NO855285L - Filter som arbeider med akustiske boelger. - Google Patents

Description

Den foreliggende oppfinnelse befatter seg med å forbedre strukturen av et filter som arbeider med akustiske bølger som forplanter seg i et substrat i nærheten av dets overflate, som angitt i innledningen til patentkrav 1.

Et filter som det oppfinnelsen gjelder, kan drives

ikke bare med akustiske overflatebølger (Rayleigh- og Bleustein-bølger) i snever forstand, men også med Lamb-bølger, Love-bølger, Surface-Skimming-Bulk-bølger og lignende, som forplanter seg i et substrat i det minste i nærheten av overflaten. Hvilke slags bølger som blir frembragt i det enkelte tilfelle, avhenger av tiltak som fagfolk kjenner til, når det gjelder dimensjonering av omformerne og eventuelt også anisotropiske egenskaper hos substratet.

Overflatebølge-resonansfiltere i oppfinnelsens forstand har digitalstrukturer som er anordnet på et piezoelektrisk substrat, deriblant interdigital-strukturer og reflektorstrukturer som tjener som omformere. Interdigital-strukturer består av strimmelelektroder som er elektrisk tilsluttet avvekslende i nærheten av hverandre resp. forbundet med hverandre. Digitalstrukturen av en reflektor består av strimmelformede fingre, fingerstykker, dots eller lignende, som fortrinnsvis er metalliseringsstrimler påført substratet.

Anordning og dimensjonering av fingrene, strimlene

og lignende av det ene eller det annet slags strukturer retter seg etter de forhåndsgitte betingelser for det respektive filter. Prinsippene for dimensjonering og tilmåling av digitalstrukturene er kjent. I så måte kan der også henvises til DE-OS 29 09 705, US-PS 4 325 037, DE-OS 33 14 725.

For interdigital-strukturene er der anordnet samleskinner (bus bars) hvormed fingrene hos en og en fingerstruktur er forbundet med hverandre. Den ene fingerstruktur griper med disse fingre kamformig inn i en tilsvarende annen fingerstruktur og danner sammen med denne interdigital-strukturen. Til disse samleskinner som er anordnet langs siden av interdigitalstrukturen, slutter seg en og en (tilslutnings-) pad, som vanligvis har relativt stort areal. De tilførselslednings-tråder som behøves for den som omformer benyttede interdigital struktur, er tilsluttet disse pads, som er forbundet med den respekive samleskinne resp. inngår i denne.

Et slikt overflatebølgefilters kvalitet og yteevne avhenger bl.a. av eksakt utformning, plassering og skarp-kantet begrensning av de strimmelformede fingre hos vedkommende digitalstruktur, uansett om det dreier seg om en interdigitalstruktur eller om en reflektorstruktur.

Det er en oppgave for den foreliggende oppfinnelse

å gi anvisning på en slik struktur resp. slike strukturer for et overflatebølgefilter at dette oppfyller de nevnte krav på optimal måte.

Denne oppgave blir løst med en overflatebølge-filter-struktur av den innledningsvis angitte art, hvor der til den respektive struktur ved dennes frie ende er føyet et kollektiv av ytterligere strimmelformede belegg, nærmere bestemt slik det er angitt i patentkrav 1.

Digitalstrukturene hos overflatebølgefiltere fremstilles fotolitografisk i kombinasjon med avløftnings-(lift off-) teknikk eller etseteknikk. Til grunn for den foreliggende oppfinnelse ligger den erkjennelse at der ved fotolitografisk overføring av mønsteret resp. modellen til det lysfølsomme skikt som på dette tidspunkt finnes over filterets substratoverflate, og det særlig ved projeksjonsoverføring, melder seg problemer ved at en hvilken som helst digitalstruktur som skal fremstilles (sett i en retning), uvegerlig har første og siste strimmelformede belegg (fingre, digit-strimler),

og at der til denne respektive ende av digitalstrukturen (i det minste i regelen) slutter seg et område av substrat-overflatens areal fritt for ytterligere strimmelformede belegg hos strukturene. For det midtre resp. indre område av en digitalstruktur som skal fremstilles fotolitografisk med belysning, er det nok med midlere belysningsverdier som er mindre enn dem som behøves for de første resp. siste strimmelformede belegg. Ved en innstilling av belysningen tilpasset det midtre område av en struktur, fører det til underbelysning av disse første og siste strimmelformede belegg, og omvendt blir det midtre område overbelyst når begynnelses- og ende-området av vedkommende struktur får eksakt tilmålt belysning.

Å løse det ovennevnte problem med differensiert valg

av belysning, ville være meget kostbart, og man har derfor søkt å skaffe avhjelp på annen måte. En slik løsning ble funnet i tilføyelsen av kollektiver bestående av ytterligere strimmelformede belegg. Disse ytterligere strimmelformede belegg er maken til eller i det minste sammenlignbare med de strimmelformede belegg hos vedkommende digitalstruktur som - resp. hvis fremstilling - blir forbedret med oppfinnelsen i samsvar med oppgavestillingen.

For bare å tilveiebringe den med oppfinnelsen oppnådde egalisering av belysningsverdien for den respektive samlede digitalstruktur ville det være nok bare å anordne noen, f.eks. fem til tyve ytterligere strimmelformede belegg som ikke lenger blir å henregne til (vedkommende ende av) digitalstrukturen, men til kollektivet. Særlig ved en (ikke-interdigital) digitalstruktur utført som resonatorstruktur, ville dette tiltak for seg alene stadig være utilstrekkelig, for de strimmelformede belegg i kollektivet ville ikke skille seg funksjonelt fra dem hos den egentlige resonator-digitalstruktur.

Som ytterligere tiltak gir oppfinnelsen anvisning på

å plassere disse ytterligere strimmelformede belegg hos det respektive kollektiv slik at vedkommende kollektiv virker refleksjonsfritt for filteret, nemlig referert til den bølge hos digitalstrukturen som dette kollektiv er tilføyet, resp. referert til den i filteret opptredende bølge som er bestemt for filterets mest smalbåndede struktur og likeledes forplantes gjennom resp. i den digitale struktur som vedkommende kollektiv er tilføyet.

For dette er det ikke noe hinder at et slikt kollektiv kan fylle ut hele mellomrommet mellom to digitalstrukturer som følger på hverandre i lengderetningen resp. forplantningsretningen av filterets bølge, altså at kollektivet strekker seg ubrutt fra den ene digitalstruktur til den (ene) til-grensende digitalstruktur, så dette kollektiv egentlig er tilordnet to digitalstrukturer.

For dette tiltak, å la vedkommende kollektiv resp.

de strimmelformede belegg hos et slikt kollektiv virke

refleksjonsfritt, står der innen rammen av den foreliggende oppfinnelse til rådighet tre alternativer, hvorav det ene eller det annet i det enkelte tilfelle kan oppvise fordeler fremfor de andre to, resp. hvorav en variant bare kan nyttes i det enkelte tilfelle. Den første av disse varianter består i de i DE-PS 29 09 705 (resp. US-PS 4 325 037) og i DE patentsøknad P 34 38 246.1 beskrevne tiltak med hensyn til frekvens-forskyvning på kollektivets struktur referert til den til-hørende digitalstruktur resp. til den digitalstruktur som bestemmer filterets midtpunktfrekvens f^. Det betyr at .kollektivet blir dimensjonert slik med hensyn 'til avstanden mellom sine strimmelformede belegg målt i bølgelengdeenheter, at frekvensen f for (det første) nullstedet for de interdigitale refleksjoner på kollektivets belegg i det minste i det vesent-ligste faller sammen med midtfrekvensen f^av filterets bølge. Da er interdigitale refleksjoner ved kollektivet ikke lenger virksomme for filteret, og i samsvar med forskriftene for dette tiltak i det ovennevnte patentskrift lar man kollektivets båndbredde i det minste være så stor at den utgjør minst det dobbelte av filterets båndbredde. Denne betingelse kan imidlertid overholdes uten noen som helst vanskelighet, idet man begrenser lengden av kollektivets struktur, og der da for problemet med egalisert belysning stadig kan anvendes resp. finnes tilstrekkelig mange (minst 20-50) strimmelformede belegg hos kollektivet.

Det annet alternativ består i å inndele kollektivets strimmelformede belegg i grupper som hver består av få (f.eks. to til ti) strimler, og anordne disse enkelte grupper i innbyrdes avstander som er øket med kvartbølgelengder i tillegg, så disse enkelte grupper hos kollektivet interfererer destruk-tivt med hverandre, dvs. bevirker gjensidig slettelse av de respektive reflekterende andeler ved de enkelte grupper.

Det tredje alternativ består i å anordne en slik skråstilling av de strimmelformede belegg at refleksjoner som opptrer på kollektivets strimmelformede belegg, blir dirigert slik ut av filteret at de ikke lenger kan tre inn i den ene eller flere omformere hos filteret. Dette sistnevnte alternativ er bare anvendelig ved et kollektiv som er anordnet ved den ytterste ende av filteret, altså befinner seg der hvor der ikke lenger opptrer noen ønskebølge for filteret, en bølge som da likeledes ville bli avbøyet utad i tilsvarende, i så fall uheldig grad.

Der skal henvises til at der også på de strimmelformede belegg hos kollektivene opptrer interdigitale refleksjoner. Men disse er ved anvendelse av oppfinnelsen gjort uvirksomme resp. i det minste uskadelige for filteret.

I det følgende vil der under henvisning til tegningen bli gjort nærmere rede for oppfinnelsen ved beskrivelse' av et utførelseseksmepel som oppviser flere varianter.

Tegningen viser en utførelsesform for oppfinnelsen

med tre alternative utformninger som etter valg kan anvendes enkeltvis eller sammen, og som spesielt refererer seg til tiltakene når det gjelder å bringe det respektive kollektiv til å virke refleksjonsfritt resp. ikke-reflekterende for filteret.

De strukturer av filteret 51 som er vist på tegningen, befinner seg på overflaten av et piezoelektrisk substrat 2 som bare er vist i utsnitt. 53 betegner en første interdigitalstruktur og 54 en annen interdigitalstruktur, som begge skal anvendes som omformere, f.eks. som henholdsvis inngangsomformer og utgangsomformer. De strimmelformede belegg (fingre, digitstrimler) i disse interdigitalstrukturer er betegnet med 55. 56 betegner pads som samtidig tjener som samleskinner for de respektive strimmelformede belegg 55 som griper inn i hverandre interdigitalt.

Som det fremgår av tegningen, har de to interdigital-strukturer 53 og 54 en innbyrdes avstand som kan være valgt resp. nødvendig av elektriske og/eller akustiske grunner vedrørende filteret 51. I kjent teknikk dreier det seg her om fri substratoverflate. Ved oppfinnelsen og dermed på tegningen inneholder dette mellomrom mellom de to interdigital-strukturer 53 og 54 ytterligere strimmelformede belegg 105, hvorav der på figuren bare er vist tre og tre strimmelformede belegg 105 av det kollektiv 100 som oppfinnelsen gir anvisning på.

I alminnelighet har et kollektiv i samsvar med oppfinnelsen minst 20-50 strimmelformede belegg 105. I og for seg er det tilstrekkelig om et slikt antall strimmelformede belegg 105 følger på det respektive ytterste strimmelformede belegg 55a hos interdigitalstrukturen 53 resp. interdigital-strukturen 54. Det er også mulig å sløyfe de strimmelformede belegg 105 i det midtre område av kollektivet 100 og allikevel oppnå den nødvendige grad av egalisering av belysningen for de respektive ytterste strimmelformede belegg 55 og uvirksomhet av de interdigitale refleksjoner på beleggene 105 hos kollektivet 100 for filteret.

En sløyfning av de strimmelformede belegg 105 i det midtre område av kollektivet 100 kan også betraktes som om der isteden fantes to kollektiver 100a og 100b, hvorav kollektivet 100a er tilordnet digitalstrukturen 53 og kollektivet 100b er tilordnet digitalstrukturen 54.

Det skal henvises til at et slikt kollektiv 100 også

kan være forsynt med samleskinner 106, en eventualitet som bare er antydet stiplet.

En reflektorstruktur 60 hos filteret 51 er bare vist

for sin begynnelsesdels vedkommende. Denne reflektorstruktur 60 består av strimmelformede belegg 65 som er anordnet i gjensidige (bølgelengde-)avstander, valgt etter vanlige regler for overflatebølgefiltre og de forhåndsgitte betingelser for dette filter. 66 betegner samleskinner som bare er vist stiplet, siden de bare representerer et mulig valg.

Mellomrommet mellom interdigitalstrukturen 54 og denne reflektorstruktur 60 er i samsvar med oppfinnelsen fylt ut med et kollektiv 200 bestående av strimmelformede belegg 205. Disse strimmelformede belegg 205 er som vist, inndelt i fire grupper 205a-205d. De strimmelformede belegg 205 hos dette kollektiv 200 tjener til egalisering av belysningen ved den fotolitografiske fremstilling av interdigitalstrukturen 54 og reflektorstrukturen 60.

70 betegner en ytterligere reflektorstruktur for filteret 51, en struktur som i dette eksempel slutter seg direkte til interdigitalstrukturen 53 uten mellomrom. Dermed behøves der ikke noe kollektiv i samsvar med oppfinnelsen mellom interdigitalstrukturen 53 og reflektorstrukturen 70. Den viste utførelsesform har imidlertid et kollektiv 300 som er anordnet i samsvar med oppfinnelsen, og som slutter seg til venstre ende av reflektorstrukturen 70. De strimmelformede belegg 305 tjener likeledes til ved belysningen under den fotolitografiske fremstilling av reflektorstrukturen 70 å sørge for åt også de siste strimmelformede belegg 75 hos reflektorstrukturen på venstre side blir belyst like optimalt som de strimmelformede belegg i det midtre område av reflektorstrukturen 70.

Som allerede uttrykkelig påpekt ovenfor, inngår det

i oppfinnelsen at kollektivene 100 resp. 100a/100b, 200 og 300 virker refleksjonsfritt for filteret 51.

De strimmelformede belegg 105 hos kollektivet 100 (det samme gjelder for kollektiver 100a og 100b som kan anvendes isteden), er i henhold til en første variant av oppfinnelsen anordnet i slike (midtpunkt-)avstander fra hverandre som er tilmålt i samsvar med det ovennevnte tyske patents lære. Kvantitativt er (midtpunkt-)avstandene mellom de strimmelformede belegg 105 hos kollektivet 100 gjort noe større eller mindre enn (midtpunkt-)avstandene mellom de strimmelformede belegg hos den struktur som bestemmer midtfrekvensen for filteret 51. Dette er den struktur hvor filteret 51 har minste båndbredde. Større eller mindre avstand mellom de strimmelformede belegg 105 hos kollektivet 100 avhenger av hvilket av de to nullsteder for kollektivets interdigitale refleksjoner som er lagt til grunn for dimensjoneringen. Ytterligere enkelt-heter ved den dimensjonering som blir å velge for dette alternativ når det gjelder kollektivet 100, kjenner fagfolk til fra det ovennevnte patentskrift.

Ved hjelp av en annen anvendelig variant av oppfinnelsen er kollektivet 200 bragt til å virke refleksjonsfritt for filteret 51. Innen de enkelte grupper 205a, 205b, 205c og 205d har de (i den viste utførelsesform for oppfinnelsen to og to) strimmelformede belegg 205 en midtpunktavstand (av størrelse lik en halv bølgelengde av bølgen for filteret 51) tilsvarende strukturene 53, 54, 60 og/eller 70 for filteret

51. Dette innbefatter også sløyfede strimmelformede belegg,

som på tegningen er betegnet med 205f. Ved kollektivet 200

er imidlertid denne periodisitet av avstandene ikke overholdt mellom en gruppe 205a og en gruppe 205d osv. I henhold til et særtrekk ved denne variant er den respektive avstand mellom to nabogrupper øket med en ekstra kvartbølgelengde M. Er bredden av de strimmelformede belegg (slik det ofte er til-fellet) valgt lik en kvartbølgelengde, er avstanden mellom to grupper 200a, 200b ... (som på tegningen) øket med akkurat en strimmelbredde. Istedenfor å være lik en enkelt kvartbølge-lengde vil bredden også kunne være det tredobbelte eller femdobbelte etc. av en kvartbølgelengde. Med dette tiltak er det oppnådd at de interdigitale refleksjoner på de strimmelformede belegg 205 i gruppe 205a interfererer med de interdigitale refleksjoner på de strimmelformede belegg 205 i gruppe 205b, så disse refleksjoner sletter hverandre gjensidig. Tilsvarende mange grupper 205a ... som er innbyrdes forskutt

i samsvar med dette trekk ifølge oppfinnelsen, gjør det mulig å oppnå at hele kollektivet 200 ikke oppviser noen interdigitale refleksjoner av bølgen for filteret 51.

Også når det gjelder kollektivet 300/ er det sørget

for at der ikke kommer noen interdigitale refleksjoner fra dette kollektivs strimmelformede belegg 305 inn i filteret 51. Ved dette ytterste kollektiv 300 kan det oppnås på særlig enkel måte ved skråstilling av de strimmelformede belegg 305. Den med dobbeltpiler viste vannrette linje på figuren antyder hovedbølge-utbredelsesretningen H for filteret 51. Hr betegner retningen av refleksjonen på de skråttstilte strimmelformede belegg 305. De interdigitale refleksjoner med vinkelen for retningen Hr reflekterer en slik bølgeandel ut fra filteret 51. Ved denne skråstilling er også dette kollektiv 300 bragt til å virke refleksjonsfritt for filteret 51 .

I det viste og beskrevne utførelseseksempel er der

ikke anordnet noe kollektiv for (den ikke lenger viste) høyre ende av reflektorstrukturen 60. Å utelate et slikt kollektiv der kommer - uten at det ville stride mot oppfinnelsestanken

- i betraktning når denne reflektorstruktur 60 består av et så relativt høyt antall strimmelformede belegg 65 at der

fra denne høyre ende av reflektorstrukturen 60, altså fra den med hensyn til filteret 51 ytterste ende av reflektorstrukturen 60, allikevel neppe blir reflektert noen vesentlig signalandel tilbake. Unøyaktigheter i presisjon og skarphet av strimmelformede belegg 65 plassert ved ytterste høyre ende av reflektorstrukturen 60 har praktisk talt ikke lenger noen forstyrrende innflytelse på et filter som vist ved 51. Helt i motsetning til dette vil selvsagt store forstyrrelser gå ut fra slike strimmelformede belegg 65 hos reflektorstrukturen 60 som er plassert mot (den på figuren) venstre énde resp. i venstre halvdel av reflektorstrukturen 60, for disse strimmelformede belegg 65 hos reflektorstrukturen 60 leverer den vesentlige andel av det bølgesignal som er bestemt til å reflekteres i reflektorstrukturen 60.

På figren er den tilsiktede forplantningsretning for bølgen i filteret 51 betegnet med H. De bueformig inntegnede, reflekterende retninger Hs som er vist med fullt opptrukne linjer, er ønskerefleksjoner for filteret 51 resp. for dets reflektorstrukturer 60 og 70. De stiplet inntegnede bueformede reversjoner refererer seg derimot til slike interdigitale refleksjoner for kollektivene 100 og 200 som på grunn av et tiltak i samsvar med oppfinnelsen (etter prinsippet for det første og det annet tidligere beskrevne alternativ) er gjort uvirksomme for filteret 51, dvs. ikke opptrer som signal-andeler i filteret 51.

Viktig ved oppfinnelsen er at der mellom det respektive første resp. siste strimmelformede belegg i en av digitalstrukturene 53, 54, 60, 70 for filteret 51 og det tilføyde, tilordnede kollektiv 100, 100a, 100b, 200, 300 (eller mellom til hinannen støtende digitalstrukturer 53 og 70) ikke er sløyfet noen eller i høyden bare er sløyfet ganske få strimmelformede belegg. I motsetning til dette er der ved ytre ende av reflektorstrukturen 60 ikke anordnet noe kollektiv (siden denne ende av strukturen 70 allikevel er lite virksom).

I det følgende er der angitt dimensjoneringer som er typiske for et filter ifølge oppfinnelsen. En omformerstruktur 53, 54 har f.eks. 10-400, fortrinnsvis 50-150 strimmelformede belegg 55 i interdigital anordning.

En reflektorstruktur 60, 70 har f.eks. 200-1000, fortrinnsvis 400-700 strimmelformede belegg 65, 75.

Det respektive antall strimmelformede belegg hos en omformer- eller reflektorstruktur retter seg etter den respektive forhåndsbestemte båndbredde for denne struktur.

Bredde og innbyrdes (midtpunkt-)avstand av de strimmelformede belegg er gitt ved den akustiske bølges forhåndsbestemte frekvens resp. bølgelengde og ved bølgens forplant-ningshastighet i substratkroppen. Vanlige verdier for strimmel-bredden er 0,5-5 ym og for midtpunktavstanden 1-10 ym.

Lengden av de 'enkelte strimmelformede belegg blir vanligvis valgt mellom 20 og 200 bølgelengder.

I den foranstående beskrivelse av oppfinnelsen er der tatt hensyn til en fremstilling av digitalstrukturer etter prinsippet for avløftningsteknikk (lift-off-teknikk). Ved denne teknikk blir der benyttet (positivt) fotofølsom lakk.

På substratoverflaten blir der først foretatt en belegning med slik fotolakk over hele arealet. Så skjer belysningen svarende til de ønskede strukturer, idet der belyses slike arealmessige andeler av skiktet på substratoverflaten som senere skal danne strimmelformede belegg, pads og samleskinner. Etter fremkalling blir den belyste andel av fotolakken løst fra og hele overflaten (frilagte andeler av substratoverflaten og gjenværende fotolakk) overtrukket (dampet) med et metallskikt. Sluttelig blir de ennå gjenværende arealer av fotolakken løst fra, og i den forbindelse avløftes de andeler av metall-skiktet som befinner seg på fotolakken, og tilbake blir de ønskede strukturer som metalliske belegg på substratoverflaten.

En så å si motsatt prosess er en fremstilling (med

samme sluttresultat) av strukturene etter et prinsipp innen etseteknikken. I dette tilfelle blir substratoverflaten først overtrukket med et metallskikt. Dette metallskikt blir overtrukket med fotolakkskiktet, og så skjer belysningen, men her av de flateandeler som i det ferdige filter skal være frie for metalliseringer på substratoverflaten. Etter fremkalling av den belyste fotolakk skjer fraskilling, hvorunder det underliggende metalliseringsskikt på substratoverflaten

blir frilagt i de arealandeler som i det ferdige filter skal være frie for metallisering på substratoverflaten. Ved etter-følgende etsning blir disse frilagte andeler av metalliserings-skiktet fjernet fra substratoverflaten og tilbake blir de andeler av den opprinnelige metallisering av substratoverflaten som under etsningen var beskyttet av de ennå gjenværende arealandeler av fotolakkskiktet som ønskede strukturer for filteret.

Avløftningsteknikken og etseteknikken skiller seg fra hverandre ved at de respektive komplementære arealandeler blir å belyse.

Claims (6)

1. Elektrisk filter som arbeider med akustiske bølger og omfatter et antall digitalstrukturer som hver oppviser strimmelformede belegg på overflaten av filterets substrat og er anordnet i lengderetningen resp. forplantningsretningen av filterets bølge, og hvorav de enkelte strukturer er om-formerstrukturer eller resonatorstrukturer, karakterisert ved at der ved en i denne forplantningsretning (H) fri ende av en slik digitalstruktur (53, 54, 60, 70) er tilføyet et kollektiv (100, 200, 300) bestående av ytterligere strimmelformede belegg (105, 205, 305) som er sammenlignbare med de strimmelformede belegg (55, 65, 75) hos vedkommende digitalstruktur (53, 54, 60, 70), og som i det respektive kollektiv (100,

200, 300) er plassert slik i forhold til vedkommende digital-strukturs (53, 54, 60, 70) strimmelformede belegg (55, 65,

75) at det respektive kollektiv (100, 200, 300) av de tilføyde belegg (105, 205, 305) virker refleksjonsfritt for filterets (51) bølge.

2. Filter som angitt i krav 1, karakterisert ved at mellomrommet mellom to i forplantningsretningen (H) på hinannen følgende digitalstrukturer (53-54; 54-60) er utfylt med et kollektiv (100, 200), samtidig som der innen et kollektiv (200) også kan være utelatt enkelte strimmelformede belegg (205f).

3. Filter som angitt i krav 1, karakterisert ved at et kollektiv tilføyet en digitalstruktur hos filteret (51) oppviser mellom ca. 20 og 50 strimmelformede belegg (105, 205, 305).

4. Filter som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved at et kollektivs (100) strimmelformede belegg (105) er anordnet i gjensidige (midtpunkt-)avstander som avviker et visst mål fra (midtpunkt-)avstandene mellom strimmelformede belegg (55, 65, 75) hos den digitalstruktur hos filteret (51) som bestemmer filterets midtfrekvens (fg)' og at det nevnte mål for avviket er dimensjonert slik at første nullsted i de interdigitale refleksjoner på kollektivets (100) strimmelformede belegg (105) faller sammen med filterets (51) midtfrekvens (fø )-

5. Filter som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved at et kollektivs (200) strimmelformede belegg (205) er inndelt i grupper (205a-205d), hvorav nabogrupper innbyrdes (205a-205b, 205b-205c ...) med hensyn til sine (midtpunkt-)avstander mellom det respektive siste strimmelformede belegg i den ene gruppe og første strimmelformede belegg i neste gruppe er anordnet slik at disse avstander skiller seg en (resp. et uliketallig multiplum av en) kvart-bølgelengde fra periodeavstandene i den digitalstruktur som bestemmer filterets (51) midtfrekvens (fø )-

6. Filter som angitt i et av kravene 1-5, karakterisert ved at et kollektiv (300) som i filtret (51) befinner seg ved enden regnet i forplantningsretningen (H), har strimmelformede belegg (500) som er anordnet slik på skrå i vinkel til forplantningsretningen (H) at de interdigitale refleksjoner på de strimmelformede belegg (305) hos dette kollektiv (300) blir reflektert ut fra filteret (51) i skrå retning (Hr).