JPH026834A - 制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法 - Google Patents
制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法Info
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- JPH026834A JPH026834A JP15658488A JP15658488A JPH026834A JP H026834 A JPH026834 A JP H026834A JP 15658488 A JP15658488 A JP 15658488A JP 15658488 A JP15658488 A JP 15658488A JP H026834 A JPH026834 A JP H026834A
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- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims description 53
- 239000000725 suspension Substances 0.000 abstract 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 17
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- 206010011224 Cough Diseases 0.000 description 1
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/002—Component parts of these vessels not mentioned in B01J3/004, B01J3/006, B01J3/02 - B01J3/08; Measures taken in conjunction with the process to be carried out, e.g. safety measures
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
減圧状態の減圧室に気体を流入して大気圧にする機器及
び減圧室のリーク方法に関し、減圧室に流入させる流入
気体の流量を自動的に変化させ、減圧室の室内圧が大気
圧に到達する時間を短縮するとともに、減圧室内のパー
ティクルの浮遊を防止することが可能な自己制御型バル
ブ及び減圧室のリーク方法の提供を目的とし、減圧室に
気体を流入させるのに用いるバルブであって、流入気体
の流入量を規制する弁体と、咳弁体の開放を自己制御す
る手段とを具備するよう構成する。
び減圧室のリーク方法に関し、減圧室に流入させる流入
気体の流量を自動的に変化させ、減圧室の室内圧が大気
圧に到達する時間を短縮するとともに、減圧室内のパー
ティクルの浮遊を防止することが可能な自己制御型バル
ブ及び減圧室のリーク方法の提供を目的とし、減圧室に
気体を流入させるのに用いるバルブであって、流入気体
の流入量を規制する弁体と、咳弁体の開放を自己制御す
る手段とを具備するよう構成する。
本発明は、真空を利用する装置に係り、特に減圧状態の
減圧室に気体を流入して大気圧にする機器及び減圧室の
リーク方法に関するものである。
減圧室に気体を流入して大気圧にする機器及び減圧室の
リーク方法に関するものである。
近年、真空を利用する装置において、減圧状態の減圧室
に気体を流入して大気圧にする場合に、この減圧室に流
入する気体により減圧室内のパーティクルが室内に浮遊
し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着し、製品
の品質を劣化させる障害が発生している。
に気体を流入して大気圧にする場合に、この減圧室に流
入する気体により減圧室内のパーティクルが室内に浮遊
し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着し、製品
の品質を劣化させる障害が発生している。
以上のような状況から減圧室に流入する気体により減圧
室内のパーティクルが室内に浮遊しないように、減圧室
に気体を流入させることが可能なな機器及び方法が要望
されている。
室内のパーティクルが室内に浮遊しないように、減圧室
に気体を流入させることが可能なな機器及び方法が要望
されている。
従来の減圧室に気体を流入させるのに用いる機器及び方
法について第３図〜第４図及び第６図により説明する。
法について第３図〜第４図及び第６図により説明する。
第６図は従来の真空を用いる装置の減圧室のリーク方法
を説明する図である。
を説明する図である。
図において、減圧状態にある減圧室１０を大気圧にする
場合は、排気側のバルブ１８を閉じて気体流入側のバル
ブ１９を駆動エアにより開くと、非常に圧力の高い流入
気体が減圧室１０内に流入する。
場合は、排気側のバルブ１８を閉じて気体流入側のバル
ブ１９を駆動エアにより開くと、非常に圧力の高い流入
気体が減圧室１０内に流入する。
このようにして気体を減圧室１０内に流入すると、第４
図に点線で示すように、非常に大きな流速で流入気体が
減圧室１０内に流入し、第３図に点線で示すように、減
圧室１０の室内圧が急激に上昇して真空度が低下し、減
圧室１０内の多量のパーティクルが浮遊し、減圧室１０
内の処理済の製品の表面に付着し、製品の品質を劣化さ
せ、製品歩留りを低下させている。
図に点線で示すように、非常に大きな流速で流入気体が
減圧室１０内に流入し、第３図に点線で示すように、減
圧室１０の室内圧が急激に上昇して真空度が低下し、減
圧室１０内の多量のパーティクルが浮遊し、減圧室１０
内の処理済の製品の表面に付着し、製品の品質を劣化さ
せ、製品歩留りを低下させている。
このような状態になるのを防止する方法として、第６図
に示すような流入気体の最大流量を制限するために流量
のｍｔｉｍ整が可能なニードルバルブ２０をバルブ１９
の近傍に設け、減圧室１０内に流入する気体の流量を絞
るという方法、或いは更にフィルタ２１を設けて流量を
絞るという方法を採用している。
に示すような流入気体の最大流量を制限するために流量
のｍｔｉｍ整が可能なニードルバルブ２０をバルブ１９
の近傍に設け、減圧室１０内に流入する気体の流量を絞
るという方法、或いは更にフィルタ２１を設けて流量を
絞るという方法を採用している。
この場合は、第４図に一点鎖線にて示すような小さな流
速で流入するが、減圧室１０の室内圧を大気圧にするた
めには第３図に一点鎖線にて示すように長時間が必要で
ある。
速で流入するが、減圧室１０の室内圧を大気圧にするた
めには第３図に一点鎖線にて示すように長時間が必要で
ある。
以上説明の従来の減圧室に気体を流入させるのに用いる
機器及び方法ににおいては、気体の流量が絞られていな
い場合には、第４図の点線で示す流速の曲線の時間がＯ
に近い時点で、減圧室に流入する流入気体の流速が急激
に早くなるので、減圧室内のパーティクルが室内に浮遊
し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着するとい
う問題点があり、減圧室内のパーティクルが浮遊しない
ように流入気体の流量を非常に小さく設定して減圧室へ
の気体の流入を行う場合には、流速は第４図の一点鎖線
で示す曲線のように推移し、減圧室内圧を大気圧にする
のに第３図に一点鎖線にて示すように非常に長時間を必
要とし、実用に供することが出来ないという問題点があ
り、流入側のバルブ・にパルスモータを用いた電動式バ
ルブが採用される場合があるが、コスト或いは設置に要
するスペース等に問題があり、既存設備への導入が困難
であるという問題点があった。
機器及び方法ににおいては、気体の流量が絞られていな
い場合には、第４図の点線で示す流速の曲線の時間がＯ
に近い時点で、減圧室に流入する流入気体の流速が急激
に早くなるので、減圧室内のパーティクルが室内に浮遊
し、この減圧室内で処理した製品の表面に付着するとい
う問題点があり、減圧室内のパーティクルが浮遊しない
ように流入気体の流量を非常に小さく設定して減圧室へ
の気体の流入を行う場合には、流速は第４図の一点鎖線
で示す曲線のように推移し、減圧室内圧を大気圧にする
のに第３図に一点鎖線にて示すように非常に長時間を必
要とし、実用に供することが出来ないという問題点があ
り、流入側のバルブ・にパルスモータを用いた電動式バ
ルブが採用される場合があるが、コスト或いは設置に要
するスペース等に問題があり、既存設備への導入が困難
であるという問題点があった。
本発明は以上のような状況から減圧室に流入させる流入
気体の流量を自動的に変化させ、減圧室の室内圧が大気
圧に到達する時間を短縮するとともに、減圧室内のパー
ティクルの浮遊を防止することが可能な自己制御型バル
ブ及び減圧室のリーク方法の提供を目的としたものであ
る。
気体の流量を自動的に変化させ、減圧室の室内圧が大気
圧に到達する時間を短縮するとともに、減圧室内のパー
ティクルの浮遊を防止することが可能な自己制御型バル
ブ及び減圧室のリーク方法の提供を目的としたものであ
る。
（課題を解決するための手段〕
上記問題点は、減圧室への流入気体の流入量を規制する
弁体と、この弁体の開放を自己制御する手段とを具備す
る本発明による自己制御型バルブ及びこの自己制御型バ
ルブを用いて弁体の開放の制御を行う、この減圧室への
気体流入時の塵埃の浮動を抑制する本発明による減圧室
のリーク方法によって解決される。
弁体と、この弁体の開放を自己制御する手段とを具備す
る本発明による自己制御型バルブ及びこの自己制御型バ
ルブを用いて弁体の開放の制御を行う、この減圧室への
気体流入時の塵埃の浮動を抑制する本発明による減圧室
のリーク方法によって解決される。
流入気体によりパーティクルが浮遊するか否かを決める
のは、パーティクルの付着力をρ、流入気体の圧力をｐ
、パーティクルと気体分子との衝突確率をλとすると、
ρ〉ｐλの条件を満足する場合には、パーティクルの浮
遊が発生しない。
のは、パーティクルの付着力をρ、流入気体の圧力をｐ
、パーティクルと気体分子との衝突確率をλとすると、
ρ〉ｐλの条件を満足する場合には、パーティクルの浮
遊が発生しない。
この条件を流入気体の流入開始時より流入完了まで持続
させることが必要である。
させることが必要である。
即ち、減圧室の室内圧が低く、パーティクルと気体分子
との衝突確率λが大きな間は流入気体の流量を少なくし
て室内圧を低い状態にしておき、減圧室の室内圧が高く
なるに従ってパーティクルと気体分子との衝突確率λが
小さくなれば、流入気体の流量を多くして減圧室の室内
圧を高くしてもパーティクルの浮遊は生じない。
との衝突確率λが大きな間は流入気体の流量を少なくし
て室内圧を低い状態にしておき、減圧室の室内圧が高く
なるに従ってパーティクルと気体分子との衝突確率λが
小さくなれば、流入気体の流量を多くして減圧室の室内
圧を高くしてもパーティクルの浮遊は生じない。
本発明においては、第１図或いは第５図に示すような自
己制御型バルブを用いるので、減圧室のリークに際して
その弁体の動作を自動的に制御し、その弁体の開放を上
記の条件に適合するように行うので、減圧室への流入気
体の流速は第４図に実線にて示すように推移し、減圧室
の室内圧は第３図に実線にて示すように推移する。
己制御型バルブを用いるので、減圧室のリークに際して
その弁体の動作を自動的に制御し、その弁体の開放を上
記の条件に適合するように行うので、減圧室への流入気
体の流速は第４図に実線にて示すように推移し、減圧室
の室内圧は第３図に実線にて示すように推移する。
このように減圧室への流入気体の流速が自動的に制御さ
れることにより、減圧室の室内圧が自動的に制御され、
減圧室内におけるパーティクルの浮遊を防止することが
可能となる。
れることにより、減圧室の室内圧が自動的に制御され、
減圧室内におけるパーティクルの浮遊を防止することが
可能となる。
以下第１図〜第４図について本発明の一実施例を、第５
図について本発明の他の実施例を説明する。
図について本発明の他の実施例を説明する。
第１図は本発明による一実施例の自己調部型バルブの構
造を示す図であり、第２図は本発明による一実施例の減
圧室のリーク方法を説明する図である。
造を示す図であり、第２図は本発明による一実施例の減
圧室のリーク方法を説明する図である。
図において、駆動エアが供給されていない場合には、弁
体２はスプリング５の圧力により弁座１に押しつけられ
てこの自己制御型バルブは流入気体が減圧室１０に流入
しないように遮断している。
体２はスプリング５の圧力により弁座１に押しつけられ
てこの自己制御型バルブは流入気体が減圧室１０に流入
しないように遮断している。
減圧室１０に流入気体を流入させようとする場合には、
まず三方切換弁９に通電して作動させ、駆動エアをニー
ドルバルブ７を通してシリンダ３のスプリング５を収容
していないピストン４の下部の部分に流入させる。
まず三方切換弁９に通電して作動させ、駆動エアをニー
ドルバルブ７を通してシリンダ３のスプリング５を収容
していないピストン４の下部の部分に流入させる。
この駆動エアの圧力は徐々に高（なりピストン４を押し
上げる。このピストン４の動作に伴いピストン４に連結
されている弁体２も徐々に押し上げられて弁座１から離
れ、その間に隙間が生じる。
上げる。このピストン４の動作に伴いピストン４に連結
されている弁体２も徐々に押し上げられて弁座１から離
れ、その間に隙間が生じる。
このように弁体２と弁座Ｉの隙間が徐々に変化するので
、流入気体の減圧室ＩＯへの良好な流入が可能となる。
、流入気体の減圧室ＩＯへの良好な流入が可能となる。
流入気体の流入を停止する場合は、三方切換弁９への通
電を停止すると、シリンダ３のピストン４の下部に供給
されていた駆動エアは直ちに逆止弁８を通って三方切換
弁９の排気口から排出される。
電を停止すると、シリンダ３のピストン４の下部に供給
されていた駆動エアは直ちに逆止弁８を通って三方切換
弁９の排気口から排出される。
このように弁座１と弁体２の隙間が徐々に大きくなると
、減圧室１０の室内圧は第３図に実線にて示すように変
化し、流入気体の流速は第４図に実線にて示すように変
化する。
、減圧室１０の室内圧は第３図に実線にて示すように変
化し、流入気体の流速は第４図に実線にて示すように変
化する。
第３図に時間の経過に伴う減圧室１０の室内圧の変化を
示している。
示している。
本発明による一実施例の減圧室１０の室内圧は第３図に
実線にて示すようになり、流入する流入気体に何ら対策
を講じない点線にて示す場合と、減圧室１０の室内圧が
大気圧に到達する時間はほぼ同じであるが、流入気体の
流入の初期の室内圧の上昇が非常に緩やかである。
実線にて示すようになり、流入する流入気体に何ら対策
を講じない点線にて示す場合と、減圧室１０の室内圧が
大気圧に到達する時間はほぼ同じであるが、流入気体の
流入の初期の室内圧の上昇が非常に緩やかである。
したがって、第４図に示す本発明による一実施例の減圧
室１０内に流入する実線にて示す流入気体の総量は、流
入する流入気体に何ら対策を講じない点線にて示す場合
或いは流入する流入気体の流量を絞った一点鎖線にて示
す場合の総量と同量であるが、本発明による一実施例の
実線の場合はリークに要する時間の等しい点線の場合と
比較すると、流入気体の流入の初期の流速が非常に小さ
いので、減圧室１０内のパーティクルを浮遊させること
がなくなる。
室１０内に流入する実線にて示す流入気体の総量は、流
入する流入気体に何ら対策を講じない点線にて示す場合
或いは流入する流入気体の流量を絞った一点鎖線にて示
す場合の総量と同量であるが、本発明による一実施例の
実線の場合はリークに要する時間の等しい点線の場合と
比較すると、流入気体の流入の初期の流速が非常に小さ
いので、減圧室１０内のパーティクルを浮遊させること
がなくなる。
第５図に本発明による他の実施例の自己制御型バルブの
構造図を示す。
構造図を示す。
この実施例は上記の一実施例の弁体２を油圧制御器６の
軸に接続し、弁体２の動作に制動を加えて更に弁体２が
円滑に移動するようにしている。
軸に接続し、弁体２の動作に制動を加えて更に弁体２が
円滑に移動するようにしている。
以上の説明から明らかなように本発明によれば筒車な構
造の自己制御型バルブを、減圧室に流入させる流入気体
の配管に接続して配設するので、減圧室の室内圧を急激
に上昇させないようにすることができ、流入の初期の流
入気体の流速が低いにもかかわらず、初期の流入気体の
流速が高い場合と同じ短時間に流入気体を減圧室に流入
させることが可能となり、減圧室内部でのパーティクル
の浮遊を防止することが可能となる等の利点があり、著
しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待でき工業的に
は極めて有用なものである。
造の自己制御型バルブを、減圧室に流入させる流入気体
の配管に接続して配設するので、減圧室の室内圧を急激
に上昇させないようにすることができ、流入の初期の流
入気体の流速が低いにもかかわらず、初期の流入気体の
流速が高い場合と同じ短時間に流入気体を減圧室に流入
させることが可能となり、減圧室内部でのパーティクル
の浮遊を防止することが可能となる等の利点があり、著
しい経済的及び、信頼性向上の効果が期待でき工業的に
は極めて有用なものである。
第１図は本発明による一実施例の自己制御型バルブの構
造を示す側断面図、 第２図は本発明による一実施例の減圧室のリーク方法を
説明する図、 第３図は減圧室の室内圧の推移を示す図、第４図は流入
する流入気体の流速の推移を示す図、 第５図は本発明による他の実施例の自己制御型バルブの
構造を示す側断面図、 第６図は従来の減圧室のリーク方法を説明する図、 である。 図において、 ■は弁座、 ２は弁体、 ３はシリンダ、 ４はピストン、 ５ばスプリング、 ６は油圧制御器、 ７はニードルバルブ、 ８は逆上弁、 ９は三方切換弁、 １０は減圧室、 を示す。 本発明による一実施例の自己制御型バルブの構造を示す
側断面１第１図 減圧室の室内圧の推移を示す図 ｇ４３図 本発明による一実施例の減圧室のリーク方法を説明する
１第 ２ 図 流入する流入気体の流速の推移を示す図第４図
造を示す側断面図、 第２図は本発明による一実施例の減圧室のリーク方法を
説明する図、 第３図は減圧室の室内圧の推移を示す図、第４図は流入
する流入気体の流速の推移を示す図、 第５図は本発明による他の実施例の自己制御型バルブの
構造を示す側断面図、 第６図は従来の減圧室のリーク方法を説明する図、 である。 図において、 ■は弁座、 ２は弁体、 ３はシリンダ、 ４はピストン、 ５ばスプリング、 ６は油圧制御器、 ７はニードルバルブ、 ８は逆上弁、 ９は三方切換弁、 １０は減圧室、 を示す。 本発明による一実施例の自己制御型バルブの構造を示す
側断面１第１図 減圧室の室内圧の推移を示す図 ｇ４３図 本発明による一実施例の減圧室のリーク方法を説明する
１第 ２ 図 流入する流入気体の流速の推移を示す図第４図
Claims (2)
- （１）減圧室（１０）に気体を流入させるのに用いるバ
ルブであって、 流入気体の流入量を規制する弁体（２）と、該弁体（２
）の開放を自己制御する手段（５、６）と、を具備する
ことを特徴とする自己制御型バルブ。 - （２）請求項１記載の自己制御型バルブにより前記弁体
（２）の開放を制御し、前記減圧室（１０）への気体流
入時の塵埃の浮動を抑制することを特徴とする減圧室の
リーク方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156584A JPH0815541B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156584A JPH0815541B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026834A true JPH026834A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH0815541B2 JPH0815541B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=15630960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63156584A Expired - Fee Related JPH0815541B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室のリーク方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815541B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002361118A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-17 | Rita System Kk | 塗料供給用流量調節弁 |
| WO2008059851A1 (fr) * | 2006-11-16 | 2008-05-22 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Système de pile à combustible |
| US8227143B2 (en) | 2007-04-18 | 2012-07-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Fuel cell system |
| US8769971B2 (en) | 2008-01-25 | 2014-07-08 | Alliance For Sustainable Energy, Llc | Indirect evaporative cooler using membrane-contained, liquid desiccant for dehumidification |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS616472A (ja) * | 1984-06-20 | 1986-01-13 | Hitachi Ltd | リ−ク装置 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP63156584A patent/JPH0815541B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS616472A (ja) * | 1984-06-20 | 1986-01-13 | Hitachi Ltd | リ−ク装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002361118A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-17 | Rita System Kk | 塗料供給用流量調節弁 |
| WO2008059851A1 (fr) * | 2006-11-16 | 2008-05-22 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Système de pile à combustible |
| JP2008130237A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Toyota Motor Corp | 燃料電池システム |
| US8343680B2 (en) | 2006-11-16 | 2013-01-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Fuel cell system |
| US8227143B2 (en) | 2007-04-18 | 2012-07-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Fuel cell system |
| US8769971B2 (en) | 2008-01-25 | 2014-07-08 | Alliance For Sustainable Energy, Llc | Indirect evaporative cooler using membrane-contained, liquid desiccant for dehumidification |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0815541B2 (ja) | 1996-02-21 |
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