JPH0272518A - 電気接点とその製造方法 - Google Patents
電気接点とその製造方法Info
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/02—Contacts characterised by the material thereof
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- H01H1/023—Composite material having a noble metal as the basic material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
パラジウム−ニッケル合金の電気接点、特に電気特性お
よび寿命を向上させるため多層に形成した従来技術に代
わる新規電気接点の構成と、該電気接点をめっき手段で
形成させるための方法に関し、 従来技術になる多層電気接点における電気特性の段階的
変化をなくすことを目的とし、基体に形成したパラジウ
ム−ニッケル合金の電気接点が、該基体との接合面側か
ら表面に向けて、連続的にニッケルの含有率の減少する
構造としたことを特徴する、 並びに、パラジウム−ニッケルの合金めっき液中を移動
する基体の移動路に対し、該めっき液中で該移動路に対
向する電極を該基体の移動方向に対向間隔の狭まるよう
に配設して、該基体との接合面から表面に向けて連続的
にニッケル含有率の減少するパラジウム−ニッケル合金
の電気接点を該基体に形成させることを特徴とし構成す
る。
よび寿命を向上させるため多層に形成した従来技術に代
わる新規電気接点の構成と、該電気接点をめっき手段で
形成させるための方法に関し、 従来技術になる多層電気接点における電気特性の段階的
変化をなくすことを目的とし、基体に形成したパラジウ
ム−ニッケル合金の電気接点が、該基体との接合面側か
ら表面に向けて、連続的にニッケルの含有率の減少する
構造としたことを特徴する、 並びに、パラジウム−ニッケルの合金めっき液中を移動
する基体の移動路に対し、該めっき液中で該移動路に対
向する電極を該基体の移動方向に対向間隔の狭まるよう
に配設して、該基体との接合面から表面に向けて連続的
にニッケル含有率の減少するパラジウム−ニッケル合金
の電気接点を該基体に形成させることを特徴とし構成す
る。
本発明は、コネクタやスイッチ等に用いられるパラジウ
ム−ニッケル合金の電気接点と、該電気接点をめっき手
段で形成させるための方法に関する。
ム−ニッケル合金の電気接点と、該電気接点をめっき手
段で形成させるための方法に関する。
近年、コネクタ等の電気接点はコストダウンを目的とし
、有限資源であり高価な金(Au)から安価なパラジウ
ム(Pd)、さらにより安価なパラジウムーニソlrル
(P d N + ) 合金へと代替されてきた。
、有限資源であり高価な金(Au)から安価なパラジウ
ム(Pd)、さらにより安価なパラジウムーニソlrル
(P d N + ) 合金へと代替されてきた。
Pd−Ni合金の電気接点において、NiはPdが有す
る触媒作用と水素吸蔵性および内部応力を抑制する効果
を有する反面、Pdの電気特性を低下させるようになる
。そこで、Pd−N+合金層を効果的に利用する手段と
して、Pd−Ni合金層の表面にAuやI’dを積層さ
せた電気接点や、Niを20−t%〜50−1%含むP
d−Ni合金層の上にNiを5wt%〜20−t%含む
PdNi合金層を積層した電気接点が利用されるように
なった。
る触媒作用と水素吸蔵性および内部応力を抑制する効果
を有する反面、Pdの電気特性を低下させるようになる
。そこで、Pd−N+合金層を効果的に利用する手段と
して、Pd−Ni合金層の表面にAuやI’dを積層さ
せた電気接点や、Niを20−t%〜50−1%含むP
d−Ni合金層の上にNiを5wt%〜20−t%含む
PdNi合金層を積層した電気接点が利用されるように
なった。
下記の表は、成分が異なるPa−Ni合金を2層に形成
した電気接点の用途別の構成例である。
した電気接点の用途別の構成例である。
かかる2層構成のPd−Ni合金電気接点は、第1のめ
っき槽にて基体に下層をめっき形成したのち、第2のめ
っき槽にて該下層の上に上層を被着させるまたは、めっ
き中の電極に印加する電流を切り換えめっき電流密度を
適当に高める方法によって形成されるようになる。
っき槽にて基体に下層をめっき形成したのち、第2のめ
っき槽にて該下層の上に上層を被着させるまたは、めっ
き中の電極に印加する電流を切り換えめっき電流密度を
適当に高める方法によって形成されるようになる。
第7図は従来の電気接点の構成例を示す模式図であり、
第7図(イ)において基体1の上に形成した電気接点2
は、Niを20匈t%含むPd−Ni合金層3にPa層
4を積層した構成であり、その表面からの深さとNi含
有率の関係は、第7図([1)に示すように、Pd−N
i合金p!J3とPd層4との間でわずかに拡散が生じ
、そのことによって緩やかな濃度勾配の段階状になる。
第7図(イ)において基体1の上に形成した電気接点2
は、Niを20匈t%含むPd−Ni合金層3にPa層
4を積層した構成であり、その表面からの深さとNi含
有率の関係は、第7図([1)に示すように、Pd−N
i合金p!J3とPd層4との間でわずかに拡散が生じ
、そのことによって緩やかな濃度勾配の段階状になる。
以上説明したように、組成の異なるPd−Ni合金を多
層に形成せしめた従来の電気接点は、段階的に組成の異
なる構成であり、表層のPd−Ni合金が摩耗しその下
地層が表呈すると、組成の変化に伴って接点の電気特性
も段階的に変化するという問題点があった。
層に形成せしめた従来の電気接点は、段階的に組成の異
なる構成であり、表層のPd−Ni合金が摩耗しその下
地層が表呈すると、組成の変化に伴って接点の電気特性
も段階的に変化するという問題点があった。
なお、電気特性の前記段差を従来技術によって解決する
には、積層数を増やし層間の組成差を少なくすることで
達成されるが、積層数の増加に伴って生産性が低下する
および、品質のばらつきが大きくなるという問題点が生
じる。
には、積層数を増やし層間の組成差を少なくすることで
達成されるが、積層数の増加に伴って生産性が低下する
および、品質のばらつきが大きくなるという問題点が生
じる。
本発明は、かかる問題点の除去を目的としたものである
。
。
上記目的は、第1図によれば基体11に形成したパラジ
ウム−ニッケル合金の電気接点12が、基体11との接
合面側から表面に向けて、連続的にニッケルの含有率の
減少することを特徴とした構造とし、 さらに第2図によれば、パラジウム−ニッケルの合金め
っき液22中を移動する基体25aの移動路に対し、め
っき液22中で該移動路に対向する電極24を基体25
aの移動方向に対向間隔の狭まるように配設して、基体
25aとの接合面から表面に向けて連続的にニッケル含
打率の減少するパラジウムニッケル合金の電気接点25
cを基体25a形成させることを特徴とした電気接点2
5cの製造方法によって解決される。
ウム−ニッケル合金の電気接点12が、基体11との接
合面側から表面に向けて、連続的にニッケルの含有率の
減少することを特徴とした構造とし、 さらに第2図によれば、パラジウム−ニッケルの合金め
っき液22中を移動する基体25aの移動路に対し、め
っき液22中で該移動路に対向する電極24を基体25
aの移動方向に対向間隔の狭まるように配設して、基体
25aとの接合面から表面に向けて連続的にニッケル含
打率の減少するパラジウムニッケル合金の電気接点25
cを基体25a形成させることを特徴とした電気接点2
5cの製造方法によって解決される。
上記手段によれば、パラジウム−ニッケル合金の電気接
点1.特に電気特性および寿命を向上させるためパラジ
ウム−ニッケル合金を多層に形成した従来技術のものに
代わる電気接点として、表面に向けて二ソをル含有率が
無段階に減少する構造としたことにより、電気特性の段
階的変化をなくすと共に、変動幅が狭くなって信頼性が
向上し、さらに、前記本発明の電気接点をめっき手段で
形成する際し、電気接点を形成する基体の移動路に対向
しめっき電流密度が所定に変化するように電極を配設し
たことによって、ニッケル含有率が所望の無段階に変化
する電気接点の製造を、容易かつ確実化ならしめること
ができる。
点1.特に電気特性および寿命を向上させるためパラジ
ウム−ニッケル合金を多層に形成した従来技術のものに
代わる電気接点として、表面に向けて二ソをル含有率が
無段階に減少する構造としたことにより、電気特性の段
階的変化をなくすと共に、変動幅が狭くなって信頼性が
向上し、さらに、前記本発明の電気接点をめっき手段で
形成する際し、電気接点を形成する基体の移動路に対向
しめっき電流密度が所定に変化するように電極を配設し
たことによって、ニッケル含有率が所望の無段階に変化
する電気接点の製造を、容易かつ確実化ならしめること
ができる。
以下に、図面を用いて本発明による電気接点とその製造
方法を説明する。
方法を説明する。
第1図は本発明の実施例による電気接点の構造を示す模
式図、第2図は本発明の実施例における電気接点めっき
装置の説明図、第3図は第2図に示す被めっき部材の斜
視図である。
式図、第2図は本発明の実施例における電気接点めっき
装置の説明図、第3図は第2図に示す被めっき部材の斜
視図である。
第1図(イ)において、接点ばねやコンタクト等の基体
11に形成した電気接点12は、Pd13とNi14の
合金であり、基体11との接合面から表面に向けてNi
14の含有率が減少し、例えば該接合面の近傍でNi1
4の含有率は15d%程度であるのに対して、表層部で
Ni14の含有率は5wt%程度である。そして、電気
接点12の表面から深さ方向にNi14の含有率は、第
1図(Iff)に示すように、無段階に増加させてなる
。
11に形成した電気接点12は、Pd13とNi14の
合金であり、基体11との接合面から表面に向けてNi
14の含有率が減少し、例えば該接合面の近傍でNi1
4の含有率は15d%程度であるのに対して、表層部で
Ni14の含有率は5wt%程度である。そして、電気
接点12の表面から深さ方向にNi14の含有率は、第
1図(Iff)に示すように、無段階に増加させてなる
。
このような電気接点11は表面から消耗するようになる
が、該消耗による電気特性の変化(劣化)は無段階とな
る。
が、該消耗による電気特性の変化(劣化)は無段階とな
る。
めっき装置を高さ方向の中間部で切断した平面図である
第2図(イ)および、該装置のA−A断面図である第2
図(ハ)において、めっき装置21はめっき液22を収
容するめっき槽23の上部に設けためっき液噴射口23
b、 23cを横切るように電極24を設け、電気接点
形成部にめっき液22の吹き付けられる被め、つき部材
25は、矢印B方向に適当な速度で走行(移動)する。
第2図(イ)および、該装置のA−A断面図である第2
図(ハ)において、めっき装置21はめっき液22を収
容するめっき槽23の上部に設けためっき液噴射口23
b、 23cを横切るように電極24を設け、電気接点
形成部にめっき液22の吹き付けられる被め、つき部材
25は、矢印B方向に適当な速度で走行(移動)する。
めっき槽23は、その中央部を縦方向にほぼ仕切るよう
な仕切り23aと、仕切り23aによって区切られた左
側の槽内にめっき液22を噴射する第1のめっき液噴射
口23bと、仕切り23aによって区切られた右側の槽
内にめっき液22を噴射する第2のめっき液噴射口23
cを設け、めっき液噴射口23bと23eは、中間部か
ら漏斗状に横方向に広がるように形成されている。
な仕切り23aと、仕切り23aによって区切られた左
側の槽内にめっき液22を噴射する第1のめっき液噴射
口23bと、仕切り23aによって区切られた右側の槽
内にめっき液22を噴射する第2のめっき液噴射口23
cを設け、めっき液噴射口23bと23eは、中間部か
ら漏斗状に横方向に広がるように形成されている。
平面形状がほぼく字形となるよ・うに網部材を形成しめ
っき液噴射口23bと23eの漏斗状部分を横切る電極
24は、仕切り23aより左側で被めっき部材25と平
行する反面、仕切り23aより右側では被めっき部材2
5に対し次第に接近するように傾斜する。
っき液噴射口23bと23eの漏斗状部分を横切る電極
24は、仕切り23aより左側で被めっき部材25と平
行する反面、仕切り23aより右側では被めっき部材2
5に対し次第に接近するように傾斜する。
被めっき部材25は、その詳細を第3図に示すように、
先端に電気接点25cの形成される複数本の端子(基体
)25aを、長尺の連結部材25bに接続した構成であ
るや めっき装置21においてめっき液22は、図中に矢印で
示すように、めっき液噴射口23bと23cを通って電
気接点25eの形成される端子25aの先端部分を浸す
ように流れ、めっき槽23のめっき液溜り23dに流れ
落ちためっき液22は、ポンプ26によって汲み上げら
れ、めっき液噴射口23b、23eに供給されるように
なる。
先端に電気接点25cの形成される複数本の端子(基体
)25aを、長尺の連結部材25bに接続した構成であ
るや めっき装置21においてめっき液22は、図中に矢印で
示すように、めっき液噴射口23bと23cを通って電
気接点25eの形成される端子25aの先端部分を浸す
ように流れ、めっき槽23のめっき液溜り23dに流れ
落ちためっき液22は、ポンプ26によって汲み上げら
れ、めっき液噴射口23b、23eに供給されるように
なる。
第2図(ロ)において、めっき液22に流れるめっき電
流の密度は、図中に一点鎖線で示すように、仕切り23
aの左側で均一になる反面、仕切り23aの右側で次第
に高密度となる。その結果、めっき槽23の左端から右
方向に移動しながら形成される電気接点25cの厚さは
、図中に実線で示すように、仕切り23aの左側では比
較的緩やかに増加し、仕切り23aの右側では被着速度
を速めるようになる。
流の密度は、図中に一点鎖線で示すように、仕切り23
aの左側で均一になる反面、仕切り23aの右側で次第
に高密度となる。その結果、めっき槽23の左端から右
方向に移動しながら形成される電気接点25cの厚さは
、図中に実線で示すように、仕切り23aの左側では比
較的緩やかに増加し、仕切り23aの右側では被着速度
を速めるようになる。
そして、電気接点25c中のNi量(Ni含有率)は、
図中に破線で示すようにめっき電流の密度の増加に反比
例して次第に低下する。
図中に破線で示すようにめっき電流の密度の増加に反比
例して次第に低下する。
第4図は、めっき装置21を使用したときのめっき電流
密度と、Pd品位(Pdの含有率)との関係を示す図で
あり、・とそれを結ぶように描いた実線は、 ジアミノクロライドパラジウム・・・・Pdとして 2
0 g/l スルファミン酸ニッケル・・・・・・・・・・Niとし
て 5g/6 を含むめっき液22を使用した電気接点のPd品位特性
である。該特性より、電気接点に含まれるNiO量を1
0i*t%→Owt%に変化させるには、電流密度を約
10A/drri→100A/dmに変化させればよい
ことが分かる。そこで電極24は、右端で電流密度が1
00 A / d mとなり、左端で10A/drri
となるように、形状および被めっき部材25との間隔、
電流値を設定し、表面からのNi分布かIIWt、%−
IQwt%となる電気接点を得た。
密度と、Pd品位(Pdの含有率)との関係を示す図で
あり、・とそれを結ぶように描いた実線は、 ジアミノクロライドパラジウム・・・・Pdとして 2
0 g/l スルファミン酸ニッケル・・・・・・・・・・Niとし
て 5g/6 を含むめっき液22を使用した電気接点のPd品位特性
である。該特性より、電気接点に含まれるNiO量を1
0i*t%→Owt%に変化させるには、電流密度を約
10A/drri→100A/dmに変化させればよい
ことが分かる。そこで電極24は、右端で電流密度が1
00 A / d mとなり、左端で10A/drri
となるように、形状および被めっき部材25との間隔、
電流値を設定し、表面からのNi分布かIIWt、%−
IQwt%となる電気接点を得た。
第4図において、Oとそれを結ぶように描いた実線は、
ジアミノクロライドパラジウム・・・・Pdとして 2
0g/β スルファミン酸ニッケル・・・・・・・・・・Niとし
て *Og/l を含むめっき液22を使用した電気接点のPd品位特性
である。該特性より、電気接点に含まれるNiO量を2
0−t%−5訂%に変化させるには、電流密度を約35
A/drn−”90A/drriに変化させればよいこ
とが分かる。そこで電極24は、右端で電流密度が90
A/dmとなり、左端で35A / a mとなるよう
に、形状および被めっき部材25との間隔、電流値を設
定し、表面からのNi分布が5wt%−20−t%とな
る電気接点を得た。
0g/β スルファミン酸ニッケル・・・・・・・・・・Niとし
て *Og/l を含むめっき液22を使用した電気接点のPd品位特性
である。該特性より、電気接点に含まれるNiO量を2
0−t%−5訂%に変化させるには、電流密度を約35
A/drn−”90A/drriに変化させればよいこ
とが分かる。そこで電極24は、右端で電流密度が90
A/dmとなり、左端で35A / a mとなるよう
に、形状および被めっき部材25との間隔、電流値を設
定し、表面からのNi分布が5wt%−20−t%とな
る電気接点を得た。
第5図は本発明による電気接点の接触抵抗特性と従来の
電気接点の接触抵抗特性とを比較したものである。
電気接点の接触抵抗特性とを比較したものである。
第5図において、本発明による電気接点の試寧」は表面
からのNi分布が0wt%−204%、従来の電気接点
の試料はNi20wt%のP d−N i合金層の上に
Pd層を積層させたものであり、繰り返し動作させたと
きの測定値を実線で結んだ本発明の電気接点の特性は、
該動作と同一条件で繰り返し動作させたときの測定値を
破線で結んだ従来接点の特性に対し、変化が滑らかであ
り変化幅が狭くなる。
からのNi分布が0wt%−204%、従来の電気接点
の試料はNi20wt%のP d−N i合金層の上に
Pd層を積層させたものであり、繰り返し動作させたと
きの測定値を実線で結んだ本発明の電気接点の特性は、
該動作と同一条件で繰り返し動作させたときの測定値を
破線で結んだ従来接点の特性に対し、変化が滑らかであ
り変化幅が狭くなる。
第6図は本発明による電気接点の摩擦係数特性と従来の
電気接点の摩擦係数特性とを比較したものである。
電気接点の摩擦係数特性とを比較したものである。
第6図において、本発明による電気接点の試料は表面か
らのNi分布が0wt%−20−t%、従来の電気接点
の試料はNi20wt%のPd−Ni合金層の上にPd
層を積層させたものであり、繰り返し動作させたときの
測定値を実線で結んだ本発明の電気接点の特性は、該動
作と同一条件で繰り返し動作させたときの測定値を破線
で結んだ従来接点の特性に対し、変化が滑らかであり変
化幅が狭くなる。
らのNi分布が0wt%−20−t%、従来の電気接点
の試料はNi20wt%のPd−Ni合金層の上にPd
層を積層させたものであり、繰り返し動作させたときの
測定値を実線で結んだ本発明の電気接点の特性は、該動
作と同一条件で繰り返し動作させたときの測定値を破線
で結んだ従来接点の特性に対し、変化が滑らかであり変
化幅が狭くなる。
〔発明の効果)
以上説明したように本発明によれば、Pd−Ni合金の
電気接点、特に電気特性および寿命を向上させるためP
d−Ni合金を多層に形成した従来技術のものに代わる
電気接点として、表面に向けてNi含有率が無段階に減
少する構造としたことにより、電気特性の段階的変化を
な(すと共に、変動幅が狭くなって信鯨性が向上し、さ
らに、前記本発明の電気接点をめっき手段で形成する際
し、電気接点を形成する基体の移動路に対向しめっき電
流密度が所定に変化するように電極を配設したことによ
って、Ni含有率が所望の無段階に変化する電気接点の
製造を、容易かつ確実化ならしめた効果を有する。
電気接点、特に電気特性および寿命を向上させるためP
d−Ni合金を多層に形成した従来技術のものに代わる
電気接点として、表面に向けてNi含有率が無段階に減
少する構造としたことにより、電気特性の段階的変化を
な(すと共に、変動幅が狭くなって信鯨性が向上し、さ
らに、前記本発明の電気接点をめっき手段で形成する際
し、電気接点を形成する基体の移動路に対向しめっき電
流密度が所定に変化するように電極を配設したことによ
って、Ni含有率が所望の無段階に変化する電気接点の
製造を、容易かつ確実化ならしめた効果を有する。
第1図は本発明の実施例による電気接点の模式第2図は
本発明の実施例に係わる電気接点めっき装置の説明図、 第3図は第2図に示す被めっき部材の斜視図、第4図は
第2図に示すめっき装置によるめっき電流密度とPd品
位との関係を示す図、第5図は本発明の電気接点の接触
抵抗特性と従来の電気接点の接触抵抗特性との比較図、
第6図は本発明の電気接点の摩擦係数特性と従来の電気
接点の摩擦係数特性2σ・:」1.較図、第7図は従来
の電気接点の模式図、 である。 図中において、 11 、25aは基体、 i2,25cは電気接点、 21はめっき装置、 22はめっき液、 24はめっき電極、 を不す。 −7,i明0釘桓ダ1j二・ヂ系わる重畳すf、白、め
つぎ幸運!グ1tわ、月ぎ〕回 (! カ フ) Cイン (ロ) ♀ 図 本発明の実旌伊11;俳わろ電伝接魚めっき装置の説明
口第20 (イの2) 竿 」− 図 イ促呆の9儀場叔の腰式口 第 7 記
本発明の実施例に係わる電気接点めっき装置の説明図、 第3図は第2図に示す被めっき部材の斜視図、第4図は
第2図に示すめっき装置によるめっき電流密度とPd品
位との関係を示す図、第5図は本発明の電気接点の接触
抵抗特性と従来の電気接点の接触抵抗特性との比較図、
第6図は本発明の電気接点の摩擦係数特性と従来の電気
接点の摩擦係数特性2σ・:」1.較図、第7図は従来
の電気接点の模式図、 である。 図中において、 11 、25aは基体、 i2,25cは電気接点、 21はめっき装置、 22はめっき液、 24はめっき電極、 を不す。 −7,i明0釘桓ダ1j二・ヂ系わる重畳すf、白、め
つぎ幸運!グ1tわ、月ぎ〕回 (! カ フ) Cイン (ロ) ♀ 図 本発明の実旌伊11;俳わろ電伝接魚めっき装置の説明
口第20 (イの2) 竿 」− 図 イ促呆の9儀場叔の腰式口 第 7 記
Claims (2)
- (1)基体(11)に形成したパラジウム−ニッケル合
金の電気接点(12)が、該基体(11)との接合面側
から表面に向けて、連続的にニッケルの含有率の減少す
ることを特徴とした電気接点。 - (2)パラジウム−ニッケルの合金めっき液(22)中
を移動する基体(25a)の移動路に対し、該めっき液
(22)中で該移動路に対向する電極(24)を該基体
(25a)の移動方向に対向間隔の狭まるように配設し
て、該基体(25a)との接合面から表面に向けて連続
的にニッケル含有率の減少するパラジウム−ニッケル合
金の電気接点(25c)を該基体(25a)に形成させ
ることを特徴とした電気接点の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63223804A JPH0272518A (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 電気接点とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63223804A JPH0272518A (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 電気接点とその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0272518A true JPH0272518A (ja) | 1990-03-12 |
Family
ID=16803982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63223804A Pending JPH0272518A (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 電気接点とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0272518A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5151811A (en) * | 1989-04-24 | 1992-09-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Light deflecting apparatus |
JPH05152159A (ja) * | 1991-11-29 | 1993-06-18 | Diafoil Co Ltd | 金属蒸着ポリエステルフイルムコンデンサ |
-
1988
- 1988-09-07 JP JP63223804A patent/JPH0272518A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5151811A (en) * | 1989-04-24 | 1992-09-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Light deflecting apparatus |
JPH05152159A (ja) * | 1991-11-29 | 1993-06-18 | Diafoil Co Ltd | 金属蒸着ポリエステルフイルムコンデンサ |
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