JPH026670Y2 - - Google Patents

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JPH026670Y2
JPH026670Y2 JP1987094554U JP9455487U JPH026670Y2 JP H026670 Y2 JPH026670 Y2 JP H026670Y2 JP 1987094554 U JP1987094554 U JP 1987094554U JP 9455487 U JP9455487 U JP 9455487U JP H026670 Y2 JPH026670 Y2 JP H026670Y2
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14502Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
    • H03H9/14514Broad band transducers
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    • H03H9/14505Unidirectional SAW transducers

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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は音響表面弾性波デバイスに関する。
〔従来の技術〕
所定の振幅周波数特性F0および所定の中央周
波数0を有し、圧電気基板上に少なくとも2個の
インターデイジタル構造部が入力変換器および出
力変換器として設けられ、共振器の場合には選択
的波反射器対として設けられ、少なくとも一方の
インターデイジタル構造部は中心周波数1と広帯
域の振幅周波数特性F1を有し、少なくとも他方
のインターデイジタル構造部は中心周波数20
と振幅周波数特性F1に比較して狭帯域の振幅周
波数特性F2≒F0を有する音響表面弾性波デバイ
スは知られている。
このような音響表面弾性波デバイスは、フイル
タ中で一方向に伝搬する波を持つ遅延装置、或は
音響波を内部に持つ共振器であり得る。
例えば“Electronics Letters”1973年、9巻、
195〜197ページ、特に第2図により公知の98MHz
発振器においては、本考案で取り扱うデバイスを
含んでいる。このデバイスは長さr・λを持つ比
較的広帯域のインターデイジタル構造部(rはイ
ンターデイジタル構造部を形成するインターデイ
ジタル条片(フインガ)の対数、λは波長)と、
それに比較して狭帯域で長さP・λを持つインタ
ーデイジタル構造部(rはインターデイジタル構
造部を形成するインターデイジタル条片(フイン
ガ)の対数、λは波長)とを含んでいる。なおこ
の狭帯域のインターデイジタル構造部はその長手
方向に見ていくつかのセクシヨンに分け、各セク
シヨンの一部にまとめて所定のインターデイジタ
ル条片(フインガ)を設け、セクシヨン間にイン
ターデイジタル条片のない部分が存在する。これ
はインターデイジタル構造部の全長にわたつてイ
ンターデイジタル条片を設けることは狭帯域性に
対して一方では必要とされず、他方においてデバ
イスの大きな挿入減衰を伴うからである。両イン
ターデイジタル構造部は、所定の同じ中間周波数
0を有する。(変換器)インターデイジタル構造
部がインターデイジタル条片により完全には満た
されない、すなわちその全長にわたつてインター
デイジタル条片が設けられていない理由は、デバ
イスのインターデイジタル構造部における反射に
よる信号妨害を少なくすることである。かかる反
射は、例えば上記の狭帯域のインターデイジタル
構造部p・λから逆方向に反射により出る波に基
づくもので、この波は上記の広帯域のインターデ
イジタル構造部r・λに当り、この構造部のイン
ターデイジタル条片において再び反射され、遅延
された信号として再び狭帯域の構造部に到達す
る。そこで現われた信号は関連して、“トリプル
トランジツト(triple transit)”信号と呼ばれ
る。このような妨害信号の出現は、デバイスの振
幅特性曲線F0中にいわゆる“リツプル”を導く。
変換器構造部を完全には満たさない上記の手段
のほかに、更に種々の手段が既に提案され、或は
インターデイジタル構造部における望ましくない
多重反射に基き現われる(トリプルトランジツ
ト)信号を抑圧することが行われている。例えば
一方の構造部のインターデイジタル条片を、それ
ぞれ2個の電気的に互に接続され、それぞれ半分
の幅を持つ並列条片(分割フインガ)に分割する
手段が使用されている。しかしインターデイジタ
ル条片(或はフインガ)の最大の許容幅は、デバ
イスの所定の周波数或は帯域中心周波数0によつ
て決定されるので、“分割フインガ”原理の使用
は極めて狭いインターデイジタル条片を製作する
ことに関する厳しい要求に導き、或は当該のフイ
ルタの設計し得る最大周波数を1/2に下げること
になる。
〔考案が解決しようとする問題点〕
本考案の目的は、インターデイジタル構造部に
おける反射に基く信号の抑圧を技術的困難を増す
ことなしに実現でき、しかも実現可能な高い最大
周波数を変えることのない表面弾性波デバイスを
得ることにある。
〔問題点を解決するための手段〕
この目的は本考案によれば、所定の振幅周波数
特性F0と所定の中心周波数0とを有し、少なくと
も2つのインターデイジタル構造部を有する圧電
気基板を備え、少なくとも1つのインターデイジ
タル構造部は中心周波数1と広帯域の振幅周波数
特性F1とを有し、他の少なくとも1つのインタ
ーデイジタル構造部は中心周波数20と前記広
帯域の振幅周波数特性F1に対し狭帯域の振幅周
波数特性F20を有する表面弾性波デバイスにお
いて、広帯域のインターデイジタル構造部は狭帯
域のインターデイジタル構造部の少なくとも2倍
の帯域幅を有し、前記所定の中心周波数02
対し中心周波数112/1±1/2N1−1 の関係を有し、ここでN1は、所定の中心周波数
0において、広帯域のインターデイジタル構造部
の長手方向に入る表面弾性波の波長の数を表すこ
とによつて達成される。
本考案によれば上述の目的を達成し得るほか
に、インターデイジタル条片により充分に満たさ
れたインターデイジタル構造部においては、低度
の充填により多かれ少なかれ抑圧される妨害信号
が現われるというようなことなく、挿入減衰の最
小値が得られる。
本考案は、後に図について詳説するように、特
に広帯域のインターデイジタル構造部におけるイ
ンターデイジタル反射に基く妨害信号の振幅周波
数特性曲線FRが、その中心周波数の下方および
上方に零位置R1R2を持つという認識或は確認
から出発するものである。この零位置R1R2
は、広帯域の(変換器)インターデイジタル構造
部の振幅周波数特性曲線F1の主最大部の内部に
存在する。
本考案においては上述の認識から、広帯域の振
幅周波数特性曲線F1を有するインターデイジタ
ル構造部の中心周波数1を、周波数Δの値だけ、
予め与えられた中心周波数0、従つて狭帯域のイ
ンターデイジタル構造部の中心周波数2に対して
下記のようにシフトさせる、すなわち広帯域のイ
ンターデイジタル構造部の中心周波数1と周波数
的に結合された両零位置の一方R1或はR2を、デ
バイスの周波数値0と少なくとも充分に一致する
ようにシフトさせるものである。本考案によれ
ば、狭帯域の構造部の少なくとも2倍だけ、特に
少なくとも5倍だけ対応して縮小された帯域幅
は、妨害信号FRの内、せいぜい極く僅かな振幅
成分のみが本考案によるデバイスの伝送帯域F0
中に含まれるだけであることを保証する。
〔実施例〕
次に本考案を図面に示す実施例について説明す
る。第1の実施例は狭帯域の遅延線として構成さ
れた本考案によるデバイスを、第2の実施例は共
振器としての本考案によるデバイスを示す。
第1図は本考案の遅延線の構成を示し、遅延線
11は例えば入力変換器としての第1のインター
デイジタル構造部12、および出力変換器として
の第2のインターデイジタル構造部13を有す
る。これら両インターデイジタル構造部12,1
3は、例えば水晶或はリチウムニオブ酸塩から成
る圧電気基板14上に存在する。インターデイジ
タル構造部13はその長さp・λに基き、中心周
波数2の比較的狭い周波数帯域すなわち狭い周波
数特性曲線F2を有する。インターデイジタル構
造部12,13の個々のインターデイジタル条片
(或はフインガ)は、図には単に線17として示
してある。実際にはこれら条片は、ほぼ500MHz
の最大周波数に対し2μmの幅を持つている。
個々のインターデイジタル条片17の長さは、伝
送されるべき信号出力によつて決定され、例えば
1mmであり得る。インターデイジタル構造部1
2,13としての構成に対応して、インターデイ
ジタル条片17はそれぞれ交互に接続ブリツジ1
21,122或は131,132により電気的に
接続されている。
第1図は本考案の実施例の重要な部分のみを示
すもので、それに加えてなお接続ブリツジと接続
されるべき端子線、基板端に設けられた音響だ
め、その他の図示しない個々の部分を追加するこ
とができる。
仮定としてインターデイジタル構造部12を入
力変換器として使用する場合、その内部で基板1
4において圧電的に発生された音響表面波(波線
15で表わす)は、矢印方向16に出力変換器の
インターデイジタル構造部13の領域に伝搬さ
れ、そこで再び圧電的に電気信号波に逆変換され
る。
第4図は従来技術によるデバイスの振幅周波数
特性のダイヤフラムで、横軸には周波数、縦軸に
は振幅をとり、さらに具体的には広帯域のインタ
ーデイジタル構造部12に対する振幅周波数特性
曲線F1、および広帯域のインターデイジタル構
造部12におけるインターデイジタル反射の信号
(トリプルトランジツト信号、TTS)に対する振
幅周波数特性曲線FR(これについては後にさらに
詳説する)がとられている。振幅周波数特性曲線
F1およびF2の相互の周波数的の関係は、狭帯域
のインターデイジタル構造部13の中心周波数2
は、広帯域のインターデイジタル構造部12の中
心周波数1に少なくともほぼ一致する。その結果
生じる全振幅周波数特性曲線は、両振幅周波数特
性曲線F1およびF2の相互の乗算に基き(ここで
適切な考察に対し充分な精度でもつて、かつ振幅
周波数特性曲線F1の主最大値以内において)、狭
帯域のインターデイジタル構造部の振幅周波数特
性曲線F2にほぼ対応する。従つて全遅延線11
の中心周波数0は振幅周波数特性曲線F2の中心周
波数2にほぼ等しい。振幅周波数特性曲線F1中に
示したリツプル21は、インターデイジタル反射
の信号FR(TTS−信号)との重ね合わせに起因す
る。遅延線11の全振幅周波数特性曲線F0はこ
のようにして、振幅周波数特性曲線F2中に22
の破線で示すような妨害作用を持つ。デバイスの
周波数に関する希望される直線性の位相特性は、
それに応じて擾乱を受ける。
既に述べたように、(変換器)インターデイジ
タル構造部12におけるインターデイジタル反射
の信号の、ここで切り離して考察された振幅周波
数特性曲線FRに対し、FRで示される経過が与え
られる。2つの第1の最小値FR1R2は、広帯域
のインターデイジタル構造部の振幅周波数特性曲
線F1の主最大部23内に存在することが認めら
れる。図に示すように、最小値R1およびR2は、
いずれも振幅周波数特性曲線F1の中心周波数1
この振幅周波数特性曲線F1の各第1の零位置と
の間の半分の間隔にある。広帯域のインターデイ
ジタル構造部12の振幅周波数特性曲線F1は、
この周波数値R1R2において、狭帯域のインタ
ーデイジタル構造部13の振幅周波数特性曲線
F2の帯域幅に比較して、すなわち用途にとつて
重要であるように、帯域比が少なくとも2:1、
特に5:1以上であるときは、なお著しい降下部
を持たない。
次に第2図により本考案を説明する。第3図に
おいて、零位置R1R2を有し、広帯域のインタ
ーデイジタル構造部におけるインターデイジタル
反射の信号の振幅周波数特性曲線を同様にFR
よつて示す。振幅周波数特性曲線F1は、第4図
の従来技術に対して示したが本考案によつて除去
されたリツプル21無しに示してある。本考案に
よつて設けられた周波数シフトΔに対応して、
狭帯域のインターデイジタル構造部13の振幅周
波数特性曲線(実線で示す)F2(≒F0)が、その
中心周波数2を周波数R1に置くように画いてあ
る。等価な解決法として、破線の曲線により、中
心周波数2′を周波数R2に持つ振幅周波数特性曲
線F2′が示されている。両解決法に対し、振幅周
波数特性曲線FRの一方の零位置が狭帯域のイン
ターデイジタル構造部の中心周波数22′)と一
致し、更に振幅周波数特性曲線F1は狭帯域のイ
ンターデイジタル構造部13の振幅周波数特性曲
線F2の主最大部の帯域にわたつて著しい振幅低
下部を持たないので、全振幅周波数特性曲線F0
において本考案の基礎にある課題に対応して、第
4図の振幅周波数特性曲線F2の最大値において
破線22で示すような振幅妨害はもはや現われな
い。振幅周波数特性曲線F0は主最大値に対し、
狭帯域のインターデイジタル構造部13の振幅周
波数特性曲線F2の定量的変化に対応する。副最
大値は、中心周波数2に対する振幅周波数特性曲
線F1の非対称変化に基き、著しい非対称減衰を
持たない。
従つて本考案においては、現象学的に、狭帯域
のインターデイジタル構造部13から出る音波が
広帯域のインターデイジタル構造部12において
反射するのを決定的に阻止することができるもの
で、従つて妨害になるトリプルトランジツト信号
はもはや現われない。
第3図は本考案の共振器としての実施例を示
す。共振器40は構造部41および141並びに
構造部42および43を有し、これらの構造部の
インターデイジタル条片は、同様に圧電気基板4
4上に存在する。インターデイジタル構造部42
は入力変換器、インターデイジタル構造部43は
出力変換器であると仮定する。第1図の実施例と
同じように、この場合も入力変換器および出力変
換器は交換することができる。さらに第3図の共
振器においては、同じ構造部42または43が、
入力変換器並びに出力変換器であり得る。このこ
とは主として共振器の周辺接続の問題である。
第3図に示すインターデイジタル構造部41お
よび141は、一緒に反射器対を形成し、この反
射器対はこの共振器の15で示す音波に対して音
響共鳴器を画成する。これら両構造部41および
141の間に定在音響波が形成され、それを両方
向矢印46により示す。公知のように、共鳴器中
に存在する波の波長、すなわち共鳴器の共鳴周波
数に対応する波長の大きさは、両反射器構造部4
1および141の条片の周期性の選定、および両
構造部41,141相互の間隔から与えられる。
この間隔は両構造部41,141の反射の良度の
大きさとともに、これら構造部41,141から
形成された受動共鳴器空洞の良度の大きさに対し
ても決定的である。この良度の逆値は、反射器対
の良インターデイジタル構造部41,141から
形成された全インターデイジタル構造部の振幅周
波数特性曲線F2の比帯域幅に対する尺度である。
特に一般に構造部の残余部分の寸法に比較して、
反射器を形成するインターデイジタル構造部4
1,141相互の間隔が大きいために、この反射
器対41,141は、この共鳴器の狭帯域の振幅
周波数特性曲線F2(および位相特性曲線)を持つ
構造部を形成する。換言すれば、共鳴器としての
本考案によるフイルタのこの構成において、2個
のインターデイジタル構造部41,141は総合
して、それぞれ多数のインターデイジタル条片か
ら成る単一のインターデイジタル構造部を、請求
の範囲の要旨で形成する。この共鳴器を形成する
構造部41,141は公知のように電気端子を必
要としない。従つてそれらの構造部は基板44の
表面に設けられた金属条片として構成されるのみ
ならず、基板内の対応する条片状の表面凹みもし
くは溝、または基板表面上の条片状の隆起によつ
ても実現することができる。
反射器対41,141のこの振幅周波数特性曲
線F2は中心周波数2を持つている。ここで反射器
対41,141は第1図の狭帯域のインターデイ
ジタル構造部13に対応する。第1図による遅延
線におけるように、この振幅周波数特性曲線F2
およびその中心周波数2は、入力変換器および
(または)出力変換器42および(または)43
に比較して、少なくとも2倍、特に少なくとも5
倍の狭い帯域幅のために、第3図の全共鳴器の帯
域幅F0および中心周波数0を決定する。
本考案に対し数学的に次式が与えられる。
10/1±1/2N1−1 ここで0はデバイスの所定の中心周波数であ
り、1は広帯幅のインターデイジタル構造部の本
考案により選定されるべき中心周波数である。こ
の公式にはなお、波伝搬方向16,46において
測定された、広帯域の(変換器)インターデイジ
タル構造部12の、或は第3図の共鳴器の実施例
において両構造部42,43の総合した全長lが
入る。すなわちN1はインターデイジタル構造部
の長手方向に入る表面弾性波の波長の数であるか
ら、波長をλとするとl=N1・λ/2である。
後者の場合、構造部42の左側の第1のインター
デイジタル条片から、構造部43の最後の右側の
インターデイジタル条片までの全長lが基礎にな
つている。何となればこれら両構造部42,43
は、除去されるべき妨害信号のインターデイジタ
ル反射FRに対し、一緒に単一の構造部のように
作用し、この単一構造部が両構造部42,43の
間の中間空間に対応してそこではインターデイジ
タル条片により完全には満たされないからであ
る。この長さに対し、このそれぞれの長さ寸法に
適合した表面波の音波長さの数N1が関係する。
両前置符号+および−に対し、本考案によるR1
から2に、およびR2から2へのシフトを得る。
本考案においては、本考案によらなければ現わ
れるインターデイジタル反射による妨害信号が除
去された後に、本考案により構成されたデバイス
において、それぞれの基板の左側或は右側の縁に
おける音波の希望しない反射による妨害信号が現
われる可能性がある。このような反射を除去する
ため、図から分かるように、基板をそれぞれの端
において傾斜して構成することが推奨される。こ
のことは特に遅延装置(第1図)について、通常
実際に行われる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案のデバイスの遅延線としての実
施例を示す図、第2図は第1図によるデバイスに
対する振幅周波数特性曲線のダイヤグラム、第3
図は本考案のデバイスの共振器としての実施例を
示す図、第4図は公知技術によるデバイスに対す
る振幅周波数特性曲線のダイヤグラムである。 11……遅延線、12,13……インターデイ
ジタル構造部、14……圧電気基板、15……波
線、16……波伝搬方向、17……インターデイ
ジタル条片、40……共鳴器、41,141……
インターデイジタル構造部(反射器対)、42,
43……インターデイジタル構造部、44……圧
電気基板、46……波伝搬方向、F0,F1,F2
FR……振幅周波数特性曲線、012……中心
周波数。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 所定の振幅周波数特性F0と所定の中心周波
    0とを有し、少なくとも2つのインターデイ
    ジタル構造部12,13,42,43,41,
    141を有する圧電気基板14,44を備え、
    少なくとも1つのインターデイジタル構造部1
    2,42,43は中心周波数1と広帯域の振幅
    周波数特性F1とを有し、他の少なくとも1つ
    のインターデイジタル構造部13,41,14
    1は中心周波数20と前記広帯域の振幅周波
    数特性F1に対し狭帯域の振幅周波数特性F2
    F0を有する表面弾性波デバイスにおいて、広
    帯域のインターデイジタル構造部12,42,
    43は狭帯域のインターデイジタル構造部1
    3,41,141の少なくとも2倍の帯域幅を
    有し、前記所定の中心周波数02に対し中心
    周波数112/1±1/2N1−1 の関係を有し、ここでN1は、所定の中心周波数
    0において、広帯域のインターデイジタル構造部
    12;42,43の長手方向に入る表面弾性波の
    波長の数を表すことを特徴とする表面弾性波デバ
    イス。 2 広帯域のインターデイジタル構造部12,4
    2,43の振幅周波数特性F1は、狭帯域のイ
    ンターデイジタル構造部13;41,141の
    振幅周波数特性F2より少なくとも5倍広帯域
    であることを特徴とする実用新案登録請求の範
    囲第1項記載の表面弾性波デバイス。 3 狭帯域のインターデイジタル構造部はインタ
    ーデイジタル条片17によつて構成されている
    ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1
    項または第2項記載の表面弾性波デバイス。 4 2つのインターデイジタル構造部12,13
    が設けられ、その一方は入力変換器であり、他
    方は出力変換器であることを特徴とする実用新
    案登録請求の範囲第1項ないし第3項のいずれ
    か1項に記載の表面弾性波デバイス。 5 狭帯域のインターデイジタル構造部が、それ
    ぞれインターデイジタル条片を有する反射器対
    41,141により形成され、共振器として用
    いられることを特徴とする実用新案登録請求の
    範囲第1項または第2項記載の表面弾性波デバ
    イス。 6 出力変換器、入力変換器が同一構造のインタ
    ーデイジタル構造部42,43で形成され、共
    振器として用いられることを特徴とする実用新
    案登録請求の範囲第5項記載の表面弾性波デバ
    イス。
JP1987094554U 1979-03-12 1987-06-19 Expired JPH026670Y2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2909705A DE2909705C2 (de) 1979-03-12 1979-03-12 Akustische Oberflächenwellenanordnung

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JPS6312931U JPS6312931U (ja) 1988-01-28
JPH026670Y2 true JPH026670Y2 (ja) 1990-02-19

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ID=6065190

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JP3021480A Pending JPS55130219A (en) 1979-03-12 1980-03-10 Surface elastic wave filter
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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3021480A Pending JPS55130219A (en) 1979-03-12 1980-03-10 Surface elastic wave filter

Country Status (11)

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US (1) US4325037A (ja)
EP (1) EP0016979B1 (ja)
JP (2) JPS55130219A (ja)
AT (1) ATE4077T1 (ja)
BR (1) BR8001429A (ja)
CA (1) CA1137183A (ja)
DE (1) DE2909705C2 (ja)
ES (1) ES489418A1 (ja)
HU (1) HU181685B (ja)
SU (1) SU1346060A3 (ja)
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