JPH027580U - - Google Patents
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- JPH027580U JPH027580U JP8751888U JP8751888U JPH027580U JP H027580 U JPH027580 U JP H027580U JP 8751888 U JP8751888 U JP 8751888U JP 8751888 U JP8751888 U JP 8751888U JP H027580 U JPH027580 U JP H027580U
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- JP
- Japan
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- input voltage
- electronic circuit
- semiconductor device
- current
- voltage
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体素子の検査装置の
一実施例を示す概略回路ブロツク図、第２図は電
子回路の具体例を示す回路図、第３図は入出力電
圧及び貫通電流を示す波形図である。第４図は検
査装置の従来例を示す概略回路ブロツク図、第５
図は入出力電圧を示す波形図である。 １０……被検査半導体素子、１１……電子回路
、１４……入力電圧発生部、１５……貫通電流検
出部、２２……スレツシユホールド電圧判定部、
ＶＩＮ……入力電圧、Ｉ……貫通電流。
一実施例を示す概略回路ブロツク図、第２図は電
子回路の具体例を示す回路図、第３図は入出力電
圧及び貫通電流を示す波形図である。第４図は検
査装置の従来例を示す概略回路ブロツク図、第５
図は入出力電圧を示す波形図である。 １０……被検査半導体素子、１１……電子回路
、１４……入力電圧発生部、１５……貫通電流検
出部、２２……スレツシユホールド電圧判定部、
ＶＩＮ……入力電圧、Ｉ……貫通電流。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数の電子回路を組込んだ被検査半導体素子の
良否をスレツシユホールド電圧で判別する装置で
あつて、 上記被検査半導体素子の各電子回路に入力電圧
を印加する入力電圧発生部と、 入力電圧に基づいて各電子回路の出力レベルが
切換わる時に各電子回路に瞬間的に流れる貫通電
流を検出する貫通電流検出部と、 貫通電流に基づいて入力電圧のスレツシユホー
ルド電圧が規格値内であるか否かを判別するスレ
ツシユホールド電圧判定部とを具備したことを特
徴とする半導体素子の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8751888U JPH027580U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8751888U JPH027580U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH027580U true JPH027580U (ja) | 1990-01-18 |
Family
ID=31312123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8751888U Pending JPH027580U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH027580U (ja) |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP8751888U patent/JPH027580U/ja active Pending
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