JPH0270718U - - Google Patents
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- JPH0270718U JPH0270718U JP15137588U JP15137588U JPH0270718U JP H0270718 U JPH0270718 U JP H0270718U JP 15137588 U JP15137588 U JP 15137588U JP 15137588 U JP15137588 U JP 15137588U JP H0270718 U JPH0270718 U JP H0270718U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- pressure area
- high pressure
- hollow fiber
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 13
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 claims description 12
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 10
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 claims 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Drying Of Gases (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
第1図は本考案を具体化した第1実施例を示す
側断面図、第2図は第2実施例を示す側断面図、
第3図は第3実施例を示す側断面図、第4図は第
4実施例を示す側断面図、第5図は除湿エアの収
率―大気圧露点の関係を示すグラフ、第6図は第
5実施例を示す側断面図、第7図は第6実施例を
示す側断面図、第8図は第7実施例を示す側断面
図、第9図は第8実施例を示す側断面図、第10
図は第9実施例を示す側断面図である。 第1実施例のハウジングを構成する収納円筒1
及びキヤツプ…2,3、中空糸膜…4、パージ通
路を形成する流路孔…10a。第2実施例のハウ
ジングを構成する収納円筒15及びキヤツプ…1
6,17、中空糸膜…18、パージ通路…17e
、パージ通路孔…17f。第3実施例のハウジン
グを構成する収納円筒27及びキヤツプ…28,
29、中空糸膜…30、パージオリフイス…32
a。第4実施例のハウジング…36、パージ通路
…36b、中空糸膜…39。第5実施例のハウジ
ングを構成する収納円筒49及びキヤツプ…50
,51、パージ通路…51b、中空糸膜…52。
第6実施例のハウジングを構成する収納円筒54
及びキヤツプ…55,56、中空糸膜…57、パ
ージ通路…62a。第9実施例のハウジングを構
成する収納円筒79及びキヤツプ…80,81、
中空糸膜…78、パージ通路…81a。
側断面図、第2図は第2実施例を示す側断面図、
第3図は第3実施例を示す側断面図、第4図は第
4実施例を示す側断面図、第5図は除湿エアの収
率―大気圧露点の関係を示すグラフ、第6図は第
5実施例を示す側断面図、第7図は第6実施例を
示す側断面図、第8図は第7実施例を示す側断面
図、第9図は第8実施例を示す側断面図、第10
図は第9実施例を示す側断面図である。 第1実施例のハウジングを構成する収納円筒1
及びキヤツプ…2,3、中空糸膜…4、パージ通
路を形成する流路孔…10a。第2実施例のハウ
ジングを構成する収納円筒15及びキヤツプ…1
6,17、中空糸膜…18、パージ通路…17e
、パージ通路孔…17f。第3実施例のハウジン
グを構成する収納円筒27及びキヤツプ…28,
29、中空糸膜…30、パージオリフイス…32
a。第4実施例のハウジング…36、パージ通路
…36b、中空糸膜…39。第5実施例のハウジ
ングを構成する収納円筒49及びキヤツプ…50
,51、パージ通路…51b、中空糸膜…52。
第6実施例のハウジングを構成する収納円筒54
及びキヤツプ…55,56、中空糸膜…57、パ
ージ通路…62a。第9実施例のハウジングを構
成する収納円筒79及びキヤツプ…80,81、
中空糸膜…78、パージ通路…81a。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 ハウジング内に高分子浸透膜からなる多数本
の中空糸膜を束ねて収容し、中空糸膜の内部を高
圧領域とすると共に、中空糸膜の外面近傍領域を
低圧領域とし、ハウジング外からの高圧領域へ除
湿前の圧縮エアを供給すると共に、ハウジング外
へ取り出し、高圧領域と低圧領域との間には中空
糸膜の外面に沿つて高圧領域内の除湿エアの一部
を送るためのパージ通路をハウジングに組み込み
形成したことを特徴とする除湿装置。 2 除湿された圧縮エアの出口通路上には流量に
よつて変位する流量制御弁を介在した実用新案登
録請求の範囲第1項に記載の除湿装置。 3 ハウジングには低圧領域を減圧するための減
圧機構を組み込んだ実用新案登録請求の範囲第1
項に記載の除湿装置。 4 パージ通路上には通過断面積制御機構を介在
し、露点割り出しセンサの検出結果に基づいて通
過断面積制御機構を作動制御する実用新案登録請
求の範囲第1項に記載の除湿装置。 5 束ねられた中空糸膜の側面を包囲してハウジ
ングを構成する円筒をフレキシブル部材で形成し
た実用新案登録請求の範囲第1項に記載の除湿装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988151375U JPH0641629Y2 (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 | 除湿装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988151375U JPH0641629Y2 (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 | 除湿装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0270718U true JPH0270718U (ja) | 1990-05-29 |
JPH0641629Y2 JPH0641629Y2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=31425365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988151375U Expired - Lifetime JPH0641629Y2 (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 | 除湿装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0641629Y2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03110A (ja) * | 1989-05-24 | 1991-01-07 | Ube Ind Ltd | 分離膜モジュール |
JPH06134245A (ja) * | 1992-10-20 | 1994-05-17 | Orion Mach Co Ltd | 膜式気体ドライヤ |
JPH0754774A (ja) * | 1993-08-09 | 1995-02-28 | Fuji Sangyo Kk | 空気圧縮装置 |
JP2010517748A (ja) * | 2007-01-31 | 2010-05-27 | フレアー・コーポレーション | 気体膜分離装置の一体型掃気制御装置 |
JP2015531879A (ja) * | 2012-09-18 | 2015-11-05 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | ステージシステム、ステージシステムを備えるリソグラフィ装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6780817B2 (ja) * | 2016-11-08 | 2020-11-04 | Smc株式会社 | 除湿エレメント及びそれを有する除湿装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3735558A (en) * | 1971-06-29 | 1973-05-29 | Perma Pure Process Inc | Process for separating fluids and apparatus |
JPS502674A (ja) * | 1973-04-30 | 1975-01-11 | ||
JPS59171729A (ja) * | 1983-03-16 | 1984-09-28 | Nissan Motor Co Ltd | 自動車用サイドフイニツシヤ |
JPS59171729U (ja) * | 1983-04-26 | 1984-11-16 | 富士電機株式会社 | 半透膜除湿器 |
JPS61278306A (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-09 | ザ ダウ ケミカル カンパニ− | 内側ラツプを有する改良された中空繊維膜装置 |
JPS6242723A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-24 | Ube Ind Ltd | 混合ガスの除湿方法 |
JPS63119834A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-24 | Kuraray Co Ltd | 空気除湿装置 |
JPS63248418A (ja) * | 1987-04-02 | 1988-10-14 | Ube Ind Ltd | 混合気体の分離方法 |
JPS63258620A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-26 | Ube Ind Ltd | 混合ガス分離装置 |
JPH01236921A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-21 | Ube Ind Ltd | 気体の脱湿装置 |
-
1988
- 1988-11-21 JP JP1988151375U patent/JPH0641629Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3735558A (en) * | 1971-06-29 | 1973-05-29 | Perma Pure Process Inc | Process for separating fluids and apparatus |
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JPS61278306A (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-09 | ザ ダウ ケミカル カンパニ− | 内側ラツプを有する改良された中空繊維膜装置 |
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JPH0754774A (ja) * | 1993-08-09 | 1995-02-28 | Fuji Sangyo Kk | 空気圧縮装置 |
JP2010517748A (ja) * | 2007-01-31 | 2010-05-27 | フレアー・コーポレーション | 気体膜分離装置の一体型掃気制御装置 |
JP2015531879A (ja) * | 2012-09-18 | 2015-11-05 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | ステージシステム、ステージシステムを備えるリソグラフィ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0641629Y2 (ja) | 1994-11-02 |
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