JPH0263522A - 吸着によるガス混合物の処理方法 - Google Patents
吸着によるガス混合物の処理方法Info
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- JPH0263522A JPH0263522A JP1174327A JP17432789A JPH0263522A JP H0263522 A JPH0263522 A JP H0263522A JP 1174327 A JP1174327 A JP 1174327A JP 17432789 A JP17432789 A JP 17432789A JP H0263522 A JPH0263522 A JP H0263522A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧力変動吸着(PEA)によるガス混合物の
処理方法に関し、3本の吸着塔を用い、各吸着塔につい
て順次行われる次の作動段階を含むサイクルが、サイク
ル時間をTとしたとき、互にT/3だけずれる種類の方
法に関するものである。
処理方法に関し、3本の吸着塔を用い、各吸着塔につい
て順次行われる次の作動段階を含むサイクルが、サイク
ル時間をTとしたとき、互にT/3だけずれる種類の方
法に関するものである。
(a)サイクルの高い圧力でのほぼ等圧の吸着工程で、
この吸着工程は、吸着塔内でのガス混合物の流れを伴う
吸着塔の第1端部(入口端部)から吸着塔内へのガス混
合物の送入、及び構成成分中の一成分が富化され、その
一部が製品ガスを形成する留分の吸着塔の他端部(出口
端部)からの準出しを含み、この吸着工程中における吸
着塔内の流れ方向は並流と呼ばれ、 (1))サイクルの低い圧力まで向流の減圧によって開
始される脱着工程で、この工程は、圧力平衡初期段階(
bl)を含み、この初期段階の間、ガスは向流の減圧と
同時に並流で取出され、後記する昇圧工程(0)の開始
期にある他の吸着塔に移送され、 (C)高い圧力に戻すまでの昇圧工程で、この工程は、
圧力平衡初期段階(C1)を含み、この初期段階の間、
吸着塔は、脱着工程(bx)Kある他の吸着塔からのガ
スを受入れる。
この吸着工程は、吸着塔内でのガス混合物の流れを伴う
吸着塔の第1端部(入口端部)から吸着塔内へのガス混
合物の送入、及び構成成分中の一成分が富化され、その
一部が製品ガスを形成する留分の吸着塔の他端部(出口
端部)からの準出しを含み、この吸着工程中における吸
着塔内の流れ方向は並流と呼ばれ、 (1))サイクルの低い圧力まで向流の減圧によって開
始される脱着工程で、この工程は、圧力平衡初期段階(
bl)を含み、この初期段階の間、ガスは向流の減圧と
同時に並流で取出され、後記する昇圧工程(0)の開始
期にある他の吸着塔に移送され、 (C)高い圧力に戻すまでの昇圧工程で、この工程は、
圧力平衡初期段階(C1)を含み、この初期段階の間、
吸着塔は、脱着工程(bx)Kある他の吸着塔からのガ
スを受入れる。
本発明は、大気から、さらに−船釣には本質的に酸素、
窒素及びアルゴンで構成されるガス混合物から酸素含有
置駒qssまで、特にデ0−95−の酸素富化9気の生
産に特に適用される。
窒素及びアルゴンで構成されるガス混合物から酸素含有
置駒qssまで、特にデ0−95−の酸素富化9気の生
産に特に適用される。
この種の方法は、フランス特許出願公開第コ、5り9.
り8j号に記載されている。本発明は、改良された酸素
抽出率とともに高い酸素含有量を得ることのできる方法
を提供することを目的とする。
り8j号に記載されている。本発明は、改良された酸素
抽出率とともに高い酸素含有量を得ることのできる方法
を提供することを目的とする。
そのために本発明は、平衡段階(C1)は、それ自身二
つの副段階、すなわち前記ガスが吸着塔に向流で導入さ
れる第1副段階(all)及び前記ガスが吸着塔に並流
方式で導入される第コ副段階(C12)とに分けられて
いることを特徴とする前記種類の方法を提供する。
つの副段階、すなわち前記ガスが吸着塔に向流で導入さ
れる第1副段階(all)及び前記ガスが吸着塔に並流
方式で導入される第コ副段階(C12)とに分けられて
いることを特徴とする前記種類の方法を提供する。
この明細t・では、異なる圧力を有するコ本の吸着塔を
連結して行う操作を、圧力差を減少するとい51点から
1平衡1と呼んでお)、この操作は、圧力の均等化まで
続けられるか、この均等化の前に中断されるかできる。
連結して行う操作を、圧力差を減少するとい51点から
1平衡1と呼んでお)、この操作は、圧力の均等化まで
続けられるか、この均等化の前に中断されるかできる。
好ましくは、脱着工程(b)は、サイクルの低い圧力で
の最終溶離段階を含み、この段階の間、吸着工程(IL
)にある他の吸着塔の出口端部で取出されたガスは吸着
塔内に向流方式で導入され、一方、ガスがこの吸着塔の
入口端部から取出される。
の最終溶離段階を含み、この段階の間、吸着工程(IL
)にある他の吸着塔の出口端部で取出されたガスは吸着
塔内に向流方式で導入され、一方、ガスがこの吸着塔の
入口端部から取出される。
本発明を用いた一実施例を、添付の図面を参照して以下
に説明する。
に説明する。
第1図に示された装置は、精製されない大気から好まし
くはデ0−9!;チの含有量で酸素富化された空気を生
産するためのものである。装置は、3本の吸着塔l〜3
、ファンまたはブロワ−5を備えた入ロラインt、真空
ポンプ7を備えた排気ライン6、及び富化空気製造ライ
ンSを含んでいる。各吸着塔は円筒状外形を有し、下部
入口/A〜3A及び上部出口/B〜3Bを含んでいる。
くはデ0−9!;チの含有量で酸素富化された空気を生
産するためのものである。装置は、3本の吸着塔l〜3
、ファンまたはブロワ−5を備えた入ロラインt、真空
ポンプ7を備えた排気ライン6、及び富化空気製造ライ
ンSを含んでいる。各吸着塔は円筒状外形を有し、下部
入口/A〜3A及び上部出口/B〜3Bを含んでいる。
吸着塔l〜3は、酸素、アルゴンに比して穿索を優先的
に吸着する吸着剤、特にモレキュラーシーブ5ム型また
は/JX型(登録商標)で満たされている。時として各
吸着塔は、乾燥作用を有する他の吸着剤、特にアルミナ
またはシリカゲルの層をその底部に含んでもよい。
に吸着する吸着剤、特にモレキュラーシーブ5ム型また
は/JX型(登録商標)で満たされている。時として各
吸着塔は、乾燥作用を有する他の吸着剤、特にアルミナ
またはシリカゲルの層をその底部に含んでもよい。
ライン弘は、それぞれ弁ター/−9−3を経て各吸着塔
の入口に接続されている。同様に2イン6は、それぞれ
弁1o−i−to−3を軽で各吸着塔の入口に接続され
ている。ラインgけ、それぞれ弁//−/〜ツノ−3を
経て各吸着塔の出口に接続されている。
の入口に接続されている。同様に2イン6は、それぞれ
弁1o−i−to−3を軽で各吸着塔の入口に接続され
ている。ラインgけ、それぞれ弁//−/〜ツノ−3を
経て各吸着塔の出口に接続されている。
酸素で富化された空気を取出す譲lのライン12は、流
量制御手段13が設けられ、それぞれ弁l弘−/−/l
l−3を経て各吸着塔の出口にラインSを接続する。同
様に、酸素で富化された空気を取出す第二のライン15
は、流量制御手段16が設けられ、それぞれ弁17−/
〜17−3を経て各吸着塔の出口にライン8を接続する
。
量制御手段13が設けられ、それぞれ弁l弘−/−/l
l−3を経て各吸着塔の出口にラインSを接続する。同
様に、酸素で富化された空気を取出す第二のライン15
は、流量制御手段16が設けられ、それぞれ弁17−/
〜17−3を経て各吸着塔の出口にライン8を接続する
。
ざらに減圧ライン18は、それぞれ弁i’y−i〜/9
−.3を経て各吸着塔出口に接続され、向流再圧縮ライ
ンー〇は、それぞれ弁コl−/〜2/−3を経て各吸着
塔出口に接続され、流量調整手段−二を備えておシ、並
vrr再圧縮ライン=3は、それぞれ弁−ダ−/〜=4
t−3を経て各吸着塔入口に接続され、流i調整手段2
Sを備えている。
−.3を経て各吸着塔出口に接続され、向流再圧縮ライ
ンー〇は、それぞれ弁コl−/〜2/−3を経て各吸着
塔出口に接続され、流量調整手段−二を備えておシ、並
vrr再圧縮ライン=3は、それぞれ弁−ダ−/〜=4
t−3を経て各吸着塔入口に接続され、流i調整手段2
Sを備えている。
この装置によって、吸着塔lに関して第2図に図示され
ているサイクルが各吸着塔について実施される。Tがサ
イクル時間を示すとしたとき、吸着塔−の作動はそれか
らV3だけずれて、吸池塔3の作動はzT/sだけずれ
て行わする。図示された実施例では、たとえば、1分な
いし数分のサイクル時間が選ばれる。
ているサイクルが各吸着塔について実施される。Tがサ
イクル時間を示すとしたとき、吸着塔−の作動はそれか
らV3だけずれて、吸池塔3の作動はzT/sだけずれ
て行わする。図示された実施例では、たとえば、1分な
いし数分のサイクル時間が選ばれる。
時間tが横座標にとられ、絶対圧力Pが縦座標にとられ
ているff、−図では、矢印によってその方向が指示さ
れている線は、ガス流の動きと方向とを示している。矢
印が縦座標軸と平行であるときは、さらにi%塔内での
流れ方向を示し、矢印が縦座標を増加する方向(図表の
上部向き)にあるときは、奴九′塔内での流れの方向は
並流であフ、上を指している矢印が吸着塔内での圧力を
示す線の下に位置するならば、流れは吸着塔の入口端を
経て吸着塔に流入し、上を指している矢印が圧力を示す
線の上に位置するならば、流れは吸着塔の出口端を経て
吸着塔から流出する。入口端及び出口端は、それぞれ当
該吸着塔によって処理されるぺ°きガス及び吸着工程に
あるその吸着塔から取出されるガスの入口及び出口であ
る。矢印が縦座標を減少する方向(図表で下向き)にあ
るときは、吸着塔内での流れ方向は向流である。下を指
している矢印が吸着塔の圧力を示す纏の下に位置するな
らば、流れは吸懲塔の入口端を経て吸着塔から流出し、
下を指している矢印が圧力を示す線の上に位置するなら
ば、流れは吸着塔の出口端を経て吸着塔に流入する。入
口端及び出口端は、常に処理されるべきガス及び吸着工
程で取出されるガスの入口及び出口である。さらに1本
の吸着塔のみに関するガス流れは実線で、他の吸着塔か
ら出てきたル、他の吸着塔の方へ移送されたシするガス
流は破線で示されている。
ているff、−図では、矢印によってその方向が指示さ
れている線は、ガス流の動きと方向とを示している。矢
印が縦座標軸と平行であるときは、さらにi%塔内での
流れ方向を示し、矢印が縦座標を増加する方向(図表の
上部向き)にあるときは、奴九′塔内での流れの方向は
並流であフ、上を指している矢印が吸着塔内での圧力を
示す線の下に位置するならば、流れは吸着塔の入口端を
経て吸着塔に流入し、上を指している矢印が圧力を示す
線の上に位置するならば、流れは吸着塔の出口端を経て
吸着塔から流出する。入口端及び出口端は、それぞれ当
該吸着塔によって処理されるぺ°きガス及び吸着工程に
あるその吸着塔から取出されるガスの入口及び出口であ
る。矢印が縦座標を減少する方向(図表で下向き)にあ
るときは、吸着塔内での流れ方向は向流である。下を指
している矢印が吸着塔の圧力を示す纏の下に位置するな
らば、流れは吸懲塔の入口端を経て吸着塔から流出し、
下を指している矢印が圧力を示す線の上に位置するなら
ば、流れは吸着塔の出口端を経て吸着塔に流入する。入
口端及び出口端は、常に処理されるべきガス及び吸着工
程で取出されるガスの入口及び出口である。さらに1本
の吸着塔のみに関するガス流れは実線で、他の吸着塔か
ら出てきたル、他の吸着塔の方へ移送されたシするガス
流は破線で示されている。
第1図及びg2図を参府しながら、全サイクルを、7本
の吸着塔、たとえば吸着塔lに関して説明しよう、、第
2図の実施例では、サイクルは、二つの両極圧力、すな
わち大気圧と1.2バールとの間の最高圧力PM及び/
θ0ミリバールとダOOミI7バールとの間の最低圧力
Pmの間で行われ、ブロワ−5及び×9ポンプクの使用
を示すものである。
の吸着塔、たとえば吸着塔lに関して説明しよう、、第
2図の実施例では、サイクルは、二つの両極圧力、すな
わち大気圧と1.2バールとの間の最高圧力PM及び/
θ0ミリバールとダOOミI7バールとの間の最低圧力
Pmの間で行われ、ブロワ−5及び×9ポンプクの使用
を示すものである。
第2図のサイクルは、次の各段階を含む。
(a)t=oからT/3まで。圧力PMでの等圧吸着工
程で、この工程の間、処理されるべき大気は、吸着塔の
入口で送入され、塔内を並流で流れる。
程で、この工程の間、処理されるべき大気は、吸着塔の
入口で送入され、塔内を並流で流れる。
一方、ガス(酸素富化空fA)は、吸着塔の出口で取出
される。この工程1i三つの段階に分けられる。
される。この工程1i三つの段階に分けられる。
(al)t −oからilまで、取出されたガスの全量
が、製品ガス、すなわち93%の酸素で富化された空気
(ff5半な「酸素富化された」という用語で、以下呼
ぶこととする)全構成する。
が、製品ガス、すなわち93%の酸素で富化された空気
(ff5半な「酸素富化された」という用語で、以下呼
ぶこととする)全構成する。
(az)tlからt、slで、取出されたガスの一部か
製品ガスを構成し、残部が後記する第3再圧縮段階(C
2)の開始期にある他の吸着塔の出口に移送される。
製品ガスを構成し、残部が後記する第3再圧縮段階(C
2)の開始期にある他の吸着塔の出口に移送される。
(aa)t2からtsiで。取出されたガスの一部が製
品ガスを構成し、他の一部が後記する第3再圧縮段階(
02)の終末期にある他の吸着塔の出口に移送され、残
部が後記する浴離段N (b 3 )の第3の吸着塔の
出口に移送される。
品ガスを構成し、他の一部が後記する第3再圧縮段階(
02)の終末期にある他の吸着塔の出口に移送され、残
部が後記する浴離段N (b 3 )の第3の吸着塔の
出口に移送される。
(b) T/3から2T/3まで、脱着工程で、この工
程の間、ガスは真空ポンプ7によって向流方式で取出さ
れ、三つの段階に分けられる。
程の間、ガスは真空ポンプ7によって向流方式で取出さ
れ、三つの段階に分けられる。
(1)l ) T/3からt3″!で、ガスは、向流排
気と同時に吸着塔の出口で取出され、この段階はそれ自
身二つの副段階に再び分けられる。
気と同時に吸着塔の出口で取出され、この段階はそれ自
身二つの副段階に再び分けられる。
(bxx) T/3からt4<t3まで。吸着塔の出口
で取出されたガスは、後記する圧力平衡によるsgl再
圧縮副段階(all)の他の吸着塔の出口に移送される
。この副段階は、圧力が第1の中間値pxlに達したと
きに終了する。
で取出されたガスは、後記する圧力平衡によるsgl再
圧縮副段階(all)の他の吸着塔の出口に移送される
。この副段階は、圧力が第1の中間値pxlに達したと
きに終了する。
(bxg)t 4からt3まで。吸着塔の出口で取出さ
れたガスは、後記する圧力平衡による第λ再圧縮副段階
(clg)の同じ吸着塔の入口に移送される。この副段
階は、第2の中間圧力P工2くP工1で終了する。
れたガスは、後記する圧力平衡による第λ再圧縮副段階
(clg)の同じ吸着塔の入口に移送される。この副段
階は、第2の中間圧力P工2くP工1で終了する。
(b2)tsからtsまで。サイクルの低圧Pmに達す
るまで、向流排気が単独で継続される。
るまで、向流排気が単独で継続される。
(b3)この選択的段階は、第3吸着段階(a3)の他
の吸着塔から出てくるガスによって低い圧力Pmで行わ
れる溶離であシ、このガスは向流方式で導入され、ガス
はPm近傍の圧力で浄化を行うためKrBL着塔の入口
を経て取出される。
の吸着塔から出てくるガスによって低い圧力Pmで行わ
れる溶離であシ、このガスは向流方式で導入され、ガス
はPm近傍の圧力で浄化を行うためKrBL着塔の入口
を経て取出される。
(c) 2T/’lからTまで。二つの段階に分けられ
る昇圧工程。
る昇圧工程。
(cl) 2 T/sからt6iで、圧力平衡による部
分的再圧縮段階で、この段階の間、吸着塔は第1再圧縮
段階(blx)の他の吸着塔の出口から出てくるガスを
受入れる。この段階は、それ自身二つの副段階に分けら
れる。
分的再圧縮段階で、この段階の間、吸着塔は第1再圧縮
段階(blx)の他の吸着塔の出口から出てくるガスを
受入れる。この段階は、それ自身二つの副段階に分けら
れる。
(ell) 2 T/3からtフ(taまで。非常に酸
素に富んだ再圧縮ガスは、閉鎖されている吸着塔の入口
に向流方式で導入される。この副段階は、圧力が第2の
中間値pxs<p工2に達したときに終了する。
素に富んだ再圧縮ガスは、閉鎖されている吸着塔の入口
に向流方式で導入される。この副段階は、圧力が第2の
中間値pxs<p工2に達したときに終了する。
(cHり t qから:、t6まで。酸素にあまシ富ん
でいない再圧縮ガスは、圧力がP工2に上昇するまで、
閉鎖されている吸着塔の出口に並流方式で導入される。
でいない再圧縮ガスは、圧力がP工2に上昇するまで、
閉鎖されている吸着塔の出口に並流方式で導入される。
(cz)taからTまで。吸着塔は、吸着段階(a2)
次いで(a3)にある他の吸鬼描の出口から取出された
ガスによって最終の向流再圧縮を受ける。
次いで(a3)にある他の吸鬼描の出口から取出された
ガスによって最終の向流再圧縮を受ける。
変形として、サイクルは、他の圧力範囲、たとえば3〜
5バール(絶対圧)の高圧と大気圧近傍の低圧との間、
に置き換えることができる。
5バール(絶対圧)の高圧と大気圧近傍の低圧との間、
に置き換えることができる。
これまでに述べたサイクルは、大きな利点をもたらす。
流入空気に含まれる酸素に対して生産される酸素量の比
率で定められる酸素抽出率は、段階(1)l)の間、吸
着工程後に並り’f方式の脱着で取出される酸素富化さ
れた順を追った二つの留分の完全な再循環によって高い
ものとなる。
率で定められる酸素抽出率は、段階(1)l)の間、吸
着工程後に並り’f方式の脱着で取出される酸素富化さ
れた順を追った二つの留分の完全な再循環によって高い
ものとなる。
製品酸素の質は、コ回の部分的再圧縮(all)及び(
cl2)の間に再循環される異なった流れ方向での留分
の送入によって高水準C9S%’!で)に維持され、非
常に酸素で富化されたガスで構成される第2留分は、吸
着塔の製品酸素の出口である出口を経て導入され、上記
のガスよりは酸素で富化されていない、り累吸着前線の
全部または一部を倉む第コ留分は、吸着塔の空気送入の
入口である入口を経て送入される。
cl2)の間に再循環される異なった流れ方向での留分
の送入によって高水準C9S%’!で)に維持され、非
常に酸素で富化されたガスで構成される第2留分は、吸
着塔の製品酸素の出口である出口を経て導入され、上記
のガスよりは酸素で富化されていない、り累吸着前線の
全部または一部を倉む第コ留分は、吸着塔の空気送入の
入口である入口を経て送入される。
装置のエネルギー消費は、サイクル時間のユ/3に等し
い時間の間、各e、着塔について廃棄ガスの向流抽出を
維持することによって最適化される。
い時間の間、各e、着塔について廃棄ガスの向流抽出を
維持することによって最適化される。
このサイクルは、減圧での再生hI業の棚台、吸着塔に
ついてガス抽出の働きをする真空ポンプの連続使用を保
証している。
ついてガス抽出の働きをする真空ポンプの連続使用を保
証している。
サイクルが、各吸鬼塔におけるサイクル時間の1/3の
間空気の送入流量を維持し、これが装置において処理さ
れる空気の連続送入及び対応柾器(ファンまたはブロワ
−)の最適化をもたらしている仁とに注目すべきである
。
間空気の送入流量を維持し、これが装置において処理さ
れる空気の連続送入及び対応柾器(ファンまたはブロワ
−)の最適化をもたらしている仁とに注目すべきである
。
段階(b3)及び(cz)で生産に使用され、再循環さ
れる富化空気の流量を調整するために、変形として工程
(8)にある吸着塔から流出する富化空気を貯蔵する貯
槽を用いることができる。
れる富化空気の流量を調整するために、変形として工程
(8)にある吸着塔から流出する富化空気を貯蔵する貯
槽を用いることができる。
第1図は、本発明の方法を実施するmkのフローシート
、第、2図は、この装置の作動を示す図表である。 /、2,3:吸着塔、ダニ入口ライン、5:ファンまた
はブロワ−6:排気ライン、り:真空ポンプ、8:酸素
富化突気製造ライン、1.2:酸素富化9気を取出す@
lのライン、15:同じく第2のライン、18:減圧ラ
イン1.20:向流再圧縮ライン、23:並流再圧縮ラ
イ ン、 デ 、10,1/、1 弘 *
/ 7 − / デ 。 =1.2弘:弁、/J、/6:流量制御手段、22 、
2s :流量訓整手段 FIG、1
、第、2図は、この装置の作動を示す図表である。 /、2,3:吸着塔、ダニ入口ライン、5:ファンまた
はブロワ−6:排気ライン、り:真空ポンプ、8:酸素
富化突気製造ライン、1.2:酸素富化9気を取出す@
lのライン、15:同じく第2のライン、18:減圧ラ
イン1.20:向流再圧縮ライン、23:並流再圧縮ラ
イ ン、 デ 、10,1/、1 弘 *
/ 7 − / デ 。 =1.2弘:弁、/J、/6:流量制御手段、22 、
2s :流量訓整手段 FIG、1
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、3本の吸着塔を用い、各吸着塔について順次行われ
る次の作動段階を含むサイクルが、サイクル時間をTと
したとき互にT/3だけずれる種類の圧力変動吸着(P
SA)によるガス混合物の処理方法で、そのサイクルは
、 (a)サイクルの高い圧力でのほぼ等圧の吸着工程で、
この吸着工程は、吸着塔内でのガス混合物の流れを伴う
吸着塔の第1端部(入口端部)から吸着塔内へのガス混
合物の送入、及び構成成分中の一成分が富化され、その
一部が製品ガスを形成する留分の吸着塔の他端部(出口
端部)からの取出しを含み、この吸着工程中における吸
着塔内の流れ方向は並流と呼ばれ、 (b)サイクルの低い圧力まで向流の減圧によつて開始
される脱着工程で、この工程は、圧力平衡初期段階を含
み、この初期段階の間、ガスは向流の減圧と同時に並流
で取出され、後記する昇圧工程の開始期にある他の吸着
塔に移送され、 (c)高い圧力に戻すまでの昇圧工程で、この工程は、
圧力平衡初期段階を含み、この初期段階の間、吸着塔は
、脱着工程にある他の吸着塔からのガスを受入れるもの
であり、 平衡段階は、それ自身二つの副段階、すなわち前記ガス
が吸着塔に向流で導入される第1副段階及び前記ガスが
吸着塔に並流方式で導入される第2副段階とに分けられ
ることを特徴とする吸着によるガス混合物の処理方法。 2、脱着工程が、サイクルの低い圧力での最終溶離段階
を含み、この段階の間、吸着工程にある1本の吸着塔の
出口端部で取出されたガスは吸着塔に向流方式で導入さ
れ、一方、ガスは前記吸着塔の入口端部から取出される
ことを特徴とする請求項1記載の方法。 3、昇圧工程が、吸着工程にある1本の吸着塔の出口端
部で取出されたガスによつてサイクルの高い圧力に到達
するまで吸着塔が向流方式で再圧縮される最終段階を含
むことを特徴とする請求項1または2記載の方法。 4、ガス混合物が、本質的に酸素、窒素及びアルゴンに
よつて構成され、前記富化留分が、約90〜95%の酸
素を含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか
1項に記載の方法。
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- 1989-07-07 JP JP1174327A patent/JPH0263522A/ja active Pending
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