JPH0260974A - 卑金属薄膜形成用インキ - Google Patents

卑金属薄膜形成用インキ

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Publication number
JPH0260974A
JPH0260974A JP63213902A JP21390288A JPH0260974A JP H0260974 A JPH0260974 A JP H0260974A JP 63213902 A JP63213902 A JP 63213902A JP 21390288 A JP21390288 A JP 21390288A JP H0260974 A JPH0260974 A JP H0260974A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base metal
ink
thin film
abietic acid
compound
Prior art date
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Pending
Application number
JP63213902A
Other languages
English (en)
Inventor
Munehiro Tabata
宗弘 田端
Hiroshi Hasegawa
洋 長谷川
Yasuto Isozaki
磯崎 康人
Kazuyuki Okano
和之 岡野
Chiharu Hayashi
千春 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は各種エレクトロニクスデバイスにおいて広く使
用される卑金属薄膜の形成用インキに関するものである
従来の技術 従来よ多金属薄膜は、抵抗器や電極、センサ等の各種エ
レクトロニクス分野に広く使用されてきた。これら金属
薄膜は一般にスパッタ、蒸着等の真空技術によシ製造さ
れている。一部、メツキによる製造も検討されているが
、1μ以下の薄膜については広い範囲にわたって均一な
膜厚を得るのは困難であった。また、貴金属については
、樹脂酸塩の塗布・熱分解等により、容易に薄膜が得ら
れるものもある。
従来のこれら真空技術を応用した卑金属薄膜の製造は高
額の製造装置を必要とし、かつ、バッチ生産であるため
に生産性に劣υ、また真空装置を必要とするため、大面
積の製造が困難である。また、パターン状の薄膜を必要
とする場合はレジストを形成してのちエツチングして形
成するため、廃液などの公害処理装置を要するなどの問
題点があυ、この問題点を解決するため、本発明者らは
卑金属薄膜の形成法として、卑金属を含有する化合物を
基板上に塗布し、酸化雰囲気中で熱分解して金属酸化物
層として後、還元雰囲気中で熱処理する形成法を発明(
特願昭62−122948号公報)したが、上記発明に
おいて塗布液としては、卑金属の有機酸塩、有機錯体等
を溶媒に溶解したものを使用したが、これらの塗布液は
粘度が低いためパターン状の印刷が困難であり、パター
ン印tle11するためには塗布液にバインダとなる樹
脂を添加して粘度を高める必要があった。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、増粘用のバインダ樹脂としてセラミック
スなどで一般に用いられているセルローズ系その他樹脂
を用いた場合、印刷むらや加熱焼成時に粉体化、はがれ
、ひび割れ等が生じる場合が多く、良好な卑金属薄膜が
得られにくいものであった。そこで増粘剤としてロジン
を用いることにより、スクリーン印刷法を用いて均質な
卑金属薄膜が得られることを発見したが、ロジンは天然
であるためその構成成分比等が産地や季節によって左右
され、常に安定した特性のインキを作ることは難しいと
いう問題があった。
本発明の課題は、上記の問題を解決し、均質性に優れた
卑金属薄膜が形成でき、かつ、o 7 )によるばらつ
きの小さい卑金属薄膜形成用インキを提供することにあ
る。
課題を解決するだめの手段 上記課題を解決するために本発明は、卑金属を含有する
化合物塗布インキの増粘剤としてアビエチン酸を主たる
構成要素として用いること全特徴とするものである。
作用 上記、本発明の卑金属薄膜形成用インキを採用すること
により、インキのロフトによるばらつきが小さく、かつ
、均質で導電性の良いパターン状の卑金属薄膜を印刷で
得ることができる。
実施例 まず本発明の概要について説明すると、本発明に使用す
る卑金属を含む化合物としては、各種アルコキシド、各
種カルボン酸塩、各種有機化合物錯体、メタロセン等の
各種有機金属化合物や硝酸塩、硫酸塩等の各種無機化合
物がある。増粘剤としては、アビエチン酸または目的に
応じてアビエチン酸を種々変性したものを用いることが
できる。
溶媒としては、スクリーン印刷などの印刷方法を採用す
る場合はイソホロン、テルピネオール、テトラリン、ブ
チルカルピトール等蒸発速度の遅い溶媒が好ましいが、
必ずしもこれらに限られることはなく、本発明にかかる
組成を溶解するものであれば単独で、または混合して任
意に使用することができる。上記主たる構成要素以外に
も印刷性その他の改良の目的で消泡剤など各種添加物を
添加することができる。
以下、具体的な実施例について説明する。
本発明のインキおよび比較のためのインキを第1表のよ
うな組成で各種印刷インキとして調製した。これらを市
販のソーダ石灰ガラス基板上にスクリーン印刷し、乾燥
後、大気中電気炉で640°C130分焼成した。次い
で、このガラスを管状炉に入れ、30%の水素を含む窒
素気流中600°Cで1時間の熱処理を行った6比較の
ため、各種ロジンを増粘剤として使用した系についても
同様の処理を行った。
第1表のどとくロジンを増粘剤として用いた場合、その
産地や季節によって印刷性や得られた卑金属薄膜の特性
が変わるが、アビエチン酸を増粘剤として用いれば安定
した印刷性及び均質な卑金属薄膜が得られた。
アビエチン酸・・・・・・試薬(関東化学制)ロジン・
・・・・・試薬(関東化学制)発明の効果 以上実施例及び比較例から判るように、卑金属を含有す
る化合物塗布液の増粘剤としてアビエチン酸を用いるこ
とにより、インキのロフトによるばらつきが小さく、パ
ターニングされた均質な卑金属薄膜を量産性よく得るこ
とができ、工業上の効果は太きいものである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  卑金属を含有する化合物,アビエチン酸及びこれらを
    溶解させる溶媒とを主たる構成要素として含有すること
    を特徴とする卑金属薄膜形成用インキ。
JP63213902A 1988-08-29 1988-08-29 卑金属薄膜形成用インキ Pending JPH0260974A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5338350A (en) * 1992-07-06 1994-08-16 Central Glass Company, Limited Ink composition for forming thin film
US5628820A (en) * 1993-12-20 1997-05-13 Central Glass Company, Ltd. Ink composition for forming thin film
US5698131A (en) * 1995-05-15 1997-12-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Paste for manufacturing ferrite and ferrite

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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