に循環され°、この炭酸ガスレー
ザ媒質は放電管２の中で放電励起され、これによりレー
ザ光が発振し、このレーザ光は部分透過鏡９より外部に
取出される。このとき、部分透過′ＪＡ９および終段銀
８の有効径をレーザ光のシングルモード化に必要な有効
径と同一としたのて゛シングルモードをより多く得るこ
とができ、また放電管２の径を変更可能となる。このよ
うな状態で放電管２の内径を循環経路３の内径とほぼ同
一となるように大きく広げているので放電管２と循環経
路３との接続箇所に発生する流路抵抗を小さく抑えるこ
とができ、循環経路３におけるレーザ媒質の入口側箇所
の圧力Ｐ１と出口側箇所の圧力Ｐ２どの差（差圧力）も
ほぼ０となり、ルーツブロア４の流址能力が烈大限に発
揮されて十分なレーザ出力を得ることができる。
なお、部分透過鏡９およびＰ：段３Ａ８の両者とも所定
箇所のみがその機能を発揮するものを使用するかわりに
いずれか一方の鏡だけ上記のようなものを用いるだけで
も同様の作用効果が得られる。
箇所のみがその機能を発揮するものを使用するかわりに
いずれか一方の鏡だけ上記のようなものを用いるだけで
も同様の作用効果が得られる。
また、第３図に示すようにリング状の内部電極１を設け
るかわりに、第４図に示すように、放電管２′の外面に
、その軸心部に対して対向する外部電極１′を設けたＣ
Ｏ２レーザ装置に適用してもよく、これによればレーザ
媒質が一様な相流である場合に放電管２′内の放電状態
を一様にでき、かつレーザ光を得るｆＩ域を内部電極を
用いたものより広げることができる。
るかわりに、第４図に示すように、放電管２′の外面に
、その軸心部に対して対向する外部電極１′を設けたＣ
Ｏ２レーザ装置に適用してもよく、これによればレーザ
媒質が一様な相流である場合に放電管２′内の放電状態
を一様にでき、かつレーザ光を得るｆＩ域を内部電極を
用いたものより広げることができる。
第５図は本発明の他の実施例を示すＣ０２レーザ装置の
概略図、第６図は同ＣＯ２レーザ装置の要部拡大図であ
る。この高速ガス流タイプのＣＯ２レーザ装置において
も、循環経路１３、ルーツブロア１４、真空ポンプ１５
およびガスクーラ１６゜１１は従来のＣＯ２レーザ装置
と同じ構成であるため、その説明は省略する。そして、
上記実施例と同様に、直線円筒形状の放電管１２は、そ
の内径が循環経路１３の内径とほぼ同一となるように大
きく広げられ、放電管１２の両端部側および中央部側に
は、第６図に示すように、放電管１２と同径の内部電極
１１がそれぞれ配設されている。また放電管１２の一端
部には全反射鏡が多く用いられているＩＰ：段５Ａ１８
が、また他端部には部分透過鏡１９がそれぞれ配設され
、これらは対向されている。なお、これらの終段Ｂ１８
および部分透過ｆａ１９は単に全面が反射および部分透
過するものである。さらに、部分透過鏡１８と終段ｆｉ
１９との間に、シングルモードが得られる寸法の孔部２
０ａを有する瀬切り部材２０が配設され、本実施例では
この瀬切り部材２０が金属製であるため、放電状態に悪
影響を及ぼさないように、放電領域の外、すなわち、部
分透過ｊｊｌ１８とその一番近傍の内部電極１１との間
に配置されている。
概略図、第６図は同ＣＯ２レーザ装置の要部拡大図であ
る。この高速ガス流タイプのＣＯ２レーザ装置において
も、循環経路１３、ルーツブロア１４、真空ポンプ１５
およびガスクーラ１６゜１１は従来のＣＯ２レーザ装置
と同じ構成であるため、その説明は省略する。そして、
上記実施例と同様に、直線円筒形状の放電管１２は、そ
の内径が循環経路１３の内径とほぼ同一となるように大
きく広げられ、放電管１２の両端部側および中央部側に
は、第６図に示すように、放電管１２と同径の内部電極
１１がそれぞれ配設されている。また放電管１２の一端
部には全反射鏡が多く用いられているＩＰ：段５Ａ１８
が、また他端部には部分透過鏡１９がそれぞれ配設され
、これらは対向されている。なお、これらの終段Ｂ１８
および部分透過ｆａ１９は単に全面が反射および部分透
過するものである。さらに、部分透過鏡１８と終段ｆｉ
１９との間に、シングルモードが得られる寸法の孔部２
０ａを有する瀬切り部材２０が配設され、本実施例では
この瀬切り部材２０が金属製であるため、放電状態に悪
影響を及ぼさないように、放電領域の外、すなわち、部
分透過ｊｊｌ１８とその一番近傍の内部電極１１との間
に配置されている。
上記構成によっても、放電管１２と循環経路１３との中
で炭酸ガスレーザ媒質はツールブロア１４により第５図
に矢印を示すように、高速に循環され、この炭酸ガスレ
ーザ媒質は放電管１２の中で放電励起され、これにより
レーザ光が発振し、このレーザ光は部分透過鏡１９より
外部に取出される。このとき、瀬切り部材２０の孔部２
０ａの径をレーザ光のシングルモード化に必要な有効径
と同一としたのでシングルモードをより多く得ることが
でき、また放電管１２の径を変更可能となる。このよう
な状態で、上記実施例と同様に、放電管１２の内径を循
環経１１３の内径とほぼ同一となるように大きく広げて
いるので、十分なレーザ出力を得ることができる。
で炭酸ガスレーザ媒質はツールブロア１４により第５図
に矢印を示すように、高速に循環され、この炭酸ガスレ
ーザ媒質は放電管１２の中で放電励起され、これにより
レーザ光が発振し、このレーザ光は部分透過鏡１９より
外部に取出される。このとき、瀬切り部材２０の孔部２
０ａの径をレーザ光のシングルモード化に必要な有効径
と同一としたのでシングルモードをより多く得ることが
でき、また放電管１２の径を変更可能となる。このよう
な状態で、上記実施例と同様に、放電管１２の内径を循
環経１１３の内径とほぼ同一となるように大きく広げて
いるので、十分なレーザ出力を得ることができる。
なお、瀬切り部材は、部分透過鏡１９の側に設けずに、
終段鏡１８の側に設けてもよい、また、上記実施例と同
様に、内部電極の代わりに外部電極を設けてもよい。
終段鏡１８の側に設けてもよい、また、上記実施例と同
様に、内部電極の代わりに外部電極を設けてもよい。
発明の効果
以上、本発明によれば、いずれにおいても、放電管の内
径に規制されないでシングルモードを多く得ることので
きるｍ３ｆｆが実現され、これにより放電管の内径を拡
大できて十分なレーザ出力を得ることができ、高品質の
ＣＯ２レーザ装置の提供ができる。
径に規制されないでシングルモードを多く得ることので
きるｍ３ｆｆが実現され、これにより放電管の内径を拡
大できて十分なレーザ出力を得ることができ、高品質の
ＣＯ２レーザ装置の提供ができる。
第１図は本発明の一実施例を示すＣ０２レーザ装置の概
略図、第２図および第３図はそれぞれ同ＣＯ２レーザ装
置の要部拡大図、第４図は同ＣＯ２レーザ装置に外部電
極を適用した場合の拡大部、第５図および第６図はそれ
ぞれ本発明の他の実施例を示すＣＯ２レーザ装置のＩＲ
略図および要部拡大図、第７図および第８図はそれぞれ
従来のＣ０２レーザ装置の概略図および要部拡大図、第
９図はフレネル数と回折損失とに対するシングルモード
およびマルチモードの特性図、第１０図はツールブロア
の差圧力とガス流量とに対する特性図である。 １．１１・・・内部電極、１′・・・外部型υ′！、２
，２′１２・・・放電管、３．１３・・・循環経路、４
．１４・・・ルーツブロア、５．１５・・・真空ポンプ
、６．７．１６．１７・・・ガスクーラ、８．１８・・
・終段鏡、９．１９・・・部分透過鏡、９ａ・・・円板
部、９ｂ・・・リング形状部、２０・・・瀬切り部材、
２０ａ・・・孔部。 代理人 森 本 義 弘 第ｆ図 第３図 第４図 １′−外部電報 第７図 第８図 第５ 図 第６図 第７図 第１０図 、を斥力ＣＰ２−Ｐｔ）ＣＴ汁Ｊ
略図、第２図および第３図はそれぞれ同ＣＯ２レーザ装
置の要部拡大図、第４図は同ＣＯ２レーザ装置に外部電
極を適用した場合の拡大部、第５図および第６図はそれ
ぞれ本発明の他の実施例を示すＣＯ２レーザ装置のＩＲ
略図および要部拡大図、第７図および第８図はそれぞれ
従来のＣ０２レーザ装置の概略図および要部拡大図、第
９図はフレネル数と回折損失とに対するシングルモード
およびマルチモードの特性図、第１０図はツールブロア
の差圧力とガス流量とに対する特性図である。 １．１１・・・内部電極、１′・・・外部型υ′！、２
，２′１２・・・放電管、３．１３・・・循環経路、４
．１４・・・ルーツブロア、５．１５・・・真空ポンプ
、６．７．１６．１７・・・ガスクーラ、８．１８・・
・終段鏡、９．１９・・・部分透過鏡、９ａ・・・円板
部、９ｂ・・・リング形状部、２０・・・瀬切り部材、
２０ａ・・・孔部。 代理人 森 本 義 弘 第ｆ図 第３図 第４図 １′−外部電報 第７図 第８図 第５ 図 第６図 第７図 第１０図 、を斥力ＣＰ２−Ｐｔ）ＣＴ汁Ｊ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、放電管とこの放電管に接続した循環経路との中で炭
酸ガスレーザ媒質を高速に循環させながら、前記炭酸ガ
スレーザ媒質を前記放電管内で放電励起してレーザ発振
させ、レーザ光を部分透過鏡より取出すＣＯ＿２レーザ
装置であつて、前記部分透過鏡およびこれに対向する終
端位置の終段鏡の少なくとも一方の有効径をレーザ光の
シングルモード化に必要な有効径と同一にし、かつ前記
放電管の管径を前記有効径よりも大きくして放電管と循
環経路との間のガス流路抵抗を小さくしたＣＯ＿２レー
ザ装置。 ２、放電管とこの放電管に接続した循環経路との中で炭
酸ガスレーザ媒質を高速に循環させながら、前記炭酸ガ
スレーザ媒質を前記放電管内で放電励起してレーザ発振
させ、レーザ光を部分透過鏡より取出すＣＯ＿２レーザ
装置であって、前記部分透過鏡とこれに対向する終端位
置の終段鏡との間に、シングルモード化に必要な有効径
と同径の孔部を有する瀬切り部材を配設し、かつ前記放
電管の管径を前記有効径よりも大きくして放電管と循環
経路との間のガス流路抵抗を小さくしたＣＯ＿２レーザ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63158388A JPH088379B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | Ｃｏ▲下２▼レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63158388A JPH088379B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | Ｃｏ▲下２▼レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH027585A true JPH027585A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH088379B2 JPH088379B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=15670636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63158388A Expired - Lifetime JPH088379B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | Ｃｏ▲下２▼レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088379B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5897858U (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-02 | 工業技術院長 | レ−ザ−発振装置 |
-
1988
- 1988-06-27 JP JP63158388A patent/JPH088379B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5897858U (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-02 | 工業技術院長 | レ−ザ−発振装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH088379B2 (ja) | 1996-01-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4500998A (en) | Gas laser | |
| US4942588A (en) | Laser device | |
| JPS58173878A (ja) | 高出力基本モ−ドレ−ザ | |
| JPS5986278A (ja) | 高速軸流形ガスレ−ザ装置 | |
| JP2786508B2 (ja) | レーザシステム | |
| US4520486A (en) | Gas flow laser oscillator | |
| GB1391762A (en) | Gas laser | |
| JPS603170A (ja) | 無声放電式ガスレ−ザ装置 | |
| US4780882A (en) | Optical resonator and laser | |
| JPH027585A (ja) | Ｃｏ↓２レーザ装置 | |
| JPS61276387A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6342427B2 (ja) | ||
| JP3290345B2 (ja) | 光励起固体レーザ増幅装置、光励起固体レーザ装置、および固体レーザ励起方法 | |
| US4096447A (en) | Unstable resonator laser system | |
| US4596016A (en) | Single mode carbon dioxide gas laser oscillator having high output power | |
| US5151916A (en) | Electric discharge tube for gas laser | |
| JPS6028288A (ja) | 直交型ガスレ−ザ発振器 | |
| JPH08148739A (ja) | レーザ共振器及び該レーザ共振器を備えたレーザ装置 | |
| JPS61186187A (ja) | レ−ザビ−ム加工装置 | |
| US4656639A (en) | Laser generating apparatus utilizing frequency agile unstable resonator low pressure gain cell and tuning means | |
| JPS62106681A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPH07106669A (ja) | レーザー共振器 | |
| JPS63210904A (ja) | レ−ザビ−ム入射光学系 | |
| JPH06326379A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP3785877B2 (ja) | レーザ発振装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080129 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 Year of fee payment: 13 |