CN112361062B - 单向导通控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种单向导通控制装置，包括单向导通组件、气动部件、调气组件、第一进气管路和气源，其中，单向导通组件包括单向导通腔体和密封部件，单向导通腔体具有进入口和排出口；密封部件位于单向导通腔体内；气动部件的驱动端与密封部件连接，用于驱动密封部件在单向导通腔体内沿进入口的轴向升降，以密封或者打开进入口；气源通过第一进气管路与气动部件连通，气源用于向驱动端提供驱动力；调气组件包括调压阀，调压阀设置于第一进气管路上，并位于气动部件和气源之间，用于通过调节调压阀的气压，来调整密封部件对进入口的压力。本发明提供的单向导通控制装置，其能够对单向导通的压力进行调节，以降低选型难度，提高通用性和使用灵活性。

Description

单向导通控制装置

技术领域

本发明涉及流体控制设备技术领域，具体地，涉及一种单向导通控制装置。

背景技术

目前，半导体设备通常设置有大量管路，其中包括进气管路和排气管路，进气管路通常设置有多个，用于输送不同种类的工艺气体，并且，各进气管路和排气管路上通常还设置有单向阀。借助单向阀一方面可以避免一个进气管路输送的工艺气体，在进入工艺腔室后流入至其余的进气管路中，导致其余的进气管路污染，或者导致可燃性的工艺气体混合产生爆炸，另一方面可以在工艺腔室结束低压工艺后的排气时，避免由于排气管路外的大气压力大于工艺腔室内的压力，导致大气通过排气管路涌入至工艺腔室内，造成工艺腔室内的气流场异常，导致工艺腔室内的小颗粒物飞扬造成产品晶片报废。因此，单向阀压力控制的可靠性以及与使用工况的一致性尤为重要。

但是，由于现有的单向阀通常是依靠弹簧弹力或者阀芯自重来实现压力控制，因此，同一单向阀水平设置和竖直设置，会导致同一单向阀的开启压力不同，从而导致单向阀的使用不稳定。并且，在弹簧以及阀芯的型号选定后，由于弹簧的弹性系数和阀芯的自重均无法改变，导致单向阀的开启压力无法调节，从而导致在设计选型阶段，只有固定的几种规格开启压力单向阀可选，造成选型困难，且后期无法调试。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种单向导通控制装置，其能够对单向导通的压力进行调节，以降低选型难度，提高通用性和使用灵活性。

为实现本发明的目的而提供一种单向导通控制装置，包括单向导通组件、气动部件、调气组件、第一进气管路和气源，其中，所述单向导通组件包括单向导通腔体和密封部件，所述单向导通腔体具有进入口和排出口；所述密封部件位于所述单向导通腔体内；

所述气动部件的驱动端与所述密封部件连接，用于驱动所述密封部件在所述单向导通腔体内沿所述进入口的轴向升降，以密封或者打开所述进入口；

所述气源通过所述第一进气管路与所述气动部件连通，所述气源用于向所述驱动端提供驱动力；

所述调气组件包括调压阀，所述调压阀设置于所述第一进气管路上，并位于所述气动部件和所述气源之间，用于通过调节所述调压阀的气压，来调整所述密封部件对所述进入口的压力。

优选的，所述气动部件包括活塞腔体、活塞和活塞杆，其中，所述活塞可移动的设置在所述活塞腔体中，所述活塞杆与所述活塞连接，所述活塞杆为所述驱动端，所述活塞杆贯穿所述活塞腔体和所述单向导通腔体与所述密封部件连接，且与所述单向导通腔体之间密封；所述活塞腔体上设置有进气口，所述进气口与所述第一进气管路连通；所述气源通过所述进气口向所述活塞腔体内通入气体，来控制所述活塞移动。

优选的，所述活塞腔体上还设有排气口，所述进气口和所述排气口位于所述活塞行程的两端；

所述单向导通控制装置还包括第二进气管路；

所述调气组件还包括切换阀，所述切换阀分别通过所述第一进气管路和所述第二进气管路与所述活塞腔体连通；

所述气源与所述切换阀连通，所述切换阀通过切换所述气源与所述第一进气管路连通或所述气源与所述第二进气管路连通，来控制所述驱动端升降。

优选的，所述单向导通控制装置还包括稳压部件，所述稳压部件设置在所述第一进气管路上，且位于所述调压阀和所述气动部件之间，用于稳定流经所述第一进气管路向所述气动部件输送的气体的压力。

优选的，所述稳压部件包括稳压腔室，所述稳压腔室供气体通过的径向尺寸大于所述第一进气管路供气体通过的径向尺寸。

优选的，所述稳压部件包括排气节流阀，所述排气节流阀位于所述第一进气管路上，且位于所述气动部件和所述稳压腔室之间；和/或

所述排气节流阀位于所述第二进气管路上。

优选的，所述切换阀为三位五通中封式电磁阀，所述切换阀具有第一输气口、第二输气口、大气接气口和气源接气口，所述第一输气口和所述第一进气管路连接，所述第二输气口和所述第二进气管路连接，所述气源接气口与所述气源连接，所述大气接气口用于连通大气；

所述切换阀用于控制所述第一进气管路与所述气源连通，且所述第二进气管路通过所述大气接气口与大气连通；或者，所述切换阀用于控制所述第二进气管路与所述气源连通，所述第一进气管路通过所述大气接气口与大气连通；

所述切换阀在其无法进行控制时，维持当前管路连通状态。

优选的，所述大气接气口的数量为两个，两个所述大气接气口分别对应与所述第一输气口和所述第二输气口通断配合，且所述大气接气口上设有消音部件。

优选的，所述单向导通控制装置还包括手阀，所述气源通过所述手阀与所述切换阀连通，用于打开或关闭所述气源的供给。

优选的，所述密封部件包括密封膜片，所述密封膜片能够遮挡所述进入口，并与所述进入口的端面相抵。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的单向导通控制装置，通过气源向气动部件的驱动端提供驱动力，以借助气动部件的驱动端驱动密封部件在单向导通腔体内沿单向导通腔体的进入口的轴向升降，使密封部件密封或者打开进入口，并由于气动部件的驱动端能够在气源向其提供的驱动力，即，其对密封部件施加的驱动力小于流入进入口的流体对密封部件施加的压力时，使密封部件在流入进入口的流体的压力作用下在单向导通腔体内沿进入口的轴向移动，以使密封部件打开进入口，从而实现单向导通组件的单向导通能力，本发明提供的单向导通控制装置，通过调节设置于第一进气管路上，并位于气动部件和气源之间的调压阀的气压，来调整气动部件的驱动端对密封部件施加的驱动力，以调整密封部件对进入口的压力，从而能够对单向导通组件的单向导通的压力进行调节，进而降低选型难度，不会因部件自身重力影响压力精度，提高通用性和使用灵活性。

附图说明

图1为本发明实施例提供的单向导通控制装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的单向导通控制装置设置在排气管道上的结构示意图；

附图标记说明：

1-单向导通控制装置；101-单向导通腔体；102-密封部件；103-进入口；104-排出口；111-调压阀；112-切换阀；1121-第一输气口；1122-第二输气口；1123-大气接气口；1124-气源接气口；121-活塞腔体；122-活塞；123-活塞杆；131-第一进气管路；132-第二进气管路；141-稳压腔室；142-排气节流阀；151-切换腔室；152-第一电磁驱动部件；153-第二电磁驱动部件；161-手阀；17-消音部件；18-测压部件；19-密封圈；20-气源；21-工艺腔室；22-排气管道；23-净化设备。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的单向导通控制装置进行详细描述。

如图1所示，本实施例提供一种单向导通控制装置1，包括单向导通组件、气动部件、调气组件、第一进气管路131和气源20，其中，单向导通组件包括单向导通腔体101和密封部件102，单向导通腔体101具有进入口103和排出口104；密封部件102位于单向导通腔体101内；气动部件的驱动端与密封部件102连接，用于驱动密封部件102在单向导通腔体101内沿进入口103的轴向升降，以密封或者打开进入口103；气源20通过第一进气管路131与气动部件连通，气源20用于向驱动端提供驱动力；调气组件包括调压阀111，调压阀111设置于第一进气管路131上，并位于气动部件和气源20之间，用于通过调节调压阀111的气压，来调整密封部件102对进入口103的压力。

本实施例提供的单向导通控制装置1，通过气源20向气动部件的驱动端提供驱动力，以借助气动部件的驱动端驱动密封部件102在单向导通腔体101内沿单向导通腔体101的进入口103的轴向升降，使密封部件102密封或者打开进入口103，并由于气动部件的驱动端能够在气源20向其提供的驱动力，即，其对密封部件102施加的驱动力小于流入进入口103的流体对密封部件102施加的压力时，使密封部件102在流入进入口103的流体的压力作用下在单向导通腔体101内沿进入口103的轴向移动，以使密封部件102打开进入口103，从而实现单向导通组件的单向导通能力，本实施例提供的单向导通控制装置1，通过调节设置于第一进气管路131上，并位于气动部件和气源20之间的调压阀111的气压，来调整气动部件的驱动端对密封部件102施加的驱动力，以调整密封部件102对进入口103的压力，从而能够对单向导通组件的单向导通的压力进行调节，进而降低选型难度，不会因部件自身重力影响压力精度，提高通用性和使用灵活性。

气动部件是通过气体的压强或膨胀产生的力来做功的部件，气源20能够提供气体，气源20提供的气体通过第一进气管路131被输送至气动部件，使气源20能够向气动部件的驱动端提供驱动力，气动部件在气体的压力下，气动部件的驱动端能够驱动密封部件102在单向导通腔体101内沿进入口103的轴向升降，以密封或者打开进入口103，通过调节调压阀111的气压，来调整通过第一进气管路131的气体的压力，以调整气动部件受到的气体的压力，从而调整气动部件的驱动端驱动密封部件102的驱动力，进而调整密封部件102对进入口103的压力，随着密封部件102对进入口103的压力减小，密封部件102在受到更小的流入进入口103的流体的压力时，就能够在单向导通腔体101内沿进入口103的轴向移动使进入口103打开，随着密封部件102对进入口103的压力增大，密封部件102需要在受到更大的流入进入口103的流体的压力时，才能够在单向导通腔体101内沿进入口103的轴向移动使进入口103打开，从而能够对单向导通组件的单向导通的压力进行调节，进而降低选型难度，提高通用性和使用灵活性。

可选的，气源20提供的气体可以为空气。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，密封部件102可以包括密封膜片，密封膜片能够遮挡进入口103，并与进入口103的端面相抵。

如图1所示，进入口103位于单向导通腔体101的底部，排出口104位于单向导通腔体101的侧部，当气动部件的驱动端驱动密封膜片在单向导通腔体101内沿进入口103的轴向下降，使密封膜片与进入口103的端面相抵时，由于密封膜片能够遮挡进入口103，因此，流入进入口103的流体无法进入单向导通腔体101内，并且，由于密封膜片与进入口103的端面相抵(如图1中密封部件102处于位置A所示)，因此，流入排出口104的流体无法使密封膜片与进入口103分离，从而通过密封部件102密封进入口，实现单向导通组件无法导通流体。当流入进入口103的流体对密封膜片施加的压力大于气动部件的驱动端对密封膜片的驱动力时，密封膜片在流体的压力作用力下在单向导通腔体101内上升，与进入口103之间出现间隙(如图1中密封部件102处于位置B所示)，此时，流入进入口103的流体可以进入单向导通腔体101内，并能够从单向导通腔体101上的排出口104排出，从而通过密封部件102打开进入口103，实现单向导通组件可以导通流体。由于进入口103与排出口104仅能够在流入进入口103的流体对密封部件102施加的压力大于气动部件的驱动端对密封部件102施加的驱动力时才能够连通，因此，单向导通组件具有单向导通的能力。

但是，进入口103和排出口104在单向导通腔体101上的位置并不以此为限，密封部件102使进入口103与排出口104连通或者断开的形式并不以此为限，例如，进入口103也可以位于单向导通腔体101的顶部，排出口104也可以位于单向导通腔体101的底部，此时，气动部件的驱动端驱动密封膜片在单向导通腔体101内沿进入口103的轴向上升，则会密封进入口103，气动部件的驱动端驱动密封膜片在单向导通腔体101内沿进入口103的轴向下降，则会打开进入口103。另外，密封部件102的类型并不以此为限。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，气动部件可以包括活塞腔体121、活塞122和活塞杆123，其中，活塞122可移动的设置在活塞腔体121中，活塞杆123与活塞122连接，活塞杆123为驱动端，活塞杆123贯穿活塞腔体121和单向导通腔体101与密封部件102连接，且与单向导通腔体101之间密封；活塞腔体121上设置有进气口(图中未示出)，进气口与第一进气管路131连通；气源20通过进气口向活塞腔体121内通入气体，来控制活塞122移动。

活塞腔体121上的进气口与第一进气管路131连通，气源20提供的气体可以通过第一进气管路131被输送至进气口，并通过进气口被通入至活塞腔体121内，气体进入活塞腔体121内后，可以推动活塞122在活塞腔体121中移动，以通过活塞122带动与活塞122连接的活塞杆123在活塞腔体121中移动，由于活塞杆123作为驱动端，贯穿活塞腔体121和单向导通腔体101与密封部件102连接，从而通过活塞杆123可以带动密封部件102在单向导通腔体101内移动，并且，由于活塞杆123贯穿活塞腔体121和单向导通腔体，因此，通过将活塞杆123与单向导通腔体101之间密封，可以避免进入单向导通腔体101中的流体从活塞杆123与单向导通腔体101之间流出，提高单向导通控制装置1的使用稳定性。

可选的，气动部件可以包括气缸。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，活塞杆123与单向导通腔体101之间可以设置有密封圈19，密封圈19用于对活塞杆123与单向导通腔体101之间进行密封，以借助密封圈19实现活塞杆123与单向导通腔体101之间的密封。

可选的，密封圈19可以包括星型密封圈19。由于活塞杆123会相对于单向导通腔体移动，而星型密封圈19的截面为非圆型截面，这样可以避免星型密封圈19在往复运动中发生滚动，从而提高对动密封的密封稳定性，进而提高对活塞杆123与单向导通腔体101之间的密封稳定性。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，活塞腔体121上可以还设有排气口(图中未示出)，进气口和排气口位于活塞122行程的两端；单向导通控制装置1可以还包括第二进气管路132；调气组件可以还包括切换阀112，切换阀112分别通过第一进气管路131和第二进气管路132与活塞腔体121连通；气源20与切换阀112连通，切换阀112通过切换气源20与第一进气管路131连通或气源20与第二进气管路132连通，来控制驱动端升降。

如图1所示，第二进气管路132与排出口连通，以通过排出口与活塞腔体121连通，活塞122可以在活塞腔体121中升降，进气口和排气口位于活塞122行程的两端，当切换阀112切换气源20与第一进气管路131连通时，气源20提供的气体通过第一进气管路131和进气口进入活塞腔体121内位于活塞122上方的空间内，此时，活塞122在气体的压力下会下降，即朝靠近排气口移动，以带动作为驱动端的活塞杆123下降，而活塞腔体121中位于活塞122下方空间内的气体会被活塞122压缩，这些被活塞122压缩的气体会从排气口排出，避免活塞腔体121中的气体对活塞122的下降造成干涉，导致活塞122无法移动，当切换阀112切换气源20与第二进气管路132连通时，气源20提供的气体通过第二进气管路132和排气口进入活塞腔体121内位于活塞122下方的空间内，此时，活塞122在气体的压力下会上升，即朝靠近进气口移动，以带动作为驱动端的活塞杆123上升，而活塞腔体121中位于活塞122上方空间内的气体会被活塞122压缩，这些被活塞122压缩的气体会从进气口排出，避免活塞腔体121中的气体对活塞122的上升造成干涉，导致活塞122无法移动。

并且，切换阀112切换气源20与第二进气管路132连通时，由于活塞122在气体的压力下会上升，这样可以使密封部件102打开进入口103，并使进入口103处于常开状态，从而使单向导通组件处于常导通状态，以能够使大量的流体通过单向导通腔体101，使大量的流体经过单向导通组件排出。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，单向导通控制装置1可以还包括稳压部件，稳压部件设置在第一进气管路131上，且位于调压阀111和气动部件之间，用于稳定流经第一进气管路131向气动部件输送的气体的压力。借助稳压部件稳定流经第一进气管路131向气动部件输送的气体的压力，可以使气动部件的驱动端能够对密封部件102施加稳定的驱动力，以提高密封部件102在单向导通腔体101内沿进入口103的轴向升降的稳定性，从而提供单向导通控制装置1的使用稳定性。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，稳压部件可以包括稳压腔室141，稳压腔室141供气体通过的径向尺寸大于第一进气管路131供气体通过的径向尺寸。

由于稳压腔室141供气体通过的径向尺寸大于第一进气管路131供气体通过的径向尺寸，因此，当气体流经第一进气管路131流入稳压腔室141内时，气体会在稳压腔室141内扩散，这样可以使气体的流速降低，以提高气体流动的稳定性，从而稳定气体的压力，压力稳定后的气体在流经稳压腔室141后，再流入第一进气管路131，并在流经第一进气管路131后，再流入至气动部件，从而使流经第一进气管路131向气动部件输送的气体的压力得到稳定。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，单向导通控制装置1可以还包括测压部件18，测压部件18与第一进气管路131连通，用于对流经第一进气管路131的气体的压力进行检测。借助测压部件18可以便于检测流经第一进气管路131的气体的压力，从而便于通过调压阀111对流经第一进气管路131的气体的压力进行调节。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，测压部件18可以设置在稳压腔室141上，以通过稳压腔室141与第一进气管路131连通，并且稳压腔室141的压力较稳定，因此，通过检测稳压腔室141中气体的压力，可以提高对气体的压力检测的准确性。

可选的，测压部件18可以包括压力表。

在本发明一优选实施例中，稳压部件可以包括排气节流阀142，排气节流阀142位于第一进气管路131上，且位于气动部件和稳压腔室141之间；和/或排气节流阀142位于第二进气管路132上。

如图1所示，第一进气管路131上和第二进气管路132上分别设置有排气节流阀142，设置在第一进气管路131上的排气节流阀142位于气动部件和稳压腔室141之间。但是，排气节流阀142的设置方式并不以此为限，也可以仅在第一进气管路131上设置排气节流阀142，或者仅在第二进气管路132上设置排气节流阀142。

设置在第一进气管路131上的排气节流阀142，用于对流经第一进气管路131的气体的流量进行调节，当第二进气管路132与气源20连通，活塞122在活塞腔体121中上升时，活塞腔体121中受到活塞122压缩的气体会从进气口和第一进气管路131排出，通过在第一进气管路131上设置排气节流阀142，并借助排气节流阀142对流经第一进气管路131的气体的流量进行调节，以对活塞腔体121中受到活塞122压缩而从进气口排出至第一进气管路131中的气体的流量进行调节，以使活塞122在活塞腔体121中的移动受到阻力，从而避免活塞122在活塞腔体121中移动时产生爬行现象，以使与活塞122连接的作为驱动端的活塞杆123能够稳定的在活塞腔体121中移动，进而提高与活塞杆123连接的密封部件102在单向导通腔体101内升降的稳定性。

设置在第二进气管路132上的排气节流阀142，用于对流经第二进气管路132的气体的流量进行调节，当第一进气管路131与气源20连通，活塞122在活塞腔体121中下降时，活塞腔体121中受到活塞122压缩的气体会从排气口和第二进气管路132排出，通过在第二进气管路132上设置排气节流阀142，并借助排气节流阀142对流经第二进气管路132的气体的流量进行调节，以对活塞腔体121中受到活塞122压缩而从排气口排出至第二进气管路132中的气体的流量进行调节，以使活塞122在活塞腔体121中的移动受到阻力，从而避免活塞122在活塞腔体121中移动时产生爬行现象，以使与活塞122连接的作为驱动端的活塞杆123能够稳定的在活塞腔体121中移动，进而提高与活塞杆123连接的密封部件102在单向导通腔体101内升降的稳定性。

爬行现象是指在滑动摩擦副中从动件在匀速驱动和一定摩擦条件下产生的周期性时停时走或时慢时快的运动现象。在本发明实施例中爬行现象是指由于活塞122与活塞腔体121的内壁之间存在摩擦力，且活塞122在活塞腔体121中移动时，活塞122与活塞腔体121的内壁之间的摩擦力会发生变化，而当气体施加向活塞122的力与活塞122与活塞腔体121的内壁之间的摩擦力相等时，活塞122会断断续续的在活塞腔体121中移动的现象，而通过对流经第一进气管路131和流经第二进气管路132中的，受到活塞122压缩的活塞腔体121中的气体的流量进行调节，可以增加活塞122在活塞腔体121中移动受到的阻尼，从而降低爬行现象的发生，以使活塞122能够稳定的在活塞腔体121中移动，进而提高密封部件102在单向导通腔体101中移动的稳定性。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，切换阀112可以为三位五通中封式电磁阀，切换阀112具有第一输气口1121、第二输气口1122、大气接气口1123和气源接气口1124，第一输气口1121和第一进气管路131连接，第二输气口1122和第二进气管路132连接，气源接气口1124与气源20连接，大气接气口1123用于连通大气；切换阀112用于控制第一进气管路131与气源20连通，且第二进气管路132通过大气接气口1123与大气连通；或者，切换阀112用于控制第二进气管路132与气源20连通，第一进气管路131通过大气接气口1123与大气连通；切换阀112在其无法进行控制时，维持当前管路连通状态。

借助切换阀112控制第一输气口1121与气源接气口1124连通，且第二输气口1122与大气接气口1123连通，以控制第一进气管路131与气源20连通，且第二进气管路132通过大气接气口1123与大气连通，借助切换阀112控制第二输气口1122与气源接气口1124连通，且第一输气口1121与大气接气口1123连通，以控制第二进气管路132与气源20连通，且第一进气管路131通过大气接气口1123与大气连通，从而实现切换阀112切换气源20与第一进气管路131连通或第二进气管路132连通。

切换阀112在控制第一进气管路131与气源20连通，且第二进气管路132通过大气接气口1123与大气连通时，气源20提供的气体能够通过第一进气管路131对活塞122施加压力，使活塞杆123在活塞腔体121中下降，以使密封部件102在单向导通腔体101内下降密封进入口103，并使活塞腔体121中被活塞122压缩的气体依次经过排气口、第二进气管路132和大气接气口1123排出至大气，切换阀112在控制第二进气管路132与气源20连通，且第一进气管路131通过大气接气口1123与大气连通时，气源20提供的气体能够通过第二进气管路132对活塞122施加压力，使活塞杆123在活塞腔体121中上升，以使密封部件102在单向导通腔体101内上升打开进入口103，并使活塞腔体121中被活塞122压缩的气体依次经过进气口、第一进气管路131和大气接气口1123排出至大气。

在切换阀112无法进行控制时，可以维持当前管路连通状态，例如，当切换阀112控制第一进气管路131与气源20连通，且第二进气管路132通过大气接气口1123与大气连通时，若切换阀112发生特殊状况无法继续进行控制时，切换阀112会维持第一进气管路131与气源20连通，且第二进气管路132通过大气接气口1123与大气连通。当切换阀112控制第二进气管路132与气源20连通，且第一进气管路131通过大气接气口1123与大气连通时，若切换阀112发生特殊状况无法继续进行控制时，切换阀112会维持第二进气管路132与气源20连通，且第一进气管路131通过大气接气口1123与大气连通，这样可以在发生断电等意外情况导致切换阀112无法进行控制时，保持气动部件的驱动端对密封部件102的驱动力，避免单向导通控制装置1的异常导通或断开。

在本发明一优选实施例中，切换阀112可以包括切换腔室151、第一电磁驱动部件152、第二电磁驱动部件153和磁动芯(图中未示出)，第一输气口1121、第二输气口1122、大气接气口1123和气源接气口1124均可以在切换腔室151内连通，以使切换腔室151能够分别与第一进气管路131、第二进气管路132、大气和气源20连通；磁动芯可移动的设置在切换腔室151中；第一电磁驱动部件152在通电时，用于驱动磁动芯在切换腔室151中移动，使第一输气口1121与气源接气口1124连通，且第二进气管路132通过大气接气口1123与大气连通，第二电磁驱动部件153在通电时，用于驱动磁动芯在切换腔室151中移动，使第二进气管路132与气源20连通，且第一进气管路131通过大气接气口1123与大气连通；磁动芯在第一电磁驱动部件152和第二电磁驱动部件153均不通电时，保持当前位置以维持当前管路连通状态。

具体的，当第一电磁驱动部件152通电时，第一电磁驱动部件152产生的磁场可以驱动磁动芯在切换腔室151中移动，使第一输气口1121与气源接气口1124连通，且第二进气管路132通过大气接气口1123与大气连通。当第二电磁驱动部件153通电时，第二电磁驱动部件153产生的磁场可以驱动磁动芯在切换腔室151中移动，使第二进气管路132与气源20连通，且第一进气管路131通过大气接气口1123与大气连通。当第一电磁驱动部件152和第二电磁驱动部件153均不通电时，磁动芯在切换腔室151中保持当前位置以维持当前管路连通状态。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，大气接气口1123的数量可以为两个，两个大气接气口1123分别对应与第一输气口1121和第二输气口1122通断配合，且大气接气口1123上设有消音部件17。

如图1所示，位于上方的大气接气口1123对应与第一输气口1121通断配合，位于下方的大气接气口1123对应与第二输气口1122通断配合，当切换阀112控制第二进气管路132通过大气接气口1123与大气连通时，则为控制第二进气管路132与位于下方的大气接气口1123连通，当切换阀112控制第一进气管路131通过大气接气口1123与大气连通时，则为控制第一进气管路131与位于上方的大气接气口1123连通。但是，两个大气接气口1123分别对应与第一输气口1121和第二输气口1122通断配合的方式并不以此为限，也可以是位于上方的大气接气口1123对应与第二输气口1122通断配合，位于下方的大气接气口1123对应与第一输气口1121通断配合。

借助设置在大气接气口1123上的消音部件17，可以降低大气接气口1123排气的声音。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，单向导通控制装置1可以还包括手阀161，其中，气源20通过手阀161与切换阀112连通，用于打开或关闭气源20的供给。通过打开手阀161，可以打开气源20的供给，使气源20提供的气体能够通至切换阀112中，通过关闭手阀161，可以关闭气源20的供给，使气源20提供的气体无法通至切换阀112中，这样可以提高单向导通控制装置1的使用灵活性。

如图2所示，本发明实施例提供的单向导通控制装置1可以用于工艺腔室21的排气管道22中，单向导通腔体101的进入口103可以通过排气管道22与工艺腔室21的排气口连通，单向导通腔体101的排出口104可以通过排气管道22与半导体厂厂务的净化设备23连通，以对工艺腔室21的排气进行单向导通控制，即，仅能够使工艺腔室21中的气体通过排气管道22排放至净化设备23中，而避免净化设备23中的气体通过排气管道22排放至工艺腔室21中，从而提高半导体工艺的稳定性。

本发明实施例提供的单向导通控制装置1在首次使用之前可以进行调试，可选的，调试步骤可以如下：

首先可以打开手阀161，使气源20提供的气体能够输送至切换阀112中，并通过切换阀112控制使第一进气管路131与气源20连通，且第二进气管路132通过大气接气口1123与大气连通，以使气动部件对密封部件102具有驱动力，之后可以通过调节调压阀111对流经第一进气管路131的气体的压力进行调节，将气动部件对密封部件102施加的驱动力，使密封部件102在单向导通腔体101中升降至密封进入口103，之后可以观察测压部件18检测到的流经第一进气管路131的气体的压力，即，气动部件对密封部件102施加的驱动力是否满足工艺要求，若没有满足工艺要求，则通过调节调压阀111再次对流经第一进气管路131的气体的压力进行调节，直至测压部件18检测到的流经第一进气管路131的气体的压力满足工艺要求，若满足工艺要求，则可以通过切换阀112在控制第一进气管路131与气源20连通，且第二进气管路132通过大气接气口1123与大气连通，与控制第一进气管路131通过大气接气口1123与大气连通，且第二进气管路132与气源20连通之间切换，以检测活塞122是否能够顺畅的在活塞腔体121中移动，即，无爬行现象，若活塞122无法顺畅的在活塞腔体121中移动，则通过排气节流阀142对流经第二进气管路132的气体的流量和流经第一进气管路131的气体的流量进行调节，直至活塞122能够顺畅的在活塞腔体121中移动，若活塞122能够顺畅的在活塞腔体121中移动，则关闭切换阀112，单向导通控制装置1的调试结束。

综上所述，本发明实施例提供的单向导通控制装置1，其能够对单向导通的压力进行调节，以降低选型难度，不会因部件自身重力影响压力精度，提高了通用性和使用灵活性。

可以解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种单向导通控制装置，其特征在于，包括单向导通组件、气动部件、调气组件、第一进气管路和气源，其中，所述单向导通组件包括单向导通腔体和密封部件，所述单向导通腔体具有进入口和排出口；所述密封部件位于所述单向导通腔体内；

所述气动部件的驱动端与所述密封部件连接，用于驱动所述密封部件在所述单向导通腔体内沿所述进入口的轴向升降，以密封或者打开所述进入口；

所述气源通过所述第一进气管路与所述气动部件连通，所述气源用于向所述驱动端提供驱动力；

所述调气组件包括调压阀，所述调压阀设置于所述第一进气管路上，并位于所述气动部件和所述气源之间，用于通过调节所述调压阀的气压，来调整所述密封部件对所述进入口的压力。

2.根据权利要求1所述的单向导通控制装置，其特征在于，所述气动部件包括活塞腔体、活塞和活塞杆，其中，所述活塞可移动的设置在所述活塞腔体中，所述活塞杆与所述活塞连接，所述活塞杆为所述驱动端，所述活塞杆贯穿所述活塞腔体和所述单向导通腔体与所述密封部件连接，且与所述单向导通腔体之间密封；所述活塞腔体上设置有进气口，所述进气口与所述第一进气管路连通；所述气源通过所述进气口向所述活塞腔体内通入气体，来控制所述活塞移动。

3.根据权利要求2所述的单向导通控制装置，其特征在于，所述活塞腔体上还设有排气口，所述进气口和所述排气口位于所述活塞行程的两端；

所述单向导通控制装置还包括第二进气管路；

所述调气组件还包括切换阀，所述切换阀分别通过所述第一进气管路和所述第二进气管路与所述活塞腔体连通；

所述气源与所述切换阀连通，所述切换阀通过切换所述气源与所述第一进气管路连通或所述气源与所述第二进气管路连通，来控制所述驱动端升降。

4.根据权利要求3所述的单向导通控制装置，其特征在于，所述单向导通控制装置还包括稳压部件，所述稳压部件设置在所述第一进气管路上，且位于所述调压阀和所述气动部件之间，用于稳定流经所述第一进气管路向所述气动部件输送的气体的压力。

5.根据权利要求4所述的单向导通控制装置，其特征在于，所述稳压部件包括稳压腔室，所述稳压腔室供气体通过的径向尺寸大于所述第一进气管路供气体通过的径向尺寸。

6.根据权利要求5所述的单向导通控制装置，其特征在于，所述稳压部件包括排气节流阀，所述排气节流阀位于所述第一进气管路上，且位于所述气动部件和所述稳压腔室之间；和/或

所述排气节流阀位于所述第二进气管路上。

7.根据权利要求3所述的单向导通控制装置，其特征在于，所述切换阀为三位五通中封式电磁阀，所述切换阀具有第一输气口、第二输气口、大气接气口和气源接气口，所述第一输气口和所述第一进气管路连接，所述第二输气口和所述第二进气管路连接，所述气源接气口与所述气源连接，所述大气接气口用于连通大气；

所述切换阀用于控制所述第一进气管路与所述气源连通，且所述第二进气管路通过所述大气接气口与大气连通；或者，所述切换阀用于控制所述第二进气管路与所述气源连通，所述第一进气管路通过所述大气接气口与大气连通；

所述切换阀在其无法进行控制时，维持当前管路连通状态。

8.根据权利要求7所述的单向导通控制装置，其特征在于，所述大气接气口的数量为两个，两个所述大气接气口分别对应与所述第一输气口和所述第二输气口通断配合，且所述大气接气口上设有消音部件。

9.根据权利要求3所述的单向导通控制装置，其特征在于，所述单向导通控制装置还包括手阀，所述气源通过所述手阀与所述切换阀连通，用于打开或关闭所述气源的供给。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的单向导通控制装置，其特征在于，所述密封部件包括密封膜片，所述密封膜片能够遮挡所述进入口，并与所述进入口的端面相抵。

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